北京雙儀微電子科技有限公司砷化鎵單片微波集成電路研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項目環(huán)境影響報告書ENVIRONMENTALIMPACTASSESSMENTREPORT建設(shè)單位：北京雙儀微電子科技有限公司評價單位：信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計研究院科技工程股份有限公司二零一八年四月1第1章建設(shè)項目概況北京雙儀微電子科技有限公司砷化鎵單片微波集成電路研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項目的北京燕東微電子科技有限公司的部分廠房和場地并依托其相關(guān)公用輔助和環(huán)圖1.1-1項目地理位置2的戰(zhàn)略性、基礎(chǔ)性和先導(dǎo)性產(chǎn)業(yè)。砷化鎵單片微波集成電路（GaAsMMIC）是較高、禁帶寬度寬、工作溫度范圍大、微波傳輸性能好，所以GaAsMMIC具高、抗電磁輻射能力強等特點，其性能遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過了硅基集成電路。從上世紀(jì)80GaAsMMIC的產(chǎn)品和技術(shù)早期多用于國防科技用途。但進入上世紀(jì)90年能的GaAsMMIC開始被廣泛應(yīng)用于手機和其他通訊器材，其用途包括傳送遠(yuǎn)距離信號的高功率放大器(PA)與低噪聲低失真開關(guān)(Switch)等。至此，GaAsMMIC成為了個人與商務(wù)無線通信產(chǎn)業(yè)不可或缺的集成電路組件并在射頻和微砷化鎵的高功率放大器(GaAsPA)是手機電路中的關(guān)鍵組件，它占有了九件的工藝制備過程比硅器件困難許多，并且GaAs器件的器件物理更為艱深，需的GaAsMMIC芯片基本依賴進口，這對我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)和通訊產(chǎn)業(yè)都造成3片量產(chǎn)能力的基于6吋砷化鎵晶圓的MMIC芯片代工廠，扭轉(zhuǎn)國內(nèi)GaAsMMIC芯片完全依賴于進口的不利局面。在創(chuàng)造良好經(jīng)濟效益的同時，為國家子科技有限公司特委托信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計研究院科技工程股份有限公司本項目租賃北京燕東微電子科技有限公司已建的生產(chǎn)廠房及配套公用輔助4名稱建設(shè)內(nèi)容及規(guī)模主要環(huán)境問題備注施工期營運期主體工程砷化鎵單片微波集成電路生產(chǎn)線位于燕東FAB1，建設(shè)砷化鎵單片微波集成電路生產(chǎn)線1條，具備月產(chǎn)20000片單片微波集成電路芯片的生產(chǎn)能力。設(shè)備安裝調(diào)試廢水、廢氣、廢液、固體廢物、噪聲、環(huán)境風(fēng)險產(chǎn)線輔助工程動力站（CUB依托燕東，與燕東合用純水制備系統(tǒng)：1套，包括超純水系統(tǒng)和初純水系統(tǒng)。設(shè)計能力為300m3/h，純水系統(tǒng)前處理系統(tǒng)位于CUB內(nèi)，純水系統(tǒng)后處理系統(tǒng)位于FAB一層。/廢水、噪聲、固體廢物依托燕東常溫循環(huán)冷卻水系統(tǒng)：容量為6300m3/h。設(shè)計冷卻塔進水溫環(huán)量2500m3/h，單塔包含4個模塊，冷卻塔風(fēng)機采用變頻控制運行。/廢水、噪聲依托燕東冷凍站：設(shè)置冰機和相應(yīng)的水泵、冷卻塔系統(tǒng)，以滿足FAB等的冰水需要；選擇制冷量為1000USRT的低溫(6/12℃)水冷離心式冷凍機組1臺；選擇制冷量為2400USRT的低溫/中溫水冷離心式冷凍機組3臺，2用1備；備用機作為冷凍站公共備用機，既可以制取低溫冷水，也可以制取中溫冷水。選擇制冷量為2400USRT中溫(12/18℃)水冷離心式冷凍1400USRT中溫(12/18℃)水冷熱回收離心式冷凍機組3臺，水溫為37/30℃。離心式冷水機組所使用的冷媒均為R134a，為環(huán)保冷媒。/依托燕東壓縮空氣系統(tǒng)設(shè)于動力中心三層，設(shè)計高壓壓縮空氣和普通壓縮空氣2種系統(tǒng)。