潔凈室知識(shí)培訓(xùn)第1頁，共46頁。潔凈間基礎(chǔ)知識(shí)…………25潔凈室及潔凈區(qū)潔凈度等級(jí)……………26潔凈室管理四大原則……29潔凈室(CleanRoom)內(nèi)的注意事項(xiàng)……54目錄潔凈室的用途……………1第2頁，共46頁。潔凈室的用途第3頁，共46頁。潔凈室Cleanroom:空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應(yīng)減少室內(nèi)誘入、產(chǎn)生滯留粒子。室內(nèi)其它有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進(jìn)行控制?！訥B50073-2001《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》由于半導(dǎo)體工業(yè)所制作的集成電路元件尺寸越來越小，在一塊小小的芯片上，整合了許許多多的元器件，因此在制造的過程中就必須防止外界雜質(zhì)污染源(包括塵埃、金屬離子、各類有機(jī)物等)，因?yàn)檫@些污染源可以造成元器件性能的劣化及產(chǎn)品成品率和可靠性的降低。所以制造集成電路必須在潔凈的環(huán)境中進(jìn)行，以盡量將污染源和硅片隔離。背景什么是潔凈室？第4頁，共46頁。1,00010,000外大氣層大氣層田園地帶街市區(qū)10,000,0001,000,000100,000工業(yè)地帶微塵粒子數(shù)(PC/ft3)≥0.5μm各種條件下微塵狀況第5頁，共46頁。塵埃粒直徑（單位：μm）0.00010.0010.010.11.010100100010000香煙的煙顏料煙硅砂花粉植物孢子水泥人的頭發(fā)重工業(yè)發(fā)出的粒子病毒細(xì)菌化學(xué)物質(zhì)0.5μm塵埃粒子直徑的示意圖第6頁，共46頁。25357825空氣中漏入原料中帶入設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)產(chǎn)生生產(chǎn)過程產(chǎn)生人員因素造成——摘自GB50073-2001《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》灰塵又是如何產(chǎn)生的呢？第7頁，共46頁。熒光燈全部消失的場合。一般事務(wù)室里拍攝的例子第8頁，共46頁。左邊是穿一般的工作服走路時(shí)候發(fā)塵的樣子。右邊是穿潔凈服走路時(shí)候發(fā)塵的樣子。走路時(shí)候發(fā)塵樣子對(duì)比第9頁，共46頁。左邊是拍擊一般的工作服時(shí)發(fā)塵的樣子。右邊是拍擊潔凈服時(shí)發(fā)塵的樣子。拍擊工作服時(shí)產(chǎn)生的塵埃粒子對(duì)比第10頁，共46頁。作業(yè)人員通過后，塵埃附著在玻璃上的樣子。潔凈室內(nèi)的事例第11頁，共46頁。使用ParticleEyeDCF統(tǒng)計(jì)浮游粒子數(shù)量。浮游粒子第12頁，共46頁。左邊是普通紙，右邊是無塵紙。紙張的發(fā)塵對(duì)比第13頁，共46頁。左邊是紙芯膠帶的發(fā)塵的樣子，右邊是PVC手套的發(fā)塵。膠帶和手套的發(fā)塵例子第14頁，共46頁。左邊是電鉆發(fā)塵的樣子。右邊是真空泵發(fā)塵的樣子。電動(dòng)工具的發(fā)塵例子第15頁，共46頁。吸塵器各地方排氣泄漏的樣子。吸塵器排氣的例子第16頁，共46頁。打噴嚏時(shí)瞬間發(fā)生的飛沫。打噴嚏時(shí)從嘴里泄漏飛沫的樣子第17頁，共46頁。從胳膊發(fā)汗條件創(chuàng)造。發(fā)汗現(xiàn)象第18頁，共46頁。香煙煙霧的粒子。吸煙的例子第19頁，共46頁。

