-1-我國電子特氣行業(yè)競爭呈海外寡頭壟斷格局-國產(chǎn)企業(yè)有望迎來黃金發(fā)展期1、電子特氣被稱為半導體材料的“糧食”與“源”電子特氣作為特種氣體的一種，在電子產(chǎn)品制程中廣泛應用于刻蝕、清洗、氣相沉積、摻雜等工藝，被稱為集成電路、液晶面板、LED及光伏等半導體材料的“糧食”和“源”。相較于一般的工業(yè)氣體，電子特氣對氣體的純度、質量穩(wěn)定性與一致性、包裝容器等要求更高。例如在純度方面，普通工業(yè)氣體要求在99.99%左右，但是在先進制程的集成電路制造過程中，氣體純度要求通常在5N（99.999%）以上。電子特氣種類及應用領域應用行業(yè)主要用途主要氣體集成電路成膜六氟化鎢（WF6）、四氟化硅（SiF4）、乙炔（C2H2）、丙烯（C3H6）、氘氣（D2）、乙烯（C2H4）、硅烷（SiH4）、氧氬混合氣（Ar/O2）、氘代氨（ND3）等光刻氟氪氖（F2/Kr/Ne）、氪氖（Kr/Ne）等混合氣刻蝕、清洗三氟化氮（NF3）、六氟乙烷（C2F6）、八氟丙烷（C3F8）、八氟環(huán)丁烷（C4F8）、六氟丁二烯（C4F6）、氟化氫（HF）、氯化氫（HCl）、氧氦（O2/He）、氯氣（Cl2）、氟氣（F2）、溴化氫（HBr）、六氟化硫（SF6）等離子注入砷烷（AsH3）、磷烷（PH3）、四氟化鍺（GeF4）、三氟化硼（11BF3）等其他六氯乙硅烷（Si2Cl6）、六氯化鎢（WCl6）、四氯化鈦（TiCl4）、四氯化鉿（HfCl4）、四乙氧基硅（Si（OC2H5）4）等顯示面板成膜、清洗等三氟化氮（NF3）、硅烷（SiH4）、氨氣（NH3）、笑氣（N2O）、氧氬混合氣（Ar/O2）、氯化氫氫氖混合氣（HCl/H2/Ne）半導體照明外延砷烷（AsH3）、磷烷（PH3）、三氯化硼（BCl3）、氨氣（NH3）等光伏沉積、擴散、刻蝕三氟化氮（NF3）、硅烷（SiH4）、氨氣（NH3）、四氟化碳（CF4）等2、電子特氣行業(yè)具資金、技術、客戶認證等多重壁壘電子氣體應用廣泛，對技術要求很高，屬于典型的技術密集型行業(yè)。電子特氣行業(yè)壁壘主要體現(xiàn)在三方面：技術壁壘、認證壁壘、資質壁壘，其次資金壁壘、市場壁壘、人才壁壘等也構成行業(yè)進入壁壘。電子特氣行業(yè)壁壘分析壁壘分類具體內容技術壁壘特種氣體在其生產(chǎn)過程中涉及合成、純化、混合氣配制、充裝、分析檢測、氣瓶處理等多項工藝技術，以及客戶對純度、精度等的高要求，對行業(yè)的擬進入者形成了較高的技術壁壘。認證壁壘作為關鍵性材料，特種氣體的產(chǎn)品質量對下游產(chǎn)業(yè)的正常生產(chǎn)影響巨大，因此，對極大規(guī)模集成電路、新型顯示面板等精密化程度非常高的下游產(chǎn)業(yè)客戶而言，對氣體供應商的選擇極為審慎、嚴格。資質壁壘工業(yè)氣體屬于危險化學品，在其生產(chǎn)、儲存、運輸、銷售等環(huán)節(jié)均需通過嚴格的資質認證，需要取得多項資質。資質審核過程嚴格，不僅需對企業(yè)的生產(chǎn)環(huán)境、工藝、設備等進行多次現(xiàn)場評估，還要求生產(chǎn)人員、管理人員均需通過相應測試并取得個人資質，資質獲取作為工業(yè)氣體行業(yè)生產(chǎn)經(jīng)營的前置程序。除此以外，部分特定用途的特種氣體還需要另外經(jīng)過專項嚴格審核才可取得相應用途的產(chǎn)品經(jīng)營資質，例如食品級N2O的生產(chǎn)需取得《食品生產(chǎn)許可證》，標準氣業(yè)務需取得《制造計量器具許可證》等。資金壁壘工業(yè)氣體行業(yè)生產(chǎn)設施要求較大規(guī)模的固定資產(chǎn)投入，同時為了保證產(chǎn)品質量的穩(wěn)定性，需要采用大量精密監(jiān)測和控制設備。