1《電子級(jí)雙氧水》征求意見稿編制說明一、任務(wù)來源隨著科技的日新月異，半導(dǎo)體、太陽能、顯示面板等電子工業(yè)領(lǐng)域?qū)Σ牧系囊笕找嫣岣?。電子?jí)雙氧水，因其強(qiáng)氧化性和高純度特性，在這些領(lǐng)域中的應(yīng)用愈發(fā)廣泛。特別是在半導(dǎo)體行業(yè)中，電子級(jí)雙氧水作為關(guān)鍵化學(xué)原料，被廣泛應(yīng)用于硅晶圓清洗、蝕刻和光刻膠去除等工藝環(huán)節(jié)，對(duì)確保芯片的性能和可靠性起著至關(guān)重要的作用。近年來，隨著物聯(lián)網(wǎng)、人工智能等技術(shù)的快速發(fā)展，半導(dǎo)體行業(yè)的需求持續(xù)增長(zhǎng)，進(jìn)而推動(dòng)了電子級(jí)雙氧水需求的增加。同時(shí)，隨著電子工業(yè)產(chǎn)品對(duì)性能要求的提高，對(duì)電子級(jí)雙氧水的純度和質(zhì)量也提出了更高的要求。這不僅促進(jìn)了電子級(jí)雙氧水生產(chǎn)技術(shù)的不斷革新，也推動(dòng)了行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的不斷提升。為了滿足市場(chǎng)需求，生產(chǎn)企業(yè)不斷追求技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品升級(jí)，致力于提高產(chǎn)品的純度和質(zhì)量，以滿足高端電子工業(yè)的需求。在技術(shù)創(chuàng)新方面，電子級(jí)雙氧水行業(yè)不斷取得新的突破。研發(fā)人員通過改進(jìn)生產(chǎn)工藝和提純方法，提高了產(chǎn)品的純度和穩(wěn)定性。同時(shí)，也在探索新的應(yīng)用領(lǐng)域和市場(chǎng)需求，推動(dòng)產(chǎn)品的多元化發(fā)展。例如，在太陽能電池領(lǐng)域，電子級(jí)雙氧水被用于清洗和蝕刻工藝，有助于提高太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率和穩(wěn)定性。在顯示面板領(lǐng)域，電子級(jí)雙氧水也被廣泛應(yīng)用于清洗和剝離工藝，確保顯示面板的清晰度和色彩還原度。此外，環(huán)保意識(shí)的提高和可持續(xù)發(fā)展的要求也對(duì)電子級(jí)雙氧水行業(yè)的發(fā)展產(chǎn)生了深遠(yuǎn)影響。在環(huán)保政策日益嚴(yán)格的背景下，生產(chǎn)企業(yè)開始注重環(huán)保型電子級(jí)雙氧水的研發(fā)和生產(chǎn)。這些環(huán)保型產(chǎn)品不僅滿足了電子工業(yè)的需求，還減少了對(duì)環(huán)境的污染和破壞，符合可持續(xù)發(fā)展的理念。目前，關(guān)于《電子級(jí)雙氧水》的標(biāo)準(zhǔn)仍處于空白階段，其相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)也暫時(shí)處于空白?！峨娮蛹?jí)雙氧水》團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)在半導(dǎo)體、集成電路等精密電子制造領(lǐng)域展現(xiàn)出獨(dú)特優(yōu)勢(shì)。其核心價(jià)值在于對(duì)產(chǎn)品純度的極致追求，通過嚴(yán)苛控制金屬離子、顆粒物等雜質(zhì)含量，確保材料在納米級(jí)工藝中的穩(wěn)定性，避免微污染對(duì)芯片性能的影響。該標(biāo)準(zhǔn)針對(duì)電子工業(yè)的特殊需求，優(yōu)化了生產(chǎn)工藝流程設(shè)計(jì)，強(qiáng)化生產(chǎn)環(huán)境潔凈度、設(shè)備兼容性及包裝儲(chǔ)運(yùn)規(guī)范，從源頭降低外部環(huán)境對(duì)品質(zhì)的干擾。相較于通用標(biāo)準(zhǔn)，其技術(shù)指標(biāo)更貼近高端電子元件制造場(chǎng)景。同時(shí)，該標(biāo)準(zhǔn)注重全產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同，對(duì)原料選擇、反應(yīng)條件、檢測(cè)方法等環(huán)節(jié)提出系統(tǒng)性規(guī)范，確保不同批次產(chǎn)品的一致性。在環(huán)保與安全性層面，標(biāo)準(zhǔn)不僅涵蓋傳統(tǒng)有害物質(zhì)限制，還針對(duì)電子行業(yè)廢棄物處理特點(diǎn)，細(xì)化排放控制要求，推動(dòng)綠色制造升級(jí)。