第三章準直和自準直第一頁，共四十九頁，編輯于2023年，星期四2023年6月21日光學檢測技術(shù)-測控技術(shù)2準直和自準直1激光束的準直和自準直2自準直法測量光學零件的平行度3自準直法測量曲率半徑和焦距第二頁，共四十九頁，編輯于2023年，星期四2023年6月21日光學檢測技術(shù)-測控技術(shù)31激光束的準直和自準直1.1激光束的準直1.2激光束的自準直第三頁，共四十九頁，編輯于2023年，星期四2023年6月21日光學檢測技術(shù)-測控技術(shù)41.1激光束的準直采用倒裝的望遠系統(tǒng)實現(xiàn)光束準直第四頁，共四十九頁，編輯于2023年，星期四2023年6月21日光學檢測技術(shù)-測控技術(shù)5第五頁，共四十九頁，編輯于2023年，星期四2023年6月21日光學檢測技術(shù)-測控技術(shù)6ForaGaussianbeam,thecomplexelectricfieldamplitudeisgivenbyristheradialdistancefromthecenteraxisofthebeam,zistheaxialdistancefromthebeam'snarrowestpoint(the"waist"),E0=|E(0,0)|,w(z)istheradiusatwhichthefieldamplitudeandintensitydropto1/eand1/e2oftheiraxialvaluesw0=w(0)isthewaistsize(describedinmoredetailbelow).Thefunctionsw(z),R(z),andζ(z)areparametersofthebeam,whichwedefinebelow.第六頁，共四十九頁，編輯于2023年，星期四2023年6月21日光學檢測技術(shù)-測控技術(shù)7第七頁，共四十九頁，編輯于2023年，星期四2023年6月21日光學檢測技術(shù)-測控技術(shù)8第八頁，共四十九頁，編輯于2023年，星期四2023年6月21日光學檢測技術(shù)-測控技術(shù)9第九頁，共四十九頁，編輯于2023年，星期四2023年6月21日光學檢測技術(shù)-測控技術(shù)101.1激光束的準直零階貝塞爾光束第十頁，共四十九頁，編輯于2023年，星期四2023年6月21日光學檢測技術(shù)-測控技術(shù)11實現(xiàn)1第十一頁，共四十九頁，編輯于2023年，星期四2023年6月21日光學檢測技術(shù)-測控技術(shù)12第十二頁，共四十九頁，編輯于2023年，星期四2023年6月21日光學檢測技術(shù)-測控技術(shù)13第十三頁，共四十九頁，編輯于2023年，星期四2023年6月21日光學檢測技術(shù)-測控技術(shù)14實現(xiàn)1:軸錐鏡第十四頁，共四十九頁，編輯于2023年，星期四2023年6月21日光學檢測技術(shù)-測控技術(shù)15第十五頁，共四十九頁，編輯于2023年，星期四2023年6月21日光學檢測技術(shù)-測控技術(shù)16第十六頁，共四十九頁，編輯于2023年，星期四2023年6月21日光學檢測技術(shù)-測控技術(shù)17第十七頁，共四十九頁，編輯于2023年，星期四2023年6月21日光學檢測技術(shù)-測控技術(shù)18第十八頁，共四十九頁，編輯于2023年，星期四2023年6月21日光學檢測技術(shù)-測控技術(shù)19第十九頁，共四十九頁，編輯于2023年，星期四2023年6月21日光學檢測技術(shù)-測控技術(shù)201激光束的準直和自準直1.1激光束的準直1.2激光束的自準直第二十頁，共四十九頁，編輯于2023年，星期四2023年6月21日光學檢測技術(shù)-測控技術(shù)211.2激光束的自準直平面鏡反射-平面波相位共軛面-任意波第二十一頁，共四十九頁，編輯于2023年，星期四2023年6月21日光學檢測技術(shù)-測控技術(shù)22平面鏡反射-平面波第二十二頁，共四十九頁，編輯于2023年，星期四2023年6月21日光學檢測技術(shù)-測控技術(shù)23相位共軛面-任意波第二十三頁，共四十九頁，編輯于2023年，星期四2023年6月21日光學檢測技術(shù)-測控技術(shù)24相位共軛面-任意波布里淵散射1四波混頻1B.Ya.Zel’dovich,V.I.Popovichev,V.V.RagulskiiandF.S.Faisullov,“ConnectionbetweenthewavefrontsofthereflectedandexcitinglightinstimulatedMandel’shtamBrillouinscattering,”

