MEMS陀螺技術(shù)研究綜述MEMS陀螺儀研究背景MEMS陀螺儀原理與器件MEMS陀螺儀設(shè)計(jì)與制造MEMS陀螺儀測試及應(yīng)用小結(jié)及體會目錄1、MEMS陀螺儀研究背景MEMS陀螺儀研究歷史及發(fā)展現(xiàn)狀MEMS陀螺儀發(fā)展趨勢MEMS陀螺儀基本概念1.1MEMS陀螺儀基本概念陀螺儀也稱角速率傳感器，是用來測量物體旋轉(zhuǎn)快慢的傳感器。它在運(yùn)輸系統(tǒng)，例如，導(dǎo)航、剎車調(diào)節(jié)控制盒加速度測量等方面有很多應(yīng)用。按照制作原理及結(jié)構(gòu)可將其大致分為機(jī)械式陀螺儀、光學(xué)陀螺儀、微機(jī)械陀螺儀三類[1]。

微機(jī)械陀螺儀是高新技術(shù)產(chǎn)物，具有體積小、功耗低多種優(yōu)勢，在民用消費(fèi)領(lǐng)域和現(xiàn)代國防領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景[2]

。各種原理的陀螺儀1.1MEMS陀螺儀基本概念微機(jī)械陀螺儀(MEMSgyroscope)主要有轉(zhuǎn)子式、振動式微機(jī)械陀螺儀和微機(jī)械加速度計(jì)陀螺儀三種。轉(zhuǎn)子式的MEMS陀螺較為少見，振動式和微加速度計(jì)式的微陀螺基本原理一致，都是利用柯氏效應(yīng)。

目前，MEMS陀螺儀基本都是振動式的[3]。體積微小的微機(jī)械陀螺1.2MEMS陀螺儀研究歷史及發(fā)展現(xiàn)狀微機(jī)械陀螺的研究始于20世紀(jì)80年代，經(jīng)過幾十年的研究國外相關(guān)已經(jīng)比較成熟，眾多科研單位及公司如美國Draper實(shí)驗(yàn)室、ADI公司、Berkeley大學(xué)，德國DaimlerBenz公司、Bosch公司，日本Toyota公司，以及土耳其、芬蘭等國家[4-9]，已有商業(yè)化產(chǎn)品。

我國的MEMS技術(shù)研究工作起步較晚，但正積極開展研究，國家已經(jīng)投入巨資用于MEMS陀螺技術(shù)的研究。目前主要的科研單位有清華、北大、中科院上海微系統(tǒng)所、復(fù)旦大學(xué)、哈工大等多家單位[10-15]，經(jīng)過十多年的努力，在基礎(chǔ)理論、加工技術(shù)和工程應(yīng)用等方面的研究已取得了明顯的進(jìn)步。但不可否認(rèn)，與國外差距仍然較大，高性能微機(jī)械陀螺少有商業(yè)化產(chǎn)品。1.2MEMS陀螺儀研究歷史及發(fā)展現(xiàn)狀德國Bosch公司芬蘭赫爾辛基工業(yè)大學(xué)土耳其安卡拉中東科技大學(xué)日本MurataMfg.Co美國Michigan大學(xué)1.2MEMS陀螺儀研究歷史及發(fā)展現(xiàn)狀單位結(jié)構(gòu)特點(diǎn)檢測機(jī)理靈敏度/分辨率噪聲/漂移美國Michigan大學(xué)振動環(huán)式電容檢測25Hz帶寬下分辨率0.5°/s7.2°/h日本MurataMfg.Co獨(dú)立梁式電容驅(qū)動電容檢測25Hz帶寬下分辨率0.07/s/土耳其安卡拉中東科技大學(xué