制定《電子級(jí)雙氧水》團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)，具有如下重要意義：21、提升電子行業(yè)材料質(zhì)量水平通過制定團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)，能夠明確產(chǎn)品在金屬離子含量、顆粒物控制、有機(jī)雜質(zhì)等關(guān)鍵指標(biāo)的技術(shù)要求，為行業(yè)提供統(tǒng)一的質(zhì)量基準(zhǔn)。標(biāo)準(zhǔn)的確立有助于淘汰低質(zhì)產(chǎn)能，推動(dòng)生產(chǎn)企業(yè)優(yōu)化工藝，從而提升國(guó)內(nèi)電子級(jí)雙氧水的整體品質(zhì)，滿足高精度制造需求。2、推動(dòng)產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同創(chuàng)新通過標(biāo)準(zhǔn)中技術(shù)參數(shù)的設(shè)定，可引導(dǎo)上游原材料供應(yīng)商改進(jìn)提純技術(shù)，激勵(lì)設(shè)備廠商開發(fā)更高精度的過濾與檢測(cè)裝置，同時(shí)為下游用戶提供選型依據(jù)。這種協(xié)同效應(yīng)將加速產(chǎn)業(yè)鏈技術(shù)升級(jí)，形成以標(biāo)準(zhǔn)為紐帶的創(chuàng)新生態(tài)。3、保障國(guó)家戰(zhàn)略產(chǎn)業(yè)安全團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)通過規(guī)范產(chǎn)品質(zhì)量和供應(yīng)鏈管理要求，可減少對(duì)進(jìn)口產(chǎn)品的依賴，降低因國(guó)際局勢(shì)變動(dòng)導(dǎo)致的斷供風(fēng)險(xiǎn)。同時(shí)，標(biāo)準(zhǔn)中包含的應(yīng)急生產(chǎn)與儲(chǔ)備指引，有助于構(gòu)建更安全的產(chǎn)業(yè)保障體系。4、促進(jìn)綠色可持續(xù)發(fā)展電子級(jí)雙氧水生產(chǎn)過程中涉及高能耗提純和?；饭芾?，團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)可設(shè)立環(huán)保型生產(chǎn)工藝規(guī)范，推動(dòng)企業(yè)采用清潔能源、循環(huán)利用技術(shù)。在產(chǎn)品質(zhì)量指標(biāo)中強(qiáng)化對(duì)副產(chǎn)物控制的要求，引導(dǎo)行業(yè)減少有毒有害物質(zhì)排放。二、起草單位所作工作1、起草單位本標(biāo)準(zhǔn)由中國(guó)化工流通協(xié)會(huì)提出并歸口。本標(biāo)準(zhǔn)由湖北菱永電子材料科技有限公司、湖南雙陽新材料科技有限公司、贏創(chuàng)特種化學(xué)(上海)有限公司、平湖石化有限責(zé)任公司、晶瑞電子材料股份有限公司、西安吉利電子新材料股份有限公司、中鹽常州化工股份有限公司、江化微（鎮(zhèn)江）電子材料有限公司等單位共同起草。2、主要起草單位及其所作工作本文件主要起草單位及工作職責(zé)見表1。表1主要起草單位及工作職責(zé)起草單位工作職責(zé)湖北菱永電子材料科技有限公司、湖南雙陽新材料科技有限公司、贏創(chuàng)特種化學(xué)(上海)有限公司項(xiàng)目主編單位主編人員，負(fù)責(zé)標(biāo)準(zhǔn)制定的統(tǒng)籌規(guī)劃與安排，標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)容和試驗(yàn)方案編制與確定，標(biāo)準(zhǔn)水平的把握及標(biāo)準(zhǔn)編制運(yùn)行的組織協(xié)調(diào)。人員中包括了行業(yè)資深專業(yè)人員，行業(yè)管理人員平湖石化有限責(zé)任公司、晶瑞電子材料股份有實(shí)際生產(chǎn)單位、負(fù)責(zé)匯報(bào)企業(yè)生產(chǎn)數(shù)據(jù)、試驗(yàn)方法，參3限公司、西安吉利電子新材料股份有限公司、中鹽常州化工股份有限公司、江化微（鎮(zhèn)江）電子材料有限公司與標(biāo)準(zhǔn)編制。三、標(biāo)準(zhǔn)的編制原則標(biāo)準(zhǔn)起草小組在編制標(biāo)準(zhǔn)過程中，以國(guó)家、行業(yè)現(xiàn)有的標(biāo)準(zhǔn)為制訂基礎(chǔ)，結(jié)合我國(guó)目前的行業(yè)現(xiàn)狀，按照GB/T1.1—2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定及相關(guān)要求編制。四、標(biāo)準(zhǔn)編制過程4.1立項(xiàng)階段2025年5月8日，中國(guó)化工流通協(xié)會(huì)正式批準(zhǔn)《電子級(jí)雙氧水》立項(xiàng)。