多晶硅片質(zhì)量檢驗規(guī)范

文件編號：IC-IG-102

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式實施

目錄

--適用范圍

二.引用標準

三.檢驗項目

四.檢驗工具

五.實施細則

六.相關記錄

附表1:硅片檢驗項目及判定標準

附件1:二級硅片分類及標識方法

附件2：125x125mm劃片技術(shù)要求及標識方法

附件3:硅片“亮線”的判定標準

1.適用范圍

本細則規(guī)定了多晶硅片的電性能、外觀尺寸的檢驗項目、測量器具、檢測方

法、操作步驟、判定依據(jù)，適用于正常生產(chǎn)的多晶硅片的質(zhì)量檢驗。

2.引用標準

?Q/BYL02太陽能級多晶硅片》

《太陽能級多晶硅片內(nèi)控標準》

3.檢驗項目

電性能、外形尺寸、外觀

4.檢測工具

硅片自動分選機、游標卡尺(0.02mm)、測厚儀、萬能角度尺。

5.實施細則

5.1表面質(zhì)量

目測外觀符合附表1相關要求。對整包硅片重點查看B4,B7、TTV、缺口、

碎片、油污等情況；整包里的B4片在迎光側(cè)表現(xiàn)為“亮點”背光側(cè)較暗；

B7、TTV片手感表現(xiàn)較重的，利用分選機重新分選；油污一般為斑點形式，

擦拭不掉，無論面積大小均需重新清洗。

5.2外型尺寸

通過硅片自動分選機分選判定，符合附表1相關要求。

5.3電性能

依據(jù)硅錠/硅塊測試數(shù)據(jù)判定，必要時用相關測試儀器核實。

5.3抽檢方法

(1)對硅片車間自檢合格的包裝硅片或直傳片，采取一次抽檢(抽檢比例8%),

不合格比例不高于0.5%。每次抽檢不合格率大于0.5%時，通知清洗班長

重新分選，對重新分選片抽檢合格后可入庫。

(2)抽取8%硅片進行檢測，其結(jié)果作為該批硅片合格的判定依據(jù)。

注：針對分選機現(xiàn)狀，分選機分選A等硅片由清洗工序包裝時進行簡易分選；

B3、B5、B9硅片人工分選，B7、B8硅片分選時加大抽檢力度，避免不合格

硅片混入。

1、相關記錄

附表1:硅片檢驗項目及判定標準

檢驗標準

檢驗項目■一^級品5k品

電性能指標

電阻率0.7~2Q?cm2~4O?cm

少子壽命>2|llS1~2口s

外形尺寸及外觀

幾何形狀正方形

厚度及公差210Rni±30.m

200.m±25.m

(160-180Mm)±20|im

TTV210口用450口111210|Lini<50|am

200口40口m200Mm<40pm

(160-180|nni)<35nm35Hm<(160-180口m)

<45pm

尺寸及公差156mm±0.5mm或156mm±0.8mm或

125mm±0.5mm125mm±0.8mm

角度及公差90°±0.3°

倒角45°±10°

倒角長度1.5mm±0.5mm1.5mm±1mm

崩邊（長度*延伸深度）崩邊尺寸＜1mm*1mm,崩邊尺寸＞1mm*1mm,

個數(shù)不限個數(shù)不限

缺口<0.lmm*0.1mm,個數(shù)不限

鋸痕420口m<40|nm

小晶粒無面積小于30*30mm2

翹曲度<100nm

亮線詳見《亮線判定標準》

彎曲度<100m

表面質(zhì)量表面平整，無裂紋、孑㈠同、表面平整，無裂紋、孔洞、

缺口等；清洗干燥后，表缺口等；清洗干燥后，表

面潔凈、無斑點、沾污、面允許有輕微的水印、斑

手印等；點、沾污等，且《總面積

的5%

注：在線抽取8%多晶硅片進行檢測，其結(jié)果作為批量多晶硅片合格的判定依據(jù)。

附件1:二級硅片分類及標識方法

按優(yōu)先級B1至B9無重復排序標示如下：

B1幾何尺寸偏差，其它檢驗參數(shù)符合一級品標準。

注：具體情況在標簽上注明（尺寸、倒角）。

B2晶粒小，其它檢驗參數(shù)符合一級品標準。

B3少子壽命1~2口s,其它檢驗參數(shù)符合一級品標準。

B4小崩邊，其它檢驗參數(shù)符合一級品標準。

B5電阻率2~4Q?cm,其它檢驗參數(shù)符合一級品標準。

B6156mm*156mm硅片劃片后的125mm*125mm硅片

B7鋸痕20~401nm或亮線二級（參考《亮線判定標準》。），其它檢驗參數(shù)符合一

級品標準。

B835um<ttv<45um,其它檢驗參數(shù)符^—級品標準。

B9表面沾污

如果存在兩種以上的二級缺陷，以級別較高的等級作為歸類依據(jù)，優(yōu)先級別排列

如下：

第一級第二級第三級第四級第五級第六級第七級第八級第九級

B1B2B5B3B8B7B4B9B6

附件2:125x125mm劃片技術(shù)要求及標識方法

1、156*156硅片劃為125*125硅片，少子壽命》2口s,電阻率為0.7-2Q.cm,

鋸痕小于20口m,其它檢驗參數(shù)也符合一級品標準。

2、標識：Ingot（錠號）標H,等級標B6。

3、表面沾污的臟面硅片，一定要重新清洗，否則按不合格片處置。

4、劃片后，外形尺寸超過125±0.5mm，倒角尺寸超過1.5±0.5mm,角度超過45

±10°判不合格。

附件3:硅片“亮線”的判定標準

一、亮線處，測試深度小于10m的硅片

1、單面亮線：

亮線面積大于硅片面積的1/2,為B7

亮線面積小于硅片面積的1/2,為A等

2、雙面亮線：

亮線面積大于硅片面積的1/4,為B7

亮線面積小于硅片面積的1/4,為A等

二、亮線處，測試深度10~20m的硅片

1、單面亮線：

亮線面積大于硅片面積的1/4,為B7

亮線面積小于硅片面積的1/4,為A等

2、雙面亮線:

