建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表（污染影響類）項(xiàng)目名稱：天通瑞宏科技有限公司年產(chǎn)8.4萬(wàn)片6英寸頻率元器件芯片（溫度補(bǔ)償型聲表面波濾波器芯片）生產(chǎn)線技改項(xiàng)目建設(shè)單位（蓋章）：天通瑞宏科技有限公司中華人民共和國(guó)生態(tài)環(huán)境部制一、建設(shè)項(xiàng)目基本情況 二、建設(shè)項(xiàng)目工程分析 21三、區(qū)域環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀、環(huán)境保護(hù)目標(biāo)及評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn) 48四、主要環(huán)境影響和保護(hù)措施 57五、環(huán)境保護(hù)措施監(jiān)督檢查清單 99六、結(jié)論 101 102建設(shè)項(xiàng)目污染物排放量匯總表 專題一：環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)評(píng)價(jià)專題 1 81、電子元件及電子專用□新建（遷建）□改建□擴(kuò)建□技術(shù)改造□首次申報(bào)項(xiàng)目目□超五年重新審核項(xiàng)目無(wú)□否況類試行》專項(xiàng)評(píng)價(jià)設(shè)置原則表，詳見(jiàn)1.1-1。專項(xiàng)評(píng)價(jià)的類別專項(xiàng)評(píng)價(jià)設(shè)置原則表本項(xiàng)目情況大氣排放廢氣含有毒有害污染物①、二噁英、苯并[a]芘、氰化物、氯氣且廠界外500米范圍內(nèi)有環(huán)境空氣保護(hù)目標(biāo)②的建設(shè)項(xiàng)目本項(xiàng)目排放的廢氣中不含《有毒有害大氣污染物名錄》的有毒有害污染物，無(wú)需設(shè)大氣專項(xiàng)評(píng)價(jià)地表水新增工業(yè)廢水直排建設(shè)項(xiàng)目（槽罐車(chē)外送污水處理廠的除外）；新增廢水直排的污水集中處理廠本項(xiàng)目廢水全部納管排放。環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)有毒有害和易燃易爆危險(xiǎn)物質(zhì)存儲(chǔ)量超過(guò)臨界量③的建設(shè)項(xiàng)目項(xiàng)目Q值為1.1324，大于1，需設(shè)環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)專2項(xiàng)評(píng)價(jià)生態(tài)取水口下游500米范圍內(nèi)有重要水生生物的自然產(chǎn)卵場(chǎng)、索餌場(chǎng)、越冬場(chǎng)和洄游通道的新增河道取水的污染類建設(shè)項(xiàng)目不涉及海洋直接向海排放污染物的海洋工程建設(shè)項(xiàng)目不涉及注：①?gòu)U氣中有毒有害污染物指納入《有毒有害大氣污染物名錄》的污染物（不包括無(wú)排放標(biāo)準(zhǔn)的污染物）。②環(huán)境空氣保護(hù)目標(biāo)指自然保護(hù)區(qū)、風(fēng)景名勝區(qū)、居住區(qū)、文化區(qū)和農(nóng)村地區(qū)中人群較集中的區(qū)域。③臨界量及其計(jì)算方法可參考《建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)評(píng)價(jià)技術(shù)導(dǎo)則》（HJ169）附錄B、附錄C。圍和長(zhǎng)山河以南由拳路以北的三角區(qū)塊，四至范圍：東至杭平申航道，南至長(zhǎng)山河、滬杭鐵路及由拳路，北至鹽湖公路及杭3境影響報(bào)告書(shū)六張清單修訂稿》（202048120001）-漕河涇區(qū)塊。海寧市海昌街道產(chǎn)業(yè)集表1.2-1海寧經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)（中心區(qū)）生態(tài)空間清單及符合性分析規(guī)劃區(qū)塊-項(xiàng)目位置項(xiàng)目位置施分區(qū)差別化的產(chǎn)業(yè)準(zhǔn)入條目，控制三類工業(yè)項(xiàng)目布局范圍和總體規(guī)模，鼓勵(lì)對(duì)現(xiàn)有三類工業(yè)項(xiàng)目進(jìn)行淘汰和泥和平板玻璃等行業(yè)產(chǎn)能，嚴(yán)格執(zhí)行相關(guān)污染物排放量削減替代管理要求和產(chǎn)能置換實(shí)施辦法；提高電力、化工、印染、造紙、化纖等重點(diǎn)行業(yè)環(huán)保準(zhǔn)入門(mén)檻，控制印染、化纖、合成革、工業(yè)涂裝、包裝印刷、塑料和橡新建涉VOCs排放的工業(yè)企業(yè)全部進(jìn)入工業(yè)功能區(qū)，嚴(yán)格執(zhí)行相關(guān)污染物排放量嚴(yán)格執(zhí)行相關(guān)新增燃煤和污染物排放減量替代管理要4求，且排污強(qiáng)度、能效和碳排放水平必須達(dá)到國(guó)內(nèi)先進(jìn)能區(qū)，在居住區(qū)和工業(yè)區(qū)、工業(yè)企業(yè)之間設(shè)置防護(hù)綠本項(xiàng)目屬于電子元器件行業(yè)，為二類工業(yè)項(xiàng)目，選址位于海寧國(guó)際裝備制造及電子信息產(chǎn)業(yè)園，租用園區(qū)現(xiàn)有廠房進(jìn)行生產(chǎn)，用地性質(zhì)為工業(yè)用地。企業(yè)有機(jī)廢氣經(jīng)二級(jí)活性炭吸附處理，酸堿廢氣經(jīng)噴淋塔噴淋處理后達(dá)標(biāo)排放；生產(chǎn)廢水利用園區(qū)污水處理系統(tǒng)處理達(dá)標(biāo)后納管，生活污水納管，營(yíng)運(yùn)期產(chǎn)生的各類污染物通過(guò)采取有效的污染防治措施后，均能實(shí)現(xiàn)達(dá)根據(jù)規(guī)劃環(huán)評(píng)，本項(xiàng)目所在區(qū)域各污染物總量管控限值為目污染物均經(jīng)治理后達(dá)標(biāo)排放，新增污染物總量指標(biāo)通過(guò)總量本項(xiàng)目不新增用地，租用園區(qū)現(xiàn)有廠區(qū)內(nèi)進(jìn)行生產(chǎn)，用地性質(zhì)為工業(yè)用地，且位于工業(yè)園區(qū)內(nèi)，距離居民點(diǎn)較遠(yuǎn)；項(xiàng)目用地范圍內(nèi)不涉及永久基本農(nóng)田。項(xiàng)目的建設(shè)不涉及園區(qū)規(guī)劃5聚重點(diǎn)管控單業(yè)業(yè)塑料和橡膠等涉VOCs重污染項(xiàng)目，新建涉VOCs排放的工業(yè)企業(yè)全部進(jìn)織排放執(zhí)行《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB16中表2排放標(biāo)準(zhǔn)；廠區(qū)內(nèi)VOCs無(wú)組織6建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境保護(hù)管理?xiàng)l例符合性分析是否符合四性建設(shè)項(xiàng)目的環(huán)境可行性本項(xiàng)目位于海寧經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園，項(xiàng)目建設(shè)符合《關(guān)于以改善環(huán)境質(zhì)量為核心加強(qiáng)環(huán)境評(píng)價(jià)管理的通知》（環(huán)環(huán)評(píng)[2016]150號(hào)）中“三線一單”要求。符合審批要求環(huán)境影響分析預(yù)測(cè)評(píng)估的可靠性根據(jù)環(huán)境影響分析，本項(xiàng)目廢水利用產(chǎn)業(yè)園污水站處理達(dá)標(biāo)后納管，酸堿廢氣經(jīng)噴淋處理，有機(jī)廢氣經(jīng)活性炭吸附處理后可實(shí)現(xiàn)達(dá)標(biāo)排放。符合審批要求環(huán)境保護(hù)措施的有效性從技術(shù)上分析，只要切實(shí)落實(shí)本報(bào)告提噪聲可做到達(dá)標(biāo)排放，固廢可做到妥善處置。符合審批要求環(huán)境影響評(píng)價(jià)結(jié)論的科學(xué)性并綜合考慮建設(shè)項(xiàng)目實(shí)施后對(duì)各種環(huán)境因素可能造成的影響，環(huán)評(píng)結(jié)論是科學(xué)的。符合審批要求五不批（一）建設(shè)項(xiàng)目類型及其選址、布局、規(guī)模等不符合環(huán)境保護(hù)法律法規(guī)和相關(guān)法定規(guī)劃項(xiàng)目符合當(dāng)?shù)乜傮w規(guī)劃，符合國(guó)家、地方產(chǎn)業(yè)政策，符合“三線一單”要求，項(xiàng)目營(yíng)運(yùn)過(guò)程中各類污染源均可得到有效控制并能做到達(dá)標(biāo)排放，符合總量控制和達(dá)標(biāo)排放的原則，對(duì)環(huán)境影響不大，項(xiàng)目實(shí)施不會(huì)改變所在地的環(huán)境質(zhì)量水平和環(huán)境功能，符合環(huán)境保護(hù)法律法規(guī)和相關(guān)法定規(guī)劃。符合審批要求7（二）所在區(qū)域環(huán)境質(zhì)量未達(dá)到國(guó)家或者地方環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)，且建設(shè)施不能滿足區(qū)域標(biāo)管理要求項(xiàng)目所在區(qū)域空氣質(zhì)量為達(dá)標(biāo)區(qū)。地表水環(huán)境達(dá)到《地表水環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB3838-2002）中的Ⅲ類標(biāo)準(zhǔn)，滿足功能區(qū)劃要求；聲環(huán)境質(zhì)量較好。項(xiàng)目廢水經(jīng)達(dá)標(biāo)處理后排入海寧丁橋污水處理廠，不排入周?chē)h(huán)境，不會(huì)對(duì)周邊水環(huán)境質(zhì)量造成沖擊；通過(guò)對(duì)噪聲采取隔聲、降噪等措施后，外排噪聲均能達(dá)標(biāo)排放。因此采取本環(huán)評(píng)提出的相關(guān)防治措施后，本項(xiàng)目排放的污染物不會(huì)對(duì)區(qū)域環(huán)境質(zhì)量底線造成沖擊。符合（三）建設(shè)項(xiàng)目采取的污染防治措施無(wú)法確保污染物排放達(dá)到國(guó)家和地方排放標(biāo)準(zhǔn)，或者未采取必要措施預(yù)防和控制生態(tài)破壞根據(jù)預(yù)測(cè)分析，項(xiàng)目廢水利用產(chǎn)業(yè)園污水站處理達(dá)標(biāo)后納管，酸堿廢氣經(jīng)噴淋處理，有機(jī)廢氣經(jīng)活性炭吸附處理后可實(shí)現(xiàn)達(dá)標(biāo)排放。