電子特種氣體產(chǎn)業(yè)工作總結(jié)

加強自主創(chuàng)新，推進民用航空產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)化、系列化發(fā)展，加強產(chǎn)業(yè)配套設(shè)施和安全運營保障能力建設(shè)，提高產(chǎn)品安全性、環(huán)保性、經(jīng)濟性和舒適性，全面構(gòu)建覆蓋航空發(fā)動機、飛機整機、產(chǎn)業(yè)配套和安全運營的航空產(chǎn)業(yè)體系。到2020年，民用大型客機、新型支線飛機完成取證交付，航空發(fā)動機研制實現(xiàn)重大突破，產(chǎn)業(yè)配套和示范運營體系基本建立。發(fā)展一批原創(chuàng)能力強、具有國際影響力和品牌美譽度的行業(yè)排頭兵企業(yè)，活力強勁、勇于開拓的中小企業(yè)持續(xù)涌現(xiàn)。中高端制造業(yè)、知識密集型服務(wù)業(yè)比重大幅提升，支撐產(chǎn)業(yè)邁向中高端水平。形成若干具有全球影響力的戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展策源地和技術(shù)創(chuàng)新中心，打造百余個特色鮮明、創(chuàng)新能力強的新興產(chǎn)業(yè)集群。電子特種氣體發(fā)展情況與未來發(fā)展趨勢（一）電子特種氣體行業(yè)在新技術(shù)方面發(fā)展情況與未來發(fā)展趨勢在5G，人工智能，物聯(lián)網(wǎng)等帶動下，集成電路制造技術(shù)發(fā)展從摩爾定律到超越摩爾發(fā)展。邏輯芯片技術(shù)節(jié)點從傳統(tǒng)0．35um開始延伸到3nm特征尺寸，預(yù)計到2025年實現(xiàn)1．5nm技術(shù)突破；三維閃存芯片制造技術(shù)從32層發(fā)展到128層，預(yù)計到2025年突破到384層；動態(tài)記憶體制造技術(shù)，從19nm開始向15nm邁進，預(yù)計到2025年實現(xiàn)11nm技術(shù)突破。先進技術(shù)節(jié)點突破性發(fā)展，要求包括電子特種氣體在內(nèi)的新材料技術(shù)發(fā)展作為支撐。高密度、低功耗的集成電路制造，對反應(yīng)溫度、純度、雜質(zhì)提出新的要求，對產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定性和一致性提出更高的要求。未來，電子特種氣體需要針對性的加強提升合成技術(shù)、純化技術(shù)、分析技術(shù)、充裝技術(shù)和綠色環(huán)保技術(shù)。（二）電子特種氣體行業(yè)在新產(chǎn)業(yè)方面發(fā)展情況與未來趨勢2019年以來，集成電路在國民經(jīng)濟發(fā)展中的地位越來越受到重視，在國內(nèi)外各種有利要素的驅(qū)動下，我國集成電路制造企業(yè)進入快速發(fā)展軌道。以中芯國際、上海華虹、長江存儲、長鑫存儲等為代表的國內(nèi)集成電路制造企業(yè)，產(chǎn)能布局持續(xù)優(yōu)化，制造產(chǎn)能持續(xù)提高。集成電路制造產(chǎn)能規(guī)模的提升，帶動配套用材料產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展。（三）電子特種氣體行業(yè)在新業(yè)態(tài)方面發(fā)展情況與未來趨勢先進集成電路制造技術(shù)需要強大的企業(yè)平臺作支撐，需要持續(xù)不斷的研發(fā)投入，并在知識產(chǎn)權(quán)、人才儲備等領(lǐng)域長期布局，因此集成電路制造企業(yè)的產(chǎn)能越來越集中在頭部企業(yè)，預(yù)計未來也將維持常態(tài)化發(fā)展。根據(jù)ICInsights數(shù)據(jù)，全球54%集成電路制造產(chǎn)能集中在前5大制造企業(yè)，70%的產(chǎn)能集中在前10大制造企業(yè)。產(chǎn)業(yè)生態(tài)發(fā)展的要求，越來越傾向于在產(chǎn)品、技術(shù)、質(zhì)量、服務(wù)等綜合化服務(wù)的材料供應(yīng)商。國內(nèi)電子特種氣體起步晚、規(guī)模較小、產(chǎn)品品種少，受制于技術(shù)、人才、知識產(chǎn)權(quán)、資金實力等多方面因素影響，發(fā)展存在一定瓶頸。