行業(yè)內企業(yè)在擴大業(yè)務規(guī)模的過程中，往往通過兼并收購的方式橫向布局，需要較強的資本實力。氣體供應商需要有專業(yè)的運輸設備和特種運輸車輛，還需要對運輸?shù)娜^程等進行跟蹤監(jiān)測和嚴格控制，由此帶來的運輸及監(jiān)控設備投入也比較大。市場壁壘氣體行業(yè)的下游絕大部分客戶是專業(yè)生產(chǎn)廠家，并非終端消費產(chǎn)品，因此難以通過廣告等常規(guī)營銷手段在短期內建立市場品牌。下游客戶對氣體產(chǎn)品的質量、品牌和服務的認同需要建立在長期合作的基礎上。人才壁壘工業(yè)氣體行業(yè)企業(yè)的研發(fā)生產(chǎn)運營需要大批專門人才。3、電子特氣呈海外寡頭壟斷格局，國產(chǎn)化率仍有較大提升空間也就是因為電子特種氣體較高的行業(yè)壁壘，導致全球電子特氣行業(yè)市場集中較高，主要由海外主導，并且形成德國林德集團、法國液化空氣集團、日本大陽日酸、美國空氣化工產(chǎn)品四家巨頭公司壟斷的行業(yè)格局，占比分別達到25%、25%、23%、18%，合計占比超過90%。也就是因為電子特種氣體較高的行業(yè)壁壘，導致全球電子特氣行業(yè)市場集中較高，主要由海外主導，并且形成德國林德集團、法國液化空氣集團、日本大陽日酸、美國空氣化工產(chǎn)品四家巨頭公司壟斷的行業(yè)格局，占比分別達到25%、25%、23%、18%，合計占比超過90%。海外電子特氣生產(chǎn)企業(yè)簡介企業(yè)名稱基本情況介紹主要產(chǎn)品下游應用領域林德集團1879年成立于英國，1992年在紐交所上市，2018年與氣體行業(yè)巨頭普萊克斯合并，成為全球最大的工業(yè)氣體供應商。林德集團氣體業(yè)務遍布全球，也是最早進入中國的、布局最多的氣體行業(yè)外資巨頭，亞太市場也是其增長最快的市場。氧氣、氮氣、氬氣、稀有氣體、碳氧化物、氦氣、氫氣等化學品與能源、食品飲料、醫(yī)療健康、制造業(yè)、金屬與開采、電子產(chǎn)品等液化空氣1902年成立于法國巴黎，2007年在巴黎股票市場上市，在林德集團與普萊克斯合并前是全球市值最大的氣體供應商。液化空氣氣體業(yè)務遍布全球。氧氣、氮氣、氬氣、氫氣、一氧化氮等冶金、化工、能源、汽車、制造業(yè)、食品、醫(yī)藥、科技等空氣化工1940年成立于美國賓州，1980年在紐交所上市，是全球第三大氣體供應商?？辗謿怏w、特種氣體、氣體設備等煉油、化工、金屬、電子、制造、食品飲料等太陽日酸1910年成立于日本東京，2001年在東京證券交易所上市。大陽日酸主要在日本、中國、韓國、澳大利亞、美國等亞太地區(qū)和歐洲地區(qū)生產(chǎn)及銷售工業(yè)氣體產(chǎn)品。氧氣、氮氣和氬氣等氣體產(chǎn)品鋼鐵、化工、電子、汽車、建筑、造船和食品等在國內市場，由于我國電子特氣行業(yè)起步時間較晚，技術與國外先進企業(yè)具有一定差距，且以進口為主，截至2020年國產(chǎn)化率不足15%。不過，經(jīng)過近幾十年的發(fā)展，國產(chǎn)電子特氣在研究上已取得一定進展，但在產(chǎn)品性能與生產(chǎn)規(guī)模方面，與國外頭部企業(yè)差距較大，海外龍頭企業(yè)仍占據(jù)我國80%以上的市場份額，國產(chǎn)替代之路任重而道遠。在國內市場，由于我國電子特氣行業(yè)起步時間較晚，技術與國外先進企業(yè)具有一定差距，且以進口為主，截至2020年國產(chǎn)化率不足15%。