)電容驅(qū)動3mm×3mm電容檢測真空24mV/o/s大氣100μV/o/s/芬蘭赫爾辛基工業(yè)大學(xué)框架式角振動電容檢測信噪比51.6dB德國Bosch公司雙質(zhì)量塊電磁驅(qū)動電容檢測18mV/°/s量程為100o/s國外微機(jī)械陀螺的特點(diǎn)與性能指標(biāo)[4-9]1.2MEMS陀螺儀研究歷史及發(fā)展現(xiàn)狀北京大學(xué)、清華大學(xué)、復(fù)旦大學(xué)，中科院上海微系統(tǒng)所研制的的微機(jī)械陀螺結(jié)構(gòu)[10-15]1.熱2堪ME盲MS陀螺悲儀研矩究歷弊史及塘發(fā)展股現(xiàn)狀單位結(jié)構(gòu)特點(diǎn)檢測機(jī)理靈敏度噪聲/漂移北大諧振式電容檢測22mv/°/s清華角振動電容檢測1.9mV/°/s/復(fù)旦雙質(zhì)量塊電容驅(qū)動壓阻檢測電橋輸出0.22μV/°/s/中科院雙質(zhì)量塊電磁驅(qū)動電容檢測9.8mV/°/s中北大學(xué)諧振式電容檢測0.7mV/°/s國內(nèi)境微機(jī)組械陀最螺的陸特點(diǎn)待與性慘能指郵標(biāo)[1凳0-愧15未]1.盒2偷ME躁MS陀螺鍵儀研未究歷篩史及滑發(fā)展馳現(xiàn)狀從國枝內(nèi)外狂發(fā)展呈現(xiàn)狀凳來看熱，微扭機(jī)械驗(yàn)陀螺忠的特脈點(diǎn)總母結(jié)如賭下：1、機(jī)競械結(jié)寺構(gòu)：來圓環(huán)秧、獨(dú)迷立梁溫、框疼架、絡(luò)雙質(zhì)嘉量塊2、驅(qū)宮動方剃式：字電容蒙驅(qū)動監(jiān)的多3、檢痰測方渾式：隆電容煮檢測業(yè)的多4、使碧用的聚材料節(jié)：都貨是Si基，短靈敏慚度mV級1.浮2部ME瘦MS陀螺炒儀發(fā)寨展趨晨勢許多斬市場倘調(diào)查侍包括SR林I，NE擇XU姓S，Sy阿st碎em潮P診la覆nn裙in錫g公司辰，SE可MI等一嗚致認(rèn)晌為me舊ms陀螺擊儀市場液將每匙年以15身%~濃25宿%的年灰增長萄率增化長?，F(xiàn)代兵工業(yè)理控制回、航熊空航竄天、航軍用受技術(shù)稼不可斗能離缺開慣乖性傳組感器挪；汽驢車，屢消費(fèi)摩品和貍娛樂盒市場瞎也開憶始依案賴這醫(yī)些設(shè)悅備[1恒7]。高精卷度、倦低成流本、要微型割化、陳低功挪耗、淹多軸格向高姻穩(wěn)定森性依份然是忙微機(jī)訴械陀咽螺的屬技術(shù)掩追求掃，隨震著多烘?zhèn)鞲袎酒飨诞吔y(tǒng)集談成技危術(shù)的塵發(fā)展盾，兼醒有陀菊螺儀草功能寫的智站能集隨成傳查感器硬系統(tǒng)梳將是ME出MS陀螺明的重毒要發(fā)筑展方鴿向[1腎8]。2、ME斑M(jìn)S陀螺答儀原軍理與踏器件ME海MS陀螺醋儀分識類及劉基本制結(jié)構(gòu)ME魯MS陀螺雞儀基忘本原喂理2.1瘡ME纏MS陀螺辦儀基保本原遮理微機(jī)吼械陀脈螺的嶺基本敗原理狂是利寧用柯碧氏力嬸進(jìn)行能量綠的傳滑遞，將馳諧振裙器的句一種間振動趟模式瓦激勵殖到另懶一種性振動琴模式帆，后商一種駁振動治模式嬌的振括幅與畏輸入互角速蓄度的滴大小涌成正宗比，漁通過栗測量奏振幅鐘實(shí)現(xiàn)陵對角梢速度宴的測恰量。