第2章 雙極集成電路器件工藝2.1 雙極型集成電路的制造工藝2.2 集成雙極晶體管的寄生效應2.1 雙極型集成電路的基本制造工藝第一塊平面工藝集成電路專利2.1.1

雙極硅工藝

早期的雙極性硅工藝：NPN三極管先進的雙極性硅工藝：NPN三極管N稠P值N骨管廳的宅版貍圖標與金剖朗面墨圖埋量層話區(qū)隔造離烘墻硼塵擴敬區(qū)磷互擴爆區(qū)引獲線銅孔金灶屬喇連麥線鈍朵化痰窗拘口GNDViVoVDDTR（笨1顯）辰典殊型尸P識N辭結(jié)尤隔嫁離抬工舉藝姿流諒程P-Sub襯無底音準攤備料（季P燙型劈燕）光鈔刻竭n老+郊埋僅層長區(qū)氧性化n須+疊埋譯層淚擴場散清矩潔敵表差面P-Sub（戒1宰）典板型辮P岡N蓬結(jié)態(tài)隔過離擇工欺藝鍋流叉程（抽續(xù)川1梳）生茫長器n遵-漂外帶延隔腦離教氧直化光居刻怪p嗓+沫隔死離兼區(qū)p銷+揚隔勿離藥擴裳散p餓+身隔勿離扭推欠進芹、詢氧套化N+N+N-N-（捉1害）典釣型券P耳N得結(jié)句隔扁離占工猾藝河流梳程（書續(xù)恩2名）光潔刻畝硼匹擴翻散坦區(qū)P-SubN+N+N-N-P+P+P+硼溜擴繼散氧庸化（坦1階）典潔型考P泰N老結(jié)葛隔緣瑞離媽工溫藝背流堵程（格續(xù)哈3剃）光底刻鄙磷塌擴作散若區(qū)磷誼擴福散氧哀化P-SubN+N+N-N-P+P+P+PP（傅1子）典姜型存P呆N餅結(jié)伍隔矩離奶工冶藝貝流洞程（攝續(xù)遙4狡）光她刻啞引摘線運孔清附潔曬表晌面P-SubN+N+N-N-P+P+P+PP（扁1很）典接型粗P績N牌結(jié)歌隔盾離史工律藝贏流蒼程（合續(xù)壯5精）蒸叉鍍狠金餃屬反么刻蜘金驚屬P-SubN+N+N-N-P+P+P+PP（凈1池）典蒜型效P倡N冰結(jié)影隔屈離俊工星藝帥流孝程（懲續(xù)苦6版）鈍賴化P-SubN+N+N-N-P+P+P+PP光黃刻本鈍熄化肺窗艦口后改工趙序（特2督）典描型東P辰N脂結(jié)泊隔骨離問工虎藝光辨刻揚掩蛋膜敢版音匯狹總埋岡層街區(qū)隔禁離什墻硼婦擴慨區(qū)磷投擴納區(qū)引謝線是孔金彩屬籠連幼線鈍悠化助窗輔口GNDViVoVDDTR（謎3塞）挨外缺延錦層脂電編極歐的測引訂出歐減姆姐接宅觸瞧電困極摧：金公屬唇與弊參兆雜萍濃湊度廣較巧低陣的稠外協(xié)延釀層蜜相滔接納觸車易威形遺成頌整賠流化接泡觸（滔金抱半作接騾觸弊勢色壘疼二木極胖管嶄）。翁因扛此昂，外姥延伸層夕電庫極詞引野出飽處巾應女增感加幅濃廚擴握散震。BP-SubSiO2光刻膠N+埋層N–-epiP+P+P+SiO2N–-epiPPN+N+N+鈍化層N+CECEBB（捧4姿）祥埋邀層抄的剝作鑒用1串.減霞小雄串痛聯(lián)掩電樂阻（豎集悉成襲電濾路流中患的報各胖個連電緞極請均耍從肅上你表鞭面浸引浙出布，泛外彈延況層壤電燒阻鉤率則較止大狡且港路為徑撒較坊長色。BP-SubSiO2光刻膠N+埋層N–-epiP+P+P+SiO2N–-epiPPN+N+N+鈍化層N+CECEBB2便.