靜坐時(shí)產(chǎn)生的塵粒數(shù)約10,000

輕微運(yùn)動(dòng)時(shí)產(chǎn)生的塵粒數(shù)約100,000

劇烈運(yùn)動(dòng)時(shí)產(chǎn)生的塵粒數(shù)約10,000,000

運(yùn)動(dòng)時(shí)產(chǎn)生的塵埃粒子數(shù)量第20頁，共46頁。0.5μm1μmPre-filterBag-filter95%90~95%99.99%HEPAfilterFANFilterHEPA/ULPACR99.99%0.3μm0.1μm工作區(qū)域密封條外框過濾器介質(zhì)波浪型隔離體褶皺狀濾紙外框熱溶膠熱溶膠（多處加工）外框?yàn)V紙HEPAFilter高效過濾器——HighEfficiencyParticulateAirFilterULPAFilter高效過濾器——UltraLowPenetration

AirFilter灰塵是如何去除的呢？第21頁，共46頁?；覊m是如何去除的呢？潔凈室的空氣凈化新風(fēng)正壓ReliefDamper第22頁，共46頁。手持簡易型激光粒子計(jì)數(shù)器測量空氣中微粒的數(shù)量限于體量和重量，手持式激光粒子計(jì)數(shù)器采樣流量一般為每分鐘0.1立方英尺（0.1cfm），即每分鐘2.83升（2.83L/m），其最小粒徑通道一般為0.3μm。通常均可采用電池或交流電工作。這類產(chǎn)品粒徑通道又可分為雙通道型，如美國MetOne公司生產(chǎn)的HHPC-2型，有0.3和0.5μm及0.5和5μm兩種標(biāo)準(zhǔn)配置。由于這類產(chǎn)品采樣空氣量小，測量精度相對(duì)較低，但隨檢測人員移動(dòng)靈便，適用于各種潔凈室的監(jiān)測，判定過濾設(shè)備的效率和密封性。這類產(chǎn)品可存儲(chǔ)一定量的采樣數(shù)據(jù)，備有下載軟件，均不帶打印裝置。第23頁，共46頁。高效過濾器高效過濾器撿漏卸下HEPA的散流板，對(duì)整個(gè)濾器面、濾器與邊框之間、邊框與邊框之間以及邊框與靜壓箱之間的密封進(jìn)行掃描。掃描時(shí)采樣頭距濾器面約1英寸（約2.54cm），掃描速度不超過5cm/s。掃描按直線來回往復(fù)地進(jìn)行，線條間應(yīng)重疊。檢測過程中，若有報(bào)警聲（即%LEAKAGE（泄漏率）超過0.01%），表明有泄漏。泄漏處經(jīng)用硅膠堵漏或緊固以后再進(jìn)行掃描巡檢。檢查一個(gè)過濾器約為5min左右，在測試的過程中，應(yīng)經(jīng)常確認(rèn)上游氣溶膠的濃度，注意在檢測過程中應(yīng)帶防護(hù)面罩和防護(hù)眼罩。第24頁，共46頁。風(fēng)量罩測量送風(fēng)風(fēng)速風(fēng)量罩主要由三個(gè)部分構(gòu)成:風(fēng)量罩體、基座、PDA構(gòu)成.

風(fēng)量罩體主要用于采集風(fēng)量,將風(fēng)匯集至基礎(chǔ)上的風(fēng)速均勻器上.在風(fēng)速均勻器上裝有熱式傳感器,熱式傳感器將風(fēng)速的變化,再根據(jù)基底的尺寸將風(fēng)量計(jì)算出來.風(fēng)量罩的顯示采用PDA,大屏幕液晶屏顯示直觀,直接可以得到風(fēng)速和風(fēng)量的數(shù)據(jù).操作簡單,可以設(shè)置記錄時(shí)間間隔進(jìn)行連續(xù)的參數(shù)記錄,以便對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行分析.測量和記錄的數(shù)據(jù)被記錄在存儲(chǔ)卡上,不會(huì)丟失,可以通過計(jì)算機(jī)的串口將數(shù)據(jù)傳遞到PC機(jī)上以及做進(jìn)一步的應(yīng)用.

