中國電子工業(yè)標準化技術協(xié)會

團體標準《磁光克爾顯微鏡》（征求意見稿）編制說明

一、工作簡況

1、項目背景

當今高度智能化社會中，以磁性隨機存儲器（MRAM）、巨磁阻傳感器（GMR

Sensor）等為代表的新型電子自旋器件，將在大數(shù)據(jù)信息存儲、硬盤信息讀取、

定位及導航、汽車自動駕駛等領域扮演重要角色。磁性薄膜是制造MRAM芯片、GMR

傳感器芯片的基礎。磁光克爾成像技術是精確、直觀、快速檢測磁性薄膜性質(zhì)和

質(zhì)量，檢測自旋電子器件作用過程的重要手段。磁光克爾顯微鏡是此領域研究的

重要工具。

磁光克爾顯微鏡設備可應用于高等院校、科研院所的科學研究，用于探測材

料和自旋電子芯片的性能，包括磁性動力學研究、磁性材料性質(zhì)測試，自旋電子

芯片測試等；可用于產(chǎn)業(yè)界的磁性材料研發(fā)和自旋電子芯片研發(fā)制造等。

磁光克爾顯微鏡是磁性芯片等領域的重要研發(fā)工具，當前商用的磁光克爾顯

微鏡市場幾乎被德國的Evico公司和英國的DurhamMagnetoOpticsLtd公司占

領。國內(nèi)磁光克爾顯微鏡設備打破了這種壟斷局面，但是目前尚未有高性能磁光

克爾顯微鏡實現(xiàn)商業(yè)化量產(chǎn)。當前我國針對磁光克爾顯微鏡的相關標準處于空白

狀態(tài)，這使得磁光克爾顯微鏡設備的研發(fā)應用受到限制。該標準的制定有利于規(guī)

范磁光克爾顯微鏡的設計、制造流程以及產(chǎn)品質(zhì)量，為磁光克爾顯微鏡的產(chǎn)品驗

收提供技術依據(jù)，有效促進磁光克爾顯微鏡的推廣應用，有利于推動國內(nèi)基于磁

性薄膜的相關芯片和傳感器的研發(fā)，助力國家科學和信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

