ICS7104040

CCSG.04.

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T32996—2025/ISO/TS251382025

:

代替GB/T32996—2016

表面化學(xué)分析輝光放電發(fā)射光譜法

分析金屬氧化物膜

Surfacechemicalanalysis—Analysisofmetaloxidefilmsbyglowdischarge

opticalemissionspectrometry

ISO/TS251382025IDT

(:,)

2025-06-30發(fā)布2026-01-01實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

GB/T32996—2025/ISO/TS251382025

:

目次

前言

…………………………Ⅲ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語和定義

3………………1

原理

4………………………1

儀器

5………………………1

調(diào)節(jié)輝光放電譜儀系統(tǒng)設(shè)置

6……………3

取樣

7………………………9

建立工作曲線

8……………9

測試樣品的分析

9…………………………14

分析結(jié)果的表示

10………………………15

精密度

11…………………16

試驗報告

12………………16

附錄資料性工作曲線常數(shù)的計算和深度剖析的定量評價

A()………17

附錄資料性測定元素的建議譜線

B()…………………24

附錄資料性氧化物密度和相關(guān)量ρ的示例

C()0……………………26

附錄資料性金屬氧化物膜實驗室間試驗報告

D()……………………27

參考文獻(xiàn)

……………………32

Ⅰ

GB/T32996—2025/ISO/TS251382025

:

前言

本文件按照標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第部分標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件代替表面化學(xué)分析輝光放電發(fā)射光譜法分析金屬氧化物膜與

GB/T32996—2016《》,

相比除結(jié)構(gòu)調(diào)整和編輯性改動外主要技術(shù)變化如下

GB/T32996—2016,,:

增加了范圍中氧化物的金屬元素見第章

———Zr(1);

增加了術(shù)語和定義見第章

———(3);

更改了概述對儀器描述作了修改包括帶有和類型固態(tài)陣列檢測器

———5.1.1,,CCDCID、COMS

的光譜儀見年版的

(5.1.1,20164.1.1);

增加了在商品化儀器中常見的陽極尺寸見

———2.5mm(5.1.3.1);

更改了概述介紹了射頻源最常見的工作模式以及射頻源與直流源的不同之處強調(diào)了測

———6.1,,

試樣品和其他樣品形成良好真空密封的重要性見年版的

(6.1,20165.1);

更改了光學(xué)系統(tǒng)檢查以包括配有陣列型檢測器的儀器見年版的

———,(6.1、6.2.1.1,20165.1、5.2.1.2);

更改設(shè)置檢測器高壓為設(shè)置檢測器靈敏度參數(shù)并更改了這些設(shè)置以適應(yīng)陣列型檢測器

———“”“”,

的說明見年版的

(6.1、6.2.1.1、6.2.2、6.3.2、6.3.3、6.3.4,20165.1、5.2.1.2、5.2.2、5.3.1、5.3.2、

5.3.3);

增加了恒定電壓和氣體壓力方式通過恒定電壓和氣體壓力方式來設(shè)置直流源放電參

———6.2.3,

數(shù)見

(6.2.3);

更改了優(yōu)化弧坑形狀說明從強制性要求改為可選性見

———,(6.2.1.3、6.2.2、6.2.3、6.3.2、6.3.3、

年版的

6.3.4,20165.2.1.4、5.2.2、5.3.1、5.3.2、5.3.3);

增加了控制燈的清潔度和啟動性能介紹了用來驗證燈的啟動性能是否滿足用于分析

———6.4.4,

超薄薄膜的程序見

(6.4.4);

更改了概述將建立各元素工作曲線樣品個數(shù)最低要求從個更改為個見

———8.2.1,53(8.2.1,

年版的

20167.2.1);

更改了工作曲線樣品和確認(rèn)樣品濺射率的測定絕對濺射率的計算要按照輪廓儀制造商

———8.4,

提供的方法計算每個弧坑的濺射體積如有可能對非平底弧坑進(jìn)行補償見年版的

,,(8.4,2016

7.4)。

本文件等同采用表面化學(xué)分析輝光放電發(fā)射光譜法分析金屬氧化物膜

ISO/TS25138:2025《》,

文件類型由的技術(shù)規(guī)范調(diào)整為我國的國家標(biāo)準(zhǔn)

ISO。

請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機構(gòu)不承擔(dān)識別專利的責(zé)任

。。

本文件由全國表面化學(xué)分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會提出并歸口

(SAC/TC608)。

本文件起草單位上海市計量測試技術(shù)研究院上?？萍即髮W(xué)中國科學(xué)院化學(xué)研究所

:、、。

本文件主要起草人陳永康徐建趙志娟張云艷張笑旻郝萍王帥周瑩劉芬吳立敏

:、、、、、、、、、。

本文件及其所代替文件的歷次版本發(fā)布情況為

:

年首次發(fā)布為

———2016GB/T32996—2016;

本次為第一次修訂

———。

Ⅲ

GB/T32996—2025/ISO/TS251382025

:

表面化學(xué)分析輝光放電發(fā)射光譜法

分析金屬氧化物膜

1范圍

本文件描述了利用輝光放電發(fā)射光譜測定金屬氧化物膜厚度單位面積質(zhì)量和金屬氧化物膜化學(xué)

、

組成的方法

。

本方法適用于測定金屬上厚度為的氧化物膜氧化物的金屬元素包括鐵鉻

5nm~10000nm,、、

鎳銅鈦硅鉬鋅鎂錳鋯和鋁中的一種或多種其他可測元素還包括氧碳氮氫磷和硫

、、、、、、、、。、、、、。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,()

本文件

。

鋼和鐵化學(xué)成分測定用試樣的取樣和制樣方法

ISO14284(Steelandiron—Samplingand

)

prepa注rationofsamplesfor鋼th和e鐵dete化rm學(xué)in成a分tio測n定of用c試he樣m的ic取al樣co和m制p樣os方iti法on

:GB/T20066—2006(ISO14284:1996,IDT)

表面化學(xué)分析輝光放電發(fā)射光譜方法通則

ISO14707[Surfacechemicalanalysis—Glowdis-

()—]

charg注eopticalemissionspe表ct面ro化m學(xué)et分ry析G輝D-光O放ES電發(fā)射In光tr譜od方uc法ti通on則touse

:GB/T19502—2023(ISO14707:2021,IDT)

3術(shù)語和定義

本文件沒有需要界定的術(shù)語和定義

。

4原理

輝光放電發(fā)射光譜法的分析包括如下過程

:

準(zhǔn)備待測樣品一般為適合儀器或分析要求的平板或圓盤形狀寬度大于的圓形或矩形

a)