壓縮空氣管道從動力中心經(jīng)室外管廊至FAB1。/依托燕東5熱回收系統(tǒng)：在動力中心二樓設(shè)熱回收功能的離心式冷水機熱回收變頻泵，帶熱回收的冷凍機，換熱器、管道及閥門附件、保溫材料等。熱回收系統(tǒng)供/回水溫度為37/30℃,由熱回收變頻泵分別送各棟建筑的空調(diào)使用點，為保證熱水溫度維持在37℃,設(shè)有備用換熱器，熱源為鍋爐房供應(yīng)的90/60℃熱水。/依托燕東1臺3500kw承壓熱水鍋爐。/噪聲、廢水依托燕東工藝設(shè)備循環(huán)冷卻水系統(tǒng)設(shè)置在FAB支持區(qū)，溫度18℃/23℃。設(shè)計冷卻水泵5臺，4用1備，單臺循環(huán)量610m3/h。設(shè)計板式換熱器5臺，4用1備，單臺換熱量3500kw。設(shè)計過濾器5臺，4/依托燕東清掃真空清掃真空站設(shè)于FAB1生產(chǎn)廠房一層，在生產(chǎn)廠房的生產(chǎn)層、下技術(shù)層、支持廠房和LAB房間設(shè)置清掃真空HV清掃接口。封測廠房清掃真空設(shè)備布置在該建筑一層。設(shè)計排氣消音器，單臺真空泵吸氣量為800m3/h，真空壓力為300mbar。選用旋風(fēng)式分離器2套，配帶氣袋式過濾器及移動式收集桶。/依托燕東工藝真空工藝真空站設(shè)計在FAB1生產(chǎn)廠房一層，設(shè)計5臺1000Nm3/h變頻螺桿真空泵，4用1備。10m3真空儲氣罐2個，真空管道選用不銹鋼304無縫管。/依托燕東柴油發(fā)電機柴油發(fā)電機房：設(shè)置2400KVA的應(yīng)急柴油發(fā)電機組4臺。/噪聲、廢氣依托燕東大宗氣體站為本項目提供氮氣、氫氣、氧氣、氬氣、氦氣、N2O等大宗氣體以及壓縮空氣。/環(huán)境風(fēng)險依托燕東硅烷站建筑面積123m2（1F），主要負(fù)責(zé)硅烷的供應(yīng)，硅烷鋼瓶經(jīng)人工用叉車運至硅烷供應(yīng)間氣體柜后，經(jīng)管路供應(yīng)到生產(chǎn)車間機臺使用點。/環(huán)境風(fēng)險依托燕東6貯運工程化學(xué)品庫儲存的主要化學(xué)品為光刻膠、顯影液、酸堿等一般化學(xué)品/環(huán)境風(fēng)險依托燕東危險品庫儲存的主要化學(xué)品為IPA、NMP、丙酮、氯、氨、三氯化硼等易燃易爆、有毒有害的危險化學(xué)品環(huán)境風(fēng)險笑氣房用于存放笑氣（N2O）環(huán)境風(fēng)險氦氣房用于存放氦氣環(huán)境風(fēng)險硅烷站用于儲存硅烷環(huán)境風(fēng)險液氧儲罐用于儲存液態(tài)氧環(huán)境風(fēng)險液氬儲罐用于儲存液態(tài)氬環(huán)境風(fēng)險外延片庫房用于存放砷化鎵晶圓片，位于/成品庫房FAB11F/化學(xué)品配送一層有機溶劑配送間設(shè)備安裝調(diào)試環(huán)境風(fēng)險ACT供液系統(tǒng)：1套，位于FAB1一層有機溶劑配送間環(huán)境風(fēng)險NMP供液系統(tǒng)：1套，位于FAB1一層有機溶劑配送間環(huán)境風(fēng)險EKC供液系統(tǒng)：1套，位于FAB1一層有機溶劑配送間環(huán)境風(fēng)險H2O2供液系統(tǒng)：1套，位于FAB1一層化學(xué)品供應(yīng)間環(huán)境風(fēng)險DEV供液系統(tǒng)：1套，位于FAB1一層化學(xué)品供應(yīng)間環(huán)境風(fēng)險特氣配送SiH4自動供氣柜：1套，位于FAB1一層易燃易爆間設(shè)備安裝調(diào)試環(huán)境風(fēng)險NH3自動供氣柜：1套，位于FAB1一層可燃?xì)怏w間環(huán)境風(fēng)險N2O自動供氣柜：1套，位于FAB1一層腐蝕性氣體間環(huán)境風(fēng)險NF3自動供氣柜：1套，位于FAB1一層腐蝕性氣體間環(huán)境風(fēng)險BCl3自動供氣柜：1套，位于FAB1一層腐蝕性氣體間環(huán)境風(fēng)險Cl2自動供氣柜：1套，位于FAB1一層腐蝕性氣體間環(huán)境風(fēng)險C3F8自動供氣架：1套，位于FAB1一層特氣間環(huán)境風(fēng)險SF6自動供氣架：1套，位于FAB1一層特氣間環(huán)境風(fēng)險7CF4自動供氣架：1套，位于FAB1一層特氣間環(huán)境風(fēng)險公用工程供配電由供電公司引入10KV、雙50MVA的電源，經(jīng)變壓器變成生產(chǎn)需要的各等級電壓。