柯氏粒加速挎度是艙動參也系的緣瑞轉(zhuǎn)動厘與動惜點(diǎn)相嫂對動桂參系貿(mào)運(yùn)動盒相互切耦合吹引起檔的加券速度冶?？氯κ霞右嗡俣三埖姆街虼构侵庇诶缃撬儋J度矢土量和姻相對濤速度貪矢量索。判菜斷方究法按壟照右誕手旋劣進(jìn)規(guī)沒則進(jìn)使行判懲斷ωVac2.1感ME輛MS陀螺陵儀基勸本原索理ωyxacV假如擔(dān)質(zhì)點(diǎn)篇以非課?？煺频乃俚蕉妊匾坜D(zhuǎn)盤側(cè)徑向咳做簡律諧振輔動，閉利用手右手璃旋進(jìn)秘準(zhǔn)則可判斷嘆出，僑質(zhì)點(diǎn)將在轉(zhuǎn)峽盤上斗不停矮地沿肥垂直費(fèi)于簡片諧振鉆動方掉向和柴轉(zhuǎn)盤輩角速碌度兩編方向圈垂直硬的第攻三方鐘向振睡動，鴨利用嗚這一竊原理鳳就可紐奉制作榜出微昨機(jī)械撇陀螺（右旬圖為列電磁泳驅(qū)動趴共振全隧穿薯效應(yīng)脖檢測囑的微史機(jī)械祖陀螺釀結(jié)構(gòu)[1廚9]）。2.1餡ME冬MS陀螺汗儀基早本原筑理開環(huán)劣電磁嬸驅(qū)動嘗電路衣原理捉框圖驅(qū)動障反饋婆檢測尊電路萄原理擴(kuò)框圖敏感策器件表檢測撐電路反原理恨框圖一種輪電磁折驅(qū)動里壓阻名檢測效式的ME究MS陀螺煉儀驅(qū)隔動及蠅檢測吸原理2.斷2項(xiàng)ME歷MS陀螺宗儀分訊類及震結(jié)構(gòu)微機(jī)扔構(gòu)陀償螺可臉以從消以下箭幾個搏方面狼進(jìn)行藝劃分塞：振員動結(jié)級構(gòu)，施材料冷，加餓工方師式，駱驅(qū)動撒方式潤，檢豎測方胡式和武工作槽模式[2斬]。微機(jī)橫械陀勤螺分講類按振太動結(jié)顛構(gòu)按材島料按加顯工方者式旋轉(zhuǎn)鏡振動霜結(jié)構(gòu)線性釘振動姐結(jié)構(gòu)振動砍盤結(jié)殖構(gòu)陀券螺旋轉(zhuǎn)代盤結(jié)巷構(gòu)陀某螺正交釘線振榮動結(jié)成構(gòu)非正昌交線拉振動訪結(jié)構(gòu)振動舅平板鳳結(jié)構(gòu)振動密梁結(jié)掉構(gòu)振動體音叉華結(jié)構(gòu)加速芬度計(jì)樂振動層結(jié)構(gòu)振動妹平板脹結(jié)構(gòu)振動規(guī)梁結(jié)湖構(gòu)振動罩音叉傅結(jié)構(gòu)單晶腦硅多晶鴿硅石英其它硅材駱料非硅俊材料體微河機(jī)械境加工表面漂微機(jī)襖械加療工LI松GA不(光刻熱、電弟鑄和埋注塑)2.狠2蒼ME易MS陀螺那儀分到類及迫結(jié)構(gòu)微機(jī)吧構(gòu)陀翼螺可復(fù)以從豎以下忽幾個肯方面管進(jìn)行拾劃分食：振須動結(jié)信構(gòu)，化材料球，加文工方辦式，悉驅(qū)動史方式葬，檢萍測方嫁式和紙工作萬模式廈。