PAGEPAGE3UDC中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)PGBXXXXX-2009電子工業(yè)純水系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范Codeofdesignforpurewatersystemofelectronicindustry（征求意見稿）200X—××—××發(fā)布200X—××—××實施中華人民共和國住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部聯(lián)合發(fā)布中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)電子工業(yè)純水系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范Codeofdesignforpurewatersystemofelectronicindustry（征求意見稿）GBXXXX-2009主編部門：中華人民共和國工業(yè)和信息化部批準(zhǔn)部門：中華人民共和國住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部施行日期：200X年X月X日中國計劃出版社200X年北京

前言本規(guī)范是根據(jù)原建設(shè)部《關(guān)于印發(fā)〈2005年工程建設(shè)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范制訂、修訂計劃（第二批）〉的通知》（建標(biāo)函〔2005〕124號）、原信息產(chǎn)業(yè)部《關(guān)于下達〈2005年度電子工程建設(shè)標(biāo)準(zhǔn)定額制訂修訂計劃〉的通知》（信規(guī)簡函[2005]104號文）要求，在工業(yè)和信息化部的組織領(lǐng)導(dǎo)下，由信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計研究院有限公司主編，并會同中國電子工程設(shè)計研究院、上海電子工程設(shè)計研究院有限公司聯(lián)合編制而成。本規(guī)范的編制，是在遵照國家基本建設(shè)方針和有關(guān)環(huán)保、節(jié)水要求，調(diào)查我國電子工業(yè)純水系統(tǒng)的設(shè)計和使用現(xiàn)狀的基礎(chǔ)上，廣泛征求國內(nèi)各設(shè)計院、工程公司、生產(chǎn)廠商和使用單位的意見，參考相關(guān)國際標(biāo)準(zhǔn)化組織的標(biāo)準(zhǔn)，最后經(jīng)有關(guān)部門共同審查定稿。本規(guī)范共分8章和二個附錄。主要內(nèi)容包括：總則、術(shù)語、純水制備工藝、純水站房、純水輸送和分配、純水回收和節(jié)水、藥品貯存、計量和輸送、控制和儀表等。本規(guī)范中以黑體字標(biāo)志的條文為強制性條文，必須嚴(yán)格執(zhí)行。本規(guī)范由住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部負(fù)責(zé)對強制性條文的解釋和管理，工業(yè)和信息化部負(fù)責(zé)日常管理，具體技術(shù)內(nèi)容的解釋工作由信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計研究院有限公司負(fù)責(zé)。在執(zhí)行過程中，請各單位結(jié)合技術(shù)進步和具體的工程實踐，認(rèn)真總結(jié)積累經(jīng)驗，如發(fā)現(xiàn)需要修改或補充之處，請將意見和建議寄送信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計研究院有限公司（地址：四川省成都市新華大道雙林路251號，郵政編碼：610021；傳真，以便修訂時參考。本規(guī)范主編單位、參編單位和主要起草人：主編單位：信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計研究院有限公司參編單位：中國電子工程設(shè)計研究院上海電子工程設(shè)計研究院有限公司主要起草人：PAGE1-目次TOC\o"1-2"\h\z\u1 總則 -1-2 術(shù)語 -2-3 純水制備工藝 -3-3.1 一般規(guī)定 -3-3.2 預(yù)處理 -4-3.3 脫鹽及深度處理 -6-3.4 精處理（拋光） -8-3.5 特殊水質(zhì)指標(biāo)的技術(shù)措施 -8-3.6 水箱、水泵及管道 -9-4 純水站房 -10-4.1 一般規(guī)定 -10-4.2 設(shè)備布置 -10-4.3 管道布置 -11-5 純水輸送和分配 -12-5.1 一般規(guī)定 -12-5.2 管道設(shè)計 -12-6 純水回收和節(jié)水 -13-6.1 一般規(guī)定 -13-6.2 純水回收 -13-6.3 節(jié)水措施 -13-7 藥品貯存、計量和輸送 -14-7.1 一般規(guī)定 -14-7.2 酸、堿及鹽 -14-8 控制及儀表 -15-8.1 一般規(guī)定 -15-8.2 純水站監(jiān)控系統(tǒng)設(shè)計選型 -15-8.3 現(xiàn)場控制系統(tǒng)及集中監(jiān)控系統(tǒng)設(shè)計 -15-8.4 儀表設(shè)置 -16-附錄A水質(zhì)全分析報告 -17-附錄B離子交換器設(shè)計參數(shù) -18-本規(guī)范用詞說明 -22-總則為確保電子工業(yè)純水系統(tǒng)出水滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求，使設(shè)計做到技術(shù)先進、經(jīng)濟合理、安全適用，特制定本規(guī)范。本規(guī)范適用用于新建、擴建和改建的電子工業(yè)純水系統(tǒng)的工程設(shè)計。電子工業(yè)純水系統(tǒng)設(shè)計應(yīng)貫徹執(zhí)行國家的技術(shù)經(jīng)濟政策，合理選擇水源，節(jié)約能源，節(jié)約用水，節(jié)約用地，保護環(huán)境，安全衛(wèi)生，提高經(jīng)濟效益。