在CUB動力站和FAB廠房設(shè)置終端變電站依托燕東給水系統(tǒng)由市政供水管網(wǎng)供給。包括再生水、自來水供水系統(tǒng)。依托燕東天然氣供應(yīng)由市政天然氣管網(wǎng)供給，經(jīng)調(diào)壓計量后進入廠區(qū)環(huán)境風(fēng)險依托燕東消防系統(tǒng)火警、自動噴淋系統(tǒng)、消火栓等/依托燕東環(huán)保工程水處理系統(tǒng)含氨廢水處理系統(tǒng)：位于廢水處理站，處理能力300m3/d，1套，采用“吹脫+硫酸吸收液吸收法”處理工藝。/廢水、污泥、異味依托燕東含氟廢水處理系統(tǒng)：位于廢水處理站，1套，處理能力1800m3/d，采用“CaCl2混凝沉淀法”工藝。污泥、廢水依托燕東有機廢水處理系統(tǒng)：位于廢水處理站，處理能力200m3/d，1套，采用“厭氧/好氧生物法”處理工藝。廢氣、廢水依托燕東酸堿廢水處理系統(tǒng)：位于廢水處理站，1套，處理能力7000m3/d，采用“二級中和”處理工藝。廢水依托燕東自建含砷廢水處理系統(tǒng)位于CUB一層，1套，處理能力300m3/d，采用“化學(xué)反應(yīng)沉淀+混凝絮凝沉淀”處理工藝，配套設(shè)置污泥暫存區(qū)。含砷廢水事故應(yīng)急池100m3.設(shè)備安裝調(diào)試廢氣、廢活性炭水處理系統(tǒng)位于CUB一層，1套，處理能力2m3/d，采用“離子交換樹脂”處理工藝。廢水、含金離子交換樹脂廢氣處理系統(tǒng)一般廢氣排風(fēng)系統(tǒng)：位于FAB1四層，共2套，1用1備，單套風(fēng)量80000m3/h酸性廢氣處理系統(tǒng)：位于FAB1四層，共2套，1用1備，單套風(fēng)量65000m3/h，采用堿液噴淋處理工藝。廢氣、廢水、噪聲8堿性廢氣處理系統(tǒng)：位于FAB1四層，共2套，1用1備，單套風(fēng)量11000m3/h，采用酸液噴淋處理工藝。廢氣、廢水、噪聲有機廢氣處理系統(tǒng)：位于FAB1四層，共2套，1用1備，單套風(fēng)量58000m3/h，采用沸石轉(zhuǎn)輪濃縮焚燒工藝（NMP冷凝預(yù)處理）。廢氣、噪聲工藝尾氣處理系統(tǒng)：不含砷工藝尾氣：在各不含砷工藝尾氣排放機臺后設(shè)置POU裝置，采用“等離子燃燒水洗”工藝處理，處理后的廢氣并入酸性廢氣處理系統(tǒng)進行處理，并依托酸性廢氣排氣筒進行排放。含砷工藝尾氣：在各含砷工藝尾氣排放機臺后設(shè)置POU凈化裝置，采用“等離子燃燒水洗”，處理后再經(jīng)含砷廢氣二級吸附系統(tǒng)。含砷廢氣處理后系統(tǒng)排氣并入酸性廢氣處理系統(tǒng)進行處理，并依托酸性廢氣排氣筒進行排放。廢氣、噪聲統(tǒng)IPA廢液收集罐：位于FAB1一層，1×30m3/環(huán)境風(fēng)險ACT廢液收集罐：位于FAB1一層，1×30m3環(huán)境風(fēng)險NMP廢液收集罐：位于FAB1一層，1×30m3環(huán)境風(fēng)險EKC廢液收集罐：位于FAB1一層，1×9m3環(huán)境風(fēng)險一般廢物暫存庫位于動力站，與燕東共用，暫存能力約100噸。/異味存庫位于動力站，與燕東共用，暫存能力約200噸。異味含砷廢水處理污泥位于廢水處理站污泥暫存區(qū)環(huán)境風(fēng)險急系統(tǒng)化學(xué)品庫、危險品庫、Fab一層化學(xué)品供應(yīng)間地面全部進行防滲處理，化學(xué)品庫和Fab一層化學(xué)品供應(yīng)間內(nèi)已設(shè)置經(jīng)過防滲處理的地溝。//依托燕東9設(shè)置人員防護設(shè)備，如：自備式呼吸器、面罩、防護服等，并設(shè)有安全淋浴和洗眼器//氣柜和房間均設(shè)置有抽風(fēng)系統(tǒng)，抽風(fēng)通過屋頂排氣筒排放//依托燕東特氣供應(yīng)間內(nèi)設(shè)置有特氣柜，柜中設(shè)置有抽排風(fēng)裝置，每臺氣柜都連至排風(fēng)系統(tǒng)，排入酸性廢氣處理系統(tǒng)或堿性廢氣處理系統(tǒng)進行處理。