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A初版發(fā)行（恒信靜電中心培訓(xùn)專用）

目錄

1目的

2適用范圍

3名詞解釋

4功能權(quán)責(zé)

5生產(chǎn)流程

6管理要求

6.1基本原理

6.2修正

6.3靜電敏感件

6.4ESDt剖||

6.5產(chǎn)品認(rèn)可

6.6符合性驗證

6.7接地

6.8人員接地

6.9EPA

6.9.1區(qū)域界定

6.9.2人員管控

6.9.3絕緣體管控

6.9.4孤立導(dǎo)體管控

6.10包裝

6.11標(biāo)記

7持續(xù)改進(jìn)

8相關(guān)程序文件及記錄表單

9參考文件

1.目的

公司按照ANSI/ESDS20.20和IEC61340-5-1標(biāo)準(zhǔn)實施靜電防護(hù)管理，其目的在于：

1)減少靜電對產(chǎn)品的損害，提高產(chǎn)品品質(zhì)，提高客戶滿意度。

2)E月確靜電防護(hù)措施和實施要求，為公司各部門和生產(chǎn)環(huán)節(jié)的防靜電建立統(tǒng)一規(guī)則。

3)建立規(guī)范要求供應(yīng)商和其他協(xié)作/服務(wù)公司提供滿足期望的產(chǎn)品或服務(wù)。

4)通過二方、三方稽核，獲得客戶/機構(gòu)認(rèn)可，持續(xù)改進(jìn)提高靜電防護(hù)水平。

2.適用范圍

本ESD管理手冊適用于公司所有靜電放電敏感元器件的生產(chǎn)過程，也適用于外協(xié)廠方、供應(yīng)商和合作方等

與靜可敏感件相關(guān)各方,同時也適用于公司產(chǎn)品的最終用戶的靜電放電防護(hù)控制。

本ESD管理手冊適用于好電放電敏感度大于等于人體模型(HBM)IOO伏和帶電器件模型(CDM)200伏以及

孤立導(dǎo)體(Insulatedconductor)35伏的電氣或電子零件、裝置和設(shè)備等的制造、維修、組裝、安裝、包裝、標(biāo)