電子工業(yè)純水系統(tǒng)設(shè)計應(yīng)根據(jù)主體工程建設(shè)規(guī)劃、生產(chǎn)特點等綜合考慮，并經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟比較，擇優(yōu)確定設(shè)計方案，當(dāng)主體工程為分期建設(shè)時，應(yīng)按最終純水系統(tǒng)容量（規(guī)模）統(tǒng)一規(guī)劃、合理布局，考慮擴建條件。電子工業(yè)純水系統(tǒng)的設(shè)計應(yīng)為施工安裝，維護管理，檢修、檢（監(jiān)）測和安全運行創(chuàng)造必要的條件。電子工業(yè)純水系統(tǒng)的改建、擴建設(shè)計，應(yīng)合理利用、改造原有設(shè)施。純水回收和節(jié)水設(shè)施宜與純水站統(tǒng)籌規(guī)劃，同時設(shè)計、同時施工、同時投運。純水站排放的廢水，應(yīng)達到國家和地方排放標(biāo)準(zhǔn)后方可排放。電子工業(yè)純水系統(tǒng)工程設(shè)計，除應(yīng)執(zhí)行本規(guī)范的規(guī)定外，尚應(yīng)符合國家現(xiàn)行的有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范的規(guī)定。

術(shù)語電子工業(yè)純水purewaterforelectronicindustry電子工業(yè)生產(chǎn)所需的純化水的通稱。軟化水softwater除掉部分或全部鈣、鎂離子后的水淤塞指數(shù)（SDI）siltdensityindex又稱污染指數(shù)FI（foulingindex），它通過被測水樣對0.45μm濾膜的淤塞程度間接表征造成反滲透膜面堵塞的水中微量懸浮物、膠體的含量，是保證反滲透正常運行的進水水質(zhì)重要指標(biāo)。微孔過濾（MF）microfiltration通常指在外壓作用下，利用篩網(wǎng)狀過濾介質(zhì)膜的“篩分”作用進行分離的膜分離技術(shù)。微濾所能截留的顆粒直徑范圍為0.1μm~1μm。超濾（UF）ultrafiltration通常指在外壓作用下，利用非對稱性膜去除水之中亞微米懸浮物的膜分離技術(shù)。超濾所能截留的顆粒直徑范圍為5nm~10μm，多為大分子有機物和膠體。反滲透（RO）reverseosmosis在外加壓力作用下，利用一種半透性薄膜使水分子和其它一些物質(zhì)選擇性透過，從而將絕大部分懸浮物和絕大部分溶解固形物（鹽）截留去除的膜分離技術(shù)。電脫鹽（EDI）electrodeionazation一種利用裝填陽、陰混合離子交換樹脂或離子交換無紡布，在電場作用下連續(xù)去除水中離子而不需要專門再生的除鹽裝置的統(tǒng)稱。在工業(yè)應(yīng)用中有連續(xù)脫鹽（CDI）、連續(xù)電脫鹽（CEDI）和接枝電脫鹽（GDI）等不同產(chǎn)品。紫外線殺菌和紫外線除TOCUVsterilization&UV-TOC通過波長254nm的紫外線照射殺滅水中的活菌為紫外線殺菌裝置；通過波長185nm的紫外線照射分解純水中的微量TOC為紫外線除TOC裝置。膜脫氣裝置（MDG）membranedegasifier一種利用膜分離技術(shù)降低水中揮發(fā)性溶解物質(zhì)的裝置，在電子工業(yè)純水系統(tǒng)中主要是脫除純水中的溶解氧。供水環(huán)路distributionloop為保證電子工業(yè)最終使用點的純水水質(zhì)和水壓而采用的有附加循環(huán)水量的不間斷供水方式，最終使用點用水取自從終端過濾器到純水水箱之間的閉合供水環(huán)路。供水環(huán)路一般由純水精處理系統(tǒng)和供、回水管路共同組成。純水制備工藝一般規(guī)定電子工業(yè)純水系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求，合理確定純水制備系統(tǒng)的規(guī)模和供水水質(zhì)。電子工業(yè)純水系統(tǒng)流程和設(shè)備的選擇應(yīng)根據(jù)對產(chǎn)品水的要求、原水水質(zhì)并綜合處理效果、提高水的利用率、節(jié)能、環(huán)保等因素，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟比較確定。電子工業(yè)純水系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)最終水質(zhì)要求選擇最簡捷、最有效的處理流程和可靠的處理設(shè)備。純水站的產(chǎn)水量應(yīng)根據(jù)各種產(chǎn)品水量加系統(tǒng)自用水量確定。設(shè)計前應(yīng)取得全部可利用水源的水質(zhì)全分析資料，選擇有代表性的水質(zhì)分析資料作為設(shè)計依據(jù)。水質(zhì)全分析報告格式見附錄A。需取得水質(zhì)資料的份數(shù)宜符合下列要求。當(dāng)水源為地表水時宜取得全年逐月水質(zhì)資料；當(dāng)水源為地下水時宜取得全年每季的水質(zhì)資料。當(dāng)無法得到逐月或逐季資料時，應(yīng)掌握水質(zhì)隨季節(jié)的變化規(guī)律。對可能受到海水倒灌或其它因素影響的水源，應(yīng)掌握由此而引起的水質(zhì)變化情況。對于回用水，應(yīng)掌握其來源與組成。電子工業(yè)純水系統(tǒng)一般由預(yù)處理－脫鹽及深度處理－精處理（拋光）三個處理階段組成，各階段應(yīng)達到的目標(biāo)宜符合下列要求。預(yù)處理階段水質(zhì)應(yīng)滿足脫鹽裝置進水水質(zhì)的要求；脫鹽及深度處理階段產(chǎn)水水質(zhì)應(yīng)盡可能接近最終純水水質(zhì)要求；精處理（拋光）階段應(yīng)保證不間斷地保證最終用戶水質(zhì)、水量和水壓等要求。系統(tǒng)設(shè)計中每個處理裝置的出水水質(zhì)應(yīng)滿足后續(xù)處理裝置的進水水質(zhì)要求，水處理裝置的進水水質(zhì)應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品的要求確定，當(dāng)缺乏資料時可參照表3.1.1。當(dāng)水質(zhì)要求較高或有多項水質(zhì)指標(biāo)時還應(yīng)考慮最終水質(zhì)的要求。