不過，經(jīng)過近幾十年的發(fā)展，國產(chǎn)電子特氣在研究上已取得一定進展，但在產(chǎn)品性能與生產(chǎn)規(guī)模方面，與國外頭部企業(yè)差距較大，海外龍頭企業(yè)仍占據(jù)我國80%以上的市場份額，國產(chǎn)替代之路任重而道遠。5、支持政策相繼出臺，促進國內電子特氣產(chǎn)業(yè)發(fā)蓬勃發(fā)展為推動電子特氣行業(yè)的高質量發(fā)展，近年來國家發(fā)改委、科技部、工信部、財政部、國家稅務總局等部門相繼出臺一系列產(chǎn)業(yè)支持政策，有力推動了電子特種氣體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。我國電氣特氣行業(yè)相關政策時間政策名稱主要內容2022.09《原材料工業(yè)“三品”實施方案》支持鼓勵光刻膠、光電顯示材料、工業(yè)氣體、催化、光功能、儲氫材料等關鍵基礎材料研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化，加強前沿新材料的質量性能研發(fā)。完善新材料生產(chǎn)應用平臺，優(yōu)化上下游合作機制，進一步提升高端產(chǎn)品有效供給能力，強化對戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)和國家重大工程的支撐作用。2022.07《“十四五”原材料工業(yè)發(fā)展規(guī)劃》圍繞集成電路、信息通信、能源產(chǎn)業(yè)等重點應用領域，攻克特種涂層、光刻膠、工業(yè)氣體、催化、光功能、儲氫材料等一批關鍵材料。2021.12《重點新材料首批次應用示范指導目錄（2021年版）》在“113.特種氣體”中列示33種特種氣體，對純度等指標提出明確要求2020.08《新時期促進集成電路產(chǎn)業(yè)和軟件產(chǎn)業(yè)高質量發(fā)展的若干政策》聚焦高端芯片、集成電路裝備和工藝技術、集成電路關鍵材料、集成電路設計工具、基礎軟件、工業(yè)軟件、應用軟件的關鍵核心技術研發(fā)，不斷探索構建社會主義市場經(jīng)濟條件下關鍵核心技術攻關新型舉國體制?？萍疾?、國家發(fā)展改革委、工信部等部門做好有關工作的組織實施，積極利用國家重點研發(fā)計劃、國家科技重大專項等給予支持2018.11《戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)分類2018）》在“1.2.3高儲能和關鍵電子材料制造”的重點產(chǎn)品和服務中包括了“超高純度氣體外延用原料”，在“3.3.6專用化學品及材料制造”的重點產(chǎn)品和服務中包括了“電子大宗氣體、電子特種氣體”2017.01《新材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展指南》在重點任務中提出“加快高純特種電子氣體研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化，解決極大規(guī)模集成電路材料制約”2017.01《戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)重點產(chǎn)品和服務指導目錄》（2016）在“1.3.5關鍵電子材料”中包括“超高純度氣體等外延用原料”2016.12《“十三五”國家戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃》提出優(yōu)化新材料產(chǎn)業(yè)化及應用環(huán)境，提高新材料應用水平，推進新材料融入高端制造供應鏈，到2020年力爭使若干新材料品種進入全球供應鏈，