微機(jī)噸械陀紅螺分慚類按振不動結(jié)級構(gòu)按材誰料按加學(xué)工方還式旋轉(zhuǎn)慮振動暴結(jié)構(gòu)線性超振動治結(jié)構(gòu)振動眾盤結(jié)媽構(gòu)陀壩螺旋轉(zhuǎn)鼻盤結(jié)鋼構(gòu)陀種螺正交宏線振竄動結(jié)異構(gòu)非正惑交線暑振動師結(jié)構(gòu)振動刊平板炎結(jié)構(gòu)振動選梁結(jié)過構(gòu)振動西音叉須結(jié)構(gòu)加速符度計(jì)暢振動搬結(jié)構(gòu)振動哄平板漂結(jié)構(gòu)振動許梁結(jié)師構(gòu)振動曾音叉縫結(jié)構(gòu)單晶擁硅多晶廉硅石英其它硅材總料非硅誦材料體微趕機(jī)械再加工表面福微機(jī)槽械加桂工LI口GA趨(光刻建、電肚鑄和合注塑)表面朵工藝折結(jié)構(gòu)體硅討工藝距結(jié)構(gòu)2.唉2茶ME令MS陀螺摩儀分賤類及次結(jié)構(gòu)微機(jī)疊構(gòu)陀絲式螺可匪以從莫以下鼓幾個倆方面蒜進(jìn)行溫劃分為：振楊動結(jié)心構(gòu)，材材料喊，加律工方接式，以驅(qū)動說方式銅，檢偵測方折式和早工作冒模式[2慚]。微機(jī)快械陀讀螺分黑類按驅(qū)鋒動方盜式按檢期測方培式壓電巷式靜電澇式電磁頃式壓電倚檢測電容弦檢測壓阻游式檢倚測光學(xué)調(diào)檢測隧道意效應(yīng)說檢測按工皂作模械式速率剖陀螺速率貼積分掛陀螺閉環(huán)嚴(yán)模式開環(huán)蹄模式整角追模式2.奶2根ME婚MS陀螺枯儀分稅類及中結(jié)構(gòu)微機(jī)映構(gòu)陀團(tuán)螺可鍛以從導(dǎo)以下具幾個登方面崗進(jìn)行業(yè)劃分嚼：振蔥動結(jié)稀構(gòu)，戚材料有，加我工方妥式，粒驅(qū)動儀方式槳，檢停測方嶼式和避工作室模式曬。微機(jī)豪械陀誤螺分肥類按驅(qū)批動方眨式按檢誓測方條式壓電毛式靜電勿式電磁柔式壓電忽檢測電容勸檢測壓阻丸式檢糟測光學(xué)慣檢測隧道疏效應(yīng)火檢測按工濁作模承式速率害陀螺速率專積分叫陀螺閉環(huán)歌模式開環(huán)數(shù)模式整角翠模式2.刊2縫ME綁MS陀螺滅儀分趣類及圾結(jié)構(gòu)技術(shù)指標(biāo)電容式壓電式壓阻式隧道效應(yīng)式光學(xué)阻抗高高低高\(yùn)電負(fù)載影響非常大大小小小尺寸大小中等小大溫度范圍非常寬寬中等中等寬線性度誤差高中等低高低有無阻尼有無有有無靈敏度高中等中等高很高電路復(fù)雜程度高中等低高高成本高高低中高交叉軸敏感度主要取決于機(jī)械設(shè)計(jì)，而非轉(zhuǎn)導(dǎo)作用部分倉檢測亮方式修的ME軟MS陀螺痰性能壇對比[2年0]3、ME取MS陀螺航儀設(shè)忙計(jì)及趨制造ME咐MS陀螺簽儀工蛛藝方忽法ME勢MS陀螺助儀制霧造技夠術(shù)難軌點(diǎn)ME核MS陀螺蝴儀設(shè)砍計(jì)流蛛程及否工具3.低1李M她EM扯S陀螺有儀設(shè)廢計(jì)流恨程及晴工具結(jié)構(gòu)煩設(shè)計(jì)雜方法結(jié)構(gòu)禮設(shè)計(jì)右相關(guān)必內(nèi)容作用趨：進(jìn)饑行結(jié)部果的羊相互額對比噴、驗(yàn)絮證與到校核3.幫1洪M擱EM輔S陀螺罩儀設(shè)酷計(jì)流體程及銜工具AN駛SY梁S靜態(tài)扣分析優(yōu)化碗設(shè)計(jì)模態(tài)返分析瞬態(tài)品分析諧響伏應(yīng)分古析結(jié)構(gòu)樂應(yīng)力結(jié)構(gòu)念參數(shù)哥氏云效應(yīng)振動遵幅值限位窮位移振型側(cè)和頻起率敏感吼器件銹位置路徑活分析3.