AUOProprietary&ConfidentialOnroneProprietary&ConfidentialOnroneProprietary&Confidential石英簡介精選ppt概述1石英玻璃的性能

2石英玻璃的應(yīng)用

3石英玻璃的加工流程

4精選ppt石英行業(yè)展望近年來，全球微電子產(chǎn)業(yè)增長迅猛,已成為最具活力的科技創(chuàng)新領(lǐng)域和推動世界經(jīng)濟(jì)增長的引擎。在微電子產(chǎn)業(yè)的生產(chǎn)過程中,需要大量高性能石英玻璃材料和制品。世界微電子制造業(yè)正從美國、歐洲、日本、臺灣等地區(qū)向中國大陸轉(zhuǎn)移，然而國內(nèi)微電子制造業(yè)所需要的高性能石英玻璃大多數(shù)依賴進(jìn)口，微電子制造業(yè)使用的高性能石英玻璃核心技術(shù)大都由國外公司掌握。這種局面嚴(yán)重制約我國相關(guān)產(chǎn)業(yè)的開展，影響我國微電子制造業(yè)全球市場競爭力。因此，生產(chǎn)石英玻璃制品有著廣闊的市場和前景。精選ppt石英玻璃簡介石英玻璃是由二氧化硅熔融而成的單一組分的玻璃態(tài)材料。它是用天然二氧化硅含量最高的水晶或經(jīng)特殊工藝提純的高純砂做原料，在2000℃高溫下熔制成的玻璃SiO2含量高達(dá)99.995％～99.998%。石英玻璃具有一系列優(yōu)良的物理化學(xué)性能：它有極良好的透光性能，在紫外、可見、紅外全波段都有極高的透過率(90％以上)；它的耐高溫性能很好，是透明的耐火材料，使用溫度高達(dá)1100℃，比普通玻璃高700℃。它是由水晶礦石通過“篩選→清洗→熱處理〞等工藝產(chǎn)生石英粉料.再通過電熔或氣熔的方法，生產(chǎn)出石英玻璃的管材.棒材和石英坨料.水晶

無色透明的晶體高純石英砂精選ppt石英玻璃制備方法電熔法石英原料在真空〔5×10－2mmHg〕或低壓惰性〔N2〕介質(zhì)中電熔。采用氫氧焰或其它碳?xì)浠铩惨胰病晨扇細(xì)怏w產(chǎn)生高熱來熔化物料。氣煉法由高頻電磁場的感應(yīng)耦合作用而產(chǎn)生等離子體燈炬，內(nèi)核溫度高達(dá)15000K，熔化物料。SiCl4蒸汽水解法將四氯化硅蒸汽由氫氣攜帶通入氫氧噴燈火焰中，生成二氧化硅及氯化氫，氯化氫氣體隨煙氣逸出，而二氧化硅那么沉積。凝膠法將多孔〔50～80?〕凝膠成形后在250℃下真空處理，排出H2O，通過熱處理排除有機(jī)物，1000℃下加熱消除氣孔，形成石英玻璃。高頻感應(yīng)等離子炬熔融法精選ppt石英玻璃與普通玻璃差異品種性能含硅量應(yīng)變溫度（℃）退火溫度（℃）軟化溫度（℃）線膨脹系數(shù)×10^(-7)(20-300℃)熱穩(wěn)定性(℃)比重材料分類石英玻璃99.95%1000113516505.58002.2特種玻璃GG-1780.48%520560820323002.23硬質(zhì)玻璃

(高硼硅酸鹽玻璃)九五玻璃78.4%480535750392302.28八一注射玻璃74.5%460550740501822.365號量器玻璃71%430460698981202.39軟質(zhì)玻璃(鈉鈣玻璃)高鋁玻璃62068091038200

特種玻璃精選ppt化學(xué)性能耐輻照性能電學(xué)性能熱學(xué)性能力學(xué)性能玻璃材料"皇冠"光學(xué)性能石英玻璃性能精選ppt石英玻璃性能純度a.透明石英玻璃：氣煉石英玻璃：SiO299.97％以上；SiCl4直接氣煉石英玻璃：SiO299.9999％以上；高純石英玻璃：SiO299.999％以上。b.不透明石英玻璃：SiO299.5％以上。2.電學(xué)性質(zhì)：石英玻璃是一種優(yōu)良的絕緣材料，在高溫下仍能保持很高的介電強(qiáng)度和電阻，而且?guī)缀鯖]有損耗，〔OH〕－和雜質(zhì)將使介電強(qiáng)度降低，tanδ增加。