簽，服務(wù)、測試、檢驗或其它處理活動。若今后處理的靜電放電敏感元器件的敏感電壓值低于三種模型中任何

一種,應(yīng)立即重新評估控制薦，修正控制措施和要求限值，變更本ESD管理手冊后繼續(xù)實施。

3.名詞解釋

本ESD管理手冊中使用的名詞參考ANSI/ESDADV1.0-2014,為使用人員理加容易理解和實施，結(jié)合公

司慣用語，對手冊中常用的名詞作出解釋。

ACequipmentground,交流設(shè)備接地：交流設(shè)備電源線中地線的接地。

AuxiliaryGround,輔助接地：單獨使用交流設(shè)備接地以外的接地，包括專設(shè)的弱電接地，靜電接地。

Complianceverification,符合性驗證：測試表明性能沒有超過初始選擇的限值，即指監(jiān)測、稽查、點檢。

Conductivematerial(resistance),導(dǎo)體材料(電阻)：表面電阻或體積電阻小于l*10E4歐姆的材料，即指

導(dǎo)靜池材料。

Dissipativematerials,耗散材料：表面電阻或體積電阻大于等于l*10E4歐姆且小于l*10Ell歐姆的材料，

即指消散性靜電材料。

Electrostaticdischarge(ESD),靜電放電：高靜電場快速自發(fā)的靜電電荷轉(zhuǎn)移，也指防靜電。

Electrostaticdischarge(ESD)protectiveworkstation,ESD保護(hù)工作站：一個處理靜電放電敏感器件的工

作區(qū)域，配備必要的防護(hù)材料和設(shè)備來限制靜電放電對靜電敏感器件的損害。

Electrostaticdischargesensitivity(ESDS),靜電放電敏感性：青爭電放電導(dǎo)致器件失效。

Electrostaticdischargesusceptible(ESDS)item,靜電放電敏感器件：有靜電放電敏感級別的的電子電氣零

件、裝置、元件、組件或設(shè)備。

Electrostaticfield,靜電場：一個因存在電荷而有引力或斥力的空間。

Electricfieldshieldingmaterials,靜電屏蔽材料：表面電阻或體積電阻小于V10E3歐姆的材料。

ESDprotectedarea(EPA),靜電放電防護(hù)區(qū)：定義的一個區(qū)域，為控制靜電級別配備必要的防護(hù)材料、工具

和設(shè)備來最大限度地減少損害ESD敏感器件。即指靜電保護(hù)區(qū)，防靜電區(qū)域。

Groundablepoint,可接地點：指定或假設(shè)防靜電物品或設(shè)備上適當(dāng)?shù)慕拥匚恢谩?/p>

Insulativematerials,絕緣材料：表面電阻或體積電阻大等于1*1OE11歐姆的材料。

Isolatedconductor,孤立導(dǎo)體：一個未接地的導(dǎo)體。

Point-to-pointresistance,點對點電阻：表面兩電極之間的電阻。

Resistancetoground，點對地電阻：表面一個電極和地之間的電阻。

Sleeve-to-sleeveresistance,袖對袖電阻：一件展開的工作服兩個袖口之間的電阻。

Surfaceresistance,使用規(guī)定結(jié)構(gòu)的兩個電極接觸一個材料的表面，直流電壓與電流的比值。

Unprotectedarea(UPA),非防護(hù)區(qū)：EPA的外面的區(qū)域。即指非EPA,非防靜電區(qū)，靜電保護(hù)區(qū)。

Volumeresistance,體積電阻：使用規(guī)定結(jié)構(gòu)的兩個電極分別接觸一個材料的兩對面，直流電壓與電流的比

值。

4.功能權(quán)責(zé)

3.1ESD小組組織架構(gòu)(如圖)

3.2權(quán)責(zé)說明

3.2.1ESD工作組組長由公司任命。負(fù)責(zé)協(xié)調(diào)ESD工作組內(nèi)各成員的工作以及協(xié)調(diào)其他相關(guān)部門支持

ESD管理體系的良好運行，持續(xù)驗證和改進(jìn)使其滿足體系的適宜性、充分性和有效性。

3.2.2ESD工作組副組長由公司ESD工程師擔(dān)任，負(fù)責(zé)協(xié)助組長協(xié)調(diào)小組工作，監(jiān)查ESD管理體系運