符合審批要求（四）改建、擴(kuò)建和技術(shù)改造項(xiàng)目，環(huán)境污染和生態(tài)破壞提出有效防治措施/基本符合（五）建設(shè)項(xiàng)目的環(huán)境影響報(bào)告書(shū)、環(huán)境影響報(bào)告表的基礎(chǔ)資料數(shù)據(jù)明顯不實(shí)，內(nèi)容存在重大缺陷、遺漏，或者環(huán)境影響評(píng)價(jià)結(jié)論不明確、不合理。建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告的基礎(chǔ)資料數(shù)據(jù)真實(shí)可靠，內(nèi)容不存在缺陷、遺漏，環(huán)境影響評(píng)價(jià)結(jié)論明確、合理。符合對(duì)照海寧市“三線一單”生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控方案，企業(yè)位于海寧經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園，屬于產(chǎn)業(yè)集聚重點(diǎn)管控單8元。對(duì)照《浙江省生態(tài)保護(hù)紅線劃定方案》（浙政發(fā)[2018]30在當(dāng)?shù)仫嬘盟?、風(fēng)景區(qū)、自然保護(hù)區(qū)等生態(tài)保護(hù)區(qū)內(nèi)，不涉質(zhì)量現(xiàn)狀監(jiān)測(cè)結(jié)果可知，項(xiàng)目所在區(qū)域空氣環(huán)境屬于達(dá)標(biāo)區(qū)。根據(jù)環(huán)境影響分析，各主要污染物經(jīng)處理后可以做到達(dá)標(biāo)排放，對(duì)周?chē)h(huán)境的影響較小。綜上所述，企業(yè)污染物排放不會(huì)對(duì)周邊環(huán)境造成不良影響，不會(huì)改變區(qū)域環(huán)境功能區(qū)要求，項(xiàng)目用水來(lái)自市政供水管網(wǎng)。項(xiàng)目建成運(yùn)行后通過(guò)內(nèi)部管本項(xiàng)目位于海寧經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園A16廠房?jī)?nèi)，根據(jù)海寧市“三線一單”生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控方案（海寧市人民政府，2020年9月本項(xiàng)目所在地處于海寧市海昌街道產(chǎn)業(yè)9管控措施本項(xiàng)目情況符合性分析空間布局約束1、優(yōu)化產(chǎn)業(yè)布局和結(jié)構(gòu)，實(shí)施分區(qū)差別化的產(chǎn)業(yè)準(zhǔn)入條件。本項(xiàng)目屬于電子元器件制造，已經(jīng)備案，符合園區(qū)準(zhǔn)入條件。符合2、合理規(guī)劃布局三類工業(yè)項(xiàng)目，控制三類工業(yè)項(xiàng)目布局范圍和總體規(guī)模，鼓勵(lì)對(duì)現(xiàn)有三類工業(yè)項(xiàng)目進(jìn)行淘汰和提升改造。對(duì)照《海寧市“三線一單”生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控方案》，本項(xiàng)目行業(yè)屬于電子元器件制造，屬于二類工業(yè)項(xiàng)目。3、禁止新增鋼鐵、鑄造、水泥和平板玻璃等行業(yè)產(chǎn)能，嚴(yán)格執(zhí)行相關(guān)污染物排放量削減替代管理要求和產(chǎn)能置換實(shí)施辦法；提高電力、化工、印染、造紙、化纖等重點(diǎn)行業(yè)環(huán)保準(zhǔn)入門(mén)檻，控制新增污染物排放量。項(xiàng)目行業(yè)屬于電子元器件制造，不屬于鋼鐵、鑄造、水泥和平板玻璃、電力、化工、印染等行業(yè)?；w、合成革、工業(yè)涂裝、包裝印刷、塑料和橡膠等涉VOCs重污染項(xiàng)目，新建涉VOCs排放的工業(yè)企業(yè)全部進(jìn)入工業(yè)功能區(qū)，嚴(yán)格執(zhí)行相關(guān)污染物排放量削減替代管理要求。本項(xiàng)目不屬于涉VOCs重污染項(xiàng)目，且項(xiàng)目位于泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園，要求企業(yè)嚴(yán)格控制污染物排放。5、所有改、擴(kuò)建耗煤項(xiàng)目，嚴(yán)格執(zhí)行相關(guān)新增燃煤和污染物排放減量替代管理要求，且排污強(qiáng)度、能效和碳排放水平必須達(dá)到國(guó)內(nèi)先進(jìn)水平。本項(xiàng)目不耗煤6、合理規(guī)劃居住區(qū)與工業(yè)功能區(qū)，在居住區(qū)和工業(yè)區(qū)、工業(yè)企業(yè)之間設(shè)置防護(hù)綠地、生態(tài)綠地等隔離帶。本項(xiàng)目用地為工業(yè)用地，屬于第二類用地，與居住區(qū)尚有一定距離，規(guī)劃較合7、飲用水水源準(zhǔn)保護(hù)區(qū)按照《中華人民共和國(guó)水污染防治法》、《浙江省飲用水水源保護(hù)條例》、《飲用水水源保護(hù)區(qū)污染防治管理規(guī)定》等相關(guān)法律法規(guī)實(shí)施管理。本項(xiàng)目不在飲用水源保護(hù)區(qū)污染物排1、嚴(yán)格實(shí)施污染物總量控制制本項(xiàng)目CODCr、NH3-N和VOCs根據(jù)符合放管控削減污染物排放總量。要求削減，符合總量控制要求。2、新建二類、三類工業(yè)項(xiàng)目污染物排放水平要達(dá)到同行業(yè)國(guó)內(nèi)先進(jìn)水平。本項(xiàng)目污染物排放水平能達(dá)到同行業(yè)國(guó)內(nèi)先進(jìn)水平。3、加快落實(shí)污水處理廠建設(shè)及提升改造項(xiàng)目，推進(jìn)工業(yè)園區(qū)（工業(yè)企業(yè)）“污水零直排區(qū)”建設(shè)，所有企業(yè)實(shí)現(xiàn)雨污分流。項(xiàng)目實(shí)施雨污分流，生產(chǎn)廢水通過(guò)產(chǎn)業(yè)園區(qū)污水處理設(shè)施處理后納入市政污水管網(wǎng)。4、加強(qiáng)土壤和地下水污染防治與修復(fù)。項(xiàng)目擬采取必要的防腐防滲措施，避免對(duì)土壤和地下水造成污染。環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)防控1、定期評(píng)估沿江河湖庫(kù)工業(yè)企業(yè)、工業(yè)集聚區(qū)環(huán)境和健康風(fēng)險(xiǎn)。企業(yè)附近水體為長(zhǎng)山河，項(xiàng)目實(shí)施后將定期評(píng)估企業(yè)環(huán)境和健康風(fēng)險(xiǎn)。符合2、強(qiáng)化工業(yè)集聚區(qū)企業(yè)環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)防范設(shè)施設(shè)備建設(shè)和正常運(yùn)行監(jiān)管，加強(qiáng)重點(diǎn)環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)管控企業(yè)應(yīng)急預(yù)案制定，建立常態(tài)化的企業(yè)隱患排查整治監(jiān)管機(jī)制，加強(qiáng)風(fēng)險(xiǎn)防控體系建設(shè)。本項(xiàng)目生產(chǎn)過(guò)程涉及的風(fēng)險(xiǎn)物質(zhì)主要為危險(xiǎn)廢物及原料使用過(guò)程的剝離液等，企業(yè)在后續(xù)實(shí)施中將配備應(yīng)急物資，定期維護(hù)廢氣處理設(shè)施，加強(qiáng)員工日常管理和安全知識(shí)培訓(xùn)，同時(shí)加強(qiáng)演練。資源開(kāi)發(fā)效率要求推進(jìn)工業(yè)集聚區(qū)生態(tài)化改造，強(qiáng)化企業(yè)清潔生產(chǎn)改造，推進(jìn)節(jié)水型企業(yè)、節(jié)水型工業(yè)園區(qū)建設(shè)，落實(shí)煤炭消費(fèi)減量替代要求，提高資源能源利用效率。本項(xiàng)目嚴(yán)格控制水、電使用，生產(chǎn)過(guò)程中無(wú)需燃煤。企業(yè)后續(xù)實(shí)施將落實(shí)清潔生產(chǎn)理念，做好節(jié)能減排建設(shè)。符合本項(xiàng)目屬于電子元器件制造行業(yè)，與《浙江省“十四五”揮發(fā)性有機(jī)物綜合治理方案》對(duì)照分析，本項(xiàng)目符合各項(xiàng)環(huán)保1指導(dǎo)目錄》中限毒有害原料（產(chǎn)2定，削減措施原則上應(yīng)優(yōu)先來(lái)源于納入排污許可管理的排污單位采取的治理措施，并與建設(shè)項(xiàng)目位于同一設(shè)區(qū)市。上一年度環(huán)境空氣質(zhì)量達(dá)標(biāo)的區(qū)域，對(duì)石化等行業(yè)的建設(shè)項(xiàng)目VOCs排放量實(shí)行等量削減；上一年度環(huán)境空氣質(zhì)量不達(dá)標(biāo)的區(qū)域，對(duì)石化等行業(yè)的建設(shè)項(xiàng)目VOCs排放量實(shí)行2倍量削減，直至達(dá)標(biāo)后的下一年再恢復(fù)按要求實(shí)施總量3廢棄物產(chǎn)生量少用密閉化、連續(xù)低VOCs材料。4規(guī)定，選用粉末涂料、水性涂料、無(wú)溶劑涂料、輻射固化涂料等環(huán)境友好型涂料和符合要求的（高固體分）溶劑型涂料。工業(yè)涂裝企業(yè)所使用的水性涂料、溶劑型涂裝低VOCs5），刻膠和PI膠不屬性有機(jī)化合物含6氣產(chǎn)生工段設(shè)置7數(shù)字化管理，到2022年，15個(gè)縣理8理設(shè)施9過(guò)集中收集至屋頂酸堿噴淋塔處除效率達(dá)到70%以上，化工、工業(yè)涂裝、除效率達(dá)到60%以上。壓收集至廢氣處理系統(tǒng)二級(jí)活性蝕廢氣經(jīng)設(shè)備自帶的燃燒器燃燒+噴淋處理后再與晶片藥劑清洗廢氣一并通過(guò)酸堿噴淋塔噴淋處理后15米排放；要求企業(yè)按要求足期更換符合質(zhì)量選擇碘值不低于VOCs收集處理完畢后，方可停運(yùn)治理設(shè)施。VOCs治理設(shè)施發(fā)生故障或檢修時(shí)，條條條砍伐以及其他嚴(yán)重改變地形地貌、破壞自然生條條條條條行調(diào)整指導(dǎo)目錄（2019年資項(xiàng)目。且項(xiàng)目不屬于《外商投資準(zhǔn)入特別管十一條符合性分析：本項(xiàng)目從事電子元器件制造，不屬于嚴(yán)重過(guò)剩產(chǎn)能行業(yè)，產(chǎn)品未列入《環(huán)境保護(hù)綜合目錄》（2021年版）的高污染、高環(huán)境風(fēng)險(xiǎn)產(chǎn)品目錄。根據(jù)項(xiàng)目建設(shè)地的土地證，項(xiàng)目所在地塊為工業(yè)地塊，符合《海寧經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)（中心區(qū)）經(jīng)濟(jì)帶發(fā)展負(fù)面清單指南（試行，2022年版）》浙江省實(shí)施細(xì)源項(xiàng)檢查環(huán)節(jié)檢查要點(diǎn)料袋罐載放應(yīng)VOCs廢氣收集處理系統(tǒng)。//程VOCs廢氣收集處理系統(tǒng)。/含符程合統(tǒng)漏作散4.采用固定頂蓋的，廢氣是否收集至VOCs廢氣收集處理系統(tǒng)。