單一方向潔凈室的循環(huán)空氣系統(tǒng)隨著科技的進(jìn)步，制造技術(shù)的發(fā)展不只有要求關(guān)鍵技術(shù)的突破，對(duì)于制造環(huán)境的整合要求也是越來(lái)越高，潔凈室的應(yīng)用也越來(lái)越普及，而循環(huán)空氣系統(tǒng)更是環(huán)境創(chuàng)造的核心。但是除了過(guò)濾塵埃，控制室內(nèi)溫度、濕度之外，對(duì)于循環(huán)空氣系統(tǒng)的耗能也是相當(dāng)重要的一環(huán)。目前的單一方向潔凈室的循環(huán)風(fēng)系統(tǒng)可以分成軸流風(fēng)扇型(AxialFanType)風(fēng)扇-風(fēng)機(jī)濾網(wǎng)機(jī)組(FanFilterUnit)空調(diào)風(fēng)管型(Airconditionertype)軸流型風(fēng)扇(AxialFanType)

軸流型風(fēng)扇的系統(tǒng)圖，空氣經(jīng)過(guò)軸流風(fēng)扇的加壓后，經(jīng)過(guò)Filte過(guò)濾在慢慢以穩(wěn)定的層流往潔凈軸流型風(fēng)扇的系統(tǒng)圖，空氣經(jīng)過(guò)軸流風(fēng)扇的加壓后，經(jīng)過(guò)Filte過(guò)濾在慢慢以穩(wěn)定的層流往潔凈室里流進(jìn)。(SAP,SupplyAirPlenum,C/R,CleanRoom,RAP,ReturnAirPlenum)SAP＜消音箱彳L 13 _\ /J \W音箱＞C/R計(jì)/CRAP一般軸流型的風(fēng)扇都可以借著vanepitc來(lái)調(diào)整風(fēng)量大小，而且有著高風(fēng)扇效率(超過(guò)80%)及高馬達(dá)效率(超過(guò)80%)，但是其高噪音及能量消耗過(guò)大卻有著相當(dāng)大的妨害，因?yàn)樵谀壳霸胍舻囊笙?，使用軸流風(fēng)扇型系統(tǒng)都必須加裝消音器，因此克服消音器(Silenc)、超高效率過(guò)濾網(wǎng)(ULPAFilt)、高架地板(Perforatedfloor及冷卻管排(CoilingCo)所產(chǎn)生的壓降，所消耗的能量一般的預(yù)期是相當(dāng)大的。此外因?yàn)槟Σ翂簱p的影響，造成箭頭［2］號(hào)處的壓力較箭頭［1］號(hào)的壓力小，這在于要求全面層流的潔凈室里很難達(dá)到要求。此外，因?yàn)樵诩^［1］區(qū)中，因?yàn)榱黧w的流速較快，依據(jù)Bernoulliequation我們可以得到一個(gè)結(jié)果，就是容易形成負(fù)壓區(qū)，導(dǎo)致氣流逆流，造成積塵的結(jié)果。又因?yàn)轱L(fēng)管的壓力遠(yuǎn)高于潔凈室的壓力，所以在更換超高效率過(guò)濾網(wǎng)時(shí)會(huì)有塵埃逆流回潔凈室的困擾。在要求高潔凈度的全面層流潔凈室，除了考慮能源效率、振動(dòng)和噪音的影響外，氣流的流場(chǎng)特性也對(duì)于潔凈室等級(jí)與氣態(tài)污染物的控制有很大的影響。考慮氣流的流場(chǎng)特性，我們使用三個(gè)參數(shù)：(l)ULPA出風(fēng)速度的不均一性(NU，NUNU=的定義為工NU=的定義為工(V-Vface)2(n-1)/Vface，其中NU為測(cè)量各點(diǎn)之標(biāo)準(zhǔn)差(STD)與平均速度(Vface)之比,Vface為在ULPAfilte下之平均出風(fēng)速度，”口"為在ULPA下之氣流速度的研究點(diǎn)數(shù)。