廢氣處理方案太陽能電池線的生產(chǎn)過程中涉及制絨、擴(kuò)散、鍍膜、印刷等工藝，在生產(chǎn)過程中會運(yùn)用大量的化學(xué)試劑，如鹽酸、氫氟酸、硝酸、硫酸、氫氧化鉀（或氫氧化鈉）、硅烷、氨氣、醇類等，這些化學(xué)試劑在運(yùn)用過程中會釋放出大量的有害廢氣，所排放的廢氣主要為氯化氫、氟化氫、氯氣、氮氧化物、氨氣、硅烷、醇類廢氣等，這些廢氣須要被有效的處理，完全達(dá)到國家和地方的排放標(biāo)準(zhǔn)后才能排入大氣中。（一）廢氣分析1、制絨工藝廢氣分析在制絨工藝過程中，廢氣源主要為制絨及清洗設(shè)備，廢氣種類因工藝不同而有區(qū)分，主要廢氣為氮氧化物、氟化氫氣體（多晶工藝）；堿蒸汽及醇類（單晶）。2、擴(kuò)散工藝廢氣分析擴(kuò)散工藝涉及廢氣排放的設(shè)備主要是：擴(kuò)散爐、石英管清洗機(jī)、石墨舟清洗機(jī)等。擴(kuò)散爐排出的廢氣是酸性廢氣及熱廢氣，本項(xiàng)目酸性廢氣主要為含氯廢氣，如氯氣等。石英管清洗機(jī)、石墨舟清洗機(jī)產(chǎn)生的廢氣主要為含氟化氫及氯化氫成分的酸性氣體。3、鍍膜工藝廢氣分析鍍膜工藝涉及的主要設(shè)備為去磷硅玻璃清洗機(jī)及PECVD等。去磷硅玻璃清洗機(jī)產(chǎn)生的廢氣主要成分為氟化氫及氯化氫等；PECVD尾氣主要包含硅烷、氨氣等。4、印刷工藝廢氣分析印刷工藝涉及的主要設(shè)備為印刷機(jī)和燒結(jié)爐，產(chǎn)生的廢氣主要是一些以脂類和醇類廢氣為主的有機(jī)廢氣。（二）廢氣抽風(fēng)量設(shè)計及設(shè)備選擇依據(jù)上述廢氣分析，太陽能電池生產(chǎn)線產(chǎn)生的廢氣以處理方式來分可分為三類：酸堿廢氣、硅烷及氨氣等特氣、有機(jī)廢氣。1、酸堿廢氣凈化系統(tǒng)本項(xiàng)目涉及的酸堿廢氣來自制絨清洗機(jī)、擴(kuò)散爐、去磷硅玻璃清洗機(jī)、石英管清洗機(jī)及石墨舟清洗機(jī)等，主要成分為HF/HCl/Cl2/堿蒸汽等，這些廢氣均可溶于水，可以采納酸堿中和的方式進(jìn)行廢氣處理。一般采納堿液噴淋方式進(jìn)行廢氣凈化。本項(xiàng)目廢氣處理分為二部分：擴(kuò)散間及其他廢氣。擴(kuò)散間的酸堿廢氣為15000m3/h，選一套DGS-B-15型廢氣洗滌塔進(jìn)行處理；其他的酸堿廢氣采納一套DGS-B-40型廢氣洗滌塔進(jìn)行處理其處理風(fēng)量為40000m3/h。廢氣洗滌塔主要有以下幾部分組成：洗滌塔、自動加藥系統(tǒng)、玻璃鋼離心風(fēng)機(jī)、玻璃鋼風(fēng)管、排風(fēng)煙囪及愛護(hù)鋼架、電氣限制柜等組成。設(shè)備工藝流程如下圖：從車間工藝段抽出的酸堿廢氣在離心風(fēng)機(jī)的作用下進(jìn)入洗滌塔。在洗滌塔內(nèi)部，中和液經(jīng)噴淋系統(tǒng)噴灑而下，與廢氣中的酸性氣體發(fā)生中和反應(yīng)從而起到凈化效果。為了提高凈化塔的凈化效率廢氣洗滌塔填料采納特別PP海膽型保爾環(huán)以增大氣液接觸面積。為了使中和液處于一個最佳的汲取濃度并削減人力操作，本系統(tǒng)采納自動加藥系統(tǒng)對洗滌塔進(jìn)行氫氧化鈉補(bǔ)充，每套系統(tǒng)包括1個自動加藥箱，每個自動加藥箱包括1個PH計，1個計量泵，PH計依據(jù)凈化塔箱體內(nèi)汲取液的PH值來限制計量泵的開關(guān)，從而實(shí)現(xiàn)自動加藥。經(jīng)廢氣洗滌塔凈化后的廢氣通過排放煙囪達(dá)標(biāo)排放，排放標(biāo)準(zhǔn)為GB16297-1996《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》二級標(biāo)準(zhǔn)。