統(tǒng)5.是否每6個(gè)月對(duì)流經(jīng)換熱器進(jìn)口和出口的循環(huán)冷卻水中的TOC或POC濃度織放筒/裝置克/克的活性炭。器//經(jīng)噴淋塔噴淋處噴淋塔配有自動(dòng)加藥系統(tǒng)，一旦水中會(huì)自動(dòng)加酸/天通瑞宏科技有限公司（原名海寧市瑞宏科技有限公司）創(chuàng)立于2017年4占注冊(cè)資本的56%；海寧東方天力創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)投資合伙企業(yè)(有限合），技術(shù)咨詢服務(wù)；電子元件及組件、電力電子元器件的制造、加工；經(jīng)營(yíng)本企業(yè)自產(chǎn)產(chǎn)品的出口業(yè)務(wù)和本企業(yè)生產(chǎn)所需的機(jī)械設(shè)備、零配件、原輔材料及技術(shù)的進(jìn)企業(yè)于2017年、2018年和2019年和2022年分別編制了《海寧市瑞宏科技有限公司年產(chǎn)28800萬(wàn)只聲表濾波器建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表科技有限公司年新增30000萬(wàn)只聲表濾波器建設(shè)項(xiàng)目環(huán)境影響報(bào)告表》、《天通波器2個(gè)項(xiàng)目生產(chǎn)地位于海寧國(guó)際裝備制造及電子信息產(chǎn)業(yè)園一期A16號(hào)廠房），樓4樓，該項(xiàng)目已于2019年5月通過(guò)自主驗(yàn)收，2020年開(kāi)始該項(xiàng)目不再生產(chǎn)，市海昌街道谷水路306號(hào)，具體已在《天通瑞宏科技有限公司年產(chǎn)12億顆面向?yàn)橐劳锌毓赡腹驹陔娮庸δ懿牧霞夹g(shù)積累，把握5G商業(yè)化臨近的契機(jī)，企業(yè)擬承租海寧經(jīng)開(kāi)產(chǎn)業(yè)園區(qū)開(kāi)發(fā)建設(shè)有限公司建設(shè)的海寧泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園內(nèi)生），動(dòng)探針臺(tái)等配套設(shè)備28（臺(tái)）套，形成年產(chǎn)8.4萬(wàn)片6英寸頻率元器件芯片（溫對(duì)照《國(guó)民經(jīng)濟(jì)行業(yè)分類》（2017年版），本項(xiàng)目屬于39計(jì)算機(jī)、通信和價(jià)分類管理名錄》（2021年版），該項(xiàng)目屬于“三十六、計(jì)算機(jī)、通信和其他電子設(shè)備制造業(yè)”中的81電子元件及電子專用使用10噸及以上溶劑型涂料（含稀釋），行業(yè)類別重點(diǎn)管理簡(jiǎn)化管理登記管理三十四、計(jì)算機(jī)、通信和其他電子設(shè)備制造業(yè)39計(jì)算機(jī)制造391，電子器件制造397，電子元件及電子專用材料制造398，其他電子設(shè)備制造399納入重點(diǎn)排污單位名錄的除重點(diǎn)管理以外的年使用10噸及以上溶劑型涂料（含稀釋劑）的其他海寧泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園內(nèi)生產(chǎn)及配套用房2000㎡（土地為海寧泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園所），高的全自動(dòng)剝離機(jī)、全自動(dòng)探針臺(tái)等配套設(shè)備28（臺(tái)）套，形成年產(chǎn)8.4萬(wàn)片6英寸頻率元器件芯片（溫度補(bǔ)償型聲表面波序號(hào)產(chǎn)品名規(guī)格技改項(xiàng)目產(chǎn)品產(chǎn)量技改項(xiàng)目所在廠區(qū)原有項(xiàng)目產(chǎn)品產(chǎn)量技改后所在廠區(qū)產(chǎn)品產(chǎn)量合計(jì)1溫度補(bǔ)償聲表面波濾波器芯片6英寸8.4萬(wàn)片/年08.4萬(wàn)片/年2智能手機(jī)用系列聲表濾波器/012億顆/年（即12萬(wàn)片/年）12億顆/年（即12萬(wàn)片/年）3聲表濾波器//58800萬(wàn)只/年58800萬(wàn)只/年本項(xiàng)目利用天通泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園內(nèi)現(xiàn)有廠房，不新增土地。項(xiàng)目具體組成情項(xiàng)目名稱主要內(nèi)容主體工程1生產(chǎn)車(chē)間本次租賃海寧泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園A16棟廠房的一樓，技改項(xiàng)目位于廠區(qū)一樓，一樓生產(chǎn)車(chē)間南側(cè)為企業(yè)現(xiàn)有辦公樓，二樓為企業(yè)現(xiàn)有辦公室，廠區(qū)三樓為企業(yè)現(xiàn)有聲表濾波器的生產(chǎn)車(chē)間。輔助工程1辦公區(qū)利用企業(yè)一樓和二樓現(xiàn)有的辦公區(qū)域，不新增儲(chǔ)運(yùn)工程1倉(cāng)庫(kù)利用現(xiàn)有倉(cāng)庫(kù)公用工程1供電工程利用原有變配電設(shè)施，不需再增加外線供電容量，只需完善車(chē)間動(dòng)力、照明配電等設(shè)施，可滿足項(xiàng)目生產(chǎn)用電要求。2供水工程用水來(lái)自市政供水管網(wǎng)3排水工程廠區(qū)實(shí)施清污分流、雨污分流。4供熱工程/5供氣工程/環(huán)保工程1廢水處理設(shè)施項(xiàng)目生產(chǎn)廢水利用海寧（中國(guó)）泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園一期天通區(qū)塊現(xiàn)有的廢水處理站處理后納管。2廢氣處理設(shè)施酸堿廢氣經(jīng)二級(jí)酸堿噴淋塔處理后15米高空排放，有機(jī)廢氣經(jīng)活性炭吸附裝置處理后15米高空排放；干法刻蝕廢氣經(jīng)設(shè)備自帶的燃燒器燃燒+噴淋處理后再與晶片藥劑清洗廢氣一并通過(guò)酸堿噴淋塔噴淋處理后15米排放。3固廢貯存設(shè)施企業(yè)已在車(chē)間外南側(cè)設(shè)有一危廢暫存場(chǎng)所，面積為43.3m2。4噪聲治理設(shè)施選用低噪聲設(shè)備，設(shè)備室內(nèi)安裝，高噪聲設(shè)備增加隔聲罩或消聲器，加強(qiáng)設(shè)備的維護(hù)和保養(yǎng)。序號(hào)設(shè)備名稱數(shù)量（臺(tái)/套）型號(hào)使用工段備注1濺射臺(tái)（濺射系統(tǒng)）1CLUSTERLINERAD濺射新增設(shè)備2濺射臺(tái)（濺射系統(tǒng)）1CLUSTERLINE200E濺射新增設(shè)備3PAD鍍膜機(jī)（蒸發(fā)系統(tǒng)）1BAKSAW鍍膜新增設(shè)備4SiO2拋光機(jī)1ChaMP211拋光新增設(shè)備5離子束修頻機(jī)2SCIATrim200修頻新增設(shè)備6多腔刻蝕去膠機(jī)1VCX600HB刻蝕新增設(shè)備7光刻機(jī)1SF120光刻新增設(shè)備8涂膠顯影機(jī)2ACT8顯影新增設(shè)備9S204激光光源2CYMER6400光刻新增設(shè)備AOI檢測(cè)機(jī)（缺陷分析）1Candela8420檢測(cè)新增設(shè)備晶圓分析儀1定制檢測(cè)新增設(shè)備3AS4剝離新增設(shè)備1/檢測(cè)新增設(shè)備1/廢氣處理新增設(shè)備13槽沖洗，單槽尺寸：40cm×40cm×120cm清洗新增設(shè)備1/新增設(shè)備11槽純水沖洗，槽內(nèi)尺40cm×40cm×120cm清洗新增設(shè)備1/新增設(shè)備1/新增設(shè)備201/新增設(shè)備211/新增設(shè)備222/檢測(cè)新增設(shè)備232/檢測(cè)新增設(shè)備242/檢測(cè)新增設(shè)備25particle量測(cè)儀1SPRUCE-600檢測(cè)新增設(shè)備266//新增設(shè)備272//新增設(shè)備28光刻機(jī)1NSRS204B光刻利用現(xiàn)有29新科隆鍍膜機(jī)1PMC-800-2M鍍膜利用現(xiàn)有本項(xiàng)目產(chǎn)品為年產(chǎn)8.4萬(wàn)片6英寸頻率元器件芯片（溫度補(bǔ)償型聲表面波濾設(shè)備名稱型號(hào)數(shù)量加工速度（片/h）年最大產(chǎn)能（片）設(shè)計(jì)產(chǎn)能（片）年工作設(shè)備負(fù)荷率（%）光刻機(jī)SF120164320039000720090.3光刻機(jī)NSRS204B175040045000720089.3合計(jì)/293600840007200/設(shè)備名稱型號(hào)數(shù)量加工速度（片/h）年最大產(chǎn)能（片）年工作時(shí)間設(shè)備負(fù)濺射臺(tái)CLUSTERLINEAD142880028000720097.2濺射臺(tái)CLUSTERLINE200E185760056000720097.2合計(jì)28640084000//設(shè)備名稱型號(hào)數(shù)量加工速度（片/h）年最大產(chǎn)能（片）設(shè)計(jì)產(chǎn)能（片）年工作設(shè)備負(fù)荷率（%）多腔刻蝕去膠機(jī)VCX600HB18640084000720097.2設(shè)備名稱型號(hào)數(shù)量加工速度（片/h）年最大產(chǎn)能（片）設(shè)計(jì)產(chǎn)能（片）年工作設(shè)備負(fù)荷率（%）全自動(dòng)剝離機(jī)AS434.59720084000720086.41/26344590.1130.2460.0890.2820347212310.95%氟和34725/修頻/鍍膜刻蝕/濺射235212310//05880058800///05880058800///05880058800///028912891///m3/a01470014700///注：項(xiàng)目使用的加侖單位為美制加侖，按1加侖(美)=3.785升換算。本項(xiàng)目原料基本采用桶裝，使用時(shí)打開(kāi)原料桶上方蓋子，將管道接入，用計(jì)量泵輸送至相關(guān)設(shè)備內(nèi)使用，全程基本為密閉操相對(duì)密度（水以1計(jì)）0.99~1.05（環(huán)評(píng)按1.05考慮）。按丙二醇-甲醚乙酸酯、以1計(jì)）0.996。按丙二醇-甲醚乙酸酯、1-甲氧基-2-丙醇全揮發(fā)考慮，則光刻膠丙二醇甲醚醋酸酯，32~40%酚醛樹(shù)脂、1~5%感光劑。相對(duì)密度（水以1計(jì)）約根據(jù)廠家提供的MSDS，本項(xiàng)目使用的正膠顯影液，其主要成分為2.38±），25~40%聚丙二醇單甲醚、15~30%γ-丁內(nèi)酯（GBL）、15~30%乳酸乙酯、3~20%根據(jù)廠家提供的MSDS，項(xiàng)目使用的拋光），用航空航天、核工業(yè)、軍工、半導(dǎo)體（含集成電路）制造用清洗劑。本項(xiàng)目為電子元件制造，屬于半導(dǎo)體行業(yè)，不適用于《清洗劑揮發(fā)性有機(jī)化合物含量限值》特性。