減淚小傅寄尺生充p澤n掛p魂晶異體鎖管兵的傾影妨響集陶成去電伯路休中鹽的批晶繩體惱管低及骨其憑寄督生攤效罵應集撕成N就P厲N晶千體徑管胖常蹤蝶用旅圖斤形防及妖特朋點（監(jiān)1詞）逼單介基承極鍵條嬌形結(jié)智構(gòu)銷簡府單勝、窮面順積戴小寄關(guān)生染電傻容朗小電積流劈燕容衡量還小基襖極代串家聯(lián)塞電尤阻帶大集攔電句極增串歪聯(lián)即電蘿阻蛾大P-SubN–-epiP+P+PN+N+CEB集角成N鮮P慘N晶盲體葵管嚇常閑用泄圖蹦形堆及見特蠅點（祥2炭）孕雙傲基鬧極撕條姜形與大單饅基嚷極崖條櫻形府相諷比立：基著極至串刻聯(lián)揪電鏟阻兵小電貿(mào)流泡容壤量樓大面轟積油大寄胳生敢電錢容它大N–-epiP+PN+N+CEBP-SubP+BN+集浮成N踩P斑N晶輕體葬管旱常伸用滲圖阻形等及滋特普點（墻3抄）吸雙房誠基稀極右雙絡(luò)集皆電稿極客形與愿雙復基甜極革條屋形取相兇比哨：集搬電漫極續(xù)串許聯(lián)騙電息阻挺小面帶積算大寄賴生屢電懇容蝦大N–-epiP+PN+N+CEBP-SubP+BN+N+C集膝成N合P裂N晶蛇體矩管鏈常貪用循圖挎形樣及委特捏點（逮4由）故雙占射盡極稠雙漏集僅電痕極烘形與疑雙嶺基菜極巾雙集雷電巷極形此相掠比蠅：集捕電嫌極妄串械聯(lián)夸電自阻肉小面把積山大寄踩生亞電蔥容扔大N–-epiP+PN+N+CP-SubP+N+N+CBN+EE集泡成N雞P刊N晶承體予管專常猛用惜圖革形涼及賀特日點（撞5禾）婚馬汁蹄攏形電努流芹容你量拍大集內(nèi)電削極軋串畜聯(lián)糟電頃阻幸小基撥極捐串叼聯(lián)購電探阻越小面描積剪大寄膊生猛電優(yōu)容獸大集敗成N逐P零N晶奔體滋管縮慧常絲式用閃圖鄙形網(wǎng)及右特渣點（商6馬）則梳繩狀思配考遭題1麻.提奶高β值吐的轎途籠徑燥有希哪仆些向？樹為唇什宇么槽發(fā)丙射盞區(qū)爐要擱做產(chǎn)N失+配擴嗓散份，搖集細電徑區(qū)襪要憐做孕N扭-潮摻腿雜爺？電鬼流泥分廟配悼與抬控仿制IE=IE位N+IE短P且曲有IE姑N>梢>IE煤PIE歲N=IC驕N+IB饑N且念有IE帝N>屬>IB陜N，IC據(jù)N>春>IB吵NIC=IC農(nóng)N+IC廈B槐O(jiān)IB=IE設(shè)P+IB鄭N－IC棋B捎OIE=IC+IBVBBVCC提遍高涌N辯P譜N頸管β值姥的笛途晉徑P-SubN–-epiP+P+PN+N+CEB①提榆高獻發(fā)晚射爹區(qū)燥濃捷度弱（家注憲意府：重摻質(zhì)雜蔑理驅(qū)論件）②降叼低描基太區(qū)浪濃墓度融（狠同控時呆采島用逃高喝阻鄉(xiāng)豐外瞧延姐）③減拴薄閣基眨區(qū)小寬脅度（崗加回深師發(fā)碎射吼結(jié)分深寄度岔或減巖小首集促電肌結(jié)勵的訊深饞度均）④選袖擇厭高遞壽以命藍材海料累,改粗善個表捏面抱態(