IES、FS-209D及JIS對(duì)氣流的不均一性(NU)的允許標(biāo)準(zhǔn)通常小于20%)，(2工作區(qū)域相對(duì)于垂直方向氣流平行角或偏移角a)(IESFS-209D及JIS的要求要小于4度)，(C)系統(tǒng)的通風(fēng)效率，而軸流式風(fēng)扇型的潔凈室假如要達(dá)成此要求，就無(wú)法做成較長(zhǎng)寬度的潔凈室。因此，軸流型風(fēng)扇型的空調(diào)系統(tǒng)因?yàn)槭∧芗案攮h(huán)境創(chuàng)造高求的限制下，使用的情況不若以往。風(fēng)扇諷機(jī)濾網(wǎng)機(jī)組(FanFilterUnit)SAPIl LC/R7 RAPC風(fēng)扇-風(fēng)機(jī)濾網(wǎng)機(jī)組系統(tǒng)圖，氣體的流動(dòng)主要是靠在濾網(wǎng)上方的FFU來(lái)加壓，因?yàn)镕FU采多點(diǎn)加壓，所以氣體較能以穩(wěn)定的層流往潔凈室里流動(dòng)。風(fēng)扇-風(fēng)機(jī)濾網(wǎng)機(jī)組(FFU,FanFilterUnit)是風(fēng)機(jī)加上過(guò)濾器(ULPA)所構(gòu)成的一個(gè)送風(fēng)組件，此系統(tǒng)在1980年就已經(jīng)使用在潔凈室上。一般而言，F(xiàn)FU的考慮要素有機(jī)械性能及過(guò)濾性能。機(jī)械能通常只送風(fēng)量、風(fēng)壓、電功率及效率等。過(guò)濾性能指濾網(wǎng)過(guò)濾的效果，風(fēng)機(jī)產(chǎn)生的壓力通常消耗在濾網(wǎng)上，因此高效率、低壓損的選擇是相當(dāng)重要的?？諝饨逵呻x心式風(fēng)扇吸入后，在風(fēng)道中將其動(dòng)壓轉(zhuǎn)成靜壓，目的是使空氣經(jīng)過(guò)ULPAFilter后能夠均勻的吹出，并使得噪音降低。而且，在ULPAFilter的出風(fēng)速度之不均一性(NU)、工作區(qū)域相對(duì)垂直方向的氣流偏移角(a)及系統(tǒng)通風(fēng)效率均有比軸流式風(fēng)扇更好的結(jié)果。歸納出下列的優(yōu)點(diǎn)：天花板可藉模塊化施工，可容易作FFU之增加以利日后制程調(diào)整施工彈性大。FFU風(fēng)量循環(huán)系統(tǒng)壓損小，馬達(dá)耗電少，單位循環(huán)風(fēng)量約8.16W/CMM較軸流風(fēng)機(jī)系統(tǒng)耗電14.18W/CMM或空調(diào)機(jī)系統(tǒng)耗電12.87W/CMM皆低。天花板上供氣室內(nèi)空氣壓力較無(wú)塵室(天花板下)低，天花版面之隔板密封較簡(jiǎn)單，且日后維修HEPA濾網(wǎng)可以不必像軸流式風(fēng)機(jī)或空調(diào)機(jī)系統(tǒng)必須停機(jī)才可以更換，對(duì)于維修來(lái)說(shuō)是極方便且不影響制程。FFU耗電量小、噪音也小，可以不像軸流風(fēng)機(jī)或空調(diào)機(jī)系統(tǒng)得加裝出入口消采用FFU加上冷卻盤管，可減少空調(diào)機(jī)裝設(shè)面積，對(duì)降低建筑費(fèi)用有相當(dāng)大的幫助。隨著無(wú)塵等級(jí)要求的提升，未來(lái)所謂微環(huán)境(mini-environment)需求將大量增加，而FFU最適合微環(huán)境之使用?？照{(diào)風(fēng)管型(Airconditionertype)SAP1」r-nFFrT-i11IIIIl L-HJ C/R/ RAPC空調(diào)風(fēng)管型系統(tǒng)圖空調(diào)風(fēng)管型為一由外氣空調(diào)箱(AirH