電性能溫度（℃）透明石英玻璃不透明石英玻璃介電損耗tanδ200.00030.001介電強(qiáng)度2003225

石英玻璃的介電強(qiáng)度和介電損耗(50Hz)精選ppt石英玻璃熱力學(xué)性質(zhì)a.耐溫性：石英玻璃的耐高溫性能，遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過任何一種玻璃。T熔＝1713℃，T軟＝1580℃±10℃，T退火＝1140℃±10℃。短時間可在1450℃高溫下使用，?？稍?000℃以上、不透明那么在900℃使用。b.熱膨脹系數(shù)：石英玻璃的膨脹系數(shù)極小，α～5×10－7℃－1，為平板玻璃的1/14，其原因是石英玻璃的結(jié)構(gòu)類似于方石英相〔立方〕，沒有低溫變體的鋸齒形特征，同時Si－O鍵較強(qiáng)。溫度（℃）10020030040050060070080010001200α×10-7

5.105.586.276.356.126.005.715.625.565.42石英玻璃的膨脹系數(shù)精選ppt石英玻璃機(jī)械性質(zhì)

石英玻璃由單組元硅氧四面體組成網(wǎng)絡(luò)骨架，硅氧鍵鍵強(qiáng)很大，結(jié)構(gòu)緊密機(jī)械強(qiáng)度很高，為普通玻璃的2～3倍；網(wǎng)絡(luò)中沒有間隙離子填充，故密度小。原料純度〔雜質(zhì)〕、種類、產(chǎn)品氣泡、羥基〔OH-〕含量、熔化不均勻等影響強(qiáng)度。透明石英玻璃密度：D＝2.20～2.21g/cm3；不透明石英玻璃密度：D′＝2.02～2.18g/cm3；P抗張～60MPa；P抗彎～110MPa；P抗壓～640MPa；維氏硬度：700Kp/mm2；莫氏硬度：6級；泊松比：0.17精選ppt石英玻璃原材石英原材-石英玻璃管石英原材-石英砣料石英棒料石英焊絲石英原材-石英板精選ppt石英玻璃工藝分類品種牌號原料熔制工藝外觀特征金屬雜質(zhì)含量（PPM）OH含量(PPM)透明石英玻璃電熔D水晶真空電熔透明、少量氣泡或氣線＜500＜5氣煉Q高級水晶氫氧火焰熔融透明＜50～300合成H四氯化硅氫氧火焰熔融透明、無氣泡＜5～1200無水合成WH四氯化硅高頻等離子熔融透明、無氣泡＜5＜4涂層HQF高級水晶或四氯化硅火焰噴涂透明、無氣泡＜5～1200不透明石英玻璃B石英砂/硅石電熔乳白色、不透明——精選ppt電熔透明石英玻璃適用于電子、冶金、化工等工業(yè)；一般電熔透明石英玻璃，適用于電光源工業(yè)以及其他工業(yè)；適用于中壓、高壓鍋爐水位表或一般溫度場合；D3(DTS3)D2(DTS2)D1(DTS1)

D(DTS)－電熔透明石英玻璃以純潔的水晶為原料，采用真空加壓電熔工藝熔融而成。二氧化硅含量在99.95％以上，材質(zhì)透明，含少量氣泡，制成管材后變成氣線，常用于電光源工業(yè)以及半導(dǎo)體電子工業(yè)，精心制造的D型材料能到達(dá)光學(xué)材料的要求。精選ppt氣煉透明石英玻璃

Q(QTS)－氣煉透明石英玻璃以高級水晶為原料，采用氫氧火焰熔融方法制成。純度高，二氧化硅含量在99.99%－99.995%以上，透明無氣泡，可見光和紫外光的透過率高，耐高溫，抗析晶性能好。廣泛用于半導(dǎo)體電子工業(yè)，冶金工業(yè)，高純材料提純和科學(xué)實(shí)驗(yàn)室方面。

Q1(QTS1)－高純型

Q2(QTS2)－一般氣煉透明石英玻璃

Q3(QTG2)－一拉制硅單晶用

Q4(JGS2)－一光學(xué)材料

Q5－電熔法成型的氣煉透明石英玻璃

Q6－用于對溫度和純度要求不高的場合

TQ1－摻鈦氣煉透明石英玻璃精選ppt常見原材使用規(guī)格材料規(guī)格焊絲φ2、φ2.5、φ3、φ4、φ6、φ8石英棒φ8、φ10、φ12、φ14、φ16、φ20、φ25、φ30、φ33-φ34石英管φ4*2、φ12*1做吸筆用;φ8*1*8做填料尾氣管