亮線面積大于硅片面積的1/2,為不合格

亮線面積小于硅片面積的1/2,為B7

注：檢測亮線深度使用自動分選設備。

制絨工序檢驗規(guī)范

1.適用范圍

本規(guī)范適用于電池車間制絨工序的過程檢驗。

2.引用標準

《多晶硅電池內(nèi)控標準》

《太陽能級多晶硅片內(nèi)控標準》

《制絨工藝操作規(guī)程》

3.檢驗項目

硅片外觀質(zhì)量、傳送帶速、腐蝕酸槽溫度、腐蝕深度

4.檢驗工具

電子秤（千分之一）、卡尺、測厚儀

5.檢驗標準

5.1硅片的外觀質(zhì)量、幾何尺寸（參考項目）的檢驗，參照《太陽能級多晶硅片內(nèi)控標準》。

5.2為保證腐蝕質(zhì)量，要求傳送帶速控制在0.8-1.2m/min；酸槽腐蝕溫度控制在35度以下。

5.3156*156mm硅片經(jīng)過制絨后，平均腐蝕深度目標值為4.6um—4.8um,腐蝕量超出目標

值必須進行工藝調(diào)整，合格品范圍單片值為3.5um-5.4口m,超出此范圍應停產(chǎn)調(diào)試。否

則為不合格并通知車間技術(shù)員進行相關處理。

6.檢驗方法及判定規(guī)則

6.1目測硅片外觀質(zhì)量，包括崩邊、缺角、裂紋、表面質(zhì)量等；利用卡尺、測厚儀對硅片的

幾何尺寸進行檢測。生產(chǎn)前隨機抽取5包原硅片進行外觀質(zhì)量檢查，并每包取2片進行幾何

尺寸的檢查，符合《太陽能級多晶硅片內(nèi)控標準》的判合格，否則判不合格；合格硅片可正

常生產(chǎn)，不合格品需通知當班負責人進行復查，復查合格可正常生產(chǎn)，但需進行重點跟蹤；

復查仍不合格，需通知硅片車間進行退換或協(xié)商后處理。

6.2腐蝕深度檢測：先利用電子秤稱量3片（5道設備）/4片（8道設備）腐蝕前硅片的質(zhì)

