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力敏傳感器的分類1.應(yīng)變式傳感器2.壓阻式傳感器3.電感式傳感器4.電容式傳感器5.壓電式傳感器6.諧振式傳感器課程內(nèi)容CourseContents1.應(yīng)變式傳感器2.壓阻式傳感器3.電感式傳感器4.電容式傳感器5.壓電式傳感器6.諧振式傳感器課程內(nèi)容CourseContents1.應(yīng)變式傳感器應(yīng)變式傳感器利用電阻應(yīng)變片將應(yīng)變轉(zhuǎn)換為電阻變化的傳感器。1.應(yīng)變式傳感器2.壓阻式傳感器3.電感式傳感器4.電容式傳感器5.壓電式傳感器6.諧振式傳感器課程內(nèi)容CourseContents2.壓阻式傳感器壓阻式傳感器

是指利用單晶硅材料的壓阻效應(yīng)和集成電路技術(shù)制成的傳感器。單晶硅材料在受到力的作用后，電阻率發(fā)生變化，通過(guò)測(cè)量電路就可得到正比于力變化的電信號(hào)輸出。1.應(yīng)變式傳感器2.壓阻式傳感器3.電感式傳感器4.電容式傳感器5.壓電式傳感器6.諧振式傳感器課程內(nèi)容CourseContents3.電感式傳感器電感式傳感器是利用電磁感應(yīng)把被測(cè)的物理量如位移，壓力，流量，振動(dòng)等轉(zhuǎn)換成線圈的自感系數(shù)和互感系數(shù)的變化，再由電路轉(zhuǎn)換為電壓或電流的變化量輸出，實(shí)現(xiàn)非電量到電量的轉(zhuǎn)換。1.應(yīng)變式傳感器2.壓阻式傳感器3.電感式傳感器4.電容式傳感器5.壓電式傳感器6.諧振式傳感器課程內(nèi)容CourseContents4.電容式傳感器電容式傳感器

是把被測(cè)的機(jī)械量，如位移、壓力等轉(zhuǎn)換為電容量變化的傳感器。它的敏感部分就是具有可變參數(shù)的電容器。1.應(yīng)變式傳感器2.壓阻式傳感器3.電感式傳感器4.電容式傳感器5.壓電式傳感器6.諧振式傳感器課程內(nèi)容CourseContents5.壓電式傳感器壓電式傳感器

是基于壓電效應(yīng)的傳感器。是一種自發(fā)電式和機(jī)電轉(zhuǎn)換式傳感器。它的敏感元件由壓電材料制成。壓電材料受力后表面產(chǎn)生電荷。此電荷經(jīng)電荷放大器和測(cè)量電路放大和變換阻抗后就成為正比于所受外力的電量輸出。1.應(yīng)變式傳感器2.壓阻式傳感器3.電感式傳感器4.電容式傳感器5.壓電式傳感器6.諧振式傳感器課程內(nèi)容CourseContents6.諧振式傳感器諧振式傳感器利用諧振元件把被測(cè)參量轉(zhuǎn)換為頻率信號(hào)的傳感器，又稱頻率式傳感器。當(dāng)被測(cè)參量發(fā)生變化

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