4.2起草階段4.2.1成立標(biāo)準(zhǔn)制定工作組，根據(jù)《電子級(jí)雙氧水》編制需要，湖北菱永電子材料科技有限公司、湖南雙陽新材料科技有限公司、贏創(chuàng)特種化學(xué)(上海)有限公司、平湖石化有限責(zé)任公司、晶瑞電子材料股份有限公司、西安吉利電子新材料股份有限公司、中鹽常州化工股份有限公司、江化微（鎮(zhèn)江）電子材料有限公司等機(jī)構(gòu)相關(guān)專家成立標(biāo)準(zhǔn)制定工作組。4.2.2形成標(biāo)準(zhǔn)草案：根據(jù)工作計(jì)劃及分工安排，在系統(tǒng)參考、學(xué)習(xí)已有標(biāo)準(zhǔn)及研究的基礎(chǔ)上，標(biāo)準(zhǔn)制定工作組完成《電子級(jí)雙氧水》各部分內(nèi)容，并于2025年5月25日匯總形成標(biāo)準(zhǔn)草案。4.2.32025年6月24日，通過騰訊會(huì)議線上召開了《電子級(jí)雙氧水》團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)討論會(huì)，與會(huì)代表20余人參加會(huì)議。會(huì)上，標(biāo)準(zhǔn)編制組就該標(biāo)準(zhǔn)立項(xiàng)背景和標(biāo)準(zhǔn)框架分別進(jìn)行了介紹。與會(huì)專家和代表就標(biāo)準(zhǔn)名稱、框架結(jié)構(gòu)、定義、范圍、技術(shù)指標(biāo)、試驗(yàn)方法等內(nèi)容進(jìn)行了深入討論。明確了該標(biāo)準(zhǔn)編制工作方向，并提出了一系列標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)容的完善措施和修改意見、建議。在討論會(huì)結(jié)束后標(biāo)準(zhǔn)編制工作組根據(jù)與會(huì)專家及參會(huì)代表的意見和建議，對(duì)標(biāo)準(zhǔn)稿進(jìn)行了修改完善，形成了標(biāo)準(zhǔn)征求意見稿和編制說明。4.3征求意見階段2025年6月27日，本標(biāo)準(zhǔn)由中國(guó)化工流通協(xié)會(huì)在全國(guó)團(tuán)體標(biāo)準(zhǔn)信息平臺(tái)面向社會(huì)進(jìn)行公開征求意見，同時(shí)由編制工作組向相關(guān)單位進(jìn)行定向征求意見。五、標(biāo)準(zhǔn)主要內(nèi)容根據(jù)生產(chǎn)企業(yè)湖北菱永電子材料科技有限公司、湖南雙陽新材料科技有限公司、贏創(chuàng)特種化學(xué)(上海)有限公司、平湖石化有限責(zé)任公司、晶瑞電子材料股份有限公司、西安吉利電子新材料股份有限公司、中鹽常州化工股份有限公司、江化微（鎮(zhèn)江）電子材料有限公司等單位的產(chǎn)品數(shù)據(jù)得到以下主要內(nèi)容：1、主要章節(jié)內(nèi)容：技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸與貯存。2、主要技術(shù)內(nèi)容：外觀、過氧化氫含量、色度、游離酸含量等。4六、標(biāo)準(zhǔn)水平分析6.1采用國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)和國(guó)外先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)的程度經(jīng)查，暫無相同類型的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)與國(guó)外標(biāo)準(zhǔn)，故沒有相應(yīng)的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)、國(guó)外標(biāo)準(zhǔn)可采用。6.2與國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)及國(guó)外標(biāo)準(zhǔn)水平對(duì)比本標(biāo)準(zhǔn)達(dá)到國(guó)內(nèi)先進(jìn)水平。6.3與現(xiàn)有標(biāo)準(zhǔn)及制定中的標(biāo)準(zhǔn)協(xié)調(diào)配套情況本標(biāo)準(zhǔn)的制定與現(xiàn)有的標(biāo)準(zhǔn)及制定中的標(biāo)準(zhǔn)協(xié)調(diào)配套，無重復(fù)交叉現(xiàn)象。6.4設(shè)計(jì)國(guó)內(nèi)外專利及處置情況經(jīng)查，本標(biāo)準(zhǔn)沒有涉及國(guó)內(nèi)外專利。七、與有關(guān)的現(xiàn)行法律、法規(guī)和強(qiáng)制性國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)及相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)協(xié)調(diào)配套情況本標(biāo)準(zhǔn)的