量，將此質(zhì)量按順序填寫在工序腐蝕深度記錄表中，同時記錄好工藝條件（如腐蝕溫度、傳

輸速度等參數(shù)），并按照第1、3……5,7（第二次2、4、6、8）道的順序裝片投入腐蝕槽運

行工藝。制絨后按照放置順序取出此稱重硅片，再稱量腐蝕后硅片的重量，填入表格，利用

電子表格的公式直接求出腐蝕深度等值。

硅片的單面腐蝕深度平均值為4.6-4.8微米，每次稱量允許有一片的腐蝕深度不在該范

圍內(nèi)，如果有大于1片超出此范圍應當復測一次，如果仍有大于1片超出范圍，應當立即通

知當班工藝人員進行調(diào)整,記錄更改參數(shù)并增加對腐蝕深度的檢測,卷半小時進行一次測量,

直至測量結(jié)果符合標準要求后恢復正常稱重頻率。

6.3本規(guī)范規(guī)定的的各項工藝參數(shù)由技術(shù)部、車間協(xié)商確定，適用車間正常生產(chǎn)。如需進行

范圍外調(diào)整或小規(guī)模車間工藝試驗，需由技術(shù)部或車間技術(shù)人員認可并附相關技術(shù)試驗單，

同時檢驗時以相應試驗單作為檢驗依據(jù)，無技術(shù)試驗單的范圍外調(diào)整一律視為違反工藝操

作。質(zhì)量管理部有權(quán)對違反工藝的操作進行處罰。

7.注意事項

7.1檢查硅片或稱重時要及時更換手套，在操作過程中保持硅片表面清潔，避免引起粘污。

7.2因工藝不斷優(yōu)化，在實驗或?qū)嶒炐陨a(chǎn)過程中參數(shù)調(diào)整或要求會超出此標準要求，為有

效起到工藝監(jiān)督作用，范圍外工藝試驗或調(diào)整必須得到相關技術(shù)部門認可，并有書面技術(shù)要

求或范圍作為新的依據(jù)。

擴散工序檢驗規(guī)范

1.適用范圍

本規(guī)范適用于電池車間擴散工序的過程檢驗。

2.引用標準

《擴散工藝操作規(guī)程》

《四探針測試儀使用說明書》

《少子壽命測試儀使用說明書》

《多晶硅電池內(nèi)控標準》

3.檢驗項目

3.1檢測項目：方塊電阻

3.2工藝監(jiān)督：少子壽命

4.檢驗工具

四探針測試儀、少子壽命測試儀

5.檢驗標準

5.1硅片經(jīng)Tempress擴散爐擴后方塊電阻范圍為：單點50-66Q/sq,工藝控制目標為平均

值58±3Q/sq；Centrotherm擴散爐擴后方塊電阻范圍為：50-66Q/sq,工藝控制目標為平

均值58+3Q/sq。

在全部90個（45個）點中允許有不多于4個（2個）點超出范圍（＞66Q/sq或V50Q/sq）,

如果有多于4個（2個）點超出此范圍為不合格，應當立即通知當班技術(shù)員進行處理。

允許直接下傳方塊電阻范圍為45-70Q/sq,超出此范圍電池片需再利用，不允許直接

下傳。

5.2對擴散后硅片的少子壽命進行監(jiān)測，并做相應記錄，不作判定。

6.檢驗方法及判定規(guī)則

6.1每班每種設備檢測兩次擴散后少子壽命，每次5片一；對方塊電阻可抽檢，每班每管至少

檢測一次，方法如下：

6.1.1取片方法

待硅片冷卻后方可進行抽取測量，從source區(qū)到load區(qū)順序均勻取出。使用四探針測試儀

對硅片的源面進行方塊電阻測量，把數(shù)據(jù)按爐管進行匯總填入Excel表格。

6.1.2方塊電阻和少子壽命具體測試方法參照《四探針測試儀使用說明書》和《少子壽命測

試儀使用說明書》，并詳細記錄相關數(shù)據(jù)。

6.1.3方塊電阻的測量值應符合5.1要求，如出現(xiàn)不符合情況，測試人員應立即通知車間工

藝人員進行工藝調(diào)整，并將不符合內(nèi)容進行記錄。對方塊電阻進行跟蹤檢測，直到符合5.1

要求。

6.2本規(guī)范規(guī)定的的各項工藝參數(shù)由技術(shù)部、車間協(xié)商確定，適用車間正常生產(chǎn)。如需進行

范圍外調(diào)整或小規(guī)模車間工藝試驗，需由技術(shù)部或車間技術(shù)人員認可并附相關技術(shù)試驗單，

同時檢驗時以相應試驗單作為檢驗依據(jù)，無技術(shù)試驗單的范圍外調(diào)整律視為違反工藝操

作。質(zhì)量管理部有權(quán)對違反工藝的操作進行處罰。

7.注意事項

7.1測試時必須首先帶好潔凈的檢查手套，測試過程中要保證暗室不透光線，硅片冷卻后方

可測量。

7.2因工藝不斷優(yōu)化，在實驗或?qū)嶒炐陨a(chǎn)過程中參數(shù)調(diào)整或要求會超出此標準要求，為有

效起到工藝監(jiān)督作用，范圍外工藝試驗或調(diào)整必須得到相關技術(shù)部門認可，并有書面技術(shù)要

求或范圍作為新的依據(jù)。

濕法刻蝕工序檢驗規(guī)范

1.適用范圍

本規(guī)范適用于電池車間濕法刻蝕工序的過程檢驗。

2.引用標準

《多晶硅電池內(nèi)控標準》

《濕法刻蝕工藝操作規(guī)程》

3.檢驗項目

擴散后硅片外觀質(zhì)量、刻蝕槽溫度、腐蝕深度、腐蝕邊緣寬度

4.檢驗工具

電子稱（千分之一）、鋼板尺

5.檢驗標準

5.1擴散后硅片的外觀質(zhì)量、幾何尺寸（參考項目）的檢驗，參照《多晶硅電池內(nèi)控標準》

5.2156*156mm硅片經(jīng)過濕法刻蝕后，腐蝕深度要控制在L0-1.4um,超出此范圍要通知當

班技術(shù)員進行調(diào)節(jié)；每組測試的片間腐蝕深度小于0.9um、大于1.8Um為不合格并通知

車間技術(shù)員進行相關處理

5.3腐蝕后刻蝕邊寬度小于1mm

6.檢驗方法及判定規(guī)則

6.1為保證腐蝕質(zhì)量，傳送速度應控制在1.0-1.4m/min,刻蝕槽溫度應控制在10度以下，堿

槽控制在25度以下。

6.2每臺設備每兩時檢測一次硅片的腐蝕深度，具體檢測方法如下：

先利用電子秤稱量3片（5道設備）/4片（8道設備）腐蝕前硅片的質(zhì)量，將此質(zhì)量

按順序填寫在工序腐蝕深度記錄表中，同時記錄工藝條件（如腐蝕溫度、傳輸速度等參數(shù)）,

并按照第1、2……5、6、7、8道的順序裝片投入腐蝕槽運行工藝。制絨后按照第1、2……

5、6、7、8道的順序取出此稱重硅片，再稱量腐蝕后硅片的重量，填入表格，利用電子表

格的公式直接求出腐蝕深度等值。

硅片的單面腐蝕深度為1T.4微米，每次測試允許有一片的腐蝕深度不在該范圍內(nèi)，如果有

多于一片超出此范圍應當復測一次，如果仍有大于一片超出范圍，應當立即通知工藝技術(shù)員

進行調(diào)整。記錄更改參數(shù)并增加對腐蝕深度的檢測，每半小時進行一次測量，直至測量結(jié)果

符合標準要求后恢復正常稱重頻率。

6.3隨時對刻蝕后邊緣寬度進行觀察，目測刻蝕邊緣寬度是否符合5.3標準要求，必要時對