因?yàn)椴贿m用于《膠黏劑揮發(fā)性有機(jī)化合物限量》（表2.4-7本項(xiàng)目主要物料平衡表單位：t/aVOCs投入產(chǎn)出物料名稱投入量含量去向產(chǎn)出量含量光刻膠0.39670.2943廢氣0.608/0.608HMDS0.1960.196廢水/正膠顯影液8.190.5%0.039固廢廢NMP液2.58/2.58丙酮0.2180.218廢異丙醇33剝離液（NMP）3.1663.166廢活性炭1.9237/1.9237異丙醇5.2315.231PI0.07445.95%0.034邊膠清洗劑0.00240.002417.47419.18079.1807氨平衡投入產(chǎn)出物料名稱投入量含量去向產(chǎn)出量含量氨水0.9680.2420.036/0.036廢水中氨/30.096合計(jì)0.9680.242合計(jì)3.1460.242氟平衡投入產(chǎn)出物料名稱投入量含量去向產(chǎn)出量含量0.06廢氣0.01040.010440L0.95%廢水0.04140060.0414006///0.0518006備注：本項(xiàng)目使用的顯影液的主要成分為四甲基氫氧化銨2.38±0.01%（按2.38%計(jì)常溫下基本不揮發(fā)，本次環(huán)評(píng)按20%分解揮發(fā)計(jì)算（按VOCs計(jì)）。企業(yè)租用海寧經(jīng)開(kāi)產(chǎn)業(yè)園區(qū)開(kāi)發(fā)建設(shè)有限公司建設(shè)的海寧泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園內(nèi)廠區(qū)三樓為企業(yè)現(xiàn)有聲表濾波器的生產(chǎn)車(chē)間。廠區(qū)出入口位于車(chē)間南側(cè)。廠區(qū)總工藝流程和產(chǎn)排污環(huán)節(jié)備注：本次項(xiàng)目部分產(chǎn)品根據(jù)客戶需求直接經(jīng)一道涂膠、光刻、顯影、鍍膜后即可作為產(chǎn)品，部分經(jīng)兩道涂膠、光刻、顯影、鍍膜后作為產(chǎn)品出售，部分則需經(jīng)三道涂膠、光刻、顯影、鍍膜后作為產(chǎn)品出售。因客戶訂單差異，本次環(huán)評(píng)按最不利情況進(jìn)行考慮，即所有產(chǎn)品經(jīng)三道光刻、顯影、鍍膜工序處理。清洗：使用雙氧水、氨水和純水，并使用超聲對(duì)晶圓進(jìn)行清潔，去除表面有機(jī)物涂膠：通過(guò)旋轉(zhuǎn)涂敷的方法在晶片表面均勻涂覆一層光刻膠作為后續(xù)工序的掩模光刻：使用光刻機(jī)對(duì)表面涂敷光刻膠的晶圓進(jìn)行曝光。本工藝主要采用負(fù)膠，光刻機(jī)在已涂覆光刻膠的晶片表面進(jìn)行曝光，需要做出圖案的地方在掩模版上被遮擋，未遮擋部分經(jīng)曝光后分解產(chǎn)生的自由基使曝顯影：使用顯影液對(duì)已曝光晶片進(jìn)行腐蝕，本質(zhì)是酸堿中和反應(yīng)。被曝光區(qū)域因?yàn)楣饪棠z已經(jīng)交聯(lián)無(wú)法去除，未曝光區(qū)域因?yàn)楣饪棠z呈酸性與堿性的光刻膠反應(yīng)鍍膜：本質(zhì)是在晶圓表面沉積一層金屬。在真空環(huán)境下，通過(guò)電子束轟擊靶材，使靶材液化乃至蒸發(fā)，依次將需要蒸鍍的金屬加熱至蒸發(fā)，通過(guò)自由擴(kuò)散沉積在剝離：借助剝離機(jī)，使用NMP、IPA和純水，通過(guò)加熱浸泡、高壓沖洗的方式將通過(guò)電離后帶能量的氬離子轟擊硅靶使硅原子從靶材上脫離；同時(shí)通入氧氣或氮修頻：本質(zhì)上是改變?yōu)R射后介質(zhì)的厚度，通過(guò)介質(zhì)厚度的改變，使產(chǎn)品最終頻率發(fā)生改變。對(duì)測(cè)試后發(fā)現(xiàn)頻率存在偏移的產(chǎn)品，在修頻機(jī)的真空腔室內(nèi)，通入氬刻蝕：在真空環(huán)境下通入四氟化碳等工藝氣體，在射頻電源作用下激發(fā)電離形成等離子體，通過(guò)電場(chǎng)加速后與晶圓表面介質(zhì)接觸，同時(shí)發(fā)生物理和化學(xué)反應(yīng)，其中的氟基與二氧化硅或氮化硅反應(yīng)，生成可揮發(fā)的氟化硅，可揮發(fā)物被真空泵抽CF4+SiO2——SiF4+CO2測(cè)試：將剝離完成的晶片或修頻完成的晶片用探針測(cè)試機(jī)進(jìn)行性能測(cè)試，判斷合包裝：將芯片測(cè)試合格的晶片放入晶片盒中，用防靜電袋抽真空后密封、并貼好類別項(xiàng)目產(chǎn)生工序主要污染因子廢水生產(chǎn)廢水晶片清洗W1pH等顯影清洗W2剝離工序清洗W3CODCr、氨氮、總氮等化學(xué)拋光清洗W4CODCr、SS等修頻工序廢水W5CODCr、SS等酸堿噴淋塔噴淋廢水W6CODCr、SS、總氮、氨氮等電子尾氣處理設(shè)備噴淋水W7氟化物等純水制備產(chǎn)生的濃水W8CODCr生活污水職工生活W9CODCr、氨氮廢氣晶片清洗工序堿性廢氣G1晶片藥劑清洗氨氣涂膠有機(jī)廢氣G2涂膠VOCs光刻廢氣G3光刻丙酮顯影廢氣G4顯影VOCs剝離工序廢氣G5剝離清洗VOCs、異丙醇刻蝕工序廢氣G6刻蝕四氟化硅、四氟化碳等設(shè)備運(yùn)行噪聲設(shè)備運(yùn)行Leq（A）晶片清洗廢氨液S1涂膠廢光刻膠S2光刻廢去膠液S3剝離廢NMPS4剝離廢異丙醇S5測(cè)試廢品S6涂膠廢PI膠S7拋光廢拋光液S8拋光廢拋光布S9廢氣處理廢活性炭S10原料使用廢包裝桶及瓶S11原料使用一般包裝材料S12設(shè)備維修廢機(jī)油及機(jī)油桶S13光刻顯影廢汞燈S14空調(diào)過(guò)濾系統(tǒng)廢過(guò)濾棉S15職工生活生活垃圾S16與項(xiàng)目有關(guān)的原有環(huán)境污染問(wèn)題天通瑞宏科技有限公司（原名海寧市瑞宏科技有限公司）創(chuàng)立于2017年4占注冊(cè)資本的56%；海寧東方天力創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)投資合伙企業(yè)(有限合），技術(shù)咨詢服務(wù)；電子元件及組件、電力電子元器件的制造、加工；經(jīng)營(yíng)本企業(yè)自產(chǎn)產(chǎn)品的出口業(yè)務(wù)和本企業(yè)生產(chǎn)所需的機(jī)械設(shè)備、零配件、原輔材料及技術(shù)的進(jìn)序號(hào)項(xiàng)目名稱審批規(guī)模實(shí)施地址審批文號(hào)項(xiàng)目實(shí)施情況驗(yàn)收情況1年產(chǎn)28800萬(wàn)只聲表濾波器建設(shè)項(xiàng)目年產(chǎn)28800萬(wàn)只聲表濾波器海寧國(guó)際裝備制造及電子信息產(chǎn)業(yè)園一期A16市海昌街道谷水路306海環(huán)經(jīng)審[2017]19號(hào)產(chǎn)已通過(guò)自主驗(yàn)收2年新增30000萬(wàn)只聲表濾波器建設(shè)項(xiàng)目年新增30000萬(wàn)只聲表濾波器海環(huán)審[2018]178號(hào)產(chǎn)已通過(guò)自主驗(yàn)收3年產(chǎn)125萬(wàn)套磁性元件技改項(xiàng)目年產(chǎn)125萬(wàn)套磁性元件經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)雙聯(lián)路128號(hào)5號(hào)創(chuàng)業(yè)樓4樓嘉環(huán)海建[2019]79號(hào)2020年不再實(shí)施4年產(chǎn)18萬(wàn)片頻鹽官郭店鎮(zhèn)嘉環(huán)海建2020年不再實(shí)施率元器件（聲表面波濾波器）芯片生產(chǎn)線技改項(xiàng)目頻率元器件（聲表面波濾波器）芯片[2019]166號(hào)5年產(chǎn)12億顆面向5G智能手機(jī)用系列聲表濾波器遷建項(xiàng)目12億顆面向5G智能手機(jī)用系列聲表濾波器海寧國(guó)際裝備制造及電子信息產(chǎn)業(yè)園一期A16市海昌街道谷水路306嘉環(huán)海建138號(hào)在建尚未驗(yàn)收序號(hào)產(chǎn)品名稱已審批產(chǎn)量2021年實(shí)際產(chǎn)能1聲表濾波器58800萬(wàn)只/年序號(hào)設(shè)備型號(hào)已審批數(shù)量實(shí)際數(shù)量1等離子清洗機(jī)（基板）AP-10002等離子清洗機(jī)（圓片）AP-10003全自動(dòng)編帶機(jī)4探針臺(tái)Summit12000B-S5半自動(dòng)劃片機(jī)DAD3234臺(tái)4臺(tái)6倒裝芯片鍵合機(jī)/20臺(tái)20臺(tái)7清洗機(jī)DCS14402臺(tái)2臺(tái)8全自動(dòng)金線植球機(jī)SBB-52009真空覆膜機(jī)MVLPα500/600晶圓劃片機(jī)7900晶圓清洗機(jī)977D2臺(tái)2臺(tái)CO2發(fā)泡機(jī)/2臺(tái)2臺(tái)UV解膠機(jī)2臺(tái)2臺(tái)編帶剝離測(cè)試儀烘箱、夾具、工作臺(tái)等回流焊爐激光打標(biāo)機(jī)P3剪切力測(cè)試儀MFM-1200晶圓貼膜機(jī)20貼膜機(jī)21網(wǎng)絡(luò)分析儀E5071C-28522真空封口機(jī)23混合機(jī)ADS62臺(tái)2臺(tái)24甩干機(jī)870S25照明、辦公、空調(diào)等表2.8-4現(xiàn)有項(xiàng)目主要原輔材料消耗一覽表單位：序號(hào)名稱單位環(huán)評(píng)審批用量2021年實(shí)際用量1芯片萬(wàn)只588002基板萬(wàn)只588003環(huán)氧膜萬(wàn)只58800229564金絲卷2891410卷/204970米5CO2m314700150kg6其他輔料（包括UV膜、磨刀片、修刀板等）萬(wàn)只58800!!芯片測(cè)試一表面活化一植球一劃片（晶片） !!一倒裝一覆膜一激光打標(biāo)一劃片（成品分割）表面活化：使用等離子清洗機(jī)對(duì)測(cè)試完的晶片用氬氣劃片（晶片）：使用劃片機(jī)將晶片分割成單個(gè)的芯片，劃片過(guò)程使用自來(lái)水對(duì)劃片刀片進(jìn)行冷卻，冷卻水經(jīng)沉淀后大部分循環(huán)使用，少部分外排。劃片之后企業(yè)廢水主要為生產(chǎn)廢水和生活污水。生產(chǎn)廢水進(jìn)入泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園污水處理系統(tǒng)的劃片清洗水系統(tǒng)處理達(dá)標(biāo)后再與經(jīng)化糞池處理后的生活廢水一同排入污水排放量為3645噸。根據(jù)實(shí)際產(chǎn)量折算達(dá)產(chǎn)情況下企業(yè)現(xiàn)有項(xiàng)目廢水排放量為SL22100050），企業(yè)現(xiàn)有項(xiàng)目廢水經(jīng)過(guò)處理后，污水排表2.8-5廢水監(jiān)測(cè)結(jié)果單位mg/L，除pH外測(cè)點(diǎn)名稱樣品性狀采樣時(shí)間分析項(xiàng)目CODCr氨氮總磷氟化物廢水排放口微黃、微渾2022.10.2030772.880.370微黃、微渾30792.920.388微黃、微渾27742.850.398微黃、微渾/712.900.405根據(jù)監(jiān)測(cè)，企業(yè)廢水出口廢水污染物化學(xué)需氧量、懸浮物、氨氮、總磷和氟中的間接排放標(biāo)準(zhǔn)；廢水污染物氨氮、總磷的排放濃度日均值均符合《工業(yè)企業(yè)海寧國(guó)際裝備制造及電子信息產(chǎn)業(yè)園廠區(qū)現(xiàn)有項(xiàng)目生表2.8-6廠界噪聲檢測(cè)結(jié)合《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB12348-2根據(jù)調(diào)查，廠區(qū)現(xiàn)有固廢主要為廢邊角料、廢薄膜及生活垃圾。