但經(jīng)過十余年發(fā)展，在集成電路配套材料國產(chǎn)化率方面，進步明顯。根據(jù)ICMtia數(shù)據(jù)，2021年我國集成電路用材料國內(nèi)市場綜合占有率達(dá)26%。雖然當(dāng)前國產(chǎn)化率初見成效，但也給材料產(chǎn)業(yè)未來發(fā)展預(yù)留了空間，進一步提升我國電子材料全球影響力，仍然大有可為。（四）電子特種氣體行業(yè)在新模式方面發(fā)展情況與未來趨勢我國集成電路產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，電子特種氣體市場容量快速增長，國外大型氣體企業(yè)以獨資、合資、合作等方式設(shè)立企業(yè)，從生產(chǎn)、倉儲、服務(wù)等領(lǐng)域在國內(nèi)布局。同時，在國家政策支持以及我國下游市場拉動下，國內(nèi)電子氣體企業(yè)依托本地化地緣優(yōu)勢，加大研發(fā)，不斷突破國外技術(shù)壁壘，本地化生產(chǎn)質(zhì)量水平持續(xù)提高，逐步得到市場認(rèn)可。隨著先進技術(shù)節(jié)點的突破，工藝步驟的增加，市場對電子特種氣體在產(chǎn)品多元化服務(wù)、品質(zhì)可靠性保證、及時高效物流服務(wù)等方面都提出更高要求。同時需要電子特種氣體企業(yè)從物流、倉儲、技術(shù)支持、分析控制、綜合性價比等方面提升綜合服務(wù)能力。未來，我國電子氣體企業(yè)需要整合行業(yè)內(nèi)資源，持續(xù)研發(fā)投入，加大人才儲備，從規(guī)模、品牌、技術(shù)、產(chǎn)品、成本等多維度整合，夯實提升多維度競爭優(yōu)勢，提升市場化綜合服務(wù)能力，將多元化需求與一站式服務(wù)結(jié)合，突破國外壟斷的電子特種氣體市場，逐漸發(fā)展成具有國際競爭力的電子特種氣體綜合服務(wù)供應(yīng)商。進入電子特種氣體行業(yè)主要壁壘（一）電子特種氣體行業(yè)不同產(chǎn)品的工藝存在差異，掌握核心技術(shù)難度較大電子特種氣體種類較多，不同類產(chǎn)品的合成、純化等工藝技術(shù)可能存在較大差異，且工藝路線長、過程復(fù)雜；同時，電子特種氣體對產(chǎn)品純度、產(chǎn)品指標(biāo)的穩(wěn)定性和一致性要求極高，需要對生產(chǎn)過程中各類雜質(zhì)含量進行精準(zhǔn)有效的控制，工藝難度較大。因此，電子特種氣體企業(yè)開發(fā)一種滿足半導(dǎo)體工藝要求的氣體品種，往往需要長時間的研發(fā)積累，實現(xiàn)關(guān)鍵核心技術(shù)的突破，以及在產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用中對工藝參數(shù)不斷進行優(yōu)化。目前國內(nèi)氣體企業(yè)實現(xiàn)了對部分電子特種氣體品種的，在產(chǎn)品的開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化中，通常要面臨不同類產(chǎn)品之間的核心技術(shù)壁壘。（二）電子特種氣體行業(yè)客戶認(rèn)證周期長、準(zhǔn)入難度較大電子特種氣體的下游主要為集成電路、顯示面板等行業(yè)的大型廠商，其對產(chǎn)業(yè)鏈的管理高度精細(xì)化，對氣體產(chǎn)品的質(zhì)量和供應(yīng)穩(wěn)定性有極高的要求，對于原材料和供應(yīng)商的認(rèn)證和選擇非常嚴(yán)格。因此，新產(chǎn)品即使成功完成實驗室研發(fā)和批量化生產(chǎn)，在向客戶推廣時還將面臨較高的準(zhǔn)入壁壘，需要較長時間的審核認(rèn)證周期。（三）電子特種氣體行業(yè)海外業(yè)務(wù)拓展在專利布局、市場開發(fā)方面存在較大挑戰(zhàn)全球范圍內(nèi)，美國、日本、韓國、中國臺灣等國家和地區(qū)是集成電路產(chǎn)業(yè)的主要聚集地，也是重要的電子特種氣體終端市場。一方面，境外電子特種氣體產(chǎn)業(yè)發(fā)展較為成熟，國際巨頭專利布局較為全面，相關(guān)國家和地區(qū)關(guān)于知識產(chǎn)權(quán)保護的法律體系較為完善，國內(nèi)氣體企業(yè)拓展海外業(yè)務(wù)需要完善海外專利布局以滿足相關(guān)法律法規(guī)對知識產(chǎn)權(quán)的要求。