刻蝕邊寬度使用鋼板尺進行測量，發(fā)現(xiàn)不合格時立即通知車間技術(shù)人員進行調(diào)整。

6.4本規(guī)范規(guī)定的的各項工藝參數(shù)由技術(shù)部、車間協(xié)商確定，適用車間正常生產(chǎn)。如需進行

范圍外調(diào)整或小規(guī)模車間工藝試驗，需山技術(shù)部或車間技術(shù)人員認可并附相關技術(shù)試驗單，

同時檢驗時以相應試驗單作為檢驗依據(jù)，無技術(shù)試驗單的范圍外調(diào)整一律視為違反工藝操

作。質(zhì)量管理部有權(quán)對違反工藝的操作進行處罰。

7.注意事項

7.1檢查硅片或稱重時要及時更換手套，在操作過程中保持硅片表面清潔，避免引起粘污。

7.2因工藝不斷優(yōu)化，在實驗或?qū)嶒炐陨a(chǎn)過程中參數(shù)調(diào)整或要求會超出此標準要求，為有

效起到工藝監(jiān)督作用，范圍外工藝試驗或調(diào)整必須得到相關技術(shù)部門認可，并有書面技術(shù)要

求或范圍作為新的依據(jù)。

PECVD工序檢驗規(guī)范

1.適用范圍

本規(guī)范適用于電池車間PECVD工序的過程檢驗。

2.引用標準

《PECVI）工藝操作規(guī)程》

《橢偏儀使用說明書》

《多晶硅電池內(nèi)控標準》

3.檢驗項目

檢測項目：減反射膜厚度、折射率

監(jiān)督項目：維護周期

4.檢驗工具

橢偏儀

5.檢驗標準

絨面硅片經(jīng)PECVD鍍膜后減反射膜厚度目標平均值為88±2nm,表面折射率平均目標值應為

2.08+0.03o超出范圍應當立即通知當班技術(shù)員進行處理。減反射膜厚度單點超出82-92nm

或折射率單點超出2.0-2.13為不合格。

6.檢驗方法及判定規(guī)則

6.1每班每臺設備檢測兩次減反射膜厚度以及表面折射率，具體檢測方法如下：

橫向取每舟中間5片鍍膜后硅片，測量時使用橢偏儀對硅片按下表位置順序進行5點法

測量，1、2、3、4測量點距邊2cm。具體操作方法參照《橢偏儀使用說明書》。詳細記錄相

關數(shù)據(jù)。

減反射膜厚度以及表面折射率的測量值符合檢驗標準要求為合格，否則為不合格。出現(xiàn)

不合格情況后，測試人員應立即通知車間工藝人員進行工藝調(diào)整,并將不符合內(nèi)容進行記錄。

同時進行跟蹤檢測，直到測量值符合標準要求。

6.2設備維護周期要求為120小時，最長不超過140小時。

6.3本規(guī)范規(guī)定的的各項工藝參數(shù)山技術(shù)部、車間協(xié)商確定，適用車間正常生產(chǎn)。如需進行

范圍外調(diào)整或小規(guī)模車間工藝試驗，需山技術(shù)部或車間技術(shù)人員認可并附相關技術(shù)試驗單，

同時檢驗時以相應試驗單作為檢驗依據(jù)，無技術(shù)試驗單的范圍外調(diào)整一律視為違反工藝操

作。質(zhì)量管理部有權(quán)對違反工藝的操作進行處罰。

7.注意事項

7.1測試時必須首先帶好潔凈的檢查手套，不可用手直接接觸減反射膜，避免沾污。

7.2維護時間目標值為120小時，車間制定維護計劃時需按照120小時執(zhí)行，特殊情況下可

延長維護時間，但最長不超過140小時。

7.3因工藝不斷優(yōu)化，在實驗或?qū)嶒炐陨a(chǎn)過程中參數(shù)調(diào)整或要求會超出此標準要求，為有

效起到工藝監(jiān)督作用，范圍外工藝試驗或調(diào)整必須得到相關技術(shù)部門認可，并有書面技術(shù)要

求或范圍作為新的依據(jù)。

印刷測試工序檢驗規(guī)范

1.適用范圍

本規(guī)范適用于電池車間印刷和測試工序的過程檢驗。

2.引用標準

《印刷測試工藝操作規(guī)程》

《太陽電池測試儀使用說明書》

《多晶硅電池內(nèi)控標準》

3.檢驗項目

3.1檢測項目：背面鋁漿重量、正面銀漿重量

3.2工藝監(jiān)督：測試環(huán)境溫度、測試儀校準、測試設備一致性、探針更換周期

4.檢驗工具

電子秤（千分之一）、太陽電池測試儀

5.檢驗標準

5.1156*156mm的電池片單片背面鋁漿的重量為：L3-1.5g

5.2156*156mm的電池片Ag漿的單片印刷重量：杜邦PV系列目標范圍0.21—0.23g,印刷

重量在0.20—0.25g之間視為合格半成品；Heraeus系列：目標范圍0.25—0.27g,印刷重

量在0.23-0.3g之間視為合格半成品；其它新型漿料以技術(shù)部相關通知為準

5.3標準片校準時允許的平均偏差范圍：Voc:±0.003V,Isc:±0.02A

5.4標準更改前后測試偏差、電池復測效率范圍、設備間一致性允許的偏差范圍：

Eff:±0.2%；目標值Eff:±0.1%

5.5探針更換周期：小于30萬片電池

5.6測試環(huán)境溫度要求25±3℃

6.檢驗方法及判定規(guī)則

6.1銀漿、鋁漿重量每臺設備每一小時稱量一次，每次稱1片。具體操作方法為：首先從生

產(chǎn)線上取下一片未印相應漿料的硅片，放在電子秤上對其進行稱量，取下該硅片后，對電子

稱進行去皮清零。然后將秤重后的硅片放入運行中的傳送帶I.,印完后將該硅片取下，放在

去皮后的電子稱上對其進行秤量，此時電子稱顯示的數(shù)據(jù)即為相應漿料的重量。詳細記錄相

關數(shù)據(jù)。

印刷重量應符合5.1、5.2要求。如出現(xiàn)不符合情況，復測一次仍不符合標準要求時.，

工序人員應立即對?工藝進行調(diào)整至符合標準要求，同時在工藝調(diào)整后兩小時內(nèi)增加稱重頻

率，每半小時稱重一次并記錄稱重數(shù)據(jù)。

印刷量不合格電池片可重擦后再利用，禁止印刷不合格片下傳。

6.2設備正常生產(chǎn)時，接班后要用標準片對每條測試線的電池測試儀進行測試檢查，每4

小時重復一次校準，保留每次校準數(shù)據(jù)，具體校準方法：

A將不少于三片標準片放置于正常運行生產(chǎn)線上，全部測試完成后對比測試結(jié)果，符合5.3

要求時，測試線正常生產(chǎn)，將測試數(shù)據(jù)儲存在測試的電腦中。

B如發(fā)現(xiàn)測試電流參數(shù)超出5.3規(guī)定的誤差范圍，將標準片再次放到傳送線上，當?shù)谝黄瑯?/p>

準片測試完成后進行以下工作：①點擊測試設備上的“STOP”按鈕，停止設備運行；②點擊

測試軟件界面中“PAUSE”按鈕，停止軟件運行；③選取菜單欄Measurement里的“Edit

MonitorCells”選項,在彈出的對話框中點擊“Edit”按鈕,之后在彈出的“MonitorCell”

