高純六氟化鎢中雜質(zhì)的檢測2025-06-03實(shí)施2025-06-03實(shí)施河北省市場監(jiān)督管理局發(fā)布I本文件按照GB/T1.1—2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定起草。請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別專利的責(zé)任。本文件由邯鄲市市場監(jiān)督管理局提出。本文件起草單位：中船(邯鄲)派瑞特種氣體股份有限公司。本文件主要起草人：馬茜茜、崔雯、安園園、張露露、滕鑫勝、殷越玲、陳琛、李帥楠。111范圍本文件規(guī)定了電子工業(yè)用氣體高純六氟化鎢中雜質(zhì)的檢測原理、試劑或材料、儀器設(shè)備、樣品、測定步驟及結(jié)果處理等。本文件適用于電子工業(yè)用氣體高純六氟化鎢中氧+氬、氮?dú)?、一氧化碳、四氟化碳、二氧化碳、六氟化硫、四氟化硅、氟化氫、金屬元素含量的測定。2規(guī)范性引用文件下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。GB/T28726氣體分析氦離子化氣相色譜法GB/T32386-2015電子工業(yè)用氣體六氟化鎢GB/T6040-2019紅外光譜分析方法通則國家標(biāo)準(zhǔn)3術(shù)語和定義本文件沒有需要界定的術(shù)語和定義。4樣品電子工業(yè)用六氟化鎢樣品質(zhì)量應(yīng)符合表1的要求。表1電子工業(yè)用六氟化鎢技術(shù)指標(biāo)六氟化鎢(WF?)純度，102(體積分?jǐn)?shù))≥(氧+氬)(O?+Ar)含量，10?(體積分?jǐn)?shù))≤氮(N2)含量，10?(體積分?jǐn)?shù))≤1一氧化碳(CO)含量，10?(體積分?jǐn)?shù))≤二氧化碳(CO?)含量，10?(體積分?jǐn)?shù))≤四氟化碳(CF?)含量，10?(體積分?jǐn)?shù))≤六氟化硫(SF?)含量，10??(體積分?jǐn)?shù))≤四氟化硅(SiF?),含量10?(體積分?jǐn)?shù))≤氟化氫(HF)含量，10?(體積分?jǐn)?shù))≤51鉬(Mo)含量，(μg/L)≤鐵(Fe)含量，(μg/L)≤5鉀(K)含量，(μg/L)≤555鈉(Na)含量，(μg/L)≤555鉻(Cr)含量，(μg/L)≤5釷(Th)含量，(μg/L)≤鈾(U)含量，(μg/L)≤鈷(Co)含量，(μg/L)≤5錳(Mn)含量，(μg/L)≤5鉛(Pb)含量，(μg/L)≤52表1電子工業(yè)用六氟化鎢技術(shù)指標(biāo)(續(xù))鋅(Zn)含量，(μg/L)≤5鈣(Ca)含量，(μg/L)≤555鎂(Mg)含量，(μg/L)≤5鎳(Ni)含量，(μg/L)≤銅(Cu)含量，(μg/L)≤555鋁(A1)含量，(μg/L)≤5砷(As)含量，(ug/L)≤5硼(B)含量，(μg/L)≤5鎘(Cd)含量，(μg/L)≤222鈦(Ti)含量，(μg/L)≤5鋰(Li)含量，(μg/L)≤5硅(Si)含量，(μg/L)≤5磷(P)含量，(μg/L)≤222采用氣路切換裝置的氦離子化檢測器的氣相色譜儀(GB/T28726)對各組分分析。當(dāng)樣品氣體經(jīng)色譜柱分離后進(jìn)入氦離子化檢測器時(shí)，與亞穩(wěn)態(tài)的氦發(fā)生非彈性碰撞而電離，在檢測器的收集極輸出相應(yīng)的微電流，微電流經(jīng)放大器放大后的電流訊號(hào)在一定范圍內(nèi)與組分含量成正比。將樣品氣體的色譜峰與標(biāo)準(zhǔn)氣體進(jìn)行比較，根據(jù)保留時(shí)間定性，訊號(hào)大小定量，從而測定樣品氣體中各組分5.2.1載氣：高純氦氣，純度≥99.999×102(體積分?jǐn)?shù))?！ぶ醒鯕?氬氣標(biāo)準(zhǔn)氣體：含量為5×10?(體積分?jǐn)?shù));——氦中氮?dú)鈽?biāo)準(zhǔn)氣體：含量為5×10?(體積分?jǐn)?shù));——氦中一氧化碳標(biāo)準(zhǔn)氣體：含量為5×10??(體積分?jǐn)?shù));——氦中四氟化碳標(biāo)準(zhǔn)氣體：含量為5×10?(體積分?jǐn)?shù));——氦中二氧化碳標(biāo)準(zhǔn)氣體：含量為5×10??(體積分?jǐn)?shù));——氦中六氟化硫標(biāo)準(zhǔn)氣體：含量為5×10??(體積分?jǐn)?shù));——氦中四氟化硅標(biāo)準(zhǔn)氣體：含量為5×10?