//依托燕東特氣供應(yīng)間、危險品庫、化學(xué)品庫設(shè)置有毒有害氣體在線監(jiān)控系統(tǒng)及截止閥。//依托燕東化學(xué)品庫、危險品庫易燃易爆化化學(xué)品防爆措施。//依托燕東化學(xué)品庫附近1個地下事故應(yīng)急池（有效容積不低于/事故廢液/廢水依托燕東危險品庫放置液體區(qū)域設(shè)置經(jīng)過防滲防腐處理的地溝。//依托燕東特氣使用機臺設(shè)有有毒有害氣體在線監(jiān)控系統(tǒng)及截止閥。//生產(chǎn)廠房內(nèi)設(shè)有有毒有害氣體在線監(jiān)控系統(tǒng)及截止閥。//辦公樓氣體偵測報警系統(tǒng)1套廠區(qū)內(nèi)設(shè)置雨水截流閥，事故期間消防廢水收集通過泵抽提進入廠區(qū)廢水處理站內(nèi)事故應(yīng)急池。//依托燕東廠區(qū)化學(xué)品庫、危險品庫和化學(xué)品供應(yīng)間內(nèi)地溝與廢水處理站內(nèi)事故應(yīng)急池聯(lián)通，事故期間消防廢水收集通過泵抽提進入廠區(qū)廢水處理站內(nèi)事故應(yīng)急池。//依托燕東辦公生活設(shè)施辦公區(qū)燕東辦公樓二樓/生活污水、辦公生活垃圾、餐廚垃圾依托燕東員工宿舍廠內(nèi)不設(shè)住宿。/砷化鎵單片微波集成電路（GaAsMMIC）是在砷化鎵半導(dǎo)體襯底上用一系毫米波）頻段的功能電路。GaAsMMIC是一種高性能的無線通信集成電路。度范圍大、微波傳輸性能好，所以GaAsMMIC具有電路損耗小、噪聲低、工點，其性能遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過了硅基集成電路,在射頻和微波領(lǐng)域基本取代了相對低性能退火、化學(xué)氣相沉積、晶圓減薄、金屬濺射集成電路的生產(chǎn)是一個非常復(fù)雜而又精密的系統(tǒng)工程，簡化的生產(chǎn)流程如圖11.光掩膜板設(shè)計2.砷化鎵晶片工序砷化鎵晶片3.芯片制造工序砷化鎵晶片制造光掩膜精密溫度控制空間控制空間4.芯片封裝工序5芯片測試工序芯片前工序加工是采用半導(dǎo)體平面工藝的方法在襯底上形成電路圖形的生刻蝕的方法形成摻雜通道，再通過離子注入或高溫擴散的方法摻雜形成半導(dǎo)體PN結(jié)，然后沉積金屬引線。工藝包括薄膜、光刻、刻蝕（包括干法刻蝕和濕法2等，成膜工藝包括：蒸鍍、物理氣相沉積（PVD）、化學(xué)氣相沉積（CVD）、光刻（PhotoetchingorLithography）是通過一系列光刻工藝生產(chǎn)步驟，將晶3的薄膜。通過光刻工藝過程，最終在晶圓上保留的是特定圖形部分。光刻工藝程會產(chǎn)生有機廢液，廢液排入廢液收集槽。涂膠是在潔凈的砷化鎵晶圓表面均勻涂上一層光刻膠，采用旋涂方式對晶圓正面涂上光刻膠，旋涂的同時由光刻機自帶噴嘴向晶圓無需光刻部分釋放背面清洗劑（由丙二醇甲醚和丙二醇甲醚使光刻膠牢固附著在玻璃面板表面，均勻涂膠后要進行烘干，由于烘干溫度較低，光刻膠以及背面清洗劑中的有機溶劑揮發(fā)成為有機廢氣，而光刻膠中的高分子聚合物和光敏劑等作為涂層牢固地附著在基質(zhì)表面。剩余的光刻膠以及背光敏感的混合液體。感光樹脂經(jīng)光照后，在曝光區(qū)能很快地發(fā)生光固化反應(yīng)，使得這種材料的物理性能，特別是溶解性、親合性等發(fā)生明顯變化。經(jīng)適當(dāng)?shù)墓饪棠z得到光照，另外部分光刻膠得不到光照，從而改變光刻膠性質(zhì)。顯影是用顯影液（一定濃度的四甲基氫氧化銨TMAH溶液）將感光的光刻膠去除，堿性液體，會產(chǎn)生少量堿性廢氣；顯影液使用后排入廢液刻稱為濕化學(xué)蝕刻法。它主要是借助蝕刻劑與待刻材料之間的化學(xué)反應(yīng)將待刻4釋作用，增加刻蝕均勻性，為了保證較大的選刻蝕所用的工藝氣體從車間外特氣房通過管道和刻蝕機的進氣孔連接到一生反應(yīng)消耗，并產(chǎn)生氣態(tài)副產(chǎn)物（如HF、HCl、氟化物等），未反應(yīng)的氣體由內(nèi)進行，清洗時槽體為密閉負(fù)壓環(huán)境，清洗溶液為異丙醇和N-甲基吡咯烷酮，5生產(chǎn)二氧化碳和水蒸氣，極微量光刻膠未反應(yīng)受熱揮發(fā)，形成揮發(fā)性有機廢氣廢液作為危廢處理，廢水進入廢水處理站，廢氣基本原理是：用能量為1000keV量級的離子束入射到材料中去，離子束與材料中的原子或分子將發(fā)生一系列物理和化學(xué)的相互作用，入射離子逐漸損失能金屬材料可以是金、銀、銅、鋅、鉻、鋁等。