對話框中點擊“Calibrate”按鈕，接著在彈出的“Scload-STD”對話窗口中點擊“0K”按

鈕，進入uCalibrateMonitorCell^^界面,選中Isc選項，刪除Isc對應文本框的數(shù)值,

輸入標準片標稱電流值，點擊“0K"退出"CalibrateMonitorCell"對話框，點擊“OK”

返回“Edit”界面，最后點擊“Close”，完成電流校準工作。④點擊測試軟件界面中的紅色

aStartAutomaticOperationsw按鈕（或按F5鍵），在彈出的對話框中選擇"OK"（或按

鍵盤中Enter鍵），確認開啟軟件；⑤點擊測試設備上的“START”按鈕，開始設備運行。⑥

再次用標準片驗證測試儀標準,重復以上內(nèi)容直至符合5.3要求。詳細記錄校準好標準數(shù)據(jù)。

在標準更改的前提條件下，如果標準更改前后，標準片轉(zhuǎn)換效率偏差小于0.1%,則變

動標準前測得電池為電性能合格電池。如果標準片轉(zhuǎn)換效率偏差大于0.現(xiàn)，需將標準更改

前當班該線所測電池片進行電性能重測；如標準更改發(fā)生在接班后，需對上班次該線生產(chǎn)電

池進行電性能抽檢。抽樣方法為：在上班次該線所生產(chǎn)的平均效率±0.4%范圍內(nèi)，從每個等

級中隨機選取兩包電池片，每包隨機抽取不少于20片一，進行電性能復測，按照5.4要求進

行判定，抽測不合格的需將所抽檢批次全部進行復測。

C因電壓、填充因子存在偏差，導致不符合5.3、5.4,需通知車間技術(shù)員對設備進行調(diào)整,

并跟蹤調(diào)整過程，直至標準片驗證符合標準要求。

6.3隨時對測試線溫度進行檢查，發(fā)現(xiàn)不符合5.6要求時，立即通知車間外圍進行調(diào)整。

6.3檢驗各條測試線的一致性，具體方法為：當班校準標準以后，取8片以上同一等級的電

池，在各條測試線上測試一次，并將測試數(shù)據(jù)進行對比，各條測試線各項參數(shù)之間的差異符

合5.4要求可正常生產(chǎn)，如有不符合情況，需用標準片驗證或校準,四小時后再次將該批電

池片進行測試，測試要求同上。將每次的測試數(shù)據(jù)均儲存在測試的電腦中。

6.4本規(guī)范規(guī)定的的各項工藝參數(shù)由技術(shù)部、車間協(xié)商確定，適用車間正常生產(chǎn)。如需進行

范圍外調(diào)整或小規(guī)模車間工藝試驗，需由技術(shù)部或車間技術(shù)人員認可并附相關技術(shù)試驗單，

同時檢驗時以相應試驗單作為檢驗依據(jù)，無技術(shù)試驗單的范圍外調(diào)整一律視為違反工藝操

作。質(zhì)量管理部有權(quán)對違反工藝的操作進行處罰。

7.注意事項

7.1正常情況下標準片的使用次數(shù)為30-50次或三個班次。規(guī)定使用次數(shù)內(nèi)，電池測試儀正

常工作，測試標準片電壓電流值需保證在規(guī)定誤差范圍內(nèi)。如果標準片的FF值相比標準數(shù)

據(jù)下降超過1.5個百分點或者轉(zhuǎn)換效率相比標準數(shù)據(jù)下降超過0.4個百分點,此時應更換新

標準片。

7.2標準片要在干燥密封的環(huán)境下保存，防止被氧化。標準片更換采用批次更換，即每次更

換需同時更換已使用過的所有標準片，禁止每次只更換不合格標準片。

7.3在漿料稱重和測試儀校準時都必須配戴潔凈的檢查手套,避免用手直接接觸電池片而引

起沾污。

7.4因工藝不斷優(yōu)化，在實驗或?qū)嶒炐陨a(chǎn)過程中參數(shù)調(diào)整或要求會超出此標準要求，為有

效起到工藝監(jiān)督作用，范圍外工藝試驗或調(diào)整必須得到相關技術(shù)部門認可，并有書面技術(shù)要

求或范圍作為新的依據(jù)。

7.5為保證數(shù)據(jù)不被丟失，要求各測試線校準數(shù)據(jù)、一致性對比數(shù)據(jù)等，每兩個月一次將數(shù)

據(jù)拷貝到專用硬盤保存。

包裝工序檢驗規(guī)范

1.適用范圍

本規(guī)范適用于電池車間包裝工序的過程檢驗。

2.引用標準

《包裝工藝操作規(guī)程》

《太陽電池測試儀使用說明書》

《多晶硅電池內(nèi)控標準》

3.檢驗項目

3.1檢測項目：電池外觀質(zhì)量、電池電性能

3.2工藝監(jiān)督：標簽填寫

4.檢驗工具

千分尺、太陽電池測試儀

5.檢驗標準

5.1復測時與標稱值允許的偏差范圍：Eff:±0.2個百分點

6.檢驗方法及判定規(guī)則

6.1操作人員要隨時對當班生產(chǎn)的電池外形尺寸、外觀進行抽檢，并不定期對已入庫電池進

行抽檢，外形尺寸質(zhì)量檢驗項目、標準要求為：

項目A級品B級品

對角線偏差小于1mm偏差小于1mm

侄1］角標稱±0.5mm標稱±1mm

厚度

155-225um155-225um

（包括柵線、背場）

尺寸及公差156mm±0.5mm或125mm±0.5mm156mm±0.8mm或125mm±0.8mm

彎曲度小于單邊長度的2%小于單邊長度的3%

外觀質(zhì)量檢驗項目、標準要求為:

項目A級品B級品

長、寬均不大于1mm的崩邊，每片允寬度小于1mm,長度不限。

崩邊許1處。（平行于電池邊為長，向內(nèi)延

伸方向為寬，下同）

長度小于3mm，同時滿足寬度小于1mm

缺口不允許

的非尖銳缺口每片允許1處

允許輕微水痕，以邊長為5mm正方形

任意位置、方向覆蓋缺陷處，正方形

水痕不允許

外部無缺陷的，且在一臂距離處看時

與電池片表面顏色沒有明顯反差.