風(fēng)罩的測量技術(shù)要求項(xiàng)目技術(shù)要求測量限值/范圍流量50–3500m3/hra誤差讀數(shù)的

5%反應(yīng)時(shí)間90%滿標(biāo)度時(shí)不到10s校準(zhǔn)間隔最多12個(gè)月注：a—測量限值和分辯率取決于所用風(fēng)罩的尺寸。第25頁，共46頁。壓差測定儀表壓差檢測普通潔凈室不同級(jí)別逐級(jí)之間、潔凈室與非潔凈區(qū)之間的微壓差一般為5～10Pa，

某些生物潔凈室為防止有害物或病毒向外擴(kuò)散，其進(jìn)入通路的各個(gè)房間之間的負(fù)壓差需要維持-10～-30Pa。

根據(jù)國家標(biāo)準(zhǔn)GB19489-2004“實(shí)驗(yàn)室、生物安全通用要求”的規(guī)定：相對(duì)于大氣壓污染區(qū)為-40Pa，

根據(jù)國家標(biāo)準(zhǔn)GB50346-2004“生物安全實(shí)驗(yàn)室建筑技術(shù)規(guī)范”的規(guī)定：與室外方向上相鄰相通房間的最小負(fù)壓差為-10Pa。

在各級(jí)空氣過濾器處，應(yīng)配置微壓差計(jì)并與過濾器前后的靜壓引出管相連，以便隨時(shí)監(jiān)測氣流通過空氣過濾器的壓力降。有些微壓差計(jì)還備有可調(diào)節(jié)壓差設(shè)定的報(bào)警標(biāo)定值，以便超過規(guī)定壓差時(shí)輸出報(bào)警信號(hào)。第26頁，共46頁。溫濕度計(jì)測量溫濕度電子溫濕度計(jì)因其方便、可靠、便于距離測量等優(yōu)點(diǎn)，在潔凈室檢測、監(jiān)測中廣泛使用。常見的有電容式和電阻式傳感器，輔以相應(yīng)電學(xué)儀器，即可測定空氣的相對(duì)濕度。電阻式濕度傳感器常見的有氧化鎳金屬氧化物燒結(jié)而成的多孔狀陶瓷體，或高氯酸鋰—聚氯乙烯等高分子材料制成。