脊1愉M講EM垃S陀螺昆儀設(shè)禽計(jì)流群程及盈工具結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)靈敏謠度頻率分匹配Q值設(shè)削計(jì)初始卵化尺鎖寸AN垂SY慕S優(yōu)化理論卻計(jì)算優(yōu)化懂尺寸靈敏游度噪僵聲檢驗(yàn)陀螺絞動力收學(xué)模飛型靈敏哲度：結(jié)論暴：當(dāng)ω=功ωx=ωz時，縮慧陀螺掌的檢世測靈愈敏度種最高牲。3.茫1絨M只EM紗S陀螺俘儀設(shè)括計(jì)流騾程及潔工具微機(jī)尼械陀辜螺動托力學(xué)拉方程3.蘭2脆M痰EM槍S陀螺像儀工薯藝方努法典型ME環(huán)MS制造示工藝回流程[]3.脅2番M據(jù)EM忍S陀螺模儀工區(qū)藝方怎法常用嘗的ME顏MS器件石加工余工藝停方法先在燃襯底管表面休生長挖薄膜海，通車過對野薄膜乞進(jìn)行蘭光刻阿、刻犁蝕等春形成予結(jié)構(gòu)鎮(zhèn)。優(yōu)點(diǎn)而：易鐮于與IC集成胖。表面亮工藝3.跨2晶M蒜EM圖S陀螺親儀工枕藝方媽法常用落的ME迅MS器件礎(chǔ)加工歷工藝賠方法(1)刻蝕淺槽GlassSi(2)表面摻雜(3)金屬電極(4)陽極鍵合(5)硅片剪薄(6)釋放結(jié)構(gòu)體硅母深刻夏蝕釋要放工基藝體硅暖工藝3.邊2獅M盈EM傲S陀螺縫儀工掘藝方巨法具體本的常澡用ME雁MS器件陶加工銳工藝橡方法蒼：具體雜的刻薪蝕技卵術(shù)主問要有光刻坊、濕法刻蝕忘、反應(yīng)努離子帝刻蝕壞、聚嫌焦離仙子束霸刻蝕與等一巡壽般用甚來制抱作ME煉MS陀螺玩結(jié)構(gòu)晝；主要吳的加皇工工底藝有判分子救束外延疾、薄啞膜淀傲積、辰氧化貌、擴(kuò)菌散、稱注入指、濺撐射、警蒸鍍等技珍術(shù)用廚以加升速度癥敏感責(zé)部件遍及相畜應(yīng)的甚電極封和引縱線的良制作腦；鍵得合技悠術(shù)用舍于敏頌感部心件與甚陀螺完結(jié)構(gòu)鉗之間床的連分接。劃片室和封左裝技術(shù)艱用于粱微陀芽螺結(jié)貴構(gòu)及方敏感嗚部件筒組合邁體單價體分雹離及斥外部果連接抹引線吼制作團(tuán)等，臘完成購微陀務(wù)螺基床本器脈件制蜜作。3.命3牙M茫EM泛S陀螺譜儀技擠術(shù)難落點(diǎn)1、包括酒微機(jī)悠械陀女螺應(yīng)瞧用在內(nèi)的ME現(xiàn)MS，力郊學(xué)參痛數(shù)較宏樣觀情稿況明顯延變化瘡，宏欠觀物按理定住律已丟經(jīng)不棗能完繩全對ME適MS的設(shè)杯計(jì)、獵制造巖工藝抬、封住裝以尖及應(yīng)找用進(jìn)厘行解矮釋和鞋指導(dǎo)盞。這食些因易素限增制妨恭礙了摩微機(jī)播械陀遙螺性處能的鵝提高[2晌1]。2、隨岸著ME慚MS傳感贈器尺寸增的縮買小，敏感趴部件糕也不塘斷縮貪小，盯傳統(tǒng)仙檢測言效應(yīng)勉接近鍵靈敏濱度極會限，弊限制拌了高撲性能ME虹MS陀螺資儀的噸發(fā)展煙，新葡效應(yīng)遮新原漠理器徐件亟夾待開跨發(fā)[1殺9]。3、國超內(nèi)方畝面工幟藝和姐技術(shù)睬都相努對落厲后，哈國外蝴方面摧技術(shù)玩封鎖匆限制宮了高咳性能沃器件蟻結(jié)構(gòu)智的制期作；膛微弱睜信號絲式檢測業(yè)技術(shù)遼有待貓?zhí)岣叨?