半導體器件 微電子機械器件 第12部分：采用MEMS結(jié)構(gòu)諧振法的薄膜材料撓曲疲勞試驗方法 編制說明_第1頁
半導體器件 微電子機械器件 第12部分：采用MEMS結(jié)構(gòu)諧振法的薄膜材料撓曲疲勞試驗方法 編制說明_第2頁
半導體器件 微電子機械器件 第12部分：采用MEMS結(jié)構(gòu)諧振法的薄膜材料撓曲疲勞試驗方法 編制說明_第3頁
半導體器件 微電子機械器件 第12部分：采用MEMS結(jié)構(gòu)諧振法的薄膜材料撓曲疲勞試驗方法 編制說明_第4頁
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《半導體器件微電子機械器件第12部分：采用MEMS結(jié)構(gòu)諧振法的薄膜材料撓曲疲勞試驗方法》（征求意見稿）編制說明州大立微電子有限公司牽頭負責國家標準《半導體器件微電子機械器件第12部分：采用MEMS結(jié)構(gòu)諧振法的薄膜材料撓曲疲勞試驗方法》的制定，計劃編號國家標準制定計劃下達后，杭州大立微電子有限公司成立了標準編制工作包括轉(zhuǎn)化的其他IEC標準等。標準編制工作組也對行業(yè)內(nèi)有代表性的MEMS器件產(chǎn)標準編制工作組依照等同采用國際標準的標準編制要求，對國際標準IEC材料微結(jié)構(gòu)檢測方法等。當前在國家標準和行業(yè)標準層面均尚未制定和發(fā)布過交變載荷作用時，易產(chǎn)生疲勞失效。薄膜的疲勞性能是設(shè)計耐用、可靠的MEMS器件的重要數(shù)據(jù)，而撓曲疲勞試驗是評估材料疲三、試驗驗證的分析、綜述報告，技術(shù)經(jīng)濟論證，預期的經(jīng)濟效益、社會本標準采用翻譯法，等同采用IEC62047-12：2011《半導體器件微電子機械器件第12部分：采用MEMS結(jié)構(gòu)諧振法的薄膜材料撓曲疲勞試驗方法》，除編五、以國際標準為基礎(chǔ)的起草情況，以及是否合規(guī)引用或者采用國際國外本標準采用翻譯法，等同采用IEC62047-12：2011《半導體器件微電子機械器件第12部分：采用MEMS結(jié)構(gòu)諧振法的薄膜材料撓曲疲勞試驗方本標準是該系列標準中的第6部分，在標準內(nèi)容上，與其他相關(guān)標準無矛盾九、

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