行情況，通過日常驗證和年度內(nèi)審等方法持續(xù)發(fā)現(xiàn)ESD管理體系運行的問題，提供糾正措施持續(xù)保障ESD

管理體系運行符合公司需求。

5.生產(chǎn)流程及EPA區(qū)域

（如圖）

6.管理要求

6.1基本原理

A.EPA內(nèi)所有導(dǎo)體（包括人體）應(yīng)該接地。如果特殊情況不能接地，應(yīng)將所有導(dǎo)體（包括人體）相連來

建立了一個等電位平衡,只要系統(tǒng)中所有物體都處在同一個電位上，就可以在高出地電位"零伏特"時

仍然可以維持靜電保護(hù)。

B.EPA內(nèi)必要的非導(dǎo)體（處理過程需要的絕緣體）因為不能通過接地方式進(jìn)行放電，采用電離化中和

是為這些非導(dǎo)體（例如電路板材料以及器件的封裝）消除靜電最佳方式，應(yīng)該對必要的非導(dǎo)體可能產(chǎn)生

靜電放電危害做出評估來保證實施措施的合理性（見本手冊EPA絕緣體管控章節(jié)）。

C.在靜電保護(hù)區(qū)內(nèi)周轉(zhuǎn)靜電放電敏感件時，使用低帶電并耗散靜電的材料；在靜電保護(hù)區(qū)外運送靜電放

電敏感件時，應(yīng)使用低帶電且耗散靜電的防護(hù)材料密封起來，推薦使用低帶電且靜電場屏蔽的材料。

6.2修正（例舉）

修正聲明1:公司ESD管理手冊不包含依據(jù)ANSI/ESDS20.20標(biāo)準(zhǔn)的人員接地章節(jié)。

基本原理：已建立全自動化裝配過程，人員與ESDS器件不可能有交互。

修正聲明2:公司防靜電工作臺測量方法中"地"修正為"地面"，上限值仍然符合ESDS20.20符合

性驗證限值要求。

基本原理：防靜電工作臺接地電阻按TR53-01-15測試阻值為臺墊阻值+接地扣阻值+接地線阻值+接地

系統(tǒng)阻值；修正后工作臺接地電阻為臺墊阻值+接地扣阻值+接地線阻值+接地系統(tǒng)阻值+地面阻值，比

TR53-01-15測試方法增加了地面的的阻值，測量值應(yīng)大于TR53-01-15測試方法的測量值，此值若符

合S20.20限值要求，則TR53-01-15測試方法的測量值應(yīng)符合S20.20限值要求。

實測數(shù)據(jù)：(可以通過較大量的實測數(shù)據(jù)和結(jié)論來論證上面的結(jié)論)

6.3靜電敏解牛

公司使用的微電子線路，分立半導(dǎo)體，厚膜、薄膜電阻，混合器件，印刷電路板及壓電晶體等等都

是靜電敏感件，敏感特性由供應(yīng)商根據(jù)IQC/SQE要求提供(需提供HBM、CDM、MM(Isolated

conductor)三類模型的敏感電壓值)JQC/SQE負(fù)責(zé)根據(jù)公司生產(chǎn)的產(chǎn)品動態(tài)列明《ESD敏感件清單》，

當(dāng)發(fā)現(xiàn)敏感度小于適用范圍(人體模型(HBM)IOO伏和帶電器件模型(CDM)200伏以及孤立導(dǎo)體

(Insulatedconductor)35伏)電壓時，應(yīng)立即通知ESD小組負(fù)責(zé)人，由ESD小組組織評估采取額外的

控制要素及調(diào)整要求限值。

6.4ESD培訓(xùn)

ESD培訓(xùn)|工作依據(jù)公司質(zhì)量管理體系的《培訓(xùn)管理程序》文件執(zhí)行。

6.4.1培訓(xùn)內(nèi)容

6.4.2培訓(xùn)計劃

人力資源部統(tǒng)一組織的視頻教學(xué)和講師課堂形式的培訓(xùn)，培訓(xùn)內(nèi)容包括ESD基礎(chǔ)知識、防護(hù)用品、

操作規(guī)范的培訓(xùn)，培訓(xùn)后隨堂進(jìn)行ESD考試，80分為合格,合格者方允許到EPA上崗。初次培訓(xùn)