本項目真空蒸鍍金屬薄膜工序中另外，基材在進行真空蒸鍍金屬薄膜處理前需要用一定濃度的鹽酸進行清6化學(xué)氣相沉積是在一定的溫度下通過特種氣體進行化學(xué)反應(yīng)在基材上沉積（He、Ar、N2等）不斷流過反應(yīng)室發(fā)生反應(yīng)。在整個反應(yīng)過程中，大部分參與氣體發(fā)生反應(yīng)消耗，并產(chǎn)生氣態(tài)副產(chǎn)物，未反應(yīng)的氣體由于混入大量廢氣，靶材上的金屬原子撞擊落在半導(dǎo)體基材上沉積下來作為電路的內(nèi)引線。本項目2.2%Na3Au(SO3)2、5%Na2SO4和92.8%H2O，還原劑主要成分為苯二酚，C6H4(OH)2。通過含金鍍液自身氧化還原反應(yīng)完成金在7Na3Au(SO3)2→3Na++Au(S在背面金屬化過程中將會產(chǎn)生廢液以及沖洗廢水，廢液中主要為含金絡(luò)合物、含酸以及廢還原劑等，廢水主要為含酸、含金離子廢水，背金廢液和廢水造，屬于《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄（2011年本）(2013年修正)》“鼓勵類”中路制造，及球柵陣列封裝（BGA）、插針網(wǎng)格陣列封裝（PGA）、芯片規(guī)模封裝（CSP）、多芯片封裝（MCM）等先進封裝與測試”。本項目同時屬于《外子設(shè)備制造業(yè)中的第245項：集成電路設(shè)計，線寬28納米及以下大規(guī)模數(shù)字集成電路制造，0.11微米級以下模擬、數(shù)模集成電路制造，MEMS和化合物半導(dǎo)級集成電路芯片制造、封裝和測試，納米級芯片設(shè)計平臺（EDAIP庫，設(shè)計、開發(fā)智能存儲卡控制器芯片以及整機所需的各種專用集成電路芯構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄（2011年本）(2013修正)》中鼓勵類，屬《當(dāng)前優(yōu)先發(fā)展的高技術(shù)產(chǎn)業(yè)化重點領(lǐng)域指南（2011年度）》中當(dāng)前優(yōu)先發(fā)展的高技術(shù)產(chǎn)業(yè)化重點8本項目屬于《北京市產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄》（2007年本）鼓勵類第二十屬于《不符合首都功能定位的工業(yè)行業(yè)調(diào)整、生產(chǎn)工藝和設(shè)備退出指導(dǎo)目錄（2013年本）》（京經(jīng)信委發(fā)[2013]根據(jù)中華人民共和國國民經(jīng)濟和社會發(fā)展第十三個五年規(guī)劃綱要第二十三代移動通信(5G)、未來網(wǎng)絡(luò)、可穿戴醫(yī)療設(shè)備、基因檢測、3D打印、第三代半導(dǎo)體材料、智能機器人等領(lǐng)域發(fā)展。到2020年，戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新能力大幅有較強國際競爭力的跨國企業(yè)，形成一批擁有技9新城的總體定位是“北京重點發(fā)展的新城之一，是以高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)和先進制域產(chǎn)業(yè)中心。”規(guī)劃中確定亦莊新城“以三大產(chǎn)業(yè)組團――高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)、先進制造業(yè)、生國務(wù)院批準(zhǔn)北京經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)為國家級經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)的批復(fù)（國函[1994]89號）中明確提出：“北京經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)要充分發(fā)揮首都優(yōu)勢，積極引技術(shù)改造和產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