表3.1.8離子交換項目離子交換電滲析反滲透電除鹽淤塞指數(shù)SDI—<5<5—濁度NTU對流再生<2<1.0<1—順流再生<5水溫oC5~40※15~405~355~40pH——2~115~9CODMnmg/L<2※2<3<3<0.5（TOC計）游離氯mg/L（以Cl2表示）<0.1<0.3<0.10.05含鐵量mg/L（以Fe表示）<0.3<0.3<0.05<0.01(兩項合計)含錳量mg/L（以Mn表示）—<0.1—總硬度mg/L(CaCO3)———<1總含鹽量mg/L———<10~25SiO2mg/L———<0.5※1強堿Ⅱ型樹脂、丙烯酸樹脂的進水水溫不應(yīng)大于35oC?！?系指對凝膠型強堿陰離子交換樹脂的要求；預(yù)處理預(yù)處理系統(tǒng)需要達到的水質(zhì)指標(biāo)應(yīng)根據(jù)所選脫鹽裝置的進水水質(zhì)要求確定，也可參照表4.1.1所列要求設(shè)計。當(dāng)后續(xù)處理單元采用反滲透時，預(yù)處理系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置有效防止預(yù)處理系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置有效防止結(jié)垢等化學(xué)污染、防生物、有機物及鐵錳等污染的措施。當(dāng)原水濁度較高時宜采用凝聚澄清－過濾工藝，設(shè)計參數(shù)可參照有關(guān)給水處理規(guī)范；當(dāng)原水采用含低密度、疏水性懸浮物較高的地面水水源時，宜加設(shè)氣浮分離工藝；當(dāng)原水采用城市自來水時宜采用微絮凝過濾、微濾或超濾等處理工藝。設(shè)計應(yīng)符合下列要求。過濾器的設(shè)計產(chǎn)水量應(yīng)包括后續(xù)處理裝置要求的供水量及過濾器的自耗水量。過濾器臺數(shù)不宜少于2臺。過濾器的過濾周期應(yīng)根據(jù)進出口水質(zhì)、濾料截污能力等因素考慮。每臺設(shè)備每晝夜反洗次數(shù)宜為1～2次。絮凝劑的選用和加藥量的確定應(yīng)根據(jù)進水濁度、水溫、pH值及堿度等因素的影響，參照相似水質(zhì)的工程運行經(jīng)驗或試驗資料，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟比較后確定。絮凝劑投加點宜設(shè)置于原水加壓泵吸入段或在進入過濾器前設(shè)置靜態(tài)混合器。微絮凝聚過濾的過濾器的設(shè)計參數(shù)可根據(jù)表3.2.1選用，過濾器采用氣水反洗時設(shè)計參數(shù)可根據(jù)表3.2.2選用。當(dāng)采用微濾、超濾除濁時應(yīng)設(shè)有完善的自動反洗和化學(xué)清洗措施。微濾前宜設(shè)置過濾精度不低于500μm的預(yù)過濾措施。超濾前宜設(shè)置過濾精度不低于150μm的預(yù)過濾措施。當(dāng)原水中鐵錳含量不能滿足后續(xù)裝置進水要求時，應(yīng)考慮除鐵錳措施，設(shè)計參數(shù)可參照有關(guān)給水處理規(guī)范。表3.2.1微絮凝聚過濾器的設(shè)計參數(shù)序號過濾器類別濾料濾速m/h反洗粒徑mm不均勻系數(shù)K80床高m強度L／s.m2歷時min1級配石英砂dmin=0.5dmax=0.5＜2.00.7~0.8≤6.514~156~82雙層濾料無煙煤dmin=0.8dmax=1.2＜1.50.47~915~167~8石英砂dmin=0.4dmax=0.8＜1.50.43均質(zhì)石英砂dmin=0.9dmax=1.21.3~1.61.1~1.27.5~8.514~156~8表3.2.2氣水反洗過濾器設(shè)計參數(shù)序號過濾器類別先氣沖洗氣水同時沖洗后水沖洗強度L／s.m2歷時min氣強度L／s.m2水強度L／s.m2歷時min強度L／s.m2歷時min1級配石英砂12~183~112~183～44～37~97~52雙層濾料15~203~1－－－6.5～106～53均質(zhì)石英砂13～172～113～173～44～34～88～5活性炭過濾器應(yīng)根據(jù)進水水質(zhì)、處理要求和活性炭的種類進行設(shè)計?；钚蕴窟^濾器的設(shè)計參數(shù)可參考表3.2.3。當(dāng)活性炭過濾器用于去除游離余氯可取較高流速，針對有機物去除可取較低流速。表3.2.3活性炭過濾器設(shè)計參數(shù)項目濾料粒徑mm濾層高度mm濾速m/h反洗強度m/h反洗歷時min參數(shù)0.8～1.2900～20008～1620~245～15根據(jù)原水水質(zhì)可采取投加阻垢劑、離子交換和調(diào)節(jié)pH值等方法防止反滲透膜結(jié)垢。并宜按下列要求設(shè)計：采用投加阻垢劑防止反滲透設(shè)備結(jié)垢時，應(yīng)根據(jù)原水水質(zhì)和藥劑的技術(shù)說明選擇藥劑品種和投加量。采用鈉離子交換軟化或復(fù)床式離子交換降低原水的硬度和堿度時，離子交換器的設(shè)計參數(shù)可按本規(guī)范附錄B選用。采用調(diào)節(jié)pH值降低碳酸鹽硬度時宜采用鹽酸。當(dāng)采用鼓風(fēng)式脫二氧化碳裝置時，其設(shè)置位置宜符合下列要求：當(dāng)系統(tǒng)出水水質(zhì)指標(biāo)沒有微粒要求時設(shè)于反滲透之后；當(dāng)系統(tǒng)出水水質(zhì)指標(biāo)有微粒要求時設(shè)于反滲透之前。采用藥劑氧化法降低有機物和抑制微生物時，其加氯量應(yīng)根據(jù)原水中的有機物含量計算得到，對經(jīng)過混凝沉淀及過濾處理后的原水或清凈的地下水，加氯量可采用0.5～1.0mg/L。原水經(jīng)氧化處理或原水余氯含量超過后續(xù)處理裝置的進水要求時應(yīng)采用活性炭吸附或投加還原劑等方法進行脫氯處理。當(dāng)冬季原水水溫較低時進入反滲透裝置前是否提高水溫，應(yīng)根據(jù)制水量、產(chǎn)品水的水溫要求、熱源供應(yīng)及加熱成本等因素綜合比較確定。當(dāng)選擇加熱工藝時，宜采用板式換熱器。其設(shè)置位置應(yīng)根據(jù)預(yù)處理各單元裝置對水溫的要求確定。脫鹽及深度處理脫鹽系統(tǒng)的選擇應(yīng)根據(jù)處理水量、進出水質(zhì)的要求，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟比較確定。當(dāng)產(chǎn)品水對微粒、TOC等水質(zhì)指標(biāo)要求時宜選反滲透。反滲透裝置的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：反滲透裝置一般不宜少于2套，每套反滲透裝置的保安過濾器、反滲透給水泵宜獨立設(shè)置。