另一方面，電子氣體行業(yè)集中度較高，林德、液化空氣、大陽日酸和空氣化工4大國際巨頭市場份額超過70%，市場格局相對固化，且部分國家和地區(qū)存在保護本土產(chǎn)業(yè)的傾向，成為國內(nèi)氣體企業(yè)拓展海外業(yè)務(wù)的挑戰(zhàn)。大力發(fā)展高效節(jié)能產(chǎn)業(yè)適應(yīng)建設(shè)資源節(jié)約型、環(huán)境友好型社會要求，樹立節(jié)能為本理念，全面推進能源節(jié)約，提升高效節(jié)能裝備技術(shù)及產(chǎn)品應(yīng)用水平，推進節(jié)能技術(shù)系統(tǒng)集成和示范應(yīng)用，支持節(jié)能服務(wù)產(chǎn)業(yè)做大做強，促進高效節(jié)能產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展。到2020年，高效節(jié)能產(chǎn)業(yè)產(chǎn)值規(guī)模力爭達(dá)到3萬億元。（一）大力提升高效節(jié)能裝備技術(shù)及應(yīng)用水平鼓勵研發(fā)高效節(jié)能設(shè)備（產(chǎn)品）及關(guān)鍵零部件，加大示范推廣力度，加速推動降低綜合成本。制修訂強制性能效和能耗限額標(biāo)準(zhǔn)，加快節(jié)能科技成果轉(zhuǎn)化應(yīng)用。發(fā)布節(jié)能產(chǎn)品和技術(shù)推廣目錄，完善節(jié)能產(chǎn)品采購政策，推動提高節(jié)能產(chǎn)品市場占有率。完善能效標(biāo)識制度和節(jié)能產(chǎn)品認(rèn)證制度，在工業(yè)、建筑、交通和消費品等領(lǐng)域?qū)嵤┠苄ьI(lǐng)跑者制度，推動用能企業(yè)和產(chǎn)品制造商跨越式提高能效。（二）大力推進節(jié)能技術(shù)系統(tǒng)集成及示范應(yīng)用在示范園區(qū)等重點區(qū)域和重點行業(yè)開展節(jié)能技術(shù)系統(tǒng)集成試點，整合高耗能企業(yè)的余熱、余壓、余氣資源，鼓勵利用余熱采暖、利用余能和低溫余熱發(fā)電。鼓勵重點用能單位及耗能設(shè)備配備智能能源計量和遠(yuǎn)程診斷設(shè)備，借助信息網(wǎng)絡(luò)技術(shù)加強系統(tǒng)自動監(jiān)控和智能分析能力，促進提高綜合能效。深入推進流程工業(yè)系統(tǒng)優(yōu)化工藝技術(shù)，推動工業(yè)企業(yè)能源管控中心建設(shè)，鼓勵企業(yè)在低溫加熱段使用太陽能集熱器，實現(xiàn)生產(chǎn)工藝和能源供應(yīng)的綜合優(yōu)化。推進化石能源近零消耗建筑技術(shù)產(chǎn)業(yè)化，大力推廣應(yīng)用節(jié)能門窗、綠色節(jié)能建材等產(chǎn)品。鼓勵風(fēng)電、太陽能發(fā)電與企業(yè)能源供管系統(tǒng)綜合集成，推動可再生能源就地消納。（三）做大做強節(jié)能服務(wù)產(chǎn)業(yè)支持合同能源管理、特許經(jīng)營等業(yè)態(tài)快速發(fā)展，推動節(jié)能服務(wù)商業(yè)模式創(chuàng)新，推廣節(jié)能服務(wù)整體解決方案。支持節(jié)能服務(wù)公司通過兼并、聯(lián)合、重組等方式實現(xiàn)規(guī)模化、品牌化、網(wǎng)絡(luò)化經(jīng)營。搭建綠色融資平臺，推動發(fā)行綠色債券，支持節(jié)能服務(wù)公司融資。制定相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)，提高節(jié)能服務(wù)規(guī)范化水平。制定節(jié)能服務(wù)機構(gòu)管理辦法，建立健全節(jié)能第三方評估機制。搭建節(jié)能服務(wù)公司、重點用能單位、第三方評估機構(gòu)履約登記和服務(wù)平臺，營造誠實守信的市場環(huán)境。培育生物服務(wù)新業(yè)態(tài)以專業(yè)化分工促進生物技術(shù)服務(wù)創(chuàng)新發(fā)展，構(gòu)建新技術(shù)專業(yè)化服務(wù)模式，不斷創(chuàng)造生物經(jīng)濟新增長點。（一）增強生物技術(shù)對消費者的專業(yè)化服務(wù)能力發(fā)展專業(yè)化診療機構(gòu)，培育符合規(guī)范的液體活檢、基因診斷等新型技術(shù)診療服務(wù)機構(gòu)。