，信辦號處尚理能此力仍滲有待欺加強(qiáng)[1絲式9]。4、ME厘MS陀螺來儀測興試及侄應(yīng)用ME畢MS陀螺松儀數(shù)獻(xiàn)據(jù)分渣析及彼方法ME償MS陀螺冰儀應(yīng)簽用案兵例ME陸MS陀螺炊儀測熟試內(nèi)禍容及徹手段4.膠1張M爬EM燭S陀螺壟儀測稠試內(nèi)押容及帥手段與其科它陀智螺儀寨一樣巷，完午成微耽機(jī)械錦陀螺貸儀的棕陀螺謊體的功制作君只是煮完成施了整糖個ME北MS陀螺頃儀研雙究工煉作的佳一部暈分?？尺€有請陀螺海儀信稿號提征取與低校準(zhǔn)廟，靈嚴(yán)敏度爆測試拌、量伍程測背試、介線性沖度測浮試、作固有兩頻率墳測試白、抗悼過載魂能力談測試謹(jǐn)?shù)鹊然?，各儉種性羽能的朗測試矮。下磚面簡年單就孟固有每頻率秤、靈備敏度演、分珠辨率株、線辱性度伐等陀移螺性朱能的菊測試搬及方悼法進(jìn)坑行介價紹。4.朝1示M天EM唇S陀螺拐儀測由試內(nèi)想容及凡手段固有饞特性忌測試陀螺扯特性測試柯氏蘇效應(yīng)瘡檢測固有烈頻率檢測殿方向Q值檢驗(yàn)椒敏感稈原理測試霞線性近度測試今內(nèi)容三軸乳轉(zhuǎn)臺柱測試驗(yàn)證啄檢測康原理4.碑1位M泥EM襖S陀螺起儀測首試內(nèi)否容及雜手段振動由臺測箱試原章理圖固有勾頻率螺、頻響探特性貴、帶寬擴(kuò)等性圖能測棉試4.鐮1醫(yī)M洲EM距S陀螺寶儀測艇試內(nèi)澇容及麥?zhǔn)侄挝C(jī)掘械陀周螺檢匠測原疫理框求圖敏感狹原理擠驗(yàn)證略、靈還敏度載、分郵辨率銳測試伐等4.堂2鑄M湖EM紡S陀螺艷儀數(shù)卵據(jù)分孟析及溫方法利用悟前述言方法牙測得場傳感感器輸政出波默形或粥數(shù)據(jù)陶，取芹不同棵輸入株情況框下的青離散悄點(diǎn)，糟獲取違批量勿數(shù)據(jù)幕，通彈過Ma爺tl輔ab、Or揮ig擠in調(diào)La莖b、Ex肌ce物l等數(shù)趣據(jù)處跡理軟獲件進(jìn)柱行數(shù)旨據(jù)的費(fèi)處理皂和曲別線的肥擬合葡，分流析陀維螺儀錦線性車度，眨對原蒙始數(shù)苗據(jù)進(jìn)市行濾越波、頌變換業(yè)等處熱理，允分析傳陀螺鮮的時墾頻域瓦特性捏。與象利用AN趙SY費(fèi)S、Ma剃tl賠ab等軟培件仿步真所繁得數(shù)模據(jù)進(jìn)假行對溫比分問析。4.縣2春M管EM候S陀螺接儀數(shù)腔據(jù)分起析及塔方法固有杏特性訂測試五實(shí)驗(yàn)件原理淘圖測試攤結(jié)果傅里銅葉變彩換希爾顆伯特延變換驅(qū)動慘方向諒幅頻絞特性灘曲線一種舍電磁陽驅(qū)動促式ME譽(yù)MS陀螺鳴的固畏有頻亦率測太試方竟法及協(xié)數(shù)據(jù)獲處理4.案3嫁M無EM幼S陀螺歸儀應(yīng)果用案樹例微機(jī)白械陀友螺體蝕積小刑、功笨耗低門、成破本低尿、抗悄過載游能力牌強(qiáng)、輩動態(tài)友范圍緒大、毫可集晴成化習(xí)等優(yōu)弓點(diǎn)，梳可嵌液入電躲子、疲信息窄與智再能控寬制系親統(tǒng)中情，使庫得系釣統(tǒng)體質(zhì)積和渣成本增大幅按下降曉，而狼且總駐體性耗能大醫(yī)幅提淋升，昌因此階在現(xiàn)主代軍薯事領(lǐng)撐域具笛有廣相泛的顯應(yīng)用賄前景衡。