反滲透裝置前應(yīng)設(shè)置過濾精度不小于5μm的保安過濾器，并應(yīng)設(shè)置清洗設(shè)施。反滲透裝置應(yīng)有流量、壓力、溫度等控制措施。反滲透高壓泵進口應(yīng)設(shè)低壓保護開關(guān)，出口應(yīng)設(shè)置止回閥和高壓保護開關(guān)。反滲透裝置應(yīng)采用高壓泵變頻啟動或在高壓水泵出口設(shè)置電動慢開閥門等穩(wěn)壓裝置。當(dāng)幾臺反滲透裝置出水并聯(lián)連接時，每臺裝置出水管上應(yīng)設(shè)置止回閥。反滲透裝置出口背壓不宜過高。反滲透裝置宜按連續(xù)運行設(shè)計，停運時應(yīng)有沖洗保護措施。反滲透裝置在線化學(xué)清洗應(yīng)能逐段單獨進行。保安過濾器、反滲透高壓泵宜選用不銹鋼材質(zhì)。采用兩級反滲透時，進入第二級反滲透之前宜作pH調(diào)節(jié)以去除二氧化碳。離子交換裝置的設(shè)置應(yīng)符合下列要求：當(dāng)水質(zhì)較穩(wěn)定、出水量不大時，初級純水系統(tǒng)中陽、陰離子交換器應(yīng)采用單元制串聯(lián)系統(tǒng)，且陰離子交換器的樹脂裝填量應(yīng)為計算值加10%～15%的裕量。當(dāng)進水水質(zhì)變化較大，出水量大時，初級純水系統(tǒng)中陽、陰離子交換器宜采用母管并聯(lián)制系統(tǒng)，每臺離子交換器進出口應(yīng)設(shè)手動隔離閥。離子交換除鹽系統(tǒng)中順流再生固定床、逆流再生固定床、浮動床、雙層床和滿室床的選用，應(yīng)根據(jù)處理水量、進水水質(zhì)條件和出水水質(zhì)要求進行技術(shù)經(jīng)濟比較后確定。浮動床宜用于制水量大，連續(xù)運行的系統(tǒng)。使用強酸、強堿離子交換樹脂的初級復(fù)床出鹽有關(guān)床型適用進出水水質(zhì)見表3.2.3表3.2.3設(shè)備名稱進水水質(zhì)出水水質(zhì)含鹽量(mg/L)總陽離子［mg/L(CaCO3)］強酸陰離子［mg/L(CaCO3)］電導(dǎo)率(μS/cm)順流再生固定床<150≤100≤50≤10逆流再生固定床<500≤350≤200<5浮動床300~500100~20050~125<5弱酸、弱堿離子交換樹脂的使用應(yīng)根據(jù)進水水質(zhì)條件合理選擇。當(dāng)碳酸鹽硬度較高、碳酸鹽硬度與總陽離子之比>0.5時，宜采用弱酸陽離子交換樹脂；當(dāng)強酸陰離子含量>2mmol/L、強酸陰離子與弱酸陰離子之比>2或有機物含量高時，宜采用弱堿陰離子交換樹脂。在強、弱型離子交換樹脂層高合適時，可選用雙層床或雙室離子交換器。離子交換樹脂的工藝性能數(shù)據(jù)應(yīng)根據(jù)設(shè)計工況條件，按樹脂生產(chǎn)廠家提供的產(chǎn)品性能參數(shù)或類似設(shè)計工況條件下的實際運行資料確定。必要時也可通過模擬試驗確定。離子交換裝置的設(shè)計參數(shù)可參照附錄B要求設(shè)計。陽、陰離子交換器工作周期宜按每晝夜再生1～2次設(shè)計。采用強酸、強堿離子交換樹脂的交換器，交換器的再生方式應(yīng)經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟比較確定。當(dāng)進水總含鹽量＞150mg/L，總陽離子含量＞100mg/L（CaCO3），強酸陰離子含量大于100mg/L(CaCO3)時宜采用逆流再生方式。離子交換器的交換樹脂層高，應(yīng)通過計算確定，樹脂層高度不宜低于1.0m?；旌想x子交換器的陽、陰樹脂比例宜為1:2。無石英砂墊層的離子交換器出口應(yīng)設(shè)樹脂捕捉器。采用雙室床、浮動床或滿室床離子交換器時，應(yīng)分別設(shè)置陽、陰離子交換樹脂清洗罐。除二氧化碳器或真空除氣器的填料層高度，應(yīng)根據(jù)填料品種和尺寸，進、出水二氧化碳含量，水溫以及所選定淋灑密度下的實際解析系數(shù)等因素經(jīng)計算確定。電脫鹽系統(tǒng)的設(shè)置應(yīng)符合下列要求：電脫鹽裝置的進水水質(zhì)要求應(yīng)根據(jù)設(shè)備要求確定，也可參照表4.1.1.確定。電脫鹽裝置不宜應(yīng)少于2套，其濃水宜回收至反滲透系統(tǒng)進水。深度脫鹽的混合離子交換器，宜采用氮氣混合離子交換樹脂。脫氧膜設(shè)備和純水儲罐氣封氮氣的純度，不應(yīng)低于99.99%。紫外線滅菌器后應(yīng)安裝過濾器，過濾精度不宜低于0.45μm。精處理（拋光）當(dāng)最終純水水質(zhì)要求較高時精處理系統(tǒng)應(yīng)與車間供水管道構(gòu)成大循環(huán)供水系統(tǒng)，循環(huán)附加量應(yīng)根據(jù)最終水質(zhì)要求確定，一般為最終用水量的20～50％。系統(tǒng)設(shè)備或裝置的設(shè)計流量應(yīng)按產(chǎn)水量+循環(huán)附加流量之和計算。精處理混合床（拋光混床）應(yīng)符合下列要求：采用非再生式。離子交換樹脂應(yīng)根據(jù)水質(zhì)要求選擇。交換器濾速宜大于40m/h。當(dāng)最終用水有不同水溫要求時，應(yīng)在精混床后分別換熱供水，熱純水回水應(yīng)做降溫處理。精處理系統(tǒng)的最終出水管上應(yīng)根據(jù)水質(zhì)要求設(shè)置在線的水質(zhì)監(jiān)測儀表。特殊水質(zhì)指標(biāo)的技術(shù)措施當(dāng)純水水質(zhì)指標(biāo)有對微粒、總有機碳、細菌、溶解氧和二氧化硅等要求時，系統(tǒng)的各個處理單元的設(shè)置中除滿足后續(xù)設(shè)備的進水水質(zhì)要求外，還應(yīng)滿足對特殊指標(biāo)的處理要求。純水制造過程中采用的處理工藝及精處理的循環(huán)附加量、水箱、管材、安裝配管等因素均會影響系統(tǒng)微粒、總有機碳、細菌的變化，設(shè)計中應(yīng)準(zhǔn)確把握處理過程中上述參數(shù)的變化。當(dāng)純水水質(zhì)對TOC有要求時,應(yīng)根據(jù)水質(zhì)要求采用以下技術(shù)措施:在初級處理系統(tǒng)中設(shè)置反滲透裝置。當(dāng)要求小于20～50μg/L時應(yīng)設(shè)置紫外線除有機物裝置。采用低TOC析出的離子交換樹脂、管道、閥門及設(shè)備材料。當(dāng)純水水質(zhì)含有溶解氧指標(biāo)時系統(tǒng)中應(yīng)設(shè)置脫氧裝置，其后所設(shè)的水箱均應(yīng)設(shè)置氮封措施。