無損檢測泄漏檢測示蹤氣體方法國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會I Ⅲ 1 1 1 1 16檢測設(shè)備 27檢測準(zhǔn)備 28真空檢測(A組技術(shù)) 29正壓檢測(B組技術(shù)) 510檢測報告 附錄A(資料性)本文件與ISO20485:2017的技術(shù)性差異及其原因 附錄B(資料性)累積檢測技術(shù)校準(zhǔn)漏孔與未知容積的密封罩連接 Ⅲ1GB/T12604.7無損檢測術(shù)語泄漏檢測(GB/T12604.7—2021,ISO20484:2017,MOD)第10章)。2 3對被檢件抽真空并連接至檢漏儀。采用充有示蹤氣體且氣密性良好的密封罩包裹待檢測區(qū)之間累積的氣體進(jìn)入系統(tǒng)。響應(yīng)時間是從隔離閥打開至檢漏系統(tǒng)信號增幅達(dá)到最大穩(wěn)定值90%之間準(zhǔn)漏孔，檢漏系統(tǒng)信號下降了穩(wěn)定信號與背景信號差值90%8.3.2被檢件置于密封罩(密封袋或密封容器)并抽真空。如果密封罩是柔性密封袋(通常為塑料袋),8.3.3密封罩預(yù)抽真空能有助于檢測。當(dāng)密封罩為柔性密封袋時，密封袋宜抽真空至緊貼被檢件外48.3.5被檢件置于含規(guī)定濃度示蹤氣體的密封罩，維持時間應(yīng)至少為響應(yīng)時間的2倍。當(dāng)響應(yīng)時間超qcL.——校準(zhǔn)漏孔漏率(純示蹤氣體),單位為帕斯卡立方米每秒(Pa·m3/s);c——混合氣體中示蹤氣體體積濃度；8.4.3塑料袋或密封容器通過膠帶或密封墊貼合至被檢區(qū)域。該措施可防止檢測中出現(xiàn)較大示蹤氣8.5.2應(yīng)按照8.2.5規(guī)定的校準(zhǔn)漏孔位置放置通道型漏孔，以評估噴槍檢測被檢件表面時掃查速度對檢測結(jié)果的影響。調(diào)節(jié)噴槍氣流，使噴嘴以規(guī)定的掃查速度和距離經(jīng)過漏孔位置，記錄信號幅值。如信 67對于較大泄漏(大于1×10-?Pa·m3/s)且氨氣濃度小于15%,可采用無油干燥空氣對被檢件盡管幾百帕壓力能有效檢測，但為優(yōu)化最小可檢漏率和縮短檢測時間，推薦采用2×10?Pa~1)清除刷涂的試劑；2)重新刷涂試劑并干燥；1)更換浸染帶；89.4.2.2真空罩置于指定檢測區(qū)域并抽真空至規(guī)定壓力B.3技術(shù)適用于含示蹤氣體或能被示蹤氣體充壓至正壓的被檢件，且該被檢件能完全置于密封9.5.2.3經(jīng)過規(guī)定時間(取決于要求檢測極限),應(yīng)測量記錄t?時刻示蹤氣體濃度c?對應(yīng)的信號S?。9.5.2.4通過與已知參考混合氣體(示蹤氣體濃度Cr,對應(yīng)信號Se)對比，確定S。和S?對應(yīng)的濃度 (2)p——密封罩壓力，單位為帕斯卡(Pa);C1——t?時刻密封罩示蹤氣體濃度；如檢測采用含示蹤氣體混合氣體執(zhí)行，參考漏孔氣體應(yīng)為同種混合氣體。如有可能，參照附錄B9to——檢測開始時刻，單位為秒(s);9.7.1該技術(shù)適用于檢測前已密封且不含示蹤氣體的被檢件。該類被檢件通常尺寸較小(例如：半導(dǎo)a)去除加壓容器內(nèi)空氣(抽真空);d)采用質(zhì)譜檢漏儀對真空容器測量。9.7.2被檢件預(yù)先清潔干燥并置于真空容器內(nèi)。