發(fā)展健康體檢和咨詢、移動醫(yī)療等健康管理服務(wù)，推動構(gòu)建生物大數(shù)據(jù)、醫(yī)療健康大數(shù)據(jù)共享平臺，試點建立居民健康影像檔案，鼓勵構(gòu)建線上線下相結(jié)合的智能診療生態(tài)系統(tǒng)，推動醫(yī)學(xué)檢驗檢測、影像診斷等服務(wù)專業(yè)化發(fā)展。依托并整合現(xiàn)有資源，建設(shè)一批創(chuàng)新基礎(chǔ)平臺，支持基因庫、干細(xì)胞庫、中藥標(biāo)準(zhǔn)庫、高級別生物安全實驗室、蛋白元件庫等建設(shè)。加快推動構(gòu)建一批轉(zhuǎn)化應(yīng)用平臺，推進抗體篩選平臺、醫(yī)學(xué)影像信息庫、農(nóng)作物分子育種平臺等載體建設(shè)。積極發(fā)展一批檢測服務(wù)平臺，推進仿制藥一致性評價技術(shù)平臺、生物藥質(zhì)量及安全測試技術(shù)創(chuàng)新平臺、農(nóng)產(chǎn)品安全質(zhì)量檢測平臺、生物質(zhì)能檢驗檢測及監(jiān)測公共服務(wù)平臺等建設(shè)，完善相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)。（二）提高生物技術(shù)服務(wù)對產(chǎn)業(yè)的支持水平發(fā)展符合國際標(biāo)準(zhǔn)的藥物研發(fā)與生產(chǎn)服務(wù)，鼓勵醫(yī)藥企業(yè)加強與合同研發(fā)、委托制造企業(yè)的合作。推動基因檢測和診斷等新興技術(shù)在各領(lǐng)域應(yīng)用轉(zhuǎn)化，支持生物信息服務(wù)機構(gòu)提升技術(shù)水平。為藥品、醫(yī)療器械、種業(yè)、生物能源等生物產(chǎn)品提供檢測、評價、認(rèn)證等公共服務(wù)，加快產(chǎn)品上市進度，提升產(chǎn)品質(zhì)量。鼓勵生物技術(shù)在水污染控制、大氣污染治理、有毒有害物質(zhì)降解、廢物資源化等領(lǐng)域拓展應(yīng)用，積極引導(dǎo)生物環(huán)保技術(shù)企業(yè)跨地區(qū)、跨行業(yè)聯(lián)合或兼并，實現(xiàn)做大做強。構(gòu)建生物技術(shù)專業(yè)化雙創(chuàng)平臺，降低生物產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)成本，支持各類人員開辦虛擬研發(fā)企業(yè)，釋放創(chuàng)新潛能。創(chuàng)新生物能源發(fā)展模式著力發(fā)展新一代生物質(zhì)液體和氣體燃料，開發(fā)高性能生物質(zhì)能源轉(zhuǎn)化系統(tǒng)解決方案，拓展生物能源應(yīng)用空間，力爭在發(fā)電、供氣、供熱、燃油等領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)全面規(guī)模化應(yīng)用，生物能源利用技術(shù)和核心裝備技術(shù)達(dá)到世界先進水平，形成較成熟的商業(yè)化市場。（一）促進生物質(zhì)能源清潔應(yīng)用重點推進高壽命、低電耗生物質(zhì)燃料成型設(shè)備、生物質(zhì)供熱鍋爐、分布式生物質(zhì)熱電聯(lián)產(chǎn)等關(guān)鍵技術(shù)和設(shè)備研發(fā)，促進生物質(zhì)成型燃料替代燃煤集中供熱、生物質(zhì)熱電聯(lián)產(chǎn)。按照因地制宜、就近生產(chǎn)消納原則，示范建設(shè)集中式規(guī)模化生物燃?xì)鈶?yīng)用工程，突破大型生物質(zhì)集中供氣原料處理、高效沼氣厭氧發(fā)酵等關(guān)鍵技術(shù)瓶頸。探索建立多元、協(xié)同、共贏的市場化發(fā)展模式，鼓勵多產(chǎn)品綜合利用，為生產(chǎn)生活提供清潔優(yōu)質(zhì)能源。（二）推進先進生物液體燃料產(chǎn)業(yè)化重點突破高效低成本的生物質(zhì)液體燃料原料處理和制備技術(shù)瓶頸，建設(shè)萬噸級生物質(zhì)制備液體燃料及多產(chǎn)品聯(lián)產(chǎn)綜合利用示范工程。完善原料供應(yīng)體系，有序發(fā)展生物柴油。推進油藻生物柴油、生物航空燃料等前沿技術(shù)研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化。