(體積分?jǐn)?shù))。配備氣路切換裝置和氦離子化檢測器(PDD)的氣相色譜儀，儀器對氧氣+氬氣、氮?dú)?、四氟化碳、二氧化碳方法檢出限不大于0.01×10?(體積分?jǐn)?shù)),一氧化碳方法檢出限不大于0.02×10?(體積分?jǐn)?shù)),六氟化硫、四氟化硅方法檢測限為0.10×10?(體積分?jǐn)?shù))。a)色譜柱預(yù)分離柱I:長約0.6m,內(nèi)徑2.2mm,內(nèi)部裝填顆粒度為(60～80)目的CST柱不銹鋼色譜柱或色譜柱I:長約1.8m,內(nèi)徑約2.2mm,內(nèi)部裝填顆粒度為(40～60)目的5A分子篩不銹鋼色譜預(yù)分離柱Ⅱ:長約4.0m,內(nèi)徑2.2mm,內(nèi)部裝填顆粒度為(80～100)目的WF6預(yù)柱不銹鋼(參照3色譜柱Ⅱ:長約3m,內(nèi)徑約2.2mm,內(nèi)部裝填顆粒度為(60～80)目的HaysepQ不銹鋼色譜柱或其他等效色譜柱。b)儀器氣路分析流程見附錄A。5.4測定步驟5.4.1測定前準(zhǔn)備按儀器操作規(guī)程啟動(dòng)儀器，并嚴(yán)格試漏，以保證管路氣密性。調(diào)整儀器各部件達(dá)到測定條件，待儀器穩(wěn)定后即可測定。測定推薦條件如下：a)載氣流速：120mL/min;b)衰減：10??;c)色譜柱溫度：60℃;d)檢測器溫度：150℃;e)進(jìn)樣體積：1mL。5.4.2標(biāo)準(zhǔn)氣體測定標(biāo)準(zhǔn)氣應(yīng)選用有證標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)認(rèn)定證書的標(biāo)準(zhǔn)氣體。在符合規(guī)定的測定條件下定體積進(jìn)樣，待測定組分峰出完后，測其峰面積，取平行測定兩次峰面積的算術(shù)平均值為定量標(biāo)準(zhǔn)，兩次峰面積的相對偏差應(yīng)不大于5%。5.4.3樣品氣體測定將待測樣品氣用取樣閥及取樣管與儀器進(jìn)樣閥入口連接，充分置換取樣閥及其管道。按儀器操作規(guī)程，以定標(biāo)時(shí)同樣的測定條件定體積切換進(jìn)待測樣品氣。平行測定待測樣品氣至少兩次，取其平均值。5.5結(jié)果處理按公式(1)分別計(jì)算氧氣+氬氣、氮?dú)?、一氧化碳、四氟化碳、二氧化碳、六氟化硫、四氟化硅的含量。?——樣品氣中待測組分i的含量(體積分?jǐn)?shù)，10?);Φsi·標(biāo)準(zhǔn)氣中待測組分i的含量(體積分?jǐn)?shù)，10?);Ai樣品氣中待測組分i的峰面積；Asi——標(biāo)準(zhǔn)氣中待測組分i的峰面積；I代表待測組分。6氟化氫含量的測定6.1原理當(dāng)用一定頻率的紅外光照射某物質(zhì)分子時(shí)，若該物質(zhì)的分子中某基團(tuán)的振動(dòng)頻率與它相同，則物質(zhì)就能吸收這種紅外光，若不同頻率的紅外依次通過測定分子時(shí)，就會(huì)出現(xiàn)不同的強(qiáng)弱吸收現(xiàn)象。根據(jù)郎伯而定律，得到該物質(zhì)的紅外吸收光譜圖。6.2試劑或材料氮中氟化氫標(biāo)準(zhǔn)氣體：含量為(1~10)×10?(體積分?jǐn)?shù))。6.3儀器設(shè)備4采用配備相應(yīng)氣體池的傅立葉紅外光譜儀測定六氟化鎢中氟化氫的含量。檢測限：0.1×10?c)氣體池溫度：35℃;6.4.2標(biāo)準(zhǔn)氣體測定用氣體標(biāo)準(zhǔn)樣品進(jìn)樣。記錄標(biāo)準(zhǔn)樣品中氟化高)。每種標(biāo)準(zhǔn)樣品至少重復(fù)進(jìn)樣兩次，直至兩次平行測定的相對偏差不大于5%,取其平均值。為防止氣體池內(nèi)殘余的水分與六氟化鎢樣品發(fā)生反應(yīng)，首先將氣體池升溫到110℃,然后利用氦氣(GB/T4844-2011)對氣體池進(jìn)行抽空/吹洗(≥3次),抽空完畢后，將氣體降溫至35℃,待用。記錄樣品中氟化氫在4038.2cm1處吸收峰的吸光度信號(hào)(峰面積或峰高),重復(fù)進(jìn)樣至少兩次，直至兩次平行測定的相對偏差不大于5%,取平均值。按公式(2)分別計(jì)算氟化氫的含量。Φ——樣品氣中HF的含量(體積分?jǐn)?shù)，10-6);ΦsHF——標(biāo)準(zhǔn)氣體中HF的含量(體積分?jǐn)?shù)，10-6);AHF——樣品氣中HF的峰面積或峰高；7金屬雜質(zhì)