真空容器應(yīng)抽真空至確保被檢件完整性的最低壓力，9.7.3應(yīng)采用示蹤氣體對該容器加壓至規(guī)定壓力，保壓規(guī)定9.7.4應(yīng)在遠(yuǎn)離檢漏儀處排放示蹤氣體(示蹤氣體可經(jīng)氣管排放至建筑外，或排放至收集器以避免檢9.7.5應(yīng)采用不含示蹤氣體的干燥空氣或氮氣吹掃被檢件當(dāng)脫附氣體流量與示蹤氣體預(yù)期流量水平相9.7.8真空容器應(yīng)與質(zhì)譜檢漏儀連接并開始抽真空，并在除氣情9.7.9如檢測能獲得穩(wěn)定狀態(tài)信號，應(yīng)讀取參考漏孔穩(wěn)定信號進(jìn)行校準(zhǔn)。如平衡建立前讀取漏率信應(yīng)通過可接受漏率qL計算安全拒收點qk,見公式(5): (5)qR——允許泄漏顯示(拒收點),單位為帕斯卡立方米每秒(Pa·m3/s)p——示蹤氣體加壓壓力，單位為帕斯卡(Pa);較大漏率僅能在加壓后至抽真空前(等待時間tw內(nèi))發(fā)現(xiàn)。推薦采用吸9.9.2被檢件由柔性或剛性密封罩包圍，密封罩內(nèi)載氣流壓閥和流量計的氣源(通常為氮氣或干燥空氣)。密封罩出氣口連接至檢漏儀的取樣探頭(典型布局見圖1)。QQ6459.9.3檢測裝置和檢漏儀均由連接至密封罩的參考漏孔(或校準(zhǔn)漏孔)校準(zhǔn)，漏孔出口應(yīng)接入載氣當(dāng)采用檢漏儀測量示蹤氣體濃度時(如空氣中氦氣體積分?jǐn)?shù)為5×10-?),被檢件漏率按照公式(6) (6)(資料性)本文件與ISO20485:2017的技術(shù)性差異及其原因表A.1給出本文件與ISO20485:2017的技術(shù)性差異及其原因。表A.1本文件與ISO20485:2017的技術(shù)性差異及其原因章條編號原因11適應(yīng)國內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)要求，便于標(biāo)準(zhǔn)使用者使用22用修改采用國際標(biāo)準(zhǔn)的GB/T12604.7代替ISO20485:2017引用的ISO20484適應(yīng)國內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)要求，便于標(biāo)準(zhǔn)使用者使用3增加了A.2技術(shù)關(guān)于泄漏定量和定位的適應(yīng)國內(nèi)使用習(xí)慣，便于標(biāo)準(zhǔn)使用者使用4適應(yīng)國內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)要求，便于標(biāo)準(zhǔn)使用者使用5適應(yīng)國內(nèi)使用習(xí)慣，便于標(biāo)準(zhǔn)使用者使用6增加了關(guān)于維持時間與響應(yīng)時間倍數(shù)的適應(yīng)國內(nèi)使用習(xí)慣，便于標(biāo)準(zhǔn)使用者使用78據(jù)表述內(nèi)容引用條款8.2.19修改了氨檢測技術(shù)中關(guān)于被檢件準(zhǔn)備所引修改了圖B.2中關(guān)于坐標(biāo)軸X、Y的說明累積檢測技術(shù)校準(zhǔn)漏孔與未知容積的密封罩連接如t?時刻打開校準(zhǔn)漏孔，額外泄漏導(dǎo)致t?時刻獲得更高的示蹤氣體濃度c該濃度差表明t?~t?時間內(nèi)校準(zhǔn)漏孔的影響。2234圖B.2含/不含校準(zhǔn)漏孔的累積漏率信號變化情況[1]GB/T3163真空技術(shù)術(shù)語[2]GB/T9445無損檢測人員資格鑒定與認(rèn)證[3]GB/T32074無損檢測氨泄漏檢測方法[4]GB/T36176真空技術(shù)氦質(zhì)譜真空檢漏方法[6]GJB360A電子及電氣元件[8]ISO9712Non-destructivetesting—QualificationandcertificationofNDTpersonnel[9]ISO20486Non-destructivetes