tài)PN+N+PPN+N+雙機磷特擴挺散梳結(jié)撈構(gòu)N–-epiP+PN+N+CEBP-SubN–-epiP+P+PN+N+CEBN+N+普通NPN管超增益NPN管雙斗硼維擴約散郵結(jié)粗構(gòu)N–-epiP+PN+N+CEBP-SubN–-epiP+P+PN+N+CEB普通NPN管超增益NPN管P超蘿增抽益秀管茂的捎特淺點P-SubN–-epiP+P+PN+N+CEBPN+N+N+N+①采披用拿圓綢形魯發(fā)翼射輪區(qū)（自周柔界洗短售,森受微表童面控態(tài)槐影赤響刺小錦）②應善用咽時檢B霧C竊結(jié)章偏腐置邁限權(quán)制存在墾0烈V魯左稼右猴（遭減厚小爸基薪區(qū)枯寬赤度慚調(diào)泳制農(nóng)的銀影映響紗）雙術(shù)極線集星成悄電相路弦中占的慈基成本貼器蔥件芝是杏N疑P叮N禽管鈴，牽但飼在凈模尾擬贏電探路榨中設(shè)也賽往格往恐需箱要余P凈N贈P沉管卡，因踐為球集植成涼電險路乒的牙工挑藝飾主績要為是帶針棒對君大妄量均應改用停的蚊N咬P表N謊晶坑體獲管虹設(shè)月計踩的拌，礦因剖此婦在呆一伍般磨情蜂況艱下東，垮P講N券P封管左都揮是族在錦與居N忍P胞N涌管漫制別造意工撲藝劉兼擁容介的咸情纖況似下劍制奸造瞇的汁。在乘集勁成徐電管路步中巖?？冇缅X的大P漂N武P疏管惡主立要臂有垂兩會大愿類柄：營橫肚向事P慕N赴P策管固和膽襯地底美P蛛N哀P感管傍。制藏作劑工本藝衫與莊N鞠P頓N鞏管軟制敞作支工英藝倒完舍全栗兼抱容羽，暑在摸進忘行救N甘P旁N測管?；^(qū)丟擴煎散鑒的垮同棵時盆形映成隸了玻P灑N昨P買瞥羨的溝發(fā)最射示區(qū)款和仗集闊電純區(qū)耍。為惹了凍減痛小開寄盈生除P朱N借P防管港的拼影倡響俊，席可追以即從撫版灰圖隸和耗工姑藝這上碧采哲取遲措皮施周。異指質(zhì)血結(jié)茂雙旬極偏晶擋體艷管雨（勾H腎B牙T獎）A魔l棕G訓a炮A允s念/售G丟a猜A鵲s朗基異勵質(zhì)堡結(jié)雙蜻極霞性佳晶蠅體答管(舟a頃)呢(橡b布)圖常4漂.隙3襖G忠a引A厲s凳H預B營T厭的囑剖詳面蟻圖暮(扎a詳)栗和政能鞋帶嗓結(jié)腎構(gòu)等(辯b耽)○○○第秤3吸章笛M浩O攜S思集誰成怒電仁路費的別元斜件市形淡成希及隙其頃寄陳生團效芒應圖扮4導.憑7叮M崗O經(jīng)S驕工埋藝盟的傍分古類認梨識愈M華O腦S賄F障E但T線味寬壯(飄L切i愈n矮e皆w乎i減d駐t挎h孫)胞,貫特慎征味尺蕉寸讀(沖F帶e完a布t鑰u嗎r敬e才S筒i冰z矮e肚)透指甚什咳么閉？3參.紙1昨P誤M丸O搞S季工剝藝早繡期隙的鉗鋁刊柵悅工尾藝1杰9綠7乖0抱年斷前摔，容標蓋準宮的遼M脊O峽S義工懼藝厚是碰鋁罰柵腎P壘溝剝道袍。鋁訪柵P孩M碼O得S邀工墳藝鵝特蔥點康：l鋁跌柵察，含柵抓長集為鳳2借0

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