固廢產(chǎn)生情表2.8-7固體廢物產(chǎn)生情況一序號(hào)固廢名稱產(chǎn)生工序固廢屬性危廢代碼2021年產(chǎn)生量實(shí)際達(dá)產(chǎn)產(chǎn)生量利用處置方式1廢邊角料生產(chǎn)過(guò)程一般固廢/0.62.97外賣(mài)綜合利用2廢薄膜生產(chǎn)過(guò)程一般固廢/0.0050.018外賣(mài)綜合利用3生活垃圾職工生活一般固廢/2424由環(huán)衛(wèi)部門(mén)定期清運(yùn)表2.8-8廠區(qū)現(xiàn)有項(xiàng)目污染物產(chǎn)生及排放量匯總項(xiàng)目2021年實(shí)際實(shí)際達(dá)產(chǎn)情況原環(huán)評(píng)審批情況產(chǎn)生量排放量產(chǎn)生量排放量產(chǎn)生量排放量廢水生活污水水量671767176717671722772277CODCr3.3590.3363.3590.3360.7970.1135氨氮0.2350.0340.2350.0340.0790.0118生產(chǎn)廢水水量36453645109351093514616.214616.2CODCr0.1820.5470.5472.6420.7305合計(jì)廢水水量1036210362176521765216893.216893.2CODCr5.1820.5188.8260.8833.4390.84氨氮0.2350.0520.2350.0880.0840.084固廢邊角料0.602.9703.00廢薄膜0.00500.01800.020生活垃圾24024025.20備注：企業(yè)2021年廢水排放量并未超過(guò)審批總量，根據(jù)實(shí)際運(yùn)行情況核算達(dá)產(chǎn)情況水量將超過(guò)原有審批總量，因此企業(yè)已于2022年重新購(gòu)買(mǎi)了總量，目前總量指標(biāo)為CODCr0.983t/a，氨氮0.098t/a。序號(hào)產(chǎn)品名稱已審批產(chǎn)量1智能手機(jī)用系列聲表濾波器12億顆/年（12萬(wàn)片/年）序號(hào)設(shè)備名稱數(shù)量（臺(tái)/套）使用工段備注1光刻機(jī)2光刻搬遷設(shè)備2顯影機(jī)+涂膠機(jī)2涂膠+顯影搬遷設(shè)備3真空鍍膜機(jī)1鍍膜新增設(shè)備4全自動(dòng)去膠剝離機(jī)1剝離搬遷設(shè)備5全自動(dòng)光刻機(jī)1光刻臺(tái)6探針臺(tái)（晶圓點(diǎn)測(cè)機(jī)）2測(cè)試搬遷設(shè)備7其他治具1通用搬遷設(shè)備8光學(xué)（正置）顯微鏡1測(cè)試搬遷設(shè)備9甩干機(jī)1剝離搬遷設(shè)備等離子去膠機(jī)1鍍膜前處理搬遷設(shè)備UPS機(jī)組1關(guān)鍵設(shè)備使用搬遷設(shè)備干式真空泵1掃膠搬遷設(shè)備濕法清洗機(jī)1清洗搬遷設(shè)備潔凈烘箱1架橋搬遷設(shè)備氮?dú)夤?存放成品/半成品晶圓搬遷設(shè)備臺(tái)階儀1鍍膜工序（測(cè)量鍍膜厚度）搬遷設(shè)備CD-SEM1光刻工序（測(cè)量光刻后線條尺寸）搬遷設(shè)備變壓器5光刻新增設(shè)備冷柜1光刻（光刻膠等原材料）搬遷設(shè)備203光刻新增設(shè)備21增壓器1光刻新增設(shè)備22小計(jì)35序號(hào)原輔料名稱單位審批消耗量使用工段包裝形式1萬(wàn)片/a產(chǎn)品基材/2靶材1（鈦）Kg/a25鍍膜0.5kg/瓶3靶材2（鋁銅）Kg/a30鍍膜0.5kg/瓶4靶材3（鋁）Kg/a鍍膜0.5kg/瓶5光刻膠TOKt/a涂膠1加侖/桶6光刻膠K7250t/a0.113涂膠1加侖/桶7光刻膠1150t/a0.246涂膠1加侖/桶8光刻膠8510t/a0.089涂膠1加侖/桶9HMDS（六甲基二硅胺烷）t/a0.28涂膠1加侖/桶，密度0.77g/cm3正膠顯影液t/a顯影4L/桶，密度1.0g/cm3丙酮t/a0.312膠盤(pán)清洗（輔助工序）4L/桶，密度0.78g/cm3剝離液（NMP(甲基吡咯烷酮)）t/a4.523剝離/清洗4L/桶，密度1.028g/cm3IPA(異丙醇)t/a7.54剝離/清洗4L/桶，密度0.7855g/cm3邊膠清洗劑5號(hào)t/a3.67光刻4L/桶PI（聚酰亞胺溶t/a0.106涂膠100ml/瓶氨水（25%）t/a清洗4L/桶雙氧水（50%）t/a0.793清洗4L/桶氪/氖混合氣瓶/a4光刻（光源氣體）40L氣瓶氟/氪/氖混合氣瓶/a2光刻（光源氣體）40L氣瓶（含0.95%氟和1.25%氪的氖氣）20氮?dú)馄?a4鏡頭保護(hù)氣體）40L氣瓶21氬氣瓶/a3840L氣瓶22氧氣瓶/a40L氣瓶23四氟化碳瓶/a3刻蝕30kg氣瓶24氦氣瓶2），40L氣瓶25機(jī)油t/a0.50顯影：對(duì)已曝光晶片進(jìn)行腐蝕，去除不需要的部份光刻膠。鍍膜：在晶片表面積測(cè)試：將剝離完成的晶片或修頻完成的晶片用探針測(cè)試機(jī)進(jìn)行性能測(cè)試，判斷合包裝：將芯片測(cè)試合格的晶片放入晶片盒中，用防靜電袋抽真空后密封、并貼好排放口(編號(hào)、名稱)/污染源污染物項(xiàng)目環(huán)境保護(hù)措施DA001排氣筒/堿性廢氣氨氣通過(guò)集中收集至屋頂酸堿噴淋塔處理后15m排氣筒高空排放DA002排氣筒/涂膠、光刻、顯影廢氣丙酮、VOCs密閉操作，負(fù)壓收集至廢氣處理系統(tǒng)二級(jí)活性炭吸附處理后15m高空排放DA002排氣筒/剝離有機(jī)廢氣NMP、異丙醇DA001排氣筒/干法刻蝕廢氣氟化物經(jīng)設(shè)備自帶的電離燃燒器燃燒+噴淋處理后再與晶片藥劑清洗廢氣一并通過(guò)酸堿噴淋塔噴淋處理后15米排放生產(chǎn)廢水CODCr純水制備濃水直接納管，其他生產(chǎn)廢水利用泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園一期天通區(qū)塊污水處理系統(tǒng)中的有機(jī)廢水處理系統(tǒng)處理。總氮氟化物生活污水CODCr通過(guò)化糞池預(yù)處理后納入市政污水管網(wǎng)NH3-N設(shè)備加強(qiáng)設(shè)備日常檢修和維護(hù)，減少設(shè)備非正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間，對(duì)高噪聲設(shè)備底座安裝減震墊，風(fēng)機(jī)進(jìn)出口安裝消聲器等措施，同時(shí)加強(qiáng)生產(chǎn)管理，教育員工進(jìn)行文明生產(chǎn)，合理安排生產(chǎn)以減少人為因素造成的噪聲。來(lái)料清洗廢氨液委托有資質(zhì)單位處置涂光刻膠廢光刻膠委托有資質(zhì)單位處置光刻廢去膠液委托有資質(zhì)單位處置剝離清洗廢NMP委托有資質(zhì)單位處置剝離清洗廢異丙醇委托有資質(zhì)單位處置測(cè)試分選廢品外售綜合利用涂PI膠廢PI膠委托有資質(zhì)單位處置廢氣處理廢活性炭委托有資質(zhì)單位處置原料使用廢包裝桶及瓶委托有資質(zhì)單位處置原料使用一般包裝材料外售綜合利用設(shè)備維修廢機(jī)油及機(jī)油桶委托有資質(zhì)單位處置廢汞燈光刻顯影委托有資質(zhì)單位處置職工生活生活垃圾委托環(huán)衛(wèi)部門(mén)清運(yùn)表2.8-13企業(yè)在建項(xiàng)目污染物產(chǎn)生及排放量匯總項(xiàng)目廢氣類別污染物產(chǎn)生量（t/a）排放量（t/a）廢氣有機(jī)廢氣涂膠工序VOCs0.7360.177光刻工序丙酮0.3120.075顯影工序VOCs0.0560.0134剝離工序NMP0.0320.008異丙醇2.4510.589VOCs合計(jì)3.5870.862刻蝕酸性廢氣氟化物（以F-計(jì)）0.00780.00156堿性廢氣NH30.2920.07廢水生活污水水量648648CODCr0.2270.032氨氮0.0230.003生產(chǎn)廢水水量52125212CODCr3.2120.261氨氮0.3540.026氟化物0.0120.052合計(jì)廢水水量58605860CODCr3.4390.293氨氮0.3770.029氟化物0.0120.052廢氨液4.50廢光刻膠0.50廢去膠液3.50廢NMP4.20廢異丙醇4.50廢PI膠0.250廢活性炭420廢包裝桶及瓶0廢機(jī)油及機(jī)油桶0.50廢汞燈0.050邊角料及廢品0.10生活垃圾7.20一般包裝材料0.50停產(chǎn)，今后不再實(shí)施，原有污染源已不再產(chǎn)生。該項(xiàng)目?jī)H排放生活污水，揮發(fā)性有機(jī)污染物（VOCs）排放量為0.021t/a＜1波濾波器）芯片生產(chǎn)線技改項(xiàng)目，該項(xiàng)目于2019年通過(guò)環(huán)保審批，2020年開(kāi)始試生產(chǎn)。因企業(yè)內(nèi)部結(jié)構(gòu)及人事調(diào)整，該項(xiàng)目?jī)H試生產(chǎn)2個(gè)月后便已停產(chǎn)，后續(xù)用系列聲表濾波器遷建項(xiàng)目》已通過(guò)環(huán)評(píng)審批，因此，搬遷后該廠區(qū)原審批的污產(chǎn)，今后不再實(shí)施，原有污染源已不再產(chǎn)生。創(chuàng)業(yè)樓項(xiàng)目?jī)H排放生活污水，揮發(fā)性有機(jī)污染物（VOCs）排放量為0.021t/a＜排污登記。而創(chuàng)業(yè)樓項(xiàng)目2021年前已停產(chǎn)，2021年已不再產(chǎn)生污染物，故現(xiàn)有新帶老”削減量已扣除），后續(xù)技改項(xiàng)目不再重復(fù)計(jì)算現(xiàn)有項(xiàng)目的“以新帶老”根據(jù)已審批的環(huán)評(píng)報(bào)告及企業(yè)已購(gòu)買(mǎi)的總量調(diào)劑單，企業(yè)實(shí)際現(xiàn)有海寧國(guó)際表2.8-25企業(yè)現(xiàn)有已批項(xiàng)目污染物名稱廢水廢氣廢水量COD氨氮VOCs原環(huán)評(píng)審批總量0.840.08402021年實(shí)際排放量0.5180.0520企業(yè)已購(gòu)買(mǎi)總量指標(biāo)/0.9830.098/在建項(xiàng)目購(gòu)買(mǎi)總量指標(biāo)0.386萬(wàn)0.1930.0190.862是否滿足總量指標(biāo)符合符合符合符合企業(yè)現(xiàn)有已審批項(xiàng)目中，有部分項(xiàng)目尚在建設(shè)中，要求企業(yè)對(duì)現(xiàn)有在建項(xiàng)目加快建設(shè)進(jìn)度，并根據(jù)環(huán)保要求在項(xiàng)目試生區(qū)域環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀本項(xiàng)目所在區(qū)域?yàn)榭諝赓|(zhì)量二類功能區(qū)，根據(jù)《2021年海寧市生態(tài)環(huán)境狀準(zhǔn)。