及考核記錄統(tǒng)一交由人事部門按質(zhì)量管理體系的《記錄管理程序》歸檔保存。

崗前培訓(xùn)，新員工在EPA上崗后獨自操作前,由產(chǎn)線小組長負(fù)責(zé)安排崗前培訓(xùn)，加強ESD防護(hù)意

識，小組長負(fù)責(zé)人員培訓(xùn)評價，合格者方允許獨自操作。評價記錄由各部門按質(zhì)量管理體系的《記

錄管理程序》歸檔保存。

6.5產(chǎn)品認(rèn)可

6.5.1產(chǎn)品認(rèn)可方法

質(zhì)量管理體系的《記錄管理程序》保存測試報告并接收產(chǎn)品?；蛘撸?/p>

質(zhì)量管理體系的《記錄管理程序》保存自測報告和來料檢驗記錄。或者：

質(zhì)量管理體系的《記錄管理程序》保存來料檢驗記錄，合格則接收產(chǎn)品。

質(zhì)量管理體系的《記錄管理程序》負(fù)責(zé)保存記錄，合格則接收產(chǎn)品，不合格者不得繼續(xù)使用，按

質(zhì)量管理體系的《不合格品管理程序》處理。

所有測試報告和測試記錄根據(jù)ESD小組驗證周期（1年）提交到ESD工作組副組長完成年度體系

運行驗證（內(nèi)審）。

項目測試方法要求限定頻率檢驗比例檢測人員記錄表

Rs-s<lxlOHQ

防靜電月劃帽ANSI/ESDSTM2.1新購5-10%IPQC來料檢驗記錄表

Rp-p<lxlOnQ

防靜電鞋ANSI/ESDSTM9.1Rp-g<l.OxlO9Q新購5-10%IPQC料料僉瑜e錄表

腳筋帶ESDSP9.2Rp-g<lxlO9Q新購5-10%IPQC來*幡驗記錄表

防靜電手套/手

ANSI-ESDSP15.1Rp-p<lxlOnQ新購5-10%IPQC來料檢驗記錄表

指套

Rp-p<lxlO9Q新購IPQC來料檢驗記錄表

防靜電地面ANSI/ESDSTM7.1100%

Rp-g<lxlO9Q新安裝ESD組員點檢記錄表

防靜電工作臺

Rp-p<lxlO9Q新購IPQC來用僉睡錄表

防靜電貨架ANSI/ESDS4.1100%

Rp-g<lxlO9Q新安裝ESD組員點檢記錄表

移動設(shè)備（推車）

ANSI/ESD

防靜電工作椅Rp-g<lxlO9Q新購5-10%IPQC來料檢驗記錄表

STM12.1

手腕帶接地連

ANSI/ESDS6.1R<2Q新安裝5-10%ESD組員點檢記錄表

接件（非監(jiān)測）

監(jiān)測報警器產(chǎn)品說明書是否正常新安裝5-10%ESD組員點檢記錄表

Rt-g<2Q

尖端電壓<20mV

烙鐵ANSI/ESDS13.1新購5-10%IPQC來料檢驗記錄表

尖端泄漏電流

<10mA

-35V<Voffset<35V

離子風(fēng)扇ANSI/ESDSTM3.1新購100%IPQC來料t僉驗記錄表

衰減時間<10S

靜電毛刷等工

ESD測試作業(yè)指導(dǎo)書Rp-p<lxlO9Q新購5-10%IPQC來期金驗記錄表

具

包裝材料Rp-p<lxlOnQ

ESDS541新購5-10%IQC來料檢驗記錄表

周轉(zhuǎn)用品Rp-g<lxlOnQ

R內(nèi)<lx105Q

R外>lx107Q

防靜電手腕帶ANSI/ESDS1.1新購5-10%來相僉驗記錄表

0.8X106Q<R腕帶IQC

線<L2xLO60

6.6符合性驗證

質(zhì)量管理體系的《監(jiān)視?口測量管理程序》和符合性驗證測試要求定期進(jìn)行測試并記錄，由測試

人員所在部門保存測試記錄。

質(zhì)量管理體系的《測量儀器校驗管理程序》校準(zhǔn)檢定，以保證測試數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性。

質(zhì)量管理體系的《不合格品管理程序》處理。

所有測試記錄根據(jù)ESD小組驗證周期（1年）提交到ESD工作組副組長完成年度體系運行驗

證（內(nèi)審）。

項目測試方法要求限定頻率檢驗比例檢測人員記錄表

防靜電鞋ESDTR53鞋章節(jié)Rp-g<3.5x1070每日100%ESD組員綜合測試儀點檢

防靜電手腕帶ESDTR53腕帶章節(jié)Rp-g<3.5xlO7Q每日100%ESD組員綜合測試儀點檢

監(jiān)視報警器產(chǎn)品說明書是否正常3個月100%ESD組員點檢記錄表

手腕帶接地連ESDTR53接地系統(tǒng)