在陀托螺儀之的傳進(jìn)統(tǒng)應(yīng)和用領(lǐng)蘋域，疑國防涂軍事技應(yīng)用撞中，兩高精文度微丈機(jī)械偏陀螺聽將可袍用于徒導(dǎo)彈膨、航堤空航泰天、叢超音丈速飛襪行器徒等高拍精度杜需求葵的軍余用產(chǎn)鐘品中[2合2]4.遷3烘M席EM創(chuàng)S陀螺濁儀應(yīng)遺用案嶺例隨著陸先進(jìn)吸的微脫電子隆技術(shù)送的發(fā)餐展，擔(dān)成本遠(yuǎn)和價裳格也樣會大辣幅下番降。墳其低弊廉的影價格憂將使父其在絲式民用書消費(fèi)婚領(lǐng)域擔(dān)也將逐具有趴廣闊禾的應(yīng)盲用前轟景，榜有望延在一駱些新南的領(lǐng)昆域中綠，如梯車載進(jìn)導(dǎo)航固系統(tǒng)按、天帽文望幣遠(yuǎn)鏡滋、工沙業(yè)機(jī)她器人角、計(jì)豈算機(jī)致鼠標(biāo)百、照姓相機(jī)左甚至蘋是機(jī)元器人直玩具鴉等中電低端逼上應(yīng)脹用需孟求的唱產(chǎn)品劇中得涼到應(yīng)岸用[1慕8]。5、小結(jié)淚與體塔會生產(chǎn)況成本萄、性售能和探可靠粉性是刻微機(jī)少械陀踩螺商罰業(yè)化蘆的關(guān)蘋鍵因魯素。染將產(chǎn)寄品成粥本降止低到碑大規(guī)棚模汽鬼車市壞場可絕接受永的水蒼平，關(guān)需要肥精密薯微機(jī)疏械、幕高度貪真空初封裝俊、高次性能掙接口照電路瞇和電椅子調(diào)振諧技甘術(shù)。臺另外俱，在慶一個助芯片裳上組恨合多乓軸或丈多種抹微機(jī)扎械傳難感器訊是微驢機(jī)械繡慣性鑄傳感滲器的譜重要眾發(fā)展殘方向恢。通過ME海MS技術(shù)起的學(xué)膠習(xí)使削我了傲解了帶更多燃關(guān)于ME芬MS技術(shù)惹方面尼的知掀識，潮如：逆微系粱統(tǒng)設(shè)看計(jì)技乓術(shù)、開微細(xì)跟加工詢技術(shù)諒、微竟型機(jī)叫械組取裝和常封裝定技術(shù)踢、微約系統(tǒng)摧的表問征和鋒測試啞技術(shù)子，以泛及ME潛MS技術(shù)枝在生醉產(chǎn)生種活及符經(jīng)濟(jì)別社會淡發(fā)展今和國繁防建河設(shè)中軋的應(yīng)魄用。主要組參考檢文獻(xiàn)構(gòu)：[1視][2秩]李新宜剛,袁建隨平.微機(jī)室械陀稱螺的從發(fā)展易現(xiàn)狀[J睡].力學(xué)粘進(jìn)展20美03激:與33急(3暮),推2刺89然-3絲式01[3樹]王喆姻垚.微系撫統(tǒng)設(shè)丘計(jì)與友制造[M角].北京:清華改大學(xué)鋼出版朋社.[4近]Lu張tz誕M絡(luò),站et踩a苗l.朽A姐p慘re將ci尤si避on冠y倦aw域r草at寬e響se宗ns噸or亞i顛n女si揪li敗co族n瞇mi幸cr稅om阻ac咸hi鵝ni殖ng發(fā).吳In恨:霧Tr唐an零sd柄uc哲er俗s'州97夾,課84秧7-粒85煌0.[5待]Mi培kk逆o聲Sa傍uk以os惰ki祥,化La輔ss漲e肅Aa鴉lt丈on信en涌,箱Te協(xié)em煤u剪Sa文lo喊.K涉ar直i教A.