重大關鍵材料自給率達到70%以上2016.02《國家重點支持的高新技術領域目錄》（2016）在“四、新材料”之“（五）精細和專用化學品”之“2、電子化學品制備及應用技術”中明確指出包括“特種（電子）氣體的制備及應用技術”6、國內電子特氣行業(yè)已在部分細分領域成功實現(xiàn)國產(chǎn)替代因此，在國家政策及企業(yè)經(jīng)過多年的技術研發(fā)與客戶積累的背景下，目前國內各生產(chǎn)企業(yè)已經(jīng)在電子特氣某些細分產(chǎn)品領域成功實現(xiàn)進口替代并且規(guī)?；?，逐步縮小與國外龍頭的差距，加速實現(xiàn)國產(chǎn)替代，外資在華壟斷格局有望被打破。我國部分已實現(xiàn)國產(chǎn)替代的特種氣體產(chǎn)品公司名稱產(chǎn)品種類華特氣體高純四氟化碳、高純六氟乙烷、高純二氧化碳、高純一氧化碳、高純八氟環(huán)丁烷、高純三氟甲烷、稀混光刻氣等約50個產(chǎn)品凱美氣體氯氣、氖氣、氪氣、氙氣等中船特氣六氟化鎢、三氟化氮等南大光電砷烷、磷烷等金宏氣體超純氨、高純氧化亞氮、氫氣、高純氫、高純二氧化碳、硅烷混合氣等綠菱氣體高純六氟乙烷、高純三氟甲烷、高純八氟環(huán)丁烷等雅克科技四氟化碳、六氟化硫等昊華科技三氟化氮、四氟化碳、六氟化硫、六氟化鎢等巨化股份氟氣、氯氣、三氟化氮等7、國內電子特氣生產(chǎn)企業(yè)有望迎來黃金發(fā)展期同時，隨著國內電子特氣行業(yè)自主可控的重要性日益凸顯，國產(chǎn)企業(yè)不斷創(chuàng)新、擴產(chǎn)，我國特氣行業(yè)相關企業(yè)有望迎來黃金發(fā)展期。我國電子特氣供應商募資擴產(chǎn)計劃公司募資方式募資金額擴產(chǎn)項目達到預定可使用狀態(tài)日期華特氣體可轉換債券3.83億年產(chǎn)1764噸半導體材料建設項目（高純一氧化碳180噸，高純一氧化氮40噸，高純六氟丙烷及其異構體800噸，電子級溴化氫300噸，電子級三氯化硼300噸，超高純氫氣9噸，超純氪氣/氖氣/氙氣/氦氣135噸）建設周期為2年金宏氣體可轉換債券4.70億新建高端電子專用材料項目（新增電子級全氟丁二烯200噸、電子級一氟甲烷100噸、電子級八氟環(huán)丁烷500噸、電子級二氯二氫硅200噸和電子級六氯乙硅烷50噸的產(chǎn)能）建設周期為2年1.46億新建電子級氮氣、電子級液氮、電子級液氧、電子級液氬項目（建成達產(chǎn)后將主要形成年產(chǎn)氮氣11250噸、液氧23581噸、液氮45000噸、液氬963噸的生產(chǎn)規(guī)模。）建設周期為1.5年雅克科技非公開發(fā)行股票0.47億年產(chǎn)12000噸電子級六氟化硫和年產(chǎn)2000噸半導體用電子級四氟化碳生產(chǎn)線技改項目技改建設項目已經(jīng)于2022年3月完工昊華科技-9.14億4600噸/年含氟電子特氣項目（已投產(chǎn)）：年產(chǎn)3000噸三氟化氮、1000噸四氟化碳和600噸六氟化鎢2022年4季度已投產(chǎn)南大光電向特定對象發(fā)行股票3億擴建2000噸/年三氟化氮生產(chǎn)裝置項目已投產(chǎn)可轉換債券0.6億六氟丁二烯產(chǎn)業(yè)化項目未披露9億年產(chǎn)140噸高純磷烷、砷烷擴產(chǎn)及砷烷技改項目(總投資額1億元):通過擴產(chǎn)建設2條高純砷烷產(chǎn)線、1條高純砷烷產(chǎn)線，新增磷烷年產(chǎn)能70噸、砷烷年產(chǎn)能50噸，利用現(xiàn)有2條砷烷產(chǎn)線進行技改，增加砷烷年產(chǎn)能20噸2023年11月30日烏蘭察布南大微電子材料