Sov.Phys.JETP,15,109(1972)第二十四頁，共四十九頁，編輯于2023年，星期四2023年6月21日光學檢測技術(shù)-測控技術(shù)25四波混頻第二十五頁，共四十九頁，編輯于2023年，星期四2023年6月21日光學檢測技術(shù)-測控技術(shù)26四波混頻第二十六頁，共四十九頁，編輯于2023年，星期四2023年6月21日光學檢測技術(shù)-測控技術(shù)27準直和自準直1激光束的準直和自準直2自準直法測量光學零件的平行度3自準直法測量曲率半徑和焦距第二十七頁，共四十九頁，編輯于2023年，星期四2023年6月21日光學檢測技術(shù)-測控技術(shù)282自準直法測量光學零件的平行度2.1介紹2.2測試原理2.3反射棱鏡的平行度測量第二十八頁，共四十九頁，編輯于2023年，星期四2023年6月21日光學檢測技術(shù)-測控技術(shù)292.1介紹第二十九頁，共四十九頁，編輯于2023年，星期四2023年6月21日光學檢測技術(shù)-測控技術(shù)302.2測試原理第三十頁，共四十九頁，編輯于2023年，星期四2023年6月21日光學檢測技術(shù)-測控技術(shù)312.3反射棱鏡的平行度測量DI-90第三十一頁，共四十九頁，編輯于2023年，星期四2023年6月21日光學檢測技術(shù)-測控技術(shù)32第一光學平行度：在入射光軸界面內(nèi)，角度誤差造成的。第二光學平行度：垂直于入射光軸界面，棱差造成。問題:45度角那個大?那個小?第三十二頁，共四十九頁，編輯于2023年，星期四2023年6月21日光學檢測技術(shù)-測控技術(shù)33DII-180第三十三頁，共四十九頁，編輯于2023年，星期四2023年6月21日光學檢測技術(shù)-測控技術(shù)3490角?是大于90度還是小于90度?調(diào)視度:正視度,雙像靠近則大于90度,反之小于90度.半邊遮擋:同邊的雙像消失則大于90度,反之,小于90度第三十四頁，共四十九頁，編輯于2023年，星期四2023年6月21日光學檢測技術(shù)-測控技術(shù)35DIIJ-90第三十五頁，共四十九頁，編輯于2023年，星期四2023年6月21日光學檢測技術(shù)-測控技術(shù)36第三十六頁，共四十九頁，編輯于2023年，星期四2023年6月21日光學檢測技術(shù)-測控技術(shù)3790角?是大于90度還是小于90度?半邊遮擋:同邊的雙像消失則大于90度,反之,小于90度第三十七頁，共四十九頁，編輯于2023年，星期四2023年6月21日光學檢測技術(shù)-測控技術(shù)38DII-180(角錐棱鏡)35.16度54.44度要求,直角具有高準確度第三十八頁，共四十九頁，編輯于2023年，星期四2023年6月21日光學檢測技術(shù)-測控技術(shù)39補償棱鏡法OABC第三十九頁，共四十九頁，編輯于2023年，星期四2023年6月21日光學檢測技術(shù)-測控技術(shù)40斜入射法:OABC第四十頁，共四十九頁，編輯于2023年，星期四2023年6月21日光學檢測技術(shù)-測控技術(shù)41準直和自準直1激光束的準直和自準直2自準直法測量光學零件的平行度3自準直法測量曲率半徑第四十一頁，共四十九頁，編輯于2023年，星期四2023年6月21日光學檢測技術(shù)-測控技術(shù)423自準直法測量曲率半徑和焦距自準直法測量曲率半徑自準直法測量物鏡焦距和頂焦距第四十二頁，共四十九頁，編輯于2023年，星期四2023年6月21日光學檢測技術(shù)-測控技術(shù)43簡介自準直望遠系統(tǒng)自準直顯微系統(tǒng)第四十三頁，共四十九頁，編輯于2023年，星期四2023年6月21日光學檢測技術(shù)-測控技術(shù)44測量曲率半徑測試原理第四十四頁，共四十九頁，編輯于2023年，星期四2023年6月21日光學檢測技術(shù)-測控技術(shù)45測量曲率半徑測試方法:先測球心還是頂點?頂點受不受待測球面傾斜影響?如何找到球心凹面和凸面的測量范圍?實際測試中多個像的區(qū)別?第四十五頁，共四十九頁，編輯于2023年，星期四2023年6月21日光學檢測技術(shù)-測控技術(shù)46自準直法測量物鏡焦距和頂焦距第四十六頁，共四十九頁，編輯于2023年，星期四2023年6月21日光學檢測技術(shù)-測控技術(shù)47