中華人民共和國國家計量檢定規(guī)程斜塊式測微儀檢定器2002-04-15發(fā)布2002-07-01實施國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布1范圍 2引用文獻 3概述 4計量性能要求 4.1工作面的表面粗糙度 4.2上斜塊工作面的平面度 4.3刻度尺刻線面棱邊到讀數(shù)鼓輪外圓的距離 4.4杠桿測頭的測力 4.5示值誤差 4.6回程誤差 4.7示值變動性 5通用技術(shù)要求 5.1外觀 5.2各部分的相互作用 6計量器具控制 6.1檢定條件 6.2檢定項目和主要檢定器具 6.3檢定方法 6.4檢定結(jié)果的處理 6.5檢定周期 1斜塊式測微儀檢定器檢定規(guī)程本規(guī)程適用于斜塊式測微儀檢定器的首次檢定和后續(xù)檢定。2引用文獻JJF1001—1998通用計量術(shù)語及定義JB/GQ5019—1986微動測量臺架使用本規(guī)程時，應注意使用上述引用文件的現(xiàn)行有效版本。3概述斜塊式測微儀檢定器(以下簡稱檢定器)是一種通過螺旋副、斜塊和杠桿的作用原理，給出準確長度位移量的計量標準裝置，主要適用于相應準確度的電動測微儀、氣動測微儀和扭簧比較儀等量儀的檢定。圖1為斜塊螺旋副式檢定器；圖2為杠桿斜塊螺旋2圖2杠桿斜塊螺旋副式檢定器4.1工作面的表面粗糙度4.1.1上斜塊工作面的表面粗糙度R。值應不大于0.025μm4.1.2測砧的表面粗糙度R,值應不大于0.05μm。4.2上斜塊工作面的平面度上斜塊工作面的平面度應不超過0.3μm,不允許凹陷(距離邊緣1mm的范圍內(nèi)4.3刻度尺刻線面棱邊到讀數(shù)鼓輪外圓的距離刻度尺刻線面棱邊到讀數(shù)鼓輪外圓的距離應不大于0.4mm。4.4杠桿測頭的測力杠桿測頭的測力應為(0.7±0.1)N。4.5示值誤差示值誤差應不超過表1所列允許值?；爻陶`差應不超過表1的要求。示值變動性應不超過表1的要求。3表1計量性能要求結(jié)構(gòu)形式斜塊斜度杠桿比分度值測量范圍示值誤差回程誤差示值變動性允許值斜塊螺旋副式10~2000任意0～20000～4000～400杠桿斜塊螺旋副式0～200任意50～200·5通用技術(shù)要求5.1.1檢定器的各工作面上應無銹跡、碰傷、顯著劃痕及影響準確度的其它缺陷；在非工作面上應無脫漆和鍍層脫落現(xiàn)象。5.1.2刻度尺和讀數(shù)鼓輪的刻線應平直、清晰，不應有斷線、線結(jié)和長短粗細不一的5.1.3檢定器上應標有制造廠名(或廠標)、型號、出廠編號、制造許可證標志。5.1.4周期檢定中和修理后的檢定器，允許有不影響準確度的缺陷。5.2各部分的相互作用5.2.2刻度尺棱邊應平直，并與讀數(shù)鼓輪上的刻線平行。45.2.4支架在立柱上升降應靈活可靠，裝夾軸心線無明顯的傾斜，緊固螺釘作用應可靠。計量器具控制包括：首次檢定、后續(xù)檢定。6.1檢定條件檢定條件見表2。室溫/C室溫的變化量/(℃·h-1)斜塊螺旋副式杠桿斜塊螺旋副式檢定斜塊檢定器時，檢定器在檢定室內(nèi)平衡溫度的時間應不少24h;標準器具在檢定室內(nèi)平衡溫度的時間應不少于6h。6.2檢定項目和主要檢定器具檢定項目和主要檢定器具列于表3。6.3檢定方法目力觀察。6.3.2各部分的相互作用6.3.3,工作面的表面粗糙度用表面粗糙度比較樣塊比較檢定。6.3.4上斜塊工作面的平面度用D60mm的2級平面平晶以技術(shù)光波干涉法檢定。6.3.5刻度尺刻線面棱邊到讀數(shù)鼓輪外圓的距離用2級塞尺在全測量范圍內(nèi)的任意位置上比較檢定。6.3.6杠桿測頭的測力用分度值不大于0.05N的測力計，沿杠桿測頭軸線方向檢定。6.3.7示值誤差6.3.7.1檢定斜塊式測微儀檢定器示值誤差的受檢點數(shù)及所用量塊的尺寸見表4。各受檢點應均勻分布。5表3檢定項目和主要檢定器具序號檢定項日主要檢定器具檢定類型首次周期修理后1+++2各部分的相互作用+十+3工作面的表面粗糙度表面粗糙度比較樣塊十+4上斜塊工作面的平面度D60mm2級平晶十++5刻度尺刻線面棱邊到讀數(shù)鼓輪外圓的距離2級塞尺+-+6杠桿測頭的測力分度值不大于0.05N的測力計+一7示值誤差十十+8回程誤差+++9示值變動性+++注：表中“+”表示檢定；“-”表示可不檢定。6.3.7.2檢定器的示值誤差，以單行程各受檢點中最大與最小誤差的差值確定，取最6.3.7.3分度值為1μm的斜塊螺旋副式檢定器，用分辨力為0.1μm,0.01μm的電感測微儀和3等量塊、2等量塊檢定。