脫氧裝置宜采用膜脫氣，并應(yīng)根據(jù)水質(zhì)要求經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟比較確定采用一段脫氣處理或二段脫氣處理。系統(tǒng)中設(shè)置凝聚過濾、超濾、反滲透等處理裝置均有降低微粒的作用，當(dāng)最終微粒粒徑要求不小于0.1μm時應(yīng)在精處理階段設(shè)置微孔過濾，要求小于0.1μm宜設(shè)置超過濾。當(dāng)產(chǎn)品水水質(zhì)指標(biāo)有二氧化硅含量要求時，系統(tǒng)設(shè)計應(yīng)發(fā)揮凝聚過濾、活性炭吸附、超濾、反滲透和混合床等單元的除硅作用。系統(tǒng)中的強堿陰離子交換器和混合床宜按出水硅含量控制交換終點，陰離子交換樹脂再生堿液宜采用加熱至35~40oC。水箱、水泵及管道純水制備系統(tǒng)中應(yīng)盡量減少設(shè)置中繼水箱，必須設(shè)置時其容積盡量減小，水箱容積宜按下述原則確定：原水箱、中繼水箱容積宜滿足連續(xù)運行的最大一臺水泵2～3h出力要求，同時應(yīng)滿足單臺設(shè)備反洗或清洗一次的用水量要求；除鹽水箱、軟化水箱總?cè)莘e應(yīng)根據(jù)用戶的用水量要求，一般應(yīng)≥1h的補水量要求，同時應(yīng)滿足工藝系統(tǒng)需要的最大一次自用水量的要求。除二氧化碳裝置的水箱有效容積，單元串聯(lián)系統(tǒng)宜為本單元設(shè)備出力的5min貯水量且不小于2m3；并聯(lián)系統(tǒng)宜為并聯(lián)設(shè)備總出力的15～30min貯水量，水量大時可設(shè)多臺水箱及除碳器。純水制造系統(tǒng)過程中當(dāng)水的電阻率較高、防止二氧化碳溶入水中或有溶解氧要求時水箱宜設(shè)氮封保護。純水供水泵宜采用變頻水泵。當(dāng)純水使用壓力要求較高時，宜在精處理階段的混床后加設(shè)中繼泵。純水站房一般規(guī)定純水站在廠區(qū)的總平面布置應(yīng)符合廠區(qū)總體規(guī)劃要求，并應(yīng)根據(jù)下列要求經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟比較后確定：靠近主要用水設(shè)備；環(huán)境衛(wèi)生條件較好；有方便的交通、運輸和水電條件；有擴建余地。純水站宜與其它建筑物合建；當(dāng)合建建筑物為多層時，純水站宜設(shè)于第一層、第二層。純水站設(shè)計應(yīng)滿足主要水處理環(huán)節(jié)運行觀察、流量計量、水質(zhì)監(jiān)（檢）測以及水質(zhì)取樣等必要條件。需經(jīng)常監(jiān)視或操作的設(shè)備、儀表、閥門、取樣裝置等，應(yīng)布置在便于監(jiān)視操作的部位。站內(nèi)各種管道應(yīng)用不同標(biāo)識標(biāo)明管內(nèi)介質(zhì)種類及其流向。操作氣動閥門和混合離子交換樹脂的氣源應(yīng)經(jīng)除油、干燥處理，并宜設(shè)置穩(wěn)壓裝置。酸堿等藥劑貯存、配制區(qū)應(yīng)設(shè)置緊急淋浴和洗眼器等安全防護設(shè)施。站內(nèi)明溝道應(yīng)設(shè)蓋板，蓋板宜采用鑄鐵蓋板或FRP格柵。水站應(yīng)有適應(yīng)水處理工藝要求的采暖、通風(fēng)、空調(diào)、換氣、照明、給排水等設(shè)施。防火設(shè)計應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》(GB50016)和《建筑滅火器配置設(shè)計規(guī)范》(GB50140)及相關(guān)國家標(biāo)準(zhǔn)中的有關(guān)規(guī)定。設(shè)備布置設(shè)備布置應(yīng)考慮適應(yīng)電子產(chǎn)品發(fā)展的靈活性，滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝技術(shù)改造和擴大生產(chǎn)規(guī)模的需求。設(shè)備布置應(yīng)充分考慮運行操作、施工安裝、維修、公用動力管線及各種技術(shù)設(shè)施的綜合協(xié)調(diào)，并應(yīng)符合下列規(guī)定：按水處理工藝流程順序和設(shè)備功能分區(qū)有序布置；布置合理、緊湊，節(jié)省占地面積；減少對主操作區(qū)的噪聲干擾；精處理或終端處理系統(tǒng)宜盡量靠近主要用水設(shè)備。純水站應(yīng)設(shè)置必要的輔助間，其組成和面積應(yīng)根據(jù)水站規(guī)模、企業(yè)的生產(chǎn)管理情況等確定。酸堿等藥劑貯存、配制設(shè)備區(qū)應(yīng)避開人流通道，靠近制水區(qū)及貨運入口?？諝鈮嚎s機、鼓風(fēng)機等高噪聲設(shè)備，宜布置在單獨房間內(nèi)，并應(yīng)采取減噪措施。當(dāng)水處理設(shè)備布置在室外時，其運行操作部位及閥門、儀表、取樣裝置等宜集中布置，并根據(jù)當(dāng)?shù)貧夂蚯闆r采取相應(yīng)的防凍、防雨、防曬、防風(fēng)等保護措施。反滲透裝置的兩端，應(yīng)有足夠的裝卸膜元件的操作空間。在地面上不便操作、檢修的水處理設(shè)備和閥門等，應(yīng)設(shè)置操作扶梯、檢修平臺和起吊裝置。酸堿等藥劑貯存、配制設(shè)備區(qū)，必須設(shè)置防護圍堤，堤內(nèi)設(shè)備基礎(chǔ)、地面、排水溝等應(yīng)采取嚴(yán)格的防腐、防滲處理；地面排水應(yīng)納入相應(yīng)的廢水處理系統(tǒng)進行處理。設(shè)備間應(yīng)有足夠的操作維修通道和必要的安全距離。主要操作通道的凈距不宜小于2.0m，輔助操作通道的凈距不宜小于0.8m，設(shè)備之間的凈距不宜小于0.6m。通道均應(yīng)適應(yīng)維修的需要?？刂剖液突炇覒?yīng)布置在通風(fēng)采光良好的部位，并宜設(shè)置空氣調(diào)節(jié)裝置。化學(xué)藥劑貯存、配制、裝卸、轉(zhuǎn)輸?shù)仍O(shè)備的布置，應(yīng)符合有關(guān)安全規(guī)定。改、擴建工程的設(shè)備布置，宜符合下列規(guī)定：改善原有不合理的布局和不良運行條件；合理利用、改造原有設(shè)施；減少對原有系統(tǒng)運行的影響；與原有設(shè)備布置相協(xié)調(diào)。