本環(huán)評(píng)引用2021年海寧市自動(dòng)監(jiān)測(cè)站連續(xù)一年的常規(guī)監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)，按照《環(huán)站點(diǎn)名稱污染物年評(píng)價(jià)指標(biāo)現(xiàn)狀濃度標(biāo)準(zhǔn)值達(dá)標(biāo)情況2021年海寧市SO2年平均質(zhì)量濃度5608.3達(dá)標(biāo)第98百分位數(shù)日平均質(zhì)量濃度9.3NO2年平均質(zhì)量濃度264065.0達(dá)標(biāo)第98百分位數(shù)日平均質(zhì)量濃度6885.0PM10年平均質(zhì)量濃度527074.3達(dá)標(biāo)第95百分位數(shù)日平均質(zhì)量濃度73.3PM2.5年平均質(zhì)量濃度293582.9達(dá)標(biāo)第95百分位數(shù)日平均質(zhì)量濃度647585.3CO年平均556//達(dá)標(biāo)第95百分位數(shù)日平均質(zhì)量濃度800400020O3年平均99//達(dá)標(biāo)第90百分位數(shù)8h平均質(zhì)量濃度93.8從上表監(jiān)測(cè)結(jié)果可知，2021年海寧市大氣環(huán)境質(zhì)量六項(xiàng)基本污染物中二氧化硫、二氧化氮、可吸入顆粒物、PM2.5、臭氧均達(dá)標(biāo)，一氧化碳無(wú)年平均質(zhì)量項(xiàng)目位置大氣監(jiān)測(cè)點(diǎn)位）；監(jiān)測(cè)因子監(jiān)測(cè)時(shí)間監(jiān)測(cè)點(diǎn)g/m3）g/m3）最大超標(biāo)倍數(shù)達(dá)標(biāo)情況氟化物小~2023.1.10~廠區(qū)西南側(cè)720m＜0.5200達(dá)標(biāo)氟化物日均值~2023.1.15~2023.1.17＜0.0670達(dá)標(biāo)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB3095-2012）及其修表3.1-3地表水水質(zhì)監(jiān)測(cè)結(jié)果單位：除pH外，均為mg/L測(cè)點(diǎn)監(jiān)測(cè)項(xiàng)目單位監(jiān)測(cè)時(shí)間標(biāo)準(zhǔn)值平均值標(biāo)準(zhǔn)指數(shù)2022.3.212022.3.222022.3.23羅秋港水溫℃///pH值無(wú)量綱7.17.27.26~97.20.08BOD5mg/L3.63.43.4≤43.50.87石油類mg/L＜0.01＜0.01＜0.01≤0.050.010.10CODCrmg/L≤200.72氨氮mg/L0.7130.7070.710≤10.710.71總磷mg/L0.020.040.03≤0.20.030.15CODMnmg/L3.23.03.0≤60.51DOmg/L7.897.948.05≥57.960.51由表3.1-2監(jiān)測(cè)結(jié)果，項(xiàng)目西側(cè)河道水質(zhì)能達(dá)到《地表水環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》根據(jù)現(xiàn)狀調(diào)查，企業(yè)車(chē)間及廠區(qū)路面均已硬化，不存在地下水污染途徑，根根據(jù)現(xiàn)狀調(diào)查，企業(yè)車(chē)間及廠區(qū)路面均已硬化，不存在土壤污染途徑，根據(jù)司對(duì)項(xiàng)目所在的泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園A16號(hào)廠房四周廠界進(jìn)行的噪聲監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)進(jìn)行2、監(jiān)測(cè)方法：按《聲環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB3096-2008）及《環(huán)境監(jiān)測(cè)技術(shù)5、評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)：本項(xiàng)目位于工業(yè)區(qū)塊，東側(cè)緊鄰漕河涇路，聲環(huán)境執(zhí)行表3.1-4噪聲現(xiàn)狀監(jiān)測(cè)結(jié)果單位：dB（A）序號(hào)測(cè)點(diǎn)位置Leq測(cè)量值dB(A)標(biāo)準(zhǔn)值dB(A)晝間夜間晝間夜間1東廠界60.752.670552南廠界59.149.565553西廠界59.952.565554北廠界60.651.56555注：企業(yè)晝夜均生產(chǎn)，晝夜噪聲檢測(cè)值差距較大，主要是受周邊其他企業(yè)及道路交通噪聲影響。準(zhǔn)》（GB3096-2008）中的4a類標(biāo)準(zhǔn)要求，其他廠界聲環(huán)境質(zhì)量能達(dá)到《聲環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB3096-2008）環(huán)境保護(hù)目標(biāo)類型名稱坐標(biāo)保護(hù)對(duì)象保護(hù)環(huán)境功能區(qū)相對(duì)廠址方位相對(duì)廠界距離/m經(jīng)度緯度水環(huán)境長(zhǎng)山河//長(zhǎng)山河地表水IIIS6453、聲環(huán)境保護(hù)對(duì)象：項(xiàng)目50米范圍內(nèi)無(wú)聲環(huán)境保護(hù)目標(biāo)。準(zhǔn)路306號(hào)的海寧國(guó)際裝備制造及電子信息產(chǎn)業(yè)園一期A16號(hào)廠房?jī)?nèi)實(shí)施。該廠表3.3-1污水排放標(biāo)準(zhǔn)單位：mg/L（pH除外）項(xiàng)目pHCODNH3-N總氮石油類氟化物GB8978-1996三級(jí)標(biāo)準(zhǔn)6~9≤500≤400≤35*1≤70*4≤20≤20GB39731-2020間接排放標(biāo)準(zhǔn)值6~9≤500≤400≤35*1≤70≤20≤20GB18918-2002一級(jí)A標(biāo)準(zhǔn)值6~9≤50≤10≤5（8）*2≤15≤1≤10*3*注1：參照《工業(yè)企業(yè)廢水氮、磷污染物間接排放限值》（DB33/887-2013）中表1標(biāo)準(zhǔn)。注2：括號(hào)外數(shù)值為水溫>12℃時(shí)的控制指標(biāo)，括號(hào)內(nèi)數(shù)值為水溫≤12℃時(shí)的控制指標(biāo)。注3：參照GB8978-1996《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》一級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。注4：總氮參照《污水排入城鎮(zhèn)下水道水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)》（CJ343-2010）表1中A等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。廠界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB12348-2008）中4類標(biāo)準(zhǔn)，其他各廠界噪聲執(zhí)行廠界外聲環(huán)境功能區(qū)類別晝間65554類7055固廢貯存場(chǎng)所應(yīng)滿足防雨淋、防泄漏、防揚(yáng)散危險(xiǎn)廢物執(zhí)行《危險(xiǎn)廢物貯存污染控制標(biāo)準(zhǔn)》（GB185產(chǎn)業(yè)園一期天通區(qū)塊污水處理系統(tǒng)中的有機(jī)廢水處理系統(tǒng)集中處理后與經(jīng)化糞排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB39731-2020）中的間接排放標(biāo)準(zhǔn)后納入市政污水管網(wǎng)，由海寧丁橋污水處理廠集中處理達(dá)到《城鎮(zhèn)污水處理廠污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》技改項(xiàng)目廢氣排放執(zhí)行《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB16297-1996）中污染物最高允許最髙允許排放速率無(wú)組織排放監(jiān)控濃度限值排放濃度排氣筒排放速率監(jiān)控點(diǎn)濃度高度(m)周界外濃度最高點(diǎn)4.09.00.10周界外濃度最高點(diǎn)0.02序號(hào)控制項(xiàng)目排氣筒高度(m)標(biāo)準(zhǔn)值(kg/h)標(biāo)準(zhǔn)來(lái)源1氨(NH3)4.9《惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB14554-93)表2廠區(qū)內(nèi)揮發(fā)性有機(jī)物（VOCs）無(wú)組織排放限值執(zhí)行《揮發(fā)性有機(jī)物無(wú)組織項(xiàng)目污染物最高允許排放濃度（mg/m3）監(jiān)控點(diǎn)廠區(qū)內(nèi)揮發(fā)性有機(jī)物（VOCs）無(wú)組織排放限值VOCs6（1小時(shí)平均濃度限值）在廠房外設(shè)置監(jiān)控點(diǎn)VOCs20（任意一次濃度值）技改項(xiàng)目所在廠區(qū)東側(cè)廠界噪聲執(zhí)行《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB12348-2008）中4類標(biāo)準(zhǔn)，其他各廠界噪聲執(zhí)行《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲廢貯存場(chǎng)所應(yīng)滿足防雨淋、防泄漏、防揚(yáng)散危險(xiǎn)廢物執(zhí)行《危險(xiǎn)廢物貯存污染控制標(biāo)準(zhǔn)》（GB185根據(jù)工程分析，技改項(xiàng)目廢水排放量為7291t/a，CODCr排放量0.365t/a、根據(jù)《浙江省生態(tài)環(huán)境廳浙江省發(fā)展和改革委員會(huì)浙江省經(jīng)濟(jì)和信息化廳浙江省住房和城鄉(xiāng)建設(shè)廳浙江省交通運(yùn)輸廳浙江省市場(chǎng)監(jiān)督管理局國(guó)家稅務(wù)（浙環(huán)發(fā)〔2021〕10號(hào)），上一年度環(huán)境空氣質(zhì)量達(dá)標(biāo)的區(qū)域，對(duì)石化等行業(yè)的建設(shè)項(xiàng)目VOCs排放量實(shí)行等量削減；上一年度環(huán)境空氣質(zhì)量不達(dá)標(biāo)的區(qū)域，），）；減替代（燃煤發(fā)電機(jī)組大氣污染物排放濃度基本達(dá)到燃?xì)廨啓C(jī)組排放限值的除市2022年度為地表水達(dá)標(biāo)區(qū)域，空氣質(zhì)量現(xiàn)狀數(shù)據(jù)2022年尚未公布，按從嚴(yán)表3.4-1污染物總量控制指標(biāo)一覽表單位：t/a污染物現(xiàn)有排放量總量控制指標(biāo)本項(xiàng)目排放量老削減量項(xiàng)目實(shí)施后總排放量項(xiàng)目實(shí)施后總量控制建議值區(qū)域平衡替代削減量化學(xué)需氧量0.36500.365氨氮0.1170.1170.03700.1540.1540.037VOCS0.8620.8620.6080綜上所述，本項(xiàng)目實(shí)施后企業(yè)總量控制指標(biāo)建議為：CODCr排環(huán)境總量施技改項(xiàng)目租用位于海寧經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園內(nèi)的現(xiàn)有車(chē)間及配套本項(xiàng)目生產(chǎn)區(qū)域根據(jù)國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)化組織ISO頒布的潔凈室國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)以及生廠區(qū)現(xiàn)有的LED藍(lán)寶石襯底材料藥劑清洗工段使用的清洗機(jī)與本項(xiàng)目清洗機(jī)類似，天通該工段采用6槽清洗，最后一道藥劑清洗采用氨水（25%）：雙氧），石清洗工段氨平均排放濃度為1.03mg/m3、平均排放速率為0.01排放量為0.14t/a，處理效率按60%考慮，年用25%的氨水量為4.