允許輕微手印，以邊長為5mm正方形

任意位置、方向覆蓋缺陷處，正方形

手印不允許

外部無缺陷的，且在一臂距離處看時

與電池片表面顏色沒有明顯反差

允許輕微色斑，以邊長為5mm正方形

任意位置、方向覆蓋缺陷處，正方形

色斑不允許

外部無缺陷的，且在-臂距離處看時

與電池片表面顏色沒有明顯反差

色差同一包內(nèi)均勻一致，無跳色同一包內(nèi)均勻一致，無嚴重跳色

背場油斑不允許不允許

不高于0.1mm（除與傳動帶接觸點，

背場顆粒其它不允許存在人為原因造成的凸起不高于0.2mm（同A）的非尖銳高點

或高點）的非尖銳高點

主柵線無斷柵現(xiàn)象，細柵線0.5-2mm主柵線無斷柵現(xiàn)象，細柵線0.5-3mm

的斷柵每片允許3處,細柵線小于的斷柵每片允許3處，細柵線小于

斷柵

0.5mm的斷柵每片允許10處，不允許0.5mm的斷柵每片允許10處，不允許

回路中出現(xiàn)連續(xù)斷柵回路中出現(xiàn)連續(xù)斷柵

柵線粗細不均無明顯粗細不均無明顯粗細不均

柵線偏移柵線整體偏移＜0.3mm柵線整體偏移WO.5mm

濕法刻蝕缺陷刻蝕邊緣不允許超過柵線刻蝕邊緣不允許超過柵線

背電極缺陷背電極平滑完整,無脫落剝離現(xiàn)象背電極平滑完整,無脫落剝離現(xiàn)象

漿料污染正表面污染不允許正表面污染不允許

允許有面積小于25mm2的印刷不完整

背電場缺陷不允許

缺陷。

以班次為單位，外觀抽檢數(shù)量??般不少于產(chǎn)量的5%,外形尺、『抽檢不少于產(chǎn)量的0.5%,當

抽檢不合格比例不超過0.5%時，該批次電池合格入庫，并詳細記錄抽檢結(jié)果；否則進行二

次分選，并繼續(xù)重點檢查分選后質(zhì)量，復查合格后方可入庫。

6.2電性能檢查：測試人員要隨時對當班生產(chǎn)電池的電性能進行抽測（可與外觀檢查同時進

行，），抽測重點為?段時期內(nèi)平均效率所在的等級，以生產(chǎn)線為單位，正常情況卜抽檢周期

不超過2小時。每次抽檢不同等級，每次抽測數(shù)量不少于6片。以下兩種情況，視為合格批

次，需詳細記錄抽檢數(shù)據(jù)：①各項參數(shù)符合5.1要求；②超出5.1要求，重測該等級至少兩

包電池片，每包極值偏差不大于0.6%（即包內(nèi)效率最大值、最小值之間差值小于0.6%）,且

重測平均效率需滿足標稱±0.1%。其它情況均為不合格。

發(fā)現(xiàn)不合格情況后,應加測兩包以上該生產(chǎn)線相應等級的電池，同時加抽該線其它等級電池,

并通知當班班組長，判定依據(jù)為：①加測未發(fā)現(xiàn)不合格情況，正常生產(chǎn)；②加測仍只有該等

級電池片不合格，需將該線生產(chǎn)相應等級電池全部重測：③如出現(xiàn)兩個等級以上（包含兩個）

不合格情況，需將該生產(chǎn)線所有電池片重新測試。

6.3合格電池入庫需車間填寫《自產(chǎn)電池報檢及報告單》，填寫抽檢結(jié)果，出具合格判定，

報領導審批后方可入庫。

6.4標簽必須按照要求進行填寫，包括等級、效率、色號、數(shù)量、生產(chǎn)單位、班組、生產(chǎn)日

期、員工編號、絲網(wǎng)、漿料類型等，且必須保證標簽與包內(nèi)電池性能一致。

6.5本規(guī)范規(guī)定的的各項工藝參數(shù)山技術(shù)部、車間協(xié)商確定，適用車間正常生產(chǎn)。如需進行

范圍外調(diào)整或小規(guī)模車間工藝試驗，需由技術(shù)部或車間技術(shù)人員認可并附相關技術(shù)試驗單，

同時檢驗時以相應試驗單作為檢驗依據(jù)，無技術(shù)試驗單的范圍外調(diào)整一律視為違反工藝操

作。質(zhì)量管理部有權(quán)對違反工藝的操作進行處罰。

7.注意事項

7.1在成品外觀檢查和電性能復測時時都必須配戴潔凈的檢查手套，避免用手直接接觸電池

片而引起沾污。

7.2由于其它原因造成的電池性能區(qū)別于正常電池，標簽需要按照相應要求進行增加或更

改。

7.3為保證數(shù)據(jù)不被丟失，要求各測試線效率抽測數(shù)據(jù)，每兩個月一次將數(shù)據(jù)拷貝到專用硬

盤保存。

太陽電池生產(chǎn)用

原材料檢驗規(guī)范

目錄

一.適用范圍

二.名詞定義

三.材料名稱

四.主要參照規(guī)范性文件

五.主要檢驗項目

六.常用的檢驗器具及材料

七.實施細則

1.檢驗要求

2.注意事項

3.檢驗內(nèi)容及判定方法

八.處置

附表1：氫氧化鉀化學成分要求

附表2：硝酸化學成分要求

附表3:鹽酸化學成分要求

附表4：硫酸化學成分要求

附表5：氫氟酸化學成分要求

附表6：三氯氧磷成分要求

附表7：銀鋁漿、銀漿、鋁漿質(zhì)量要求

附表8：抽樣檢驗標準