φ9*1*2100,φ10*1*2200;φ17*2*2000（2400）,φ17*2.5*2500,φ20*3*2400,φ22*3*2400厚壁φ12*2*2400、φ11*2.8（5-5.5）,φ12*1.5*2400,φ10*2,φ9.5*1.5,φ6.35*1,φ14*1.5*2400φ14*2*2400,φ14*3*2500（噴淋管）,φ15*1.5*2400,φ15*2*2400,φ16*1.5*2400φ16*2*2400,φ16*2*1500,φ18*2*1500,φ20*2*1500,舟叉套桿有成品球頭φ25、φ28、φ32、φ35PECVD

φ30*2.3-2.5*1150連熔板155-165*5*1240,120*3*1240,180*5*1240,210*6*1240源瓶材料φ90*2.5-3*1240,φ115*3;φ120*3;φ130*3;φ140*3;φ150*3;φ156*3盤管φ156-1572.5圈配150*3間距10、中心距<30φ146-1473圈配140*3間距12、中心距<32做燈頭用φ60、φ70、φ80、φ90、φ30*2、φ36-φ38、φ40、φ15-16*2精選ppt1、石英玻璃在電光源行業(yè)中的應(yīng)用金屬鹵化物燈是管壁負(fù)荷大的燈種,泡殼溫度很高500～1100℃,有石英玻璃能耐此溫度.因石英玻璃管膨脹系數(shù)小,不會因燈管冷熱不均而爆炸氙燈長氙燈壁溫度500～750℃,只能用石英玻璃其他氣體放電燈節(jié)能燈、殺菌燈、汞燈、鈉燈、鏑燈電光源產(chǎn)品發(fā)光二極管、紅外線燈、紫光燈、復(fù)印機(jī)掃描儀光源、誘蚊集漁燈、紫外線殺菌燈石英玻璃的應(yīng)用精選ppt石英玻璃的應(yīng)用硅片生產(chǎn)流程:

擴(kuò)散氧化沉積、拉制退火處理清洗

石英玻璃擴(kuò)散管、石英舟、石英玻璃清洗槽\花籃等等石英玻璃擴(kuò)散管

半導(dǎo)體工業(yè)中極其重要、用量最大的石英玻璃制品

重要性:

純度

抗高溫變形性

幾何尺寸

外觀質(zhì)量

直接影響集成電路和器件質(zhì)量本錢生產(chǎn)效率半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用精選ppt石英玻璃的應(yīng)用源瓶，承載三氯氧磷〔POCl3〕液態(tài)源爐管，爐門等半導(dǎo)體石英舟多晶硅的復(fù)原爐罩和單晶硅片的外延鐘罩為高純度石英玻璃半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用-擴(kuò)散工藝示意圖精選ppt

石英玻璃法蘭

與石英玻璃擴(kuò)散管配套起連接作用的石英玻璃制品石英玻璃的應(yīng)用半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用精選ppt石英玻璃的應(yīng)用半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用

石英舟～硅片承載器石英爐管～支托并運(yùn)載石英舟進(jìn)入或退出擴(kuò)散爐石英舟石英爐管精選ppt石英玻璃花籃～硅片的酸洗和超聲波清洗的承載容器石英玻璃清洗槽〔缸〕～洗滌液的承載容器石英玻璃花籃

石英玻璃清洗槽（缸）

重要性:相對普通玻璃而言,石英玻璃有極高的化學(xué)穩(wěn)定性

石英玻璃的應(yīng)用半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用精選ppt顯示器件用石英玻璃:制作顯示器件關(guān)鍵材料～高精度玻璃掩膜版小尺寸、高分辨率的掩膜版主要材料～石英玻璃制作流程:

石英玻璃片精密加工鍍敷鉻膜光刻

70%

30%

石英玻璃的應(yīng)用半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用精選ppt航空航天行業(yè)中的應(yīng)用圖11-1康寧公司研制大型天文望遠(yuǎn)鏡坯料太空天文望遠(yuǎn)鏡

神六返回艙視窗雷達(dá)用超聲延遲玻璃

石英玻璃的應(yīng)用精選ppt其他行業(yè)的應(yīng)用光學(xué)鏡頭光纖生產(chǎn)輔材

激光技術(shù)領(lǐng)域化工冶金

石英玻璃的應(yīng)用精選ppt石英玻璃的加工流程一級水晶粉

坯管熔制

坯管檢驗(yàn)