廢氣洗滌塔處理廢氣的主要化學(xué)反應(yīng)為：ＮaOH+HF→ＮaF+H2OＮaOH+HCL→ＮaCL+H2OCl2+H2O→HClO+HCl2HClO→2HCl+O22、有機(jī)廢氣凈化系統(tǒng)本項(xiàng)目有機(jī)廢氣以含脂類、醇類等揮發(fā)物為主，這些有機(jī)物微溶于水，不能用常規(guī)的洗滌法處理。依據(jù)這些特點(diǎn)，本項(xiàng)目有機(jī)廢氣采納我公司研制生產(chǎn)的活性炭纖維有機(jī)廢氣凈化器進(jìn)行吸附凈化。依據(jù)貴公司供應(yīng)的工藝設(shè)備廢氣排放量并結(jié)合我公司多年的實(shí)際閱歷，本項(xiàng)目選擇一套SYWFL-4NO.8型*2組合式活性炭纖維有機(jī)廢氣凈化器，該組合式設(shè)備處理實(shí)力為32000m3/h。本設(shè)備主要有凈化器、離心風(fēng)機(jī)及排風(fēng)煙囪組成。凈化器中吸附裝置的主要成分是活性炭纖維。活性炭纖維是超越活性炭（GAC）的高效吸附材料，它具有高度發(fā)達(dá)的微孔結(jié)構(gòu)，吸、脫附速度快，凈化效果好，在簡潔條件下，可以完全脫附等特點(diǎn)。他易于加工成氈、絲、布等形態(tài)，成型較好，不易粉化，在振動下不會產(chǎn)生裝填松動和過分密實(shí)現(xiàn)象?；钚蕴坷w維吸附容量大，耐熱、耐酸、堿：ACF對汽油、醛類、酚類、烯烴等有機(jī)蒸汽吸附比GAC大幾倍，對無機(jī)氣體有很好的吸附實(shí)力（如NO，NO2，SO2，H2S、HF、HCL等）吸附量比GAC高的多它對微生物、細(xì)菌也有優(yōu)良的吸附實(shí)力。工作流程如下：從車間工藝段抽出的工藝廢氣首先進(jìn)入有機(jī)廢氣器，在凈化器內(nèi)部廢氣經(jīng)過多層活性炭纖維過濾吸附，吸附凈化后的廢氣在離心風(fēng)機(jī)的作用下，經(jīng)過排放煙囪達(dá)標(biāo)排放，排放標(biāo)準(zhǔn)為GB16297-1996《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》二級標(biāo)準(zhǔn)。3、硅烷系統(tǒng)從PECVD工藝設(shè)備出來的廢氣主要為硅烷及氨氣。硅烷是一種可燃性氣體，并且易自燃（接觸空氣后就會燃燒），而氨氣是一種可溶性氣體，處理這些混合廢氣分兩步走：先燃燒后噴淋汲取。本項(xiàng)目選擇一套HWR-6型不銹鋼硅烷燃燒塔，PECVD的工藝廢氣設(shè)備詳細(xì)處理過程如下：含有硅烷及氨氣等成分的混合廢氣通過管道進(jìn)入不銹鋼硅烷燃燒塔中，在燃燒塔內(nèi)部的燃燒室內(nèi)硅烷氣體與通入的壓縮空氣接觸燃燒，燃燒后產(chǎn)生的二氧化硅粉塵沉積從燃燒室底部的排渣口排出，而含有氨氣的其他廢氣進(jìn)入噴淋洗滌室。在噴淋洗滌室中，氨氣與循環(huán)液發(fā)生反應(yīng)而被處理掉，處理完的氣體經(jīng)脫液室脫液處理后由抽風(fēng)機(jī)抽出，最終通過排放煙囪排入大氣，排出氣體達(dá)到GB14554-93《惡臭污染排放標(biāo)準(zhǔn)》標(biāo)準(zhǔn)。當(dāng)PECVD發(fā)生故障而出現(xiàn)應(yīng)急排放時會排出大量的純硅烷，為了提高系統(tǒng)處理應(yīng)急排放時的廢氣處理實(shí)力，本系統(tǒng)在燃燒塔前接二個不銹鋼硅烷應(yīng)急燃燒筒。詳細(xì)處理如下圖：為了提高設(shè)備平安性，在進(jìn)氣方面采納壓縮空氣加新風(fēng)補(bǔ)氣的雙進(jìn)風(fēng)形式；在噴淋系統(tǒng)方面，采納循環(huán)水泵與自動補(bǔ)水相結(jié)合的方法；風(fēng)機(jī)采納一用一備形式。這些工藝特點(diǎn)使得本產(chǎn)品在平安牢靠性方面得到極大保證。內(nèi)部燃燒室采納特別的泄壓裝置，即使在內(nèi)部壓力突然增大