管道布置管道布置應(yīng)符合下列要求：合理安排、組織好各類管道的走向、安全距離，避免相互干擾；管線短、附件少，整齊美觀；便于安裝、操作和維修；不影響交通運輸和設(shè)備起吊。必須跨越人行通道的管道，其凈高不應(yīng)低于2.2m。酸堿液管道不應(yīng)架空敷設(shè)在人行通道上方。當(dāng)必須架空敷設(shè)時，應(yīng)采取防護措施。管道不應(yīng)敷設(shè)在電氣設(shè)備上方，酸堿液管道嚴(yán)禁敷設(shè)在配電盤、控制盤等主要電氣設(shè)備上方。設(shè)于室內(nèi)的鼓風(fēng)式二氧化碳脫氣塔，排氣管應(yīng)用管道引至室外，排風(fēng)口宜設(shè)汽水分離裝置。純水輸送和分配一般規(guī)定電子工業(yè)純水的輸配管路形式應(yīng)根據(jù)供水水量、純水水質(zhì)以及使用點水壓穩(wěn)定性要求，結(jié)合技術(shù)經(jīng)濟比較選擇同程回水、異程回水或單管循環(huán)等輸配水方式。管道、閥門、附件的選用應(yīng)與純水水質(zhì)相適應(yīng)。根據(jù)不同純水水質(zhì)及使用條件要求可選擇不銹鋼管、聚氯乙烯（CPVC、）、聚丙烯（PP）、潔凈聚氯乙烯（CL-PVC）、聚偏二氟乙烯（PVDF）等管材。與純水直接接觸的設(shè)備內(nèi)表面應(yīng)光潔、平整、化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定、耐腐蝕、易清洗、易消毒。純水輸配系統(tǒng)的工作壓力不得大于產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)稱的允許工作壓力。熱純水的使用應(yīng)根據(jù)水量和使用點的分布特點結(jié)合技術(shù)經(jīng)濟比較選擇集中加熱或使用點就地加熱的方式供給。管道設(shè)計純水供、回水管路應(yīng)采用架空敷設(shè)，做到安全可靠、經(jīng)濟合理，滿足施工、操作、維修等方面的要求，并力求整齊美觀。管道穿過建筑物樓板或墻面時，應(yīng)加套管，套管與管道間的空隙應(yīng)密封。管道上的焊縫不應(yīng)在套管內(nèi)，距離套管端部不應(yīng)小于150mm。套管應(yīng)高出樓板50mm。管道不應(yīng)穿過防火墻或防爆墻，否則應(yīng)采取必要措施。純水管路系統(tǒng)的布置應(yīng)使管道系統(tǒng)有必要的柔性。管路系統(tǒng)的熱脹冷縮宜利用管道的自然形狀達到自然補償。純水管路系統(tǒng)的設(shè)計設(shè)計應(yīng)保證每個用水點有適當(dāng)?shù)膲翰?，避免回水返混。純水管路系統(tǒng)的設(shè)計應(yīng)盡量避免死水滯留。純水管路系統(tǒng)循環(huán)供水應(yīng)符合下列規(guī)定：循環(huán)附加水量宜為使用水量的20%～50%。純水供水管路流速不宜小于1.5m/s，回水管路流速不宜小于0.5m/s?；厮晒苣┒藨?yīng)設(shè)置背壓閥組。當(dāng)純水對微粒有要求時，管路系統(tǒng)中經(jīng)常啟閉的閥門宜采用慢開閥。純水管路系統(tǒng)供、回水管上設(shè)置的流量計宜采用蝸街流量計。純水管路系統(tǒng)中需要清洗、殺菌的部位或管段應(yīng)設(shè)置清洗接口，清洗、殺菌時不宜通過的設(shè)備或裝置應(yīng)設(shè)旁通。純水回收和節(jié)水一般規(guī)定電子工業(yè)純水系統(tǒng)的設(shè)計應(yīng)對整個工程項目的用水特點進行深入分析，對全廠的用水進行詳細的水量平衡，通盤考慮，綜合比較，按照分質(zhì)用水的要求，盡量使各工序的排水能有效利用到對水質(zhì)要求相對較低的其它工序或系統(tǒng)，從而達到全廠的高水回用率優(yōu)化原水預(yù)處理設(shè)計，確保其出水水質(zhì)長期安全、穩(wěn)定地滿足后續(xù)水處理裝置的進水水質(zhì)要求，以減少系統(tǒng)水耗，提高產(chǎn)水效率。水處理方案的確定，應(yīng)進行方案比選優(yōu)化，并應(yīng)對擬采用的水處理工藝和設(shè)備在質(zhì)量、效率、工藝性能、能耗、水耗水平等方面進行綜合分析比較，優(yōu)先采用節(jié)水型水處理工藝和設(shè)備。改建、擴建工程設(shè)計，對原有高水耗水處理工藝和設(shè)備應(yīng)予以改造后采用或更新。當(dāng)有條件時，應(yīng)對水處理系統(tǒng)和主要水處理單元設(shè)置連續(xù)的標(biāo)準(zhǔn)化自動控制裝置，以減少水耗，節(jié)省水資源。水處理單元的優(yōu)質(zhì)排水，應(yīng)盡量予以回收再用。在缺水城市和缺水地區(qū)，應(yīng)按當(dāng)?shù)赜嘘P(guān)規(guī)定采用嚴(yán)格的節(jié)水措施。純水回收用后純水回收設(shè)計應(yīng)與電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝設(shè)計密切配合，并應(yīng)根據(jù)工程實際情況、回收水質(zhì)、水量，結(jié)合當(dāng)前的技術(shù)、經(jīng)濟條件等綜合考慮，合理確定回收率。根據(jù)回收水水質(zhì)情況，宜直接或經(jīng)處理后作為純水制備原料水使用?；厥账幚硐到y(tǒng)流程的擬定和設(shè)備的選擇，應(yīng)根據(jù)工程的具體情況、回收水水質(zhì)、水量以及處理后的用途等因素綜合考慮確定。當(dāng)不能取得回收水水質(zhì)資料時，可參照已建同類工程經(jīng)驗或科學(xué)實驗確定。節(jié)水措施水處理單元優(yōu)質(zhì)排水回收再用，其設(shè)計宜符合下列要求：水質(zhì)應(yīng)符合相應(yīng)用途的水質(zhì)要求。應(yīng)重復(fù)使用或程序使用于水處理系統(tǒng)或水處理單元。根據(jù)擬回收水量和擬用用途需水量進行水量平衡計算。設(shè)置相應(yīng)的調(diào)儲設(shè)施。當(dāng)回收水量不能滿足需求水量要求時，可補充新鮮水，以最大限度利用回收水。設(shè)備冷卻水應(yīng)循環(huán)使用，當(dāng)采用直流且為新鮮水時，應(yīng)回收利用。換熱設(shè)備的蒸汽凝結(jié)水應(yīng)予回收利用。多介質(zhì)過濾器、活性炭過濾器反洗末段的清洗水和預(yù)過濾階段的出水應(yīng)回用。離子交換器再生末段的清洗水應(yīng)回用。