二次成型成型檢驗(yàn)酸處理1、石英爐管加工工藝流程成品檢驗(yàn)清洗切割接出氣管規(guī)格+2≤外徑≤+5，-0.5≤厚度≤1，+50≤長度≤+100規(guī)格負(fù)公差≤外徑≤正公差負(fù)公差≤厚度≤正公差長度≥100外觀：氣泡φ≤0.56個/100cm2，色斑φ≤1.0，5個/100cm2，揪痕φ≤15，5個/1000cm2

生顆粒

不允許,透明顆粒φ≤0.5,25個/100cm2,內(nèi)壁波紋≤0.5

桔皮

不明顯白霧

不明顯外觀內(nèi)壁波紋≤0.3;色斑φ≤1.05個/100cm2;白霧

不允許精選ppt石英玻璃的加工流程水晶粉

坯管熔制

坯管檢驗(yàn)

儀器成型成型檢驗(yàn)清洗2、石英源瓶加工工藝流程規(guī)格負(fù)公差≤外徑≤正公差負(fù)公差≤厚度≤正公差，+20≤長度≤+50規(guī)格負(fù)公差≤外徑≤正公差；負(fù)公差≤厚度≤正公差；負(fù)公差≤高度≤正公差外觀：氣泡φ≤0.56個/100cm2，色斑φ≤1.0，5個/100cm2，揪痕φ≤15，5個/1000cm2

生顆粒

不允許,透明顆粒φ≤0.5,25個/100cm2,內(nèi)壁波紋≤0.5

桔皮

不明顯白霧

不明顯外觀：水跡≤10mm2≤2個/100cm2;色斑φ≤1.05個/100cm2;白霧不允許外表光滑、整潔；邊緣應(yīng)燒圓，不允許有裂紋和變形；附件不允許偏歪半成品檢驗(yàn)自檢切割附件安裝成品檢驗(yàn)拋光退火清洗半成品檢驗(yàn)精選ppt石英玻璃的加工流程水晶粉

坯管熔制

坯管檢驗(yàn)

二次成型成型檢驗(yàn)切割3、石英管加工工藝流程成品檢驗(yàn)清洗半成品檢驗(yàn)規(guī)格+2≤外徑≤+5，-0.5≤厚度≤1，+50≤長度≤+100規(guī)格負(fù)公差≤外徑≤正公差負(fù)公差≤厚度≤正公差長度≥100外觀：氣泡φ≤0.56個/100cm2，色斑φ≤1.0，5個/100cm2，揪痕φ≤15，5個/1000cm2

生顆粒

不允許,透明顆粒φ≤0.5,25個/100cm2,內(nèi)壁波紋≤0.5

桔皮

不明顯白霧

不明顯外觀內(nèi)壁波紋≤0.3;色斑φ≤1.05個/100cm2;白霧

不允許車床加工火焰拋光車床加工：規(guī)格負(fù)公差≤外徑≤正公差；倒角≤正公差。外觀粗糙度表面240目以上不允許有裂紋偏壁度≤厚度偏差的絕對值精選ppt石英玻璃的加工流程切割自檢開槽切割、倒角清洗清洗4、石英開槽舟加工工藝流程規(guī)格：負(fù)公差≤外徑≤正公差；負(fù)公差≤槽寬≤正公差；負(fù)公差≤槽深≤正公差負(fù)公差≤間距≤正公差；負(fù)公差≤角度≤正公差；負(fù)公差≤基準(zhǔn)≤正公差負(fù)公差≤槽區(qū)總長≤正公差；負(fù)公差≤槽棒總長≤正公差儀器成型規(guī)格：負(fù)公差≤寬度≤正公差；負(fù)公差≤間距≤正公差；負(fù)公差≤高度≤正公差外觀：水跡≤10mm2≤2個/100cm2;色斑φ≤1.05個/100cm2;白霧不允許外表光滑、整潔；邊緣應(yīng)燒圓，不允許有裂紋和變形；附件不允許偏歪半成品檢驗(yàn)自檢定位槽棒檢驗(yàn)成品檢驗(yàn)冷加工研磨清洗焊接退火半成品檢驗(yàn)拋光拋光退火精選ppt石英玻璃的加工流程切割自檢吹接彎焊接火焰拋光冷加工切割5、石英玻璃鉤加工工藝流程成品檢驗(yàn)半成品檢驗(yàn)清洗研磨火焰拋光儀器加工規(guī)格：負(fù)公差≤外徑≤正公差；負(fù)公差≤長度≤正公差；負(fù)公差≤高度≤正公差外觀：水跡≤10mm2≤2個/100cm2;色斑φ≤1.05個/100cm2;白霧不允許外表光滑、整潔；邊緣應(yīng)燒圓，不允許有裂紋和變形；附件不允許偏歪精選ppt石英玻璃的加工流程槽沉切片研磨倒角細(xì)磨板材檢驗(yàn)6、石英方缸加工工藝流程冷加工規(guī)格：負(fù)公差≤長度≤正公差；負(fù)公差≤寬度≤正公差；負(fù)公差≤厚度≤正公差倒角