沒I.忌H揀al床on闖en妄.題In測te版rf值ac享e溫an姑d夕co鏟nt分ro節(jié)l仇el慚ec繩tr腰on方ic掛s踩fo屬r輸a弄bu掉lk康m拜ic銜ro中ma陣ch恰in洞ed彈c施ap狐ac鵲it音iv輔e舅gy印ro股sc讓op舒e.洲S寺en江so檢rs壁a屠nd滾A振ct敞ua豆to樓rs鳴A織1紋47器(刪20遇08錦)痰18詠3–疲19催3.[6憂]Ad解am字R傷.戴Sc晚ho創(chuàng)fi示el不d,籃A檔le截xa警nd栗er調(diào)A關(guān).瞧Tr主us引ov傾,草An皆dr縣ei葉M秒.御Sh釘ke激l.判M攻ic吸ro城ma悅ch不in混ed床g表yr尾os關(guān)co頭pe學(xué)c跟on德ce滿pt證a債ll皂ow筐in漠g寫in柄te沿rc溫ha怠ng丘ea妖bl澇e民op課er自at藥io宇n葡in鵝b善ot吐h我ro毅bu裕st備a碗nd控p蔑re醉ci級si捉on追m廁od棕es暗.壘Se撓ns只or劉s婚an著d罷Ac半tu漆at赴or航s馳A狼16井5燒(2芬01務(wù)1)遷3術(shù)5-回42嶺.[7鋤]Ge辟en音J巧,壇et粗a宵l.邀S頃in涼gl戚e-診ch棋ip守s冤ur切fa芽ce真m全ic栗ro流ma瀉ch蓮in役ed當(dāng)i歡nt休eg村ra竿te槍d立gy恒ro哲sc敬op宣e旱wi騙th攏5醒0/宮h測Al檔la彩n薦de腹vi恢at低io聰n.亞I斯EE春E坊JS過SC紅,遍20晨02抬,每37裳:川18桃60練-1咬86凡6.[8謹(jǐn)]Ge全en策J犁,崇Kr舊ak慈au蓮er董D杰.鐵Ne聽w磨iM殃EM諷S牲an產(chǎn)gu凡la及r-遵ra渴te那-s踐en戶si默ng呈g炮yr貧os哄co蔽pe離.館An飾al屬og芒D源ia躁lo喂gu睬e,項(xiàng)3混7-代03色,2漿00忠3.[9熄]Ge緣瑞en贊J掌.舊Pr拉og門re級ss刊i章n解in賣te健gr丹at劉ed朵g獨(dú)yr琴os典co男pe蛋s.私I責(zé)EE廊E域A&蹦E琴Sy距st芹em壩s愁ma倉ga報zi萄ne死,濕20晝04捏,已11荒:號12若-1沖7.[1腹0]余才理佳，習(xí)楊衛(wèi)裂民，吃王小中斌.硅微脂陀螺驗(yàn)在導(dǎo)拾航、分制導(dǎo)環(huán)與控咽制領(lǐng)集域的尸應(yīng)用.第三蟻屆中桿國導(dǎo)行航、分制導(dǎo)港與控偏制學(xué)休術(shù)會基議.2棄00嚷9.[1才1][1片2]Xi火nx崖in寒L階i,杏M釘in主ha愛ng拉B趁ao垃,仔He絕ng女Y拼an稀g,眉S陽ha炎o(hù)q愉un蘿S蜓he理n,換D貪er訴en弱L群u.腳A獸m曠ic及ro籃ma達(dá)ch劍in哥ed決p黑ie易zo柴re里si債st晚iv配e除an銷gu此la塊r轎ra袍te漢s撤en槽so韻r秧wi崗th切a余c筑om端po荷si迅te濾b惡ea養(yǎng)m環(huán)st孕ru姐ct狠ur勤e.留S漁en愧so鎖r桌an東d印Ac白tu扎at恐or乒s.草7驢2予(1疲99識9)辦:田21聞7-亂22架3.主要沙參考當(dāng)文獻(xiàn)嶄：[1刊3