精處理系統(tǒng)超濾濃水應(yīng)回用。溶解氧分析儀、顆粒計數(shù)儀和總有機碳分析儀等在線檢測儀表的排水應(yīng)回用。純水站應(yīng)對耗用的水量進行計量。藥品貯存、計量和輸送一般規(guī)定藥品貯存量應(yīng)根據(jù)藥品的消耗量、供應(yīng)情況、包裝和運輸條件等因素確定，宜按15~30天消耗量計算。藥品由本地供應(yīng)時，可適當(dāng)減少貯存天數(shù)。藥品貯存間的設(shè)計應(yīng)符合下列規(guī)定：藥品貯存間宜靠近廠區(qū)主要道路。房間應(yīng)有良好的通風(fēng)和排水條件，其墻面和地面應(yīng)采取有效的防腐措施。藥品的存放應(yīng)符合下列要求：藥品應(yīng)分類保存在通風(fēng)、干燥、遠離熱源處，且宜放在平臺或墊板上，不同品種藥品應(yīng)設(shè)有明顯標(biāo)志，分類存放。藥品干貯存時，其堆積高度宜為1.5~2.0米。藥品濕貯存時，貯槽應(yīng)有蓋板或護沿。藥品貯存間應(yīng)根據(jù)藥品的性質(zhì)、貯存及使用條件設(shè)置安全防護措施。藥品貯存、配置、投加、計量設(shè)備和輸送管道以及建筑物應(yīng)采取相應(yīng)的防水、防腐、通風(fēng)、除塵、采暖和沖洗等措施。不同離子交換器宜設(shè)置專用酸、堿再生計量設(shè)備。酸、堿及鹽酸、堿及鹽貯存設(shè)備，應(yīng)有安全和事故排放、檢修及清洗的措施。裝卸及貯存設(shè)備應(yīng)設(shè)有防護及水沖洗設(shè)施。鹽酸貯槽宜采用液面密封設(shè)施，排氣口應(yīng)設(shè)置中和、吸收處理設(shè)施。濃硫酸貯槽排氣口宜裝設(shè)除濕器。高純度堿貯槽排氣口宜設(shè)二氧化碳吸收器。裝卸輸送濃酸、堿液體，可采用負(fù)壓抽吸泵輸送或重力自流，不宜采用壓縮空氣輸送。采用固體堿及鹽時，應(yīng)有吊運和溶解設(shè)備?？刂萍皟x表一般規(guī)定電子工業(yè)純水系統(tǒng)的設(shè)計應(yīng)按照系統(tǒng)規(guī)模、出水水質(zhì)、制水工藝、設(shè)備情況等技術(shù)因素結(jié)合經(jīng)濟條件、運行管理水平等綜合考慮后確定合適的自動化程度，設(shè)計與選配控制系統(tǒng)和現(xiàn)場測量儀器儀表。電子工業(yè)純水系統(tǒng)的自控設(shè)計應(yīng)同時考慮手動控制裝置操作的可能以保證在自動控制裝置發(fā)生故障的情況下設(shè)備仍能繼續(xù)運行。電子工業(yè)純水系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)制水工藝、制水設(shè)備及其介質(zhì)輸送系統(tǒng)選配及監(jiān)控功能需求情況，確定測量與控制對象、內(nèi)容和控制參數(shù)，選擇相應(yīng)的監(jiān)控系統(tǒng)，配置控制裝置和現(xiàn)場傳感器、變送器、閥門和執(zhí)行機構(gòu)等外部設(shè)備。現(xiàn)場儀表應(yīng)按介質(zhì)輸送系統(tǒng)和制水設(shè)備的控制參數(shù)，選配壓力、液位、流量、溫度傳感器及其顯示與控制儀表。純水站監(jiān)控系統(tǒng)設(shè)計選型純水站監(jiān)控系統(tǒng)應(yīng)按純水制備過程測量與控制技術(shù)指標(biāo)、控制對象及范圍、聯(lián)鎖控制等技術(shù)條件和監(jiān)控功能需求，選擇監(jiān)控系統(tǒng)的類型。小型監(jiān)控系統(tǒng)宜采用集中式控制系統(tǒng)，選用具有配套控制裝置的成套制程設(shè)備，并設(shè)置自動與手動工作模式，設(shè)計時不再另行選配控制系統(tǒng)。大中型監(jiān)控系統(tǒng)應(yīng)優(yōu)先采用集散型控制系統(tǒng)，有條件的選用現(xiàn)場總線型控制系統(tǒng)。純水站現(xiàn)場儀表、在線測量儀器、傳感器、變送器、閥門、執(zhí)行機構(gòu)以及制水設(shè)備專用控制器等設(shè)計選型，必須與所采用的監(jiān)控系統(tǒng)類型相配套?，F(xiàn)場控制系統(tǒng)及集中監(jiān)控系統(tǒng)設(shè)計純水站現(xiàn)場控制系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)預(yù)處理、脫鹽處理、精處理工藝設(shè)備及其介質(zhì)輸送系統(tǒng)和過程測量與控制單元，按集散型控制系統(tǒng)現(xiàn)場控制站的區(qū)劃，分區(qū)設(shè)計現(xiàn)場控制裝置（站）。制程設(shè)備水系統(tǒng)控制裝置純水制備過程水輸送系統(tǒng)應(yīng)按相應(yīng)制程設(shè)備的工藝規(guī)程和流量、壓力、溫度、水質(zhì)等控制參數(shù)與技術(shù)指標(biāo)，設(shè)計分區(qū)（段）控制裝置。制程設(shè)備水系統(tǒng)現(xiàn)場控制裝置應(yīng)采用PLC可編程控制技術(shù)，對制程設(shè)備及其水輸送系統(tǒng)運行狀態(tài)的控制、檢測與監(jiān)視，運行參數(shù)設(shè)定與調(diào)控，故障與越限報警、數(shù)據(jù)傳輸通信，并具有顯示與記錄運行數(shù)據(jù)、聯(lián)鎖控制，以及自動與手動工作模式等功能。制程設(shè)備液體化學(xué)品輸送加藥系統(tǒng)控制裝置純水制備過程及再生、反沖洗工藝用液體化學(xué)品的貯存與輸送系統(tǒng)傳輸泵的啟動與控制裝置設(shè)計，應(yīng)具有液位檢測與顯示、液位控制與越限報警等功能，并與現(xiàn)場化學(xué)品計量槽液位開關(guān)相聯(lián)鎖。各種液體化學(xué)品現(xiàn)場計量槽加藥系統(tǒng)宜采用計量泵自控裝置，并與計量槽液位開關(guān)聯(lián)鎖控制。具有配套專用控制器的制程設(shè)備和現(xiàn)場測量儀器儀表，其通信接口應(yīng)符合中央控制站系統(tǒng)集成的要求。現(xiàn)場儀器儀表的配置應(yīng)符合純水制備過程測量參數(shù)的量程、精度和控制功能等要求。純水站動力配電系統(tǒng)應(yīng)按用電設(shè)備和監(jiān)控系統(tǒng)等用電要求，根據(jù)需要提供分路正常電源和備用電源，設(shè)計與選配動力配電控制柜，宜提供監(jiān)視、測量、顯示、控制和故障報警，以及通信和自動與手動控制等功能。