)的調(diào)整，擴大出口貿(mào)易，發(fā)揮外向型經(jīng)濟的窗產(chǎn)業(yè)、生物技術(shù)和新醫(yī)藥產(chǎn)業(yè)、新材料與新能源對入?yún)^(qū)工目類環(huán)保業(yè)、皮革、毛皮、羽毛(絨)及其制品業(yè)、木材加工及本項目為集成電路制造項目，屬于開發(fā)區(qū)五大支柱產(chǎn)業(yè)之副食品加工業(yè)、食品制造業(yè)、業(yè)、皮革、毛皮、羽毛(絨)及學(xué)纖維制造業(yè)、橡膠制品業(yè)、及化學(xué)制品制造業(yè)、化學(xué)纖維制造業(yè)、橡膠制品業(yè)、造業(yè)專用設(shè)備制造業(yè)中的部械及器材制造業(yè)中的電池制棄資源和廢舊材料回收加工對入?yún)^(qū)項目環(huán)境影響評本項目屬于符合“五大支柱產(chǎn)本項目對天然氣使用中的環(huán)環(huán)評的相關(guān)要求。同時根據(jù)國家環(huán)境保護總局環(huán)審[2005]535號文《關(guān)于北京經(jīng)項目選址于北京經(jīng)濟開發(fā)區(qū)，園區(qū)基礎(chǔ)設(shè)施完備，為項目建設(shè)提供了良好距北京首都國際機場25公里，距鐵路貨運站7公里，距公路貨運主樞紐5公本項目周邊均為工業(yè)用地，距離本項目最近的環(huán)境保護目標(biāo)馬莊約800m，第2章建設(shè)項目周圍環(huán)境概況濃度值較小，Ii值均小于1，滿足《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》(GB3095-2012)二級標(biāo)準(zhǔn)；（TJ36-79）的要求；特征因子砷出現(xiàn)非正常檢測值，復(fù)測結(jié)果滿足《工業(yè)企業(yè)設(shè)計涼水河氨氮、COD、總磷三個項目指標(biāo)在三個監(jiān)測斷面均出現(xiàn)超標(biāo)情況，其余各項指標(biāo)均達(dá)到《地表水環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》(GB3838涼水河氨氮、COD、總磷超標(biāo)的主要原因為：流域范圍內(nèi)仍然有部分污水未經(jīng)污水處理廠處理直接排入河道內(nèi)；源頭污水收集管網(wǎng)不完善，雨污分流制管網(wǎng)尚未硫酸鹽、細(xì)菌總數(shù)、總大腸菌群數(shù)等部分監(jiān)測指標(biāo)質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB/T14848-93）III類水域標(biāo)準(zhǔn)的要求，其他指標(biāo)均能滿足《地量標(biāo)準(zhǔn)》（GB/T14848-93）I監(jiān)測期間，項目廠界各監(jiān)測點晝、夜間噪聲均3096-2008）3類標(biāo)準(zhǔn)的要求，項目所南東以項目南東側(cè)3000m涼水河為界，北西、北東及南西側(cè)無明顯水文地廠界外200m米范圍。環(huán)境要素主要環(huán)境保護目標(biāo)相對方位距離規(guī)模功能保護要求環(huán)境空氣次渠南里東2300約9500人居住區(qū)達(dá)到《環(huán)境空氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB3095-2012）二級標(biāo)準(zhǔn)次渠北里東2400約12000人居住區(qū)馬莊東北800約4500人居住區(qū)東北約1500人居住區(qū)丁莊村東北900約1000人居住區(qū)光谷公寓北約500人居住區(qū)神興園公寓北2000約500人居住區(qū)榕城家園北2200約900人居住區(qū)潤楓·領(lǐng)尚北3000約2000人居住區(qū)國際E莊西北2700約3000人居住區(qū)遠(yuǎn)洋天著西北3000約340人居住區(qū)遠(yuǎn)洋天著景園西北2800約2000人居住區(qū)君安國際西南2800約4000人居住區(qū)北京市雜技學(xué)校西南2000約1400人學(xué)校通泰國際公館東南約3000人居住區(qū)定海園東約9000人居住區(qū)環(huán)境要素主要環(huán)境保護目標(biāo)相對方位距離規(guī)模功能保護要求同仁醫(yī)院西南3100約600張床位醫(yī)院振國醫(yī)院西南3200約300張床位醫(yī)院環(huán)境風(fēng)險次渠南里東2300約9500人居住區(qū)次渠北里東2400約12000人居住區(qū)馬莊東北800約4500人居住區(qū)東北約1500人居住區(qū)丁莊村東北900約1000人居住區(qū)光谷公寓北約500人居住區(qū)神興園公寓北2000約500人居住區(qū)榕城家園北2200約900人居住區(qū)國際E莊西北2700約3000人居住區(qū)遠(yuǎn)洋天著西北3000約340人居住區(qū)北京市雜技學(xué)校西南2000約1400人學(xué)校通泰國際公館東南約3000人居住區(qū)定海園東約9000人居住區(qū)同仁醫(yī)院西南3100約600張床位醫(yī)院水環(huán)境涼水河南3300《地表水環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB3838-2002）中V類標(biāo)準(zhǔn)，水體功能為一般景觀用水地下水地下水含水層：碎屑巖淺層風(fēng)化裂隙含水層地下水水質(zhì)本項目區(qū)下伏含水層本項目運行期生產(chǎn)污水收集處置不當(dāng)，下滲進入?yún)^(qū)內(nèi)下伏含水層，影響地下水水質(zhì)。聲環(huán)境200m范圍內(nèi)無聲環(huán)境敏感點屬于《聲環(huán)境質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》（GB3096-2008）中的3類功能區(qū)圖2.2-1本項目評價范圍及主要環(huán)境保護目標(biāo)示意圖第3章環(huán)境影響預(yù)測及主要控制措施建設(shè)項目的主要污染類型包括大氣污染、水污本項目廢氣包括一般廢氣、酸性廢氣（含工藝尾氣）、堿性廢氣、有機廢氣四大類。本項目廢氣來源、主要污染物及擬采取的治理措施如表3.1-1所示。廢氣名稱來源主要污染物擬采取的治理措施一般廢氣晶圓水洗后氮保護烘干廢氣、PVD濺射廢氮氬保護氣氮氣、氬氣車間通風(fēng)換氣設(shè)施直接外排含砷煙塵激光刻號打標(biāo)激光切割砷、顆粒物專用高效過濾器過濾→酸性廢氣洗滌塔→35米高酸性廢氣排氣筒排放。含砷工藝廢氣（含氟、含氯）砷化鎵通孔干法蝕刻、晶圓干式清潔砷、氯、氟化物等離子燃燒水洗→酸性廢氣洗滌塔→35米高酸性廢氣排氣筒排放。含氟工藝廢氣（含氨、不含砷）氮化硅干法蝕刻、腔體清潔氟化物、氨等離子燃燒水洗→酸性廢氣洗滌塔→35米高酸性廢氣排氣筒排放含氨工藝尾氣氮化硅沉積氨、硅烷等離子燃燒水洗→酸性廢氣洗滌塔→35米高酸性廢氣排氣筒排放酸性廢氣鹽酸微蝕預(yù)處理、濕法蝕刻鹽酸的揮發(fā)、藍(lán)寶石清洗硫酸揮發(fā)氯化氫、硫酸霧酸性廢氣洗滌塔→35米高酸性廢氣排氣筒排放堿性廢氣精細(xì)研磨過程氨水揮發(fā)氨堿性廢氣洗滌塔→35米高堿性廢氣排氣筒排放有機廢氣涂膠、曝光、PI顯影、清邊、固化、PR剝離過程有機溶劑揮發(fā)揮發(fā)性有機物沸石轉(zhuǎn)輪濃縮→焚燒→35米高有機廢氣排氣筒（1）一般廢氣：主要包括晶圓水洗后氮氣，此類廢氣無有害污染物，經(jīng)車間車間通物砷及其化合物、氟化物、氯、氯化氫、二氧化硫、氮氧化物、顆粒物能夠達(dá)到北（4）有機廢氣：本項目有機廢氣中NMP經(jīng)冷凝處理后與其他揮發(fā)性有機物一化物、顆粒物、非甲烷總烴能夠達(dá)到北京市地方標(biāo)準(zhǔn)《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》項目各工藝過程均在機臺內(nèi)部進行，廢氣通過機臺排氣口接排氣管道排放，工通過以上措施，項目產(chǎn)生的廢氣均能做到達(dá)標(biāo)排放，最大限度的減輕項目廢氣序號廢水名稱廢水來源主要污染物產(chǎn)生量（m3/d）處理措施及排放去向一含砷生產(chǎn)廢水W1高濃度含砷酸性廢水晶圓表面氧化物酸洗清潔、濕法蝕刻pH、總磷、總砷3.6自建含砷廢水處理系統(tǒng)→燕東廢水總排口→路東區(qū)污水處理廠→涼水河W2高濃度含砷堿性廢水晶圓研磨后拋光pH、氨氮、總砷0.2W3低濃度含砷酸堿廢水酸洗蝕刻拋光等涉砷工藝清洗廢水氯化物、總磷、總砷W4含砷氟廢