六氟化鎢的市場規(guī)模、供需情況六氟化鎢主要應(yīng)用在集成電路制造領(lǐng)域，因其優(yōu)良的電性能，廣泛使用在化學(xué)氣相沉積工藝中，通過沉積和堆疊制成大規(guī)模集成電路中的導(dǎo)電膜和金屬配線材料。沉積氣體、刻蝕和清洗氣體是半導(dǎo)體制造中用量最大的兩類氣體，沉積和清洗也是聯(lián)系最為緊密的工藝步驟，六氟化鎢作為高性能的沉積材料，其供需變化趨勢與三氟化氮相似。隨著集成電路工藝的不斷迭代，特別是3DD層數(shù)的不斷增加，對六氟化鎢產(chǎn)品的需求也與日俱增。根據(jù)TECHCET數(shù)據(jù)，2020年六氟化鎢全球總需求約4，620噸，預(yù)計2025年全球需求增長至8，901噸左右，增長空間將近1倍，年均增速達(dá)到14%。根據(jù)TECHCET數(shù)據(jù)，2021年全球六氟化鎢需求為5，675噸，而全球供給達(dá)到6，497噸，總體供給大于需求；未來全球六氟化鎢需求快速增長，與供給的差額逐漸縮小。預(yù)計至2025年，全球六氟化鎢的需求量將超過供給。強化軌道交通裝備領(lǐng)先地位推進軌道交通裝備產(chǎn)業(yè)智能化、綠色化、輕量化、系列化、標(biāo)準(zhǔn)化、平臺化發(fā)展，加快新技術(shù)、新工藝、新材料的應(yīng)用，研制先進可靠的系列產(chǎn)品，完善相關(guān)技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)體系，構(gòu)建現(xiàn)代軌道交通裝備產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新體系，打造覆蓋干線鐵路、城際鐵路、市域（郊）鐵路、城市軌道交通的全產(chǎn)業(yè)鏈布局。（一）打造具有國際競爭力的軌道交通裝備產(chǎn)業(yè)鏈形成中國標(biāo)準(zhǔn)新型高速動車組、節(jié)能型永磁電機驅(qū)動高速列車、30噸軸重重載電力機車和車輛、大型養(yǎng)路機械等產(chǎn)品系列，推進時速500公里輪軌試驗列車、時速600公里磁懸浮系統(tǒng)等新型列車研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化，構(gòu)建完整產(chǎn)業(yè)鏈。加強產(chǎn)品質(zhì)量檢驗檢測認(rèn)證綜合能力建設(shè)。加快走出去步伐，提升國際競爭力。（二）推進新型城市軌道交通裝備研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化面向大城市復(fù)雜市域交通需求，推動時速120—160公里、與城市軌道交通無縫銜接的市域（郊）鐵路裝備，適應(yīng)不同技術(shù)路線的跨座式單軌，自動導(dǎo)軌快捷運輸系統(tǒng)等研發(fā)與應(yīng)用，構(gòu)建時速200公里及以下中低速磁懸浮系統(tǒng)的設(shè)計、制造、試驗、檢測技術(shù)平臺，建立完善產(chǎn)品認(rèn)證制度，建立新型城市軌道交通車輛技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范，領(lǐng)跑國際技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)。（三）突破產(chǎn)業(yè)關(guān)鍵零部件及綠色智能化集成技術(shù)進一步研發(fā)列車牽引制動系統(tǒng)、列車網(wǎng)絡(luò)控制系統(tǒng)、通信信號系統(tǒng)、電傳動系統(tǒng)、智能化系統(tǒng)、車鉤緩沖系統(tǒng)、儲能與節(jié)能系統(tǒng)、高速輪對、高性能轉(zhuǎn)向架、齒輪箱、軸承、輕量化車體等關(guān)鍵系統(tǒng)和零部件，形成軌道交通裝備完整產(chǎn)業(yè)鏈。加強永磁電機驅(qū)動、全自動運行、基于第四代移動通信的無線綜合承載等技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化。優(yōu)化完善高速鐵路列控系統(tǒng)和城際鐵路列控技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)體系。加快生物產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展步伐，培育生物經(jīng)濟新動力把握生命科學(xué)縱深