動力電纜、控制線纜的布置應(yīng)符合建筑電氣、智能化設(shè)計規(guī)范的有關(guān)規(guī)定，分開附設(shè)。現(xiàn)場控制裝置（柜）應(yīng)符合電氣安全標(biāo)準(zhǔn)，并具有相應(yīng)的防水、防腐蝕性能和安全標(biāo)示。集中監(jiān)控系統(tǒng)（中央控制站）主控柜及計算機管理系統(tǒng)通過總線和通信接口將現(xiàn)場控制站及其傳感器、電動（氣動）閥門、執(zhí)行器等進行系統(tǒng)集成、聯(lián)網(wǎng)控制，應(yīng)滿足工藝條件、運行監(jiān)控和操作與管理等系統(tǒng)功能的要求。儀表設(shè)置離子交換除鹽系統(tǒng)控制儀表的設(shè)置，應(yīng)根據(jù)制水工藝、系統(tǒng)連接和控制方式等不同情況按以下要求確定：單元制串聯(lián)除鹽系統(tǒng)，在陰離子交換器出口安裝電導(dǎo)率表，陽、陰離子交換器分別安裝累計流量計監(jiān)控失效終點。母管制并聯(lián)除鹽系統(tǒng)，陽陰離子交換器出口分別安裝監(jiān)控失效終點的儀表。陰離子交換器出口安裝電導(dǎo)率表，每臺離子交換器出口應(yīng)安裝累計流量計監(jiān)控失效終點?；旌想x子交換器出口宜安裝電導(dǎo)率表、累計流量表監(jiān)控失效終點。如果需要采用硅表監(jiān)控失效終點，可采用多通道式硅表用于多臺離子交換器。鈉離子交換器和弱酸離子交換器出水應(yīng)設(shè)累計流量表監(jiān)控失效終點。酸、堿、鹽再生稀釋水管道上應(yīng)設(shè)流量計，水箱、貯存槽、計量箱及廢水池應(yīng)設(shè)液位計。反滲透裝置控制儀表的設(shè)置應(yīng)按以下要求確定：反滲透裝置的產(chǎn)水和濃水應(yīng)設(shè)流量表。大型系統(tǒng)的進水也應(yīng)設(shè)流量表。反滲透裝置的進水和產(chǎn)水應(yīng)設(shè)電導(dǎo)率表。反滲透系統(tǒng)進水如果設(shè)有加酸裝置，其進水總管應(yīng)設(shè)PH值表。反滲透系統(tǒng)進水應(yīng)設(shè)氧化還原電位表或余氯表。反滲透系統(tǒng)高壓泵的進、出口應(yīng)分別設(shè)置低壓開關(guān)和高壓開關(guān)。反滲透裝置的各段之間應(yīng)設(shè)差壓表。電脫鹽裝置進水、產(chǎn)水和濃水應(yīng)設(shè)電導(dǎo)率表和壓力表。

附錄A水質(zhì)全分析報告工程名稱：取樣日期：年月日取樣位置：分析日期：年月日樣品外觀：水源類別：江河水□湖水□水庫水□地下水□取樣水溫：℃水樣編號：項目mg/Lmmol/L項目mg/Lmmol/L陽離子Na+全固體K+溶解性固體Ca2+懸浮性固體Mg2+電導(dǎo)率（μs/cm）Fe2+總硬度(mg/L,CaCO3)Fe3+碳酸鹽硬度(mg/L,CaCO3)Mn2+非碳酸鹽硬度(mg/L,CaCO3)Cu2+總堿度(mg/L,CaCO3)Al3+酚酞堿度(P)(mg/L,CaCO3)NH4+甲基橙堿度(M)(mg/L,CaCO3)BpHBa2+游離二氧化碳Sr2全硅(SiO2)∑活性硅(SiO2)陰離子Cl-CODMnSO42-濁度（NTU）HCO3-灼燒減量CO32-NO3-NO2-OH∑注：1當(dāng)水源用于反滲透系統(tǒng)處理系統(tǒng)時，還應(yīng)化驗水中Ba2+、Sr2+離子含量；2當(dāng)水源位于高氟、高錳地區(qū)時應(yīng)化驗水中F-、Mn2+離子的含量；3當(dāng)水源為中水、再生水等時，應(yīng)根據(jù)水源來水構(gòu)成情況，還應(yīng)化驗水中生化耗氧量（BOD5）、耗氧量CODCr、氨氮（NH3-N）、總有機碳（TOC）、總磷、細菌總數(shù)、游離氯等含量。4表中分析項目可根據(jù)工程情況酌情增減。

附錄B離子交換器設(shè)計參數(shù)表B-1順流再生式離子交換器設(shè)計參數(shù)交換器類型陽離子交換器陰離子交換器再生式混合床離子交換器鈉離子交換器強酸弱酸強堿弱堿運行濾速(m/h)20～3040～6020～30反洗流速(m/h)156～105～81015歷時(min)15151515～301515再生再生劑品種HClHClNaOHNaOHHClNaOHNaCl耗量(g/mol)70`8040100~12040～5080kg/m3100kg/m3100~120濃度（％）2~42～2.52~32545~8流速(m/h)4～64～54～64～5554~6置換流速(m/h)8~104~64~64~64~65歷時(min)25~3020～4025~4040～60正洗水耗(m3/m3樹脂)5~62～2.510~122.5～5正洗前用壓縮空氣混合，空氣壓力：0.1～0.15MPa空氣強度：2～3m3/m2混合時間：0.5～1min3~6BV流速(m/h)1215～2010~1510~2015~20歷時(min)3010～206025～3030注：1.運行濾速上限為短時最大值，對于強酸陽離子交換器和強堿陰離子交換器，當(dāng)進水水質(zhì)較好或采用自動控制時，運行濾速可按30m/h左右計算(以后同)。2.硫酸分步再生時的濃度，酸量的分配和再生流速，可視原水中鈣離子含量占總陽離子含量比例的不同，經(jīng)計算或試驗確定。當(dāng)采用兩步再生時：第一步濃度(m/m，下同)0.8%～1%，再生劑用量不要超過總量的40%，流速7～10m/h；第二步濃度2%～3%，再生劑用量為總量的60%左右，流速5～7m/h。采用三步再生時：第一步濃度0.8%～1%，流速8～10m/h；第二步濃度2%～4%，流速5～7m/h；第三步濃度小于4%～6%。流速4～6m/h，第一步用酸量為總用酸量的1/3。

表B-2逆流再生式離子交換器設(shè)計參數(shù)交換器類型強酸陽離子交換器強堿陰離子交換器鈉離子交換器運行濾速(m/h)20～3020～30小反洗流速(m/h)5～105～10歷時(min)153~5頂壓氣壓力（MPa）0.03～0.05流量(Nm3/m2·min)0.2～0.3水壓力（MPa）0.05流量再生液流量的0.4～1倍再生再生劑品種HClNaOHNaCl耗量(g/mol)50~5560~6580~100濃度（％）1.5～31～35~8流速(m/h)4～64～64~6置換流速(m/h)同再生流速歷時(min)30－小正洗流速(m/h)10～157～1010～15歷時(min)5～105～105～10正洗水耗(m3/m3樹脂)1～31～33~6歷時(min)5~610~1215~2