R<2Q1個月100%ESD組員點檢記錄表

接件（非監(jiān)測）甲F

ESDTR53焊接烙鐵

烙鐵Rt-g<10Q1個月100%ESD組員點檢記錄表

早”

包裝材料ESDTR53包裝章節(jié)Rp-gvlxlOiiQ3個月5%ESD組員點檢記錄表

靜電毛刷等工

ESD測試作業(yè)指導(dǎo)書Rp-g<lxlO9Q6個月5%ESD組員點檢記錄表

具

ESDTR53離子化設(shè)-35V<Voffset<35V

離子風(fēng)風(fēng)扇1個月100%ESD組員點檢記錄表

備章節(jié)衰減時間<10S

防靜電月鼠帽ESDTR53服裝章節(jié)Rp-p<lxlO11Q6個月5%ESD組員點檢記錄表

防靜電地面ESDTR53地面章節(jié)Rp-g<lxlO8Q3個月100%ESD組員點檢記錄表

防靜電工作臺

ESDTR53工作表面

防靜電貨架Rp-g<lxlO9Q3個月100%ESD組員點檢記錄表

早R

防靜電臺墊

移動設(shè)備（推ESDTR53移動設(shè)備

Rp-g<lxlO9Q1個月100%ESD組員點檢記錄表

車、貨架）早”

防靜電工作椅ESDTR53座椅章節(jié)Rp-g<lxlO9Q3個月100%ESD組員點檢記錄表

注：公司防靜電工作臺測量方法中"地"修正為"地面"。

6.7接地

項目測試方法要求限定頻率檢驗比例檢測人員記錄表

接地體ESD測試作業(yè)指導(dǎo)書<10Q1年100%ESD組員點檢記錄表

新安裝

接地線ESD測試作業(yè)指導(dǎo)書<1Q100%ESD組員點檢記錄表

1年

新安裝

設(shè)備接地電阻ESD測試作業(yè)指導(dǎo)書<1Q100%ESD組員點檢記錄表

1年

6.8人員接地

項目測試方法要求限定頻率檢驗比例檢測人員記錄表

ANSI/ESD

Ro-g<lxl09Q

鞋/地面系統(tǒng)STM97.1

新安裝100%ESD組員點檢記錄表

（同時滿足）ANSI/ESD

峰值電壓＜100V

STM97.2

6.9EPA

所有處理沒有防靜電保護(hù)覆蓋或包裝的ESDS器件的區(qū)域均應(yīng)設(shè)置為EPA，處理包含所有靜電放

電敏感元器件的生產(chǎn)過程。區(qū)域設(shè)定包括工廠一樓倉庫電子料區(qū)域，一樓進(jìn)料檢驗電子料檢驗區(qū)域，

一樓包裝車間，二樓生產(chǎn)車間，二樓維修室，但生產(chǎn)車間內(nèi)辦公區(qū)域，更衣室，休息室，茶水間，衛(wèi)

生間，非ESD物料存放區(qū)域等設(shè)為UPA（非EPA）,具體見公司車間平面圖（區(qū)域隨生產(chǎn)可能變更，以

EPA界定線為準(zhǔn)）。

6.9.2人員管控

絕緣材料測試章節(jié)測量出其靜電場強后，根據(jù)距離和靜電場強進(jìn)行管控。

6.10包裝

6.11標(biāo)記

圖示1（ESD保護(hù)）圖示2（ESD驗證合格）圖示3（ESDS器件警告）

6.113EPA

圖示4（EPA入口）圖示5（EPA地膠）

7持埃改進(jìn)

1.1ESD小組應(yīng)組織定期/不定期稽咳。

1.2稽核過程發(fā)現(xiàn)的不符合情況及潛在問題應(yīng)總結(jié)分析，應(yīng)按《不符合,糾正預(yù)防與持續(xù)改進(jìn)程序》

制定適宜措施保證ESD管理體系的良好運行。

8相關(guān)程序文件及記錄表單

《ESD敏感件清單》