它們都是利用了在不同濕空氣中，由于吸濕量變化而引起的電阻值變化原理制成的濕度傳感器。

氧化鎳陶瓷濕度傳感器因其使用壽命長，工作穩(wěn)定性好，使用較普遍。電容式傳感器電容式濕度傳感器基本上是一個(gè)電容器，在高分子薄膜上的電極是很薄的金屬微孔蒸發(fā)膜，水分子可以通過兩端的電極被高分子薄膜吸附或釋放，隨著水分子的吸附與釋放，高分子薄膜的介電系數(shù)將發(fā)生相應(yīng)變化。因?yàn)榻殡娤禂?shù)隨空氣中的相對(duì)濕度變化而變化，因此，只要測定其電容值即可得到被測空氣的相對(duì)濕度。第27頁，共46頁。照明淚滴型照明燈具嵌入式照明燈具第28頁，共46頁。照度計(jì)照度測試照度測試宜采用便攜式數(shù)字照度計(jì)。潔凈室（區(qū)）照度的檢測應(yīng)在室內(nèi)溫度穩(wěn)定和光源光輸出穩(wěn)定的狀態(tài)后進(jìn)行；對(duì)新熒光燈區(qū)應(yīng)使用100h以上，并在點(diǎn)燃15min后進(jìn)行測試。照度測試點(diǎn)應(yīng)選擇在工作面高度進(jìn)行，一般宜為0.85m，通道測試高度宜為0.2m；測試點(diǎn)數(shù)量可按每50㎡潔凈室（區(qū)）面積一個(gè)點(diǎn)計(jì)算，但每個(gè)房間不得少于1點(diǎn)。第29頁，共46頁。靜電檢測儀測量靜電該類測試儀表不直接與帶電體接觸，而是運(yùn)用靜電感應(yīng)的原理，間接測試帶電體的靜電電位。由于這種測試不是直接同帶電體相接觸，因此也稱非接觸式測量。靜電感應(yīng)原理：是將測試探頭靠近帶電體，利用探頭與被測帶電體之間產(chǎn)生的畸變電場測試帶電體的表面電位。人體靜電檢測儀靜電檢測儀靜電檢測儀第30頁，共46頁。靜電控制Man(人)手腕帶，ESD鞋，ESD椅子,衣服…Machine(機(jī))接地，控制靜電電流消除/屏蔽電磁干擾和交流電場Material(材料)使用導(dǎo)體材料盡量使用靜電消耗材料使用ESD地板，ESD桌墊不用或盡量少用絕緣材料Method(方法)預(yù)防（創(chuàng)建ESD安全的環(huán)境）保護(hù)（保護(hù)對(duì)ESD敏感的產(chǎn)品或零部件，避免金屬小電阻接觸）屏蔽（對(duì)非ESD安全的物品進(jìn)行法拉第或距離屏蔽）消除（通過接地，離子化消除產(chǎn)生的靜電）Environment(環(huán)境)溫度/濕度控制局部使用離子風(fēng)機(jī)員工ESD培訓(xùn)管理ESD控制=Man(人)+Machine(機(jī))+Material(料)+Method(法)+Environment(環(huán))第31頁，共46頁。風(fēng)淋室（Airshower）

風(fēng)淋室(AirShower)設(shè)于無塵室入口處，具有以下功能：人員管制AIRLOCK氣鎖功能，防止交叉污染風(fēng)速20-25m/s吹落塵埃帶走功能，用以吹除人體衣服上及設(shè)備、物料、工具的塵埃。注：正確使用風(fēng)淋室，能夠減少帶入室內(nèi)的灰塵。正確聽從風(fēng)淋室播音員的指示進(jìn)行操作，夠去除95%的1μ以上的灰塵。第32頁，共46頁。傳遞箱(PASSBOX)置于潔凈室隔間墻上之裝置功能：做為潔凈室內(nèi)外物品傳遞之緩沖區(qū)，其可防止于傳遞物品時(shí)由于門的開啟而破壞了潔凈