一.適用范圍

本規(guī)范規(guī)定了電池用材料的檢驗項目、測量器具、檢測方法、判定依據(jù)，適

用于電池用各種材料的進廠質(zhì)量檢驗。

對于型式試驗只做說明。

二.名詞定義

輔助材料是指直接用于生產(chǎn)，在生產(chǎn)中起輔助作用，不構(gòu)成產(chǎn)品主要實體的

各種材料。按其在生產(chǎn)中所起作用的不同，又可分為：（1）加入產(chǎn)品實體與主要

材料相結(jié)合，或使主要材料發(fā)生變化，或給予產(chǎn)品某種性能，如特殊氣體等；（2）

被勞動工具所消耗，如絲網(wǎng)、化學試劑等。

包裝材料。一般用包裝材料，如紙張、麻繩、鐵皮等，可歸入輔助材料類。

公司所用燃料、修理用備件（備品備件）、工裝工具不納入輔助材料。

備注：

燃料是指工藝技術(shù)過程或非工藝技術(shù)過程用來燃燒取得熱能的各種材料。包

括固體燃料、液體燃料和氣體燃料。

修理用備件（備品備件）是指為修理本企業(yè)機器設備和運輸工具所專用的各

種備品備件。如軸承、齒輪等。

工裝工具是指為創(chuàng)造正常勞動條件而消耗的各種用具。如清潔工作地點的拖

把等

三.材料名稱：

本規(guī)范材料主要包括氫氧化鉀、硝酸、鹽酸、硫酸、氫氟酸、三氯氧磷、漿

料（銀鋁漿、銀漿、鋁漿）、絲網(wǎng)、其他。

四.主要參照規(guī)范性文件

GB/T2828.1-2003《計數(shù)抽樣檢驗程序》

T-SS-005《電池原材料技術(shù)標準》

五.主要檢驗項目

1、出廠證明檢查2、包裝檢查3、外觀檢驗4、性能測試

六.常用的檢驗器具及材料

k鋼板尺2、游標卡尺3、經(jīng)緯密度測試儀

4、張力計5、放大鏡

七.實施細則

1、檢驗要求

1.1驗證出廠證明。

檢查材料有無出廠檢驗證明，包括合格證、出廠檢驗/試驗報告或有關記錄。

核對檢驗報告中結(jié)果是否符合材料對應的質(zhì)量要求。

1.2目測檢查包裝。

a、對于有外包裝的材料，需要檢查外包裝標識；全檢。查看并對照供貨清單，

核對的到貨批號是否與實際到貨批號相同；同時查看包裝質(zhì)量。對于包裝破

損的，要查看是否對材料造成損傷和污染。

b、對于有內(nèi)包裝的材料，如果無特殊要求，不影響儲存，可打開包裝，按

GB/T2828.1-2003二次抽樣方案按箱進行抽檢；否則，只采取驗證方式檢驗。

c、記錄：供貨廠家、規(guī)格型號、供貨數(shù)量、生產(chǎn)日期、包裝狀況、損傷和污染

程度等。

1.3檢驗外觀。

如果無特殊要求，不影響儲存，可打開包裝，按GB/T2828.1-2003二次抽樣

方案按箱、桶或托盤進行抽檢，目測、手感；否則，只采取驗證方式檢驗，可和

1.2同時進行。

1.4測試性能

根據(jù)各種材料的性能特點，使用相應的設備、測量工具，按照相應的操作規(guī)

程進行試驗測量。需要時，一般取1~3個樣品。

記錄：所用材料的廠家、型號。

2、注意事項

2.1合格證明材料有時為發(fā)貨書面報告，有時為電子版文件（需要采購部門提供）,

有時為內(nèi)、外包裝標識。

2.2保存上述有關資料，記錄塊少文件。

2.3對于包裝破損的均要查看，發(fā)現(xiàn)問題時，記錄廠家生產(chǎn)日期、批號或相應檢

驗員姓名/編號等。

2.4抽樣時，要注意樣本應具有代表性、典型性等，需要多次測量。

2.5包裝打開檢查或取樣完成后，需要對包裝進行恢復，用膠帶或綁扎帶等材料

封裝，做好標識，并通知庫房。

3、檢驗內(nèi)容及判定方法

各種材料檢驗項目、質(zhì)量要求、結(jié)果判定數(shù)據(jù)見下表:

序材料檢測

標準要求方法結(jié)果判定

號名稱項目

出廠證明齊全，標識與報檢內(nèi)容相符合要求，判定合格；否

氫氧驗證

證明同、清晰可見。則不合格。

化鉀、

包裝未對化學試劑造成污

硝酸、

包裝完好；如包裝破損不至于對染或破壞，不影響儲存，

鹽酸、

包裝材料造成損傷和污染，不影響儲目測判定合格；否則判定不合

1硫酸、

存。格。若缺陷集中在個別包

氫氟

裝內(nèi)，判定部分不合格。

酸、

按照出廠報告單對比化學

三氯化學

詳見附表1~6驗證技術(shù)標準，符合要求，判

氧磷成分

定合格；否則不合格。

出廠證明齊全，標識與報檢內(nèi)容相同、符合要求，判定合格；否則

驗證

證明清晰可見。不合格。

a、外包裝完好；如包裝破損不至外包裝未對漿料造成污染或

銀鋁

于對材料造成損傷和污染，不破壞，不影響儲存，內(nèi)包裝

漿包裝目測

影響儲存。符合要求，判定合格；否則

2b、內(nèi)包裝為真空塑料袋包裝。判定不合格。

銀漿

符合要求，判定合格；否則

、外觀無明顯硬塊等異?，F(xiàn)象目測

不合格。

鋁漿

按照出廠報告單對比技術(shù)