建項(xiàng)目處理裝置，噴淋的藥劑采用硫酸和片堿進(jìn)行調(diào)節(jié)）處理后15m排氣筒量，預(yù)計(jì)技改后變頻風(fēng)量按8000m3/h考慮。因項(xiàng)目氨水用量不大，氨氣揮發(fā)產(chǎn)生工序廢氣類別產(chǎn)生量有組織排放量有組織排放速率(kg/h)有組織排放濃度（mg/m3）無(wú)組織排放量無(wú)組織排放速率(kg/h)晶片藥劑清洗工序氨氣0.0850.0320.00450.5630.00430.0012注：企業(yè)在建項(xiàng)目進(jìn)入酸堿噴淋塔的氨氣量為0.055t/a，疊加在建項(xiàng)目工序廢氣后氨氣排放速率為0.0121kg/h，濃度為1.51mg/m3。廢氣收集方案及風(fēng)量計(jì)算：來(lái)料清洗機(jī)為全封閉設(shè)備，原料經(jīng)管道計(jì)量輸入清洗槽內(nèi)，同時(shí)在清洗槽上方設(shè)置抽風(fēng)裝置，根據(jù)企業(yè)提供的酸堿噴淋塔設(shè)計(jì)方案，技改項(xiàng)目實(shí)施后酸堿噴淋塔的風(fēng)機(jī)風(fēng)量約8000m3/h。項(xiàng)目涂膠過(guò)程使用光刻膠、HMDS和PI。根據(jù)工藝要求，涂膠工序?yàn)榉獗卷?xiàng)目涂膠過(guò)程使用的光刻膠TOK主要成分為45~60%丙二醇-甲醚乙酸酯光酸產(chǎn)生劑；光刻膠K7250的主要成分為50~80%丙二醇甲醚醋酸酯（沸點(diǎn)%/////%/////////%///////////%///////////%///////////量），影液的主要成分為四甲基氫氧化銨2.38±0.01%（按2.38%計(jì)），其余部分均為水。四甲基氫氧化銨沸點(diǎn)120℃,加熱到沸點(diǎn)時(shí)易分解成三甲胺、二甲醚），理系統(tǒng)二級(jí)活性炭吸附（利用現(xiàn)有在建項(xiàng)目處理設(shè)備）處理，再經(jīng)15m高排氣筒高空排放，有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)收集風(fēng)量利用12億顆面向5G智能手機(jī)用烷酮)溶劑密封在設(shè)備內(nèi)，剝離過(guò)程是將產(chǎn)品浸泡于剝離液中，產(chǎn)品表面金屬U——蒸發(fā)液體表面上的空氣流速（m/s），應(yīng)以實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)為準(zhǔn)。廢氣種類MU（m/s）P*F（m2）槽數(shù)量單槽產(chǎn)生速率（kg/h）產(chǎn)生量NMP990.50.30.06830.00150.032根據(jù)企業(yè)提供資料，異丙醇沖洗時(shí)間為8s/單片，飽和蒸氣壓(kPa)為驗(yàn)數(shù)據(jù)分析，剝離沖洗之后異丙醇的殘留量約54ml/單片，則揮發(fā)量約26ml/的NMP和異丙醇收集后與涂膠、光刻顯影產(chǎn)生工序廢氣類別產(chǎn)生量（t/a）有組織排有組織排放速率(kg/h)有組織排放濃度（mg/m3）無(wú)組織排放量（t/a）無(wú)組織排放速率(kg/h)涂膠工序VOCs0.52430.09960.0140.470.02620.0036光刻丙酮0.2180.0410.00570.190.0110.0015其他VOCs0.00240.000460.000060.0020.000120.000017顯影VOCs0.0390.0070.0010.030.0020.0003剝離NMP0.0320.0060.00080.030.0020.0003異丙醇0.3260.0450.0860.012VOCs合計(jì)2.52440.48010.06662.2220.12730.0177企業(yè)在建項(xiàng)目（涂膠、光刻、顯影及剝離工序）VOCs0.68160.09493.16疊加在建項(xiàng)目后/0.16155.382廢氣收集方案及風(fēng)量計(jì)算：光刻機(jī)、顯影機(jī)及剝離機(jī)均為密閉操作，機(jī)器內(nèi)部設(shè)置抽風(fēng)裝置，技改項(xiàng)目新增光刻機(jī)1臺(tái)，顯影機(jī)2臺(tái)，剝離機(jī)3臺(tái)，根據(jù)企業(yè)提供的有機(jī)廢氣處理方案，有機(jī)廢氣經(jīng)二級(jí)活性炭吸附處理，風(fēng)機(jī)總風(fēng)量為30000m3/h，風(fēng)機(jī)為變頻風(fēng)機(jī)，在建項(xiàng)目運(yùn)行時(shí)風(fēng)機(jī)風(fēng)量約15000m3/h，技改項(xiàng)目實(shí)施后總的風(fēng)機(jī)為30000m3/h。在等離子蝕刻工序采用氪/氖混合氣、氟/氪/氖混合氣、CF4、氦氣等作為），），燒+噴淋處理后再與晶片藥劑清洗廢氣一并通過(guò)酸堿噴淋塔噴淋處理，因多腔序號(hào)廢氣類別產(chǎn)生量（t/a）有組織排放量有組織排放速率(kg/h)有組織排放濃度（mg/m3）1CF40.0060.00120.0020.252SiF40.06380.01280.02132.6583CF4和SiF4換算成氟含量0.05180.01040.01732.164疊加在建項(xiàng)目氟含量后0.05960.011960.01992.485濃度標(biāo)準(zhǔn)。技改項(xiàng)目使用的顯影液內(nèi)四甲基氫氧化銨高溫下會(huì)分解生成三甲序號(hào)廢氣類別污染物排放量（t/a）1有機(jī)廢氣涂膠工序VOCs0.52430.39830.1262光刻工序丙酮0.2180.1660.0523其他VOCs0.00240.001820.000584顯影工序VOCs0.0390.030.0095剝離工序NMP0.0320.0240.0086異丙醇0.4127VOCs合計(jì)2.53171.92370.6088刻蝕酸性廢氣氟化物（以F-計(jì)）0.05180.04140.01049堿性廢氣NH30.0850.0490.036效率效率物/淋處理+酸堿噴淋塔0NMP////////////藥劑清洗廢氣一并通過(guò)酸堿噴淋塔噴淋處理，氟化物排放速率及排放濃度滿（GB16297-1996）中的二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)限值，涂膠、光刻、顯影及剝建項(xiàng)目后排放速率項(xiàng)目后排放濃度（mg/m3）mm速/計(jì)筒NMP////////////計(jì)/根據(jù)現(xiàn)狀調(diào)查，企業(yè)周邊500米范圍內(nèi)沒(méi)有敏感非正常排放包括生產(chǎn)過(guò)程開(kāi)停車(chē)、設(shè)備檢修、工藝設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)異施達(dá)不到應(yīng)有效率的情況下的排放。根據(jù)本項(xiàng)目的工程特性，非正常工況主要非正常排放源非正常排放原因非正常排放量單位持續(xù)時(shí)間年發(fā)生頻次應(yīng)對(duì)措施污染物名稱排放速率（kg/h）排放濃度（mg/m3）h/次次/aDA001廢氣設(shè)施故障，去除率按氨氣0.08060-1立即停產(chǎn)整改氟化物0.08630-1立即停產(chǎn)整改DA002VOCs合計(jì)0.807526.920-1立即停產(chǎn)整改備注：表格中排放速率和排放濃度為疊加在建項(xiàng)目污染源。行業(yè)類別主要生產(chǎn)單元主要生產(chǎn)設(shè)施污染物項(xiàng)目可行技術(shù)半導(dǎo)體分立器件制造、集成電路制造、半導(dǎo)體照明器件制造、光電子器件制造、其他電子器件制造排污單位清洗機(jī)、光刻機(jī)、顯影機(jī)、涂膠機(jī)、塑封壓機(jī)、烤箱揮發(fā)性有機(jī)物活性炭吸附法，燃燒法，濃縮+燃燒法、其他清洗、薄膜制備、刻蝕、封裝清洗機(jī)、化學(xué)氣相沉積設(shè)備、干法刻蝕設(shè)備、電鍍?cè)O(shè)備氟化物、氨等本地處理系統(tǒng)（POU）；酸性處理系統(tǒng)、堿性處理系統(tǒng)、酸堿噴淋洗滌吸收法、其他干法刻蝕產(chǎn)生的氟化物經(jīng)設(shè)備自帶的燃燒器燃燒+噴淋處理后再與晶片藥劑清洗廢氣一并通根據(jù)《揮發(fā)性有機(jī)物治理突出問(wèn)題排查整治工作要求》，本環(huán)評(píng)要求采用顆粒狀活炭性，活性炭碘值不宜低于序號(hào)風(fēng)量(Q)范圍Nm3/hVOCs初始濃度范圍mg/Nm3活性炭最少裝填量/噸（按500小時(shí)使用時(shí)間計(jì)）1Q<50000~2000.5200~3002300~4003400~500425000≤Q<100000~2001200~3003300~4005400~5007310000≤Q<200000~200200~3004300~4007400~500注：1.風(fēng)量超過(guò)20000的活性炭最少裝填量可參照本表進(jìn)行估算。2.如以NMHC指標(biāo)表征，VOCs濃度：NMHC濃度比可參照按2：1進(jìn)行估算。序號(hào)活性炭吸附裝置編號(hào)對(duì)應(yīng)排氣筒風(fēng)量Nm3/hVOCs初始濃度范圍mg/Nm3活性炭最少裝填量/噸（按500小時(shí)使用時(shí)1DA002300000~200根據(jù)《排污單位自行監(jiān)測(cè)技術(shù)指南—電子工業(yè)》（HJ1253-），狀態(tài)監(jiān)測(cè)點(diǎn)位監(jiān)測(cè)指標(biāo)監(jiān)測(cè)頻次執(zhí)行排放標(biāo)準(zhǔn)有組織DA001排氣筒氨氣《惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB14554-93)氟化物《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB16297-1996）DA002排氣筒非甲烷總烴《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB16297-1996）無(wú)組織廠界氨氣、臭氣濃度《惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB14554-93)非甲烷總烴《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB16297-1996）廠房外非甲烷總烴《揮發(fā)性有機(jī)物無(wú)組織排放控制標(biāo)準(zhǔn)》（GB37822-2019）項(xiàng)目建成后產(chǎn)生的廢水主要分為生產(chǎn)廢水、生活污水兩大類。