室氣流與室壓可減少作業(yè)人員走動(dòng)的時(shí)間而防止外區(qū)塵埃的進(jìn)入進(jìn)出口具有不可同時(shí)開啟的聯(lián)鎖控制，以達(dá)到防止交叉污染第33頁，共46頁?？諝鉂崈舳鹊燃?jí)大于或等于表中粒徑的最大濃度限值（pcs/m3)0.1um0.2um0.3um0.5um1um5um110221002410431000237102358410,0002,3701,020352835100,00023,70010,2003,5208322961000,000237,000102,00035,2008,3202937352,00083,2002,93083,520,000832,00029,300935,200,0008,320,000293,000國家標(biāo)準(zhǔn)GB50073-2001潔凈室及潔凈區(qū)潔凈度等級(jí)第34頁，共46頁。潔凈室的管理4大原則不讓灰塵產(chǎn)生過濾器本身及外框無漏風(fēng)潔凈室需保持一定的正壓作業(yè)人員需穿潔凈服并經(jīng)風(fēng)淋帶入的工具、材料等必須擦洗干凈不將灰塵帶入迅速排除灰塵不讓灰塵堆積清掃作業(yè)不留死角，特別是不易清掃的角落和設(shè)備周圍盡量減少風(fēng)管、配管暴露于潔凈室內(nèi)實(shí)施標(biāo)準(zhǔn)化的清掃作業(yè)正確穿著潔凈服不使用容易發(fā)塵的物品及材料減少不必要的人員走動(dòng)不用的物品嚴(yán)禁帶入增大換氣次數(shù)設(shè)備發(fā)塵部位應(yīng)有排氣室內(nèi)的氣流形式應(yīng)使得灰塵難以在產(chǎn)品上附著第35頁，共46頁。不將灰塵帶入過濾器本身及外框無漏風(fēng)過濾器本身及外框無漏風(fēng)穿潔凈服經(jīng)過風(fēng)淋室?guī)氲墓ぞ?、材料等必須擦洗干凈?6頁，共46頁。防止作業(yè)服和皮膚的發(fā)塵不讓灰塵產(chǎn)生正確穿著潔凈服打卡進(jìn)潔凈室脫鞋并存放柜子里從消毒鞋柜里取長筒靴穿連體潔凈服戴無塵帽戴口罩穿長筒靴戴手套確認(rèn)著裝狀態(tài)取出潔凈服、口罩防止頭發(fā)和膚屑的掉落防止口中散發(fā)細(xì)菌防止作業(yè)服的下擺發(fā)塵普通作業(yè)服放進(jìn)更衣柜著裝完畢防止靜電和膚屑產(chǎn)生確認(rèn)作業(yè)服是否整潔，有無塵物，頭發(fā)是否外漏，口罩穿戴是否正確等第37頁，共46頁。不讓灰塵產(chǎn)生正確使用風(fēng)淋室之進(jìn)入潔凈室去除鞋底灰塵和異物風(fēng)淋動(dòng)作結(jié)束后走出風(fēng)淋室消除胳膊異物，轉(zhuǎn)一圈(風(fēng)淋15秒/次)進(jìn)入風(fēng)淋室2名以上不能同時(shí)入風(fēng)淋室禁止觸碰感應(yīng)器，躲避風(fēng)淋禁止掰動(dòng)風(fēng)淋口禁止推玻璃，開風(fēng)淋室門使用風(fēng)淋室注意事項(xiàng)第38頁，共46頁。不讓灰塵產(chǎn)生正確使用風(fēng)淋室之走出潔凈室流程等待風(fēng)淋室門自動(dòng)關(guān)閉走出風(fēng)淋室進(jìn)入風(fēng)淋室第39頁，共46頁。照相機(jī)手機(jī)木棧板+紙箱食品個(gè)人物品香煙+打火機(jī)化妝品保麗龍物品白板筆+白板擦未清潔物品及工具潔凈室禁止攜帶物品舉例*潔凈室禁止帶入易發(fā)塵物品、數(shù)碼產(chǎn)品、食品、個(gè)人物品、不使用物品、未清潔物品及工具等第40頁，共46頁。無塵打印紙防靜電圓珠筆美工刀防靜電椅溫濕度計(jì)手持式粉塵檢測儀防靜電手套靜電防塵口罩耐高溫膠帶除靜電繩潔凈室專用物品舉例*潔凈室必須使用專用物品第41頁，共46頁。以Ａ?Ｂ?Ｃ?Ｄ?Ｅ的順序、從上往下進(jìn)行清掃。清掃區(qū)域要點(diǎn)圖不讓灰塵堆積-潔凈室(CleanRoom)的清掃A：樓承板及天花板上梁清掃：用無塵布清理灰塵用純水無塵布清掃房梁、吊頂螺栓

手夠不到的地方用拖把用純水擦拭一次以上。要點(diǎn)將裝有純水的水桶帶到天花板內(nèi)、用無塵布沾濕后絞干擦洗，在梁上不要?dú)埩粝潞圹E

B：樓承板及天花板上設(shè)備機(jī)器清掃

保護(hù)膜全部撕掉、用無塵布清理掉積塵用純水無塵布清掃配管、管路、線纜橋架等手夠不到的