檢定前，將電感測微儀傳感器裝夾在支架裝夾孔中，調(diào)整支架使傳感器測頭對準工采用分段法檢定檢定器全范圍的示值誤差時，使受檢檢定器對準零位后，把1mm量塊放在電感測微儀測頭下面，調(diào)整電感測微儀示值為零，然后轉(zhuǎn)動檢定器微分筒使讀數(shù)鼓輪至受檢點，并按0.2mm間隔置換量塊，在電感測微儀上讀數(shù)。逐點檢定完第一6受檢段后，以第一受檢段正行程的終點作為起始點，檢定反行程。檢定過程中，不應改變微分筒的旋轉(zhuǎn)方向，也不應對儀器作任何調(diào)整。再以第一受檢段正行程的終點，作頭第二受檢段的起始點，重復上述檢定方法，檢定完第二受檢段的各受檢點。第二受檢段各受檢點上讀取的數(shù)經(jīng)修正后加上第一受檢段終點的誤差，即得到第二受檢段各受檢點表4檢定示值誤差受檢點數(shù)及所用量塊尺寸分度值/μm1量塊等別3等2等2等m受檢段μ/全范圍任任意讀數(shù)鼓輪全范圍讀數(shù)鼓輪全范圍任意讀數(shù)鼓輪全范圍任意5檢定方法直接法直接法配對法直接法配對法直接法5對受檢點數(shù)/個858285285量塊標稱長度1.001.011.021.031.041.05檢定器全范圍的示值誤差檢定示例見表5;讀數(shù)鼓輪的示值誤差檢定示例見表6。7表5全范圍示值誤差檢定示例受檢點/μm0量塊偏差/μn00000檢定分段/mm檢定結(jié)果/μmmm正行程0-0.1實際誤差0-0.2反行程0實際誤差00回程誤差000mm正行程0實際誤差00累積誤差+0.05反行程0實際誤差00累積誤差+0.05回程誤差00000(0～2)mm范圍內(nèi)正行程最大誤差=1.2-(-0.2)=1.4μm反行程最大誤差=1.2-0=1.2μm儀器示值誤差δ=1.4μm任意1mm范圍內(nèi)正行程最大誤差=0.7-0=0.7μm反行程最大誤差=0.7-0=0.7μm儀器示值誤差δ=0.7μm回程誤差=0.2μm8受檢點/μm0量塊偏差/μm00000檢定結(jié)果正行程0誤差0正行程0000誤差000回程誤差000反行程示值誤差=0.1-(-0.1)=0.2μm用0.991mm量塊對零，以0.993mm量塊檢定，得讀數(shù)△r?=+0.10μm;用0.993mm量塊對零，以0.995mm量塊檢定，得讀數(shù)△r?=0;用0.995mm量塊對零，以0.997mm量塊檢定，得讀數(shù)△r?=+0.15μm;用0.997mm量塊對零，以JJG525—20029=0.06μm(2)全范圍內(nèi)的示值誤差檢定，以尺寸間隔相差0.05mm的3等量塊逐點進行檢將分辨力為0.01μm的電感測微儀的傳感器裝夾在與杠桿比相對應的支架孔中分度值為0.1μm檢定器的全范圍內(nèi)示值誤差的檢定用3等量塊采用直接法；讀數(shù)鼓輪的示值誤差采用配對法，用2等量塊6塊配5對進行檢定。方法同6.3.7.4。分度值為0.02μm的檢定器示值誤差的檢定用3等量塊采用直接法。分度值為0.02μm檢定器的杠桿比為1:10,測量范圍為(0～40)μm,受檢點的間隔為5μm。轉(zhuǎn)動微分筒使讀數(shù)鼓輪對準零位，將1mm量塊置于杠桿測頭下面，調(diào)整電感測微儀指示值為零，正行程轉(zhuǎn)動微分筒至5μm受檢點，置1.05mm量塊檢定受檢點，逐點檢定完正行程，按量塊實際偏差的1/10修正受檢點的讀數(shù)，得到各受檢點受檢點/μm05量塊/mm1量塊偏差/μm00000000檢定范圍檢定結(jié)果/μm正行程0000000實際誤差000000受檢點/μm05量塊/mm1量塊偏差/μm00000000檢定范圍檢定結(jié)果/μm反行程0000000實際誤差000000回程誤差0000000(0-40)μm范圍內(nèi)正行程示值誤差=0.05-(-0.01)=0.06μn正行程示值誤差=0.02-(-0.02)=0.04μm任意10μm范圍內(nèi)正行程示值誤差=0.05-0=0.05μm反行程示值誤差=0.02-(-0.02)=0.04μm示值誤差δ=0.05μm回程誤差=0.03μm在示值誤差的檢定數(shù)據(jù)中，取各受檢點在正、反行程上的讀數(shù)差值的最大值作為回按上述方法所得回程誤差超過表1要求時，應使用分辨力0.01μm的電感測微儀對該點重新檢定。正向轉(zhuǎn)動微分簡，