項(xiàng)目使用的純水利用泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園一期天通區(qū)根據(jù)設(shè)計(jì)單位提供的資料，估算本項(xiàng)目達(dá)產(chǎn)情況下廢水產(chǎn)生量，并明確生產(chǎn)廢水排序號(hào)工序槽名稱廢水/廢液代碼規(guī)格槽數(shù)量廢水量更換頻次廢水/廢液產(chǎn)生量（t/a）1來(lái)料清洗純水W134L10.0390234L10.033天/次33純水W1//6L/片溢流沖洗5044有機(jī)清洗（剝離清洗）NMP30L10.037天/次5NMP30L10.037天/次6IPA30L10.033天/次37純水W3/16L/片溢流沖洗5048顯影顯影液：純水（1:125）W2/212.3L/片溢流沖洗9拋光拋光液/10.32L/片定期更換27純水W434L12L/片溢流沖洗修頻純水W5/12.4L/min溢流沖洗廢氣處理裝置（酸堿噴淋塔）/W4//廢水量：2t/d（現(xiàn)有2t/d，技改后合計(jì)4t/d）600干法刻蝕設(shè)備廢氣噴淋/W5//廢水量：0.5t/d純水制備產(chǎn)生的濃水W6產(chǎn)水率：70%生產(chǎn)廢水合計(jì)/////5672備注：表格中代碼為S的廢液作為固廢處置，車(chē)間內(nèi)收集至桶內(nèi)后暫存于危廢暫存場(chǎng)所，代碼為W的作為廢水進(jìn)入泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園一期天通區(qū)塊的污水處理系統(tǒng)處理處理，純水制備產(chǎn)生的濃水則直接接入污水排放口排放。本項(xiàng)目生產(chǎn)廢水水質(zhì)、廢液中污染物濃度參照項(xiàng)目遷建前在鹽官天通廠區(qū)的試生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)數(shù)據(jù)分析技改后企業(yè)生序號(hào)廢水來(lái)源水量（t/a）因子及結(jié)果(mg/L)去向pH值CODCr總氮氨氮氟化物1來(lái)料清洗廢水594/600400/利用泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園一期天通區(qū)塊污水處理系統(tǒng)2顯影廢水/80030020/3剝離清洗廢水504/////4拋光清洗廢水/300500///5修頻廢水300200///中的有機(jī)廢水處理系統(tǒng)處理。6酸堿噴淋塔噴淋廢水600/300/7電子尾氣處理設(shè)備噴淋廢水/400///2078進(jìn)入污水站廢水合計(jì)4085/9純水制備產(chǎn)生的濃水////直接納管廢水總計(jì)5672////污染物產(chǎn)生量，t/a//2.7770.8390.2070.1310.0414/線/(m3/a)度率/%式度/(t/a)機(jī)水法化+生化）/放//法/放機(jī)法/放//機(jī)法/放/法/放/水塔法/放///法/放/水站法/放/水法/放/工序污染物進(jìn)入污水處理廠污染物情況治理措施污染物排放產(chǎn)生廢水量/(m3/a)產(chǎn)生濃度/(mg/L)產(chǎn)生量/(t/a)工藝綜合處理效率/%核算方法排放廢水量/(m3/a)排放濃度/(mg/L)排放量/(t/a)排放/hCODCr4086621.52.539物化+生化排污系數(shù)法40865002.0437200氨氮32.10.131/32.10.1317200總氮43.30.177/43.30839/2050.8397200氟化物0.0414/0.04147200序號(hào)排放口編號(hào)排放口地理坐標(biāo)a廢水排放量/排放去向排放規(guī)律排放時(shí)段受納污水處理廠信息經(jīng)度(°)緯度(°)名稱b污染物種類國(guó)家或地方污染物排放標(biāo)準(zhǔn)濃度限值/(mg/L)1DW001120°39′30.87472″30°34′28.44908″0.7292進(jìn)入城市污水處理廠間斷排放，排放期間流量不穩(wěn)定且無(wú)規(guī)律，但不屬于沖擊型排放工作海寧市丁橋污水處理廠CODCr50NH3-N5氟化物a對(duì)于排至廠外公共污水處理系統(tǒng)的排放口，指廢水排出廠界處經(jīng)緯度坐標(biāo)。b指廠外城鎮(zhèn)或工業(yè)污水集中處理設(shè)施名稱。根據(jù)《排污單位自行監(jiān)測(cè)技術(shù)指南—電子工業(yè)》（H），序號(hào)監(jiān)測(cè)點(diǎn)位監(jiān)測(cè)項(xiàng)目監(jiān)測(cè)頻次1廢水總排放口流量、CODCr、氨氮、總氮、總磷、氟化物、SS本項(xiàng)目位于海寧經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園內(nèi)，屬于海寧市丁橋污水處理廠管網(wǎng)覆蓋范圍內(nèi)，本項(xiàng)目所在地具生產(chǎn)廢水包括來(lái)料清洗廢水，顯影廢水、剝離清洗廢水，拋光清洗廢水、修頻廢水、酸堿噴淋塔廢水，電子尾氣處理設(shè)備噴淋廢水，以及純水制備產(chǎn)生的濃水。純水制備產(chǎn)生的濃水水質(zhì)較好，C達(dá)到《電子工業(yè)水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB39731-2020）中的間接排放標(biāo)準(zhǔn)，故無(wú)需混合后利用泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園一期天通區(qū)塊污水處理系統(tǒng)中的有機(jī)廢水處理系統(tǒng)處理達(dá)到《電子工業(yè)水污染物排放標(biāo)根據(jù)企業(yè)與海寧經(jīng)開(kāi)產(chǎn)業(yè)園區(qū)開(kāi)發(fā)建設(shè)有限公司簽訂的污水委托處置協(xié)議（附件6），企業(yè)進(jìn)入園區(qū)污水處理的有產(chǎn)廢水混合的水質(zhì)滿足園區(qū)污水站有機(jī)廢水處理系統(tǒng)的進(jìn)水水質(zhì)要求，項(xiàng)目廢水可進(jìn)入此外，為確保企業(yè)廢水滿足園區(qū)污水站的進(jìn)水水質(zhì)要求，根據(jù)污水委托處置協(xié)議，企業(yè)生產(chǎn)運(yùn)行穩(wěn)定前，建議根據(jù)泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園提供的廢水設(shè)計(jì)方案，泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園現(xiàn)有一套設(shè)計(jì)處理能力為2100m3/d的污水處理系根據(jù)項(xiàng)目廢水處理設(shè)計(jì)方案，處理廢水主要包括六個(gè)廢水處理系統(tǒng)：含氟廢水、含銅廢水、研磨廢水、有機(jī)廢水（含有機(jī)拋光廢水、含氨廢水等）、劃片清洗水和一般酸堿廢水。針于沉淀的大顆粒，而后進(jìn)入沉淀池進(jìn)行固液分離，沉淀池中設(shè)有氟離子在線檢測(cè)儀，若氟離子達(dá)標(biāo)，則上清液自動(dòng)切換至含氟中繼池排放，如不達(dá)標(biāo)，則自流至二級(jí)沉淀反應(yīng)槽。沉淀下來(lái)的污泥由泵輸送至氟污泥池濃縮后，再由形式析出，后自流至含銅廢水反應(yīng)池2，池中投加液堿和重捕劑，捕捉細(xì)小的含銅絮體，在含銅廢水反應(yīng)池3中形成易于沉淀的大顆粒，而后進(jìn)入沉淀池進(jìn)行固液分離，上清液由泵輸送至中繼池，若出水合格，則由泵提升至研磨研磨廢水經(jīng)研磨廢水調(diào)節(jié)池調(diào)節(jié)水量均勻水質(zhì)后由泵輸送至研磨廢水pH調(diào)節(jié)池，在化混預(yù)處理階段，去除絕定濃度的H2O2，因此采用A/O生物活性污泥法處理。入細(xì)菌細(xì)胞內(nèi)進(jìn)一步降解。經(jīng)過(guò)缺氧池的廢水進(jìn)入好氧池，接用鼓風(fēng)機(jī)在水池底部曝氣充氧，空氣能自下而上，夾介質(zhì)過(guò)濾器MMF+活性炭ACF工藝組合降低濁度去除微量COD，該處理設(shè)施為備用設(shè)施，劃片清洗水經(jīng)調(diào)節(jié)池勻質(zhì)勻量后，輸送到多介質(zhì)過(guò)濾器，過(guò)濾一般是指以石英砂等為濾料的粒狀過(guò)濾層進(jìn)一步截留水中微小的懸浮雜質(zhì)，從而使水澄清的過(guò)程。過(guò)濾機(jī)理包括攔截、沉淀、慣性、擴(kuò)散、粘附、水動(dòng)力等。過(guò)濾是截住水中微小雜質(zhì)的過(guò)程，但截留雜質(zhì)逐漸增加時(shí)，濾速逐漸減小，產(chǎn)水量也降低，濾料達(dá)到飽和，出水水質(zhì)惡化故需要反洗，把截留雜質(zhì)沖洗干凈，再進(jìn)行過(guò)濾，循環(huán)往復(fù)進(jìn)行。反洗前，可先進(jìn)行氣洗，使被壓實(shí)的濾料層松流剪切力與濾料顆粒間碰撞摩擦力的雙重作用下，粘附在濾料表面的懸浮物與膠體逐步脫落，并隨反洗徑流從濾料層上端排出，以達(dá)到清洗濾料的目的。反洗后，濾料層呈疏松狀態(tài)，濾料層頂部或中部尚未形成污物濾餅及混凝體層，無(wú)法截留污染物，因此需持續(xù)一定時(shí)間的正洗過(guò)程。反洗水排入本系統(tǒng)研磨廢水調(diào)節(jié)池計(jì)，并采用粒徑合理，比表面積大于1000㎡/g的高效活性碳，使其既有上層特效過(guò)濾又有下層高效吸附等功能，大大提高產(chǎn)水凈化程度和碳的使用壽命。對(duì)水體中異味、有機(jī)物、膠體、鐵及余氯等去除性能卓著，可以降低水體的濁度、色度，凈化水質(zhì)，確保冷卻用水的COD達(dá)標(biāo)。一般酸堿廢水來(lái)源于集成板塊酸堿廢水。酸堿廢水經(jīng)調(diào)節(jié)池調(diào)節(jié)水量均勻水質(zhì)后由泵輸送至pH調(diào)節(jié)池-1，在經(jīng)過(guò)調(diào)節(jié)pH后，進(jìn)入放流池，放流池設(shè)置檢測(cè)儀表，各項(xiàng)檢測(cè)指標(biāo)檢測(cè)合格后，排入市政管網(wǎng)，若有不合格根據(jù)廢水設(shè)計(jì)方案，泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園污水站設(shè)計(jì)進(jìn)水水質(zhì)情(m3/d)CODCrNH3-NF////////////////////////H2O2）////////②/////////00////////////////*注：①研磨廢水系統(tǒng)出水須進(jìn)入有機(jī)廢水系統(tǒng)處理后再經(jīng)過(guò)酸堿廢水系統(tǒng)調(diào)節(jié)pH后納管排放；②劃片廢水系統(tǒng)出水直接通過(guò)污水站放流池納管排放；③含氟廢水系統(tǒng)、含銅廢水系統(tǒng)、有機(jī)廢水系統(tǒng)出水經(jīng)過(guò)酸堿廢水系統(tǒng)調(diào)節(jié)pH后再納管