按工藝要求粗磨

240目細(xì)磨

W28研磨熱加工規(guī)格：負(fù)公差≤長度≤正公差;負(fù)公差≤寬度≤正公差;負(fù)公差≤高度≤正公差外觀：水跡≤10mm2≤2個/100cm2;色斑φ≤1.05個/100cm2;白霧不允許外表光滑、整潔;邊緣應(yīng)燒圓，不允許有裂紋和變形;垂直度≤高度尺寸的1%附件不允許偏歪;同心度≤長度尺寸的1%半成品檢驗(yàn)自檢火焰拋光清洗成品檢驗(yàn)定位整體焊接清洗退火冷加工研磨半成品檢驗(yàn)火焰拋光附件安裝退火精選ppt石英玻璃的加工流程槽沉切片研磨滾圓按樣板鉆孔細(xì)磨7、石英爐門蓋加工工藝流程冷加工規(guī)格：負(fù)公差≤長度≤正公差；負(fù)公差≤寬度≤正公差；負(fù)公差≤厚度≤正公差負(fù)公差≤孔距≤正公差;同心度≤0.1;倒角

按工藝要求粗磨

240目細(xì)磨

W28研磨熱加工外觀：水跡≤10mm2≤2個/100cm2;色斑φ≤1.05個/100cm2;白霧不允許外表光滑、整潔;邊緣應(yīng)燒圓，不允許有裂紋和變形;垂直度≤高度尺寸的1%附件不允許偏歪;同心度≤長度尺寸的1%半成品檢驗(yàn)板材檢驗(yàn)清洗清洗成品檢驗(yàn)焊接退火附件安裝清洗半成品檢驗(yàn)火焰拋光板材自檢定位冷加工研磨退火火焰拋光精選ppt石英玻璃的加工流程槽沉切片研磨滾圓按樣板鉆孔細(xì)磨8、石英勻流板加工工藝流程

冷加工規(guī)格：負(fù)公差≤直徑≤正公差；負(fù)公差≤孔徑≤正公差；負(fù)公差≤厚度≤正公差負(fù)公差≤孔距≤正公差;同心度≤0.1;倒角

按工藝要求粗磨

240目細(xì)磨

W28研磨熱加工外觀：水跡≤10mm2≤2個/100cm2;色斑φ≤1.05個/100cm2;白霧不允許外表光滑、整潔;邊緣應(yīng)燒圓，不允許有裂紋和變形;垂直度≤高度尺寸的1%附件不允許偏歪;同心度≤長度尺寸的1%半成品檢驗(yàn)板材檢驗(yàn)清洗清洗成品檢驗(yàn)焊接退火附件安裝清洗半成品檢驗(yàn)火焰拋光板材自檢定位冷加工研磨退火火焰拋光精選ppt石英玻璃的加工流程槽沉切片研磨細(xì)磨倒角清洗9、石英平板加工工藝流程

成品檢驗(yàn)冷加工規(guī)格：負(fù)公差≤長度≤正公差；負(fù)公差≤寬度≤正公差；負(fù)公差≤厚度≤正公差倒角

按工藝要求粗磨

240目細(xì)磨

W28研磨；平行度≤0.2；平面度≤0.2；不允許崩邊、崩角精選ppt石英玻璃的加工流程石英棒、片切割研磨倒角細(xì)磨清洗自檢10、石英托架加工工藝流程冷加工規(guī)格：負(fù)公差≤長度≤正公差；負(fù)公差≤寬度≤正公差；負(fù)公差≤厚度≤正公差倒角

按工藝要求粗磨

240目細(xì)磨

W28研磨；平行度≤0.2；平面度≤0.2；不允許崩邊、崩角熱加工規(guī)格：負(fù)公差≤寬度≤正公差；負(fù)公差≤長度≤正公差；負(fù)公差≤高度≤正公差外觀：水跡≤10mm2≤2個/100cm2;色斑φ≤1.05個/100cm2;白霧不允許外表光滑、整潔；垂直度