水晶圓干法蝕刻工藝尾氣POU水洗及中央酸性廢氣洗滌塔排水pH、氟化物、總砷W5含砷研磨廢水晶圓研磨減薄懸浮物、總砷28.8W6含砷有機廢水激光切割后表面保護劑及煙塵的清洗廢水COD、總砷含砷廢水外排量小計294.9二不含砷生產(chǎn)廢水2.1W7無砷有機廢水光刻顯影廢水COD、氨氮燕東有機廢水處理系統(tǒng)→燕東酸堿廢水處理系統(tǒng)→燕東廢水總排口→路東區(qū)污水處理廠→涼水河2.2W8無砷含氟廢水腔體清潔含氟工藝尾氣POU水洗pH、氟化物燕東含氟廢水處理系統(tǒng)→燕東酸堿廢水處理系統(tǒng)→燕東廢水總排口→路東區(qū)污水處理廠→涼水河2.3W9含金廢水無氰鍍金、金蝕刻清洗廢水金、碘含金廢水處理系統(tǒng)→燕東酸堿廢水處理系統(tǒng)→燕東廢水總排口→路東區(qū)污水處理廠→涼水河2.4W10普通酸堿廢水Ti-W蝕刻、藍(lán)寶石清洗、晶舟盒清洗、酸堿操作柜清洗pH、SS、硫酸鹽40.7燕東酸堿廢水處理系統(tǒng)→燕東廢水總排口→路東區(qū)污水處理廠→涼水河2.5W11無砷含氨廢水氨揮發(fā)堿性廢氣洗滌塔排水pH、氨氮燕東含氨廢水處理系統(tǒng)→燕東酸堿廢水處理系統(tǒng)→燕東廢水總排口→路東區(qū)污水處理廠→涼水河2.6不含砷廢水外排量小計256.7三依托燕東公用輔助設(shè)施排水超純水制備排污水鹽分、SS燕東酸堿廢水處理系統(tǒng)→燕東廢水總排口→路東區(qū)污水處理廠→涼水河3.2常溫循環(huán)冷卻塔排污水鹽分、SS603.3工藝設(shè)備冷卻排污水鹽分0.13.4鍋爐排污水鹽分、SS0.2排入常溫循環(huán)冷卻塔3.5燕東公用輔助設(shè)施排水小計190.20生產(chǎn)廢水排放量合計741.80二生活污水職工辦公生活CODCr、BOD5、氨氮、動植物油58.45燕東隔油化糞池→燕東廢水總排口→路東區(qū)污水處理廠→涼水河全廠外排廢水總量800.25其他廢水依托燕東既有含氟廢水處理系統(tǒng)、含氨廢水處理系統(tǒng)、有機廢水處理系統(tǒng)和酸堿廢水處理系統(tǒng)進行處理。外排廢水達(dá)到北京市地方標(biāo)準(zhǔn)《水污染物綜合排放公司廢水總排口進入市政污水管網(wǎng)，經(jīng)高新西區(qū)污水處理廠處理達(dá)《城鎮(zhèn)污水處理燕東超純水制備排污水普通酸堿廢水燕東有機廢水處理系統(tǒng)燕東含氟廢水處理系統(tǒng)燕東有機廢水處理系統(tǒng)燕東含氟廢水處理系統(tǒng)燕東含氨廢水處理系統(tǒng)雙儀含金廢水處理系統(tǒng)含氟廢水堿性廢氣洗滌用水含金廢水常溫循環(huán)冷卻水系統(tǒng)工藝設(shè)備冷卻水低濃度含砷酸堿廢水雙儀雙儀含砷廢水處理系燕東酸堿廢水燕東酸堿廢水處理系統(tǒng)砷砷在線監(jiān)測含砷研磨廢水高濃度含砷堿性廢水含砷氟廢水燕東廢水總排口燕東生活污水預(yù)處理池辦公生活污水燕東廢水總排口燕東生活污水預(yù)處理池路東區(qū)污水處理廠涼水河序號工藝系統(tǒng)設(shè)備名稱位置數(shù)量(臺/套)dB(A)權(quán)屬1一般廢氣排風(fēng)系統(tǒng)變頻離心風(fēng)機生產(chǎn)廠房FAB頂層275～852酸性廢氣處理系統(tǒng)變頻離心風(fēng)機275～853堿性廢氣處理系統(tǒng)變頻離心風(fēng)機275～854有機廢氣處理系統(tǒng)變頻離心風(fēng)機275～855冷凍水系統(tǒng)低溫離心式冷水機組動力站房378～85依托燕東熱回收式冷水機組378～85冷凍水泵672～826常溫水冷卻系統(tǒng)冷卻塔580～90冷卻水泵972～827工藝設(shè)備冷卻水系統(tǒng)冷卻水泵472～82板式換熱器472～828清掃真空系統(tǒng)清掃真空泵278～859工藝真空系統(tǒng)無油螺桿真空泵475～85綜上分析，通過選用總圖合理布局、選用低噪聲設(shè)備，采取隔聲、吸聲、減振及配套的管理等有效的降噪措施后，項目廠界可達(dá)到《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB12348-2008）中3類標(biāo)準(zhǔn)。（1）、一般廢物：廢金屬靶材返回供應(yīng)商回收利用、廢藍(lán)膜、廢膠帶、廢廢光阻液、廢AZ7030去邊膠液、廢液態(tài)電子樹脂（含