化學

詳見附表7驗證標準，符合要求，判定合

成分

格；否則不合格。

出廠證明齊全，標識和報檢內(nèi)容相同、符合要求，判定合格；否則

3絲網(wǎng)險證

證明清晰可見。判定整批不合格。

塑料包裝，包裝完好；不能對絲符合要求，判定合格；否則

包裝目測

網(wǎng)造成污染，不影響儲存。判定該塊不合格。

目測；

符合要求，判定合格；否則

外觀絲網(wǎng)外觀無孔洞、色差必要時，放大

不合格。

鏡觀察

鋼板尺、卡尺

尺寸見圖紙

測量

目數(shù)經(jīng)緯密度測試符合要求，判定合格；否則

±5目

偏差儀，正面觀測不合格。

張力

+2N張力計

偏差

4其他—符合使用要求使用中檢驗—

八、處置

1.各檢驗指標全部合格時，檢驗員按要求在有關單據(jù)上注明“合格”，備注主要

數(shù)據(jù)，做好檢驗標識。由采購部門辦理入庫手續(xù)。

2.不合格時，由檢驗員在有關單據(jù)上注明原因，通知采購部門，由采購部門按

采購流程進行處置。

3.遇到緊急情況，采購部門可提出申請，報總工程師（或主管副總）批示例外

放行或降級使用；總工程師不在時，可由技術(shù)部、質(zhì)檢部評定，達成共同意

見。經(jīng)批準，采購部門辦理入庫手續(xù)，同時采取糾正預防措施，避免再次發(fā)

生。

4.對于例外放行或降級使用的原材料，車間注意按要求跟蹤使用，做好記錄，

發(fā)現(xiàn)問題，及時報有關部門。

附表1、氫氧化鉀（KOH）化學成分要求

檢測項目技術(shù)指標檢測項目技術(shù)指標

純度48%-52%鈉(Na)<0.5%

碳酸鹽，（以K2C03計）<0.5%鈣(Ca)<0.001%

氯化物，（C1）<0.005%鐵(Fe)<0.0005%

磷酸鹽，（P04）<0.0005%鍥(Ni)<0.0001%

硫酸鹽，（S04）<0.001%鋅(Zn)<0.001%

附表2、硝酸（65%）化學成分要求

檢測項目技術(shù)指標檢測項目技術(shù)指標

含量64.0-68.0%碑(As)<lOppb

氯化物，cl<500ppb銅(Cu)<20ppb

硫酸鹽，SO4<500ppb鐵(Fe)<200ppb

鉛(Pb)<50ppb

附表3、鹽酸（HC1）化學成分要求

檢測項目技術(shù)指標檢測項目技術(shù)指標

含量35.0-39.0%銘(Cr)<20ppb

游離鹵素（C12）<500ppb銅(Cu)<20ppb

硫酸鹽，S04<lOOOppb鐵(Fe)<200ppb

亞硫酸鹽，S03<lOOOppb鉛(Pb)<20ppb

碑(As)<lOppb錫(Sn)<50ppb

鎘(Cd)<50ppb

附表4、硫酸（H2SO4）化學成分要求

檢測項目技術(shù)要求檢測項目技術(shù)要求

含量95.0-99.0%神(As)WlOppb

還原高鎰酸鉀WlOOOppb鎘(Cd)W50ppb

氯化物，clW200ppb倍(Cr)W20ppb

硝酸鹽，N03W200ppb銅(Cu)W20ppb

鐵(Fe)WlOOppb

鉛(Pb)50ppb

附表5、氫氟酸（HF）化學成分要求

檢測項目技術(shù)要求檢測項目技術(shù)要求

含量38.0-42.0%鐵(Fe)<lOOppb

氯化物，C1<5000ppb鉛(Pb)<50ppb

磷酸鹽，P04<lOOOppb

硫酸鹽，S04<5000ppb

附表6、三氯氧磷（POCL）成分要求

檢測項目技術(shù)要求檢測項目技術(shù)要求

含量99.9999%鎮(zhèn)(Ga)<lppb

顆粒(>0.5um)《40個汞(Hg)<2ppb

鋁(A1)<14ppb鉀(K)<6ppb

銀(Ag)<Ippb鋰(Li)<3ppb

碑(As)<9ppb鎂(Mg)<llppb

領(Ba)<lppb鎰(Mn)<12ppb

鈦(Bi)<5ppb鉛(Pb)<3ppb

鈣(Ca)<13ppb鈉(Na)<7ppb

輅(Cr)<8ppb鍥(Ni)<8ppb

鉆(Co)<8ppb錫(Sn)<2ppb

銅(Cu)<7ppb鈦(Ti)<2ppb

金(Au)<lppb鋅(Zn)<lppb

鐵(Fe)<lOppb

附表7：銀鋁漿、銀漿、鋁漿質(zhì)量要求

粘度(HBT

產(chǎn)品名稱顆粒度（FOG）

SC4-14/6R01ORPM)

銀漿<10|4m,S)4thscratch

200—300Pa.s

（正銀）<5pm,350%

銀鋁漿<10nm,34thscratch

30-150Pa.s

（背銀）<5pm,050%

鋁漿20~100Pa.s420日m

附表8：抽樣檢驗標準

1.持續(xù)供貨時間達到1年，并且供貨質(zhì)量和性能比較穩(wěn)定，沒有發(fā)生過重大

生產(chǎn)質(zhì)