2、任務來源

本文件的編制任務來源于中國電子工業(yè)標準化技術協(xié)會（以下簡稱“中電標

協(xié)”）2023年11月27日發(fā)布的《關于公布2023年第十批團體標準制修訂項目的通

知》（中電標通[2023]030號），項目號為CESA-2023-096，項目標準名稱為：磁

光克爾顯微鏡。本文件為新制定標準，項目周期為12個月。技術歸口單位是中國

電子工業(yè)標準化技術協(xié)會，項目牽頭單位為致真精密儀器有限公司。

3、標準起草單位

中國電子工業(yè)標準化技術協(xié)會

本標準起草單位：致真精密儀器有限公司、北京航空航天大學、中國電子技

術標準化研究院、中國電子科技集團公司第九研究所、中國計量大學、中國科學

院物理研究所、致真存儲（北京）科技有限公司、中國計量科學研究院……

4、主要工作過程

1）標準預研

2023年3月-2023年7月，針對磁光克爾顯微鏡設備，致真精密儀器有限公司

進行了廣泛的前期研究，并查閱了大量的相關標準、規(guī)范，并與標準起草單位進

行討論，初步確認了該標準草案的框架和主要內(nèi)容，開始撰寫標準草案。

2023年9月，致真精密儀器有限公司完成了標準草案的初步撰寫。

2023年9月28日，各標準起草單位對標準草案進行了討論，旨在進一步修訂

標準的內(nèi)容。修改完善后形成齊套立項材料申報立項。

2)標準立項

2023年10月13日，由中國電子工業(yè)標準化技術協(xié)會組織團體標準立項論證

會，對《磁光克爾顯微鏡》團體標準項目建議進行了論證，并同意立項。

3）標準編制

2023年11月27日，根據(jù)中電標協(xié)發(fā)布的《關于公布2023年第十批團體標準制

修訂項目的通知》（中電標通[2023]030號）要求，致真精密儀器有限公司聯(lián)合

中國電子技術標準化研究院等單位成立標準起草組，開展標準編制工作。

2023年12月4日，標準起草組主要負責人召開會議，對后續(xù)標準制定工作進

行規(guī)劃安排，推進標準草案編寫進度。會議中對標準草案進行了研討，初步形成

了《磁光克爾顯微鏡》（草案）。

2024年12月5日-2024年6月10日，標準起草組對草案進行研討和完善。

2024年6月11日，標準起草組成員召開研討會，會議集中對草案的內(nèi)容再次

進行了詳細討論。最終，會后形成該標準的《磁光克爾顯微鏡》（征求意見稿），

提交中電標協(xié)公開征求意見。

二、標準編制原則和確定主要內(nèi)容的論據(jù)及解決的主要問題

1、標準編制原則

在標準編制過程中，遵循了以下原則：

中國電子工業(yè)標準化技術協(xié)會

a)科學性。本標準依托現(xiàn)有產(chǎn)業(yè)應用要點，充分結合生產(chǎn)企業(yè)以及用戶企

業(yè)產(chǎn)學研用的優(yōu)勢，充分利用科研成果、產(chǎn)業(yè)需求調(diào)研結果，保障標準指標的科

學合理。

b)先進性。本標準制定過程中充分考慮了磁光克爾顯微鏡最新的技術趨勢

和發(fā)展方向，具有前瞻性。

c)全面性。本標準在編制過程中充分考慮到標準的全面性，保證能夠覆蓋

到磁光克爾顯微鏡設備中的各項指標，確保標準的完備性。

d)中立性。在本標準制定過程中，編制工作組對標準文本進行了充分討論，

確保了中立性和客觀性。

e)規(guī)范性。本標準的編寫遵守國家標準GB/T1.1-2020《標準化工作指導

第一部分：標準化文件的結構和起草規(guī)則》。

2、標準主要內(nèi)容

本文件規(guī)定了磁光克爾顯微鏡設備的術語和定義、結構、分類、基本參數(shù)、

工作條件、要求、試驗方法、檢驗規(guī)則、標志、包裝、運輸和儲存。其中基本參

數(shù)主要包括成像視野、磁成像分辨率、磁成像靈敏度、磁場強度范圍以及磁場監(jiān)

測精度等。

本文件適用于磁光克爾顯微鏡設備的設計、生產(chǎn)及測試。產(chǎn)品可以用于觀察

磁性材料表面以及磁性薄膜材料的磁化狀態(tài)并成像。

3、主要解決的問題

目前國內(nèi)沒有與磁光克爾顯微鏡設備相關的標準，本標準主要解決市場中不

同生產(chǎn)廠商所生產(chǎn)設備的差異化問題。本標準的制定有助于集成電路產(chǎn)業(yè)鏈的建

設，有效避免定制化產(chǎn)品導致的市場壟斷局面。

三、主要試驗[或驗證]情況分析

在本文件編制過程中，多家行業(yè)內(nèi)生產(chǎn)單位以及用戶企業(yè)、科研院校積極參

與到編制工作當中，充分考慮當下科技發(fā)展現(xiàn)狀及應用需求。從市場符合性角度

分析，標準中所涉及設備已經(jīng)投入到實際生產(chǎn)與科研工作當中，所涉及的技術指

標均已經(jīng)通過測試驗證，所涉及的技術內(nèi)容符合我國產(chǎn)業(yè)需求。

四、知識產(chǎn)權情況說明

無。

中國電子工業(yè)標準化技術協(xié)會

五、產(chǎn)業(yè)化情況、推廣應用論證和預期達到的經(jīng)濟效果

本文件規(guī)定了磁光克爾顯微鏡設備的構成及技術指標，指導磁光克爾顯微鏡

設備的設計、制造、采購和評價活動，解決由于標準不統(tǒng)一所導致的同類產(chǎn)品之

間的差異，解決集成電路生態(tài)鏈不完整等問題。本標準的發(fā)布有助于打破磁光克

爾顯微鏡市場的國際壟斷局面，推動集成電路產(chǎn)業(yè)鏈的國產(chǎn)化進程。

本文件的發(fā)布有助于磁光克爾顯微鏡設備的推廣應用，推動磁光克爾顯微鏡

設備市場發(fā)展，進一步推動磁性芯片和集成電路制造領域的發(fā)展。

六、轉(zhuǎn)化國際標準和國外先進標準情況

該項目不涉及國際標準或者國外先進標準的轉(zhuǎn)化問題。

七、與現(xiàn)行相關法律、法規(guī)、規(guī)章及相關標準的協(xié)調(diào)性

該項目符合我國有關的現(xiàn)行法律、法規(guī)。

八、重大分歧意見的處理經(jīng)過和依據(jù)

無重大分歧意見。

九、貫徹標準的要求和措施建議

通過文件的實施實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)內(nèi)的共識性規(guī)范，推動磁光克爾顯微鏡設備在磁性

芯片研發(fā)領域和集成電路制造領域的應用。

待文件正式發(fā)布后，可以通過各級組織和科研單位進一步貫徹和實施，推動

各級各類高校、科研機構、企事業(yè)單位在研發(fā)過程中采用本標準。建議發(fā)布后立

即實施。

十、替代或廢止現(xiàn)行相關標準的建議

無。

十一、其它應予說明的事項

無。

《磁光克爾顯微鏡》團體標準編制起草組

2024-06-××

中國電子工業(yè)標準化技術協(xié)會

團體標準《磁光克爾顯微鏡》（征求意見稿）編制說明

一、工作簡況

1、項目背景

當今高度智能化社會中，以磁性隨機存儲器（MRAM）、巨磁阻傳感器（GMR

Sensor）等為代表的新型電子自旋器件，將在大數(shù)據(jù)信息存儲、硬盤信息讀取、

定位及導航、汽車自動駕駛等領域扮演重要角色。磁性薄膜是制造MRAM芯片、GMR

傳感器芯片的基礎。磁光克爾成像技術是精確、直觀、快速檢測磁性薄膜性質(zhì)和

質(zhì)量，檢測自旋電子器件作用過程的重要手段。磁光克爾顯微鏡是此領域研究的

重要工具。

磁光克爾顯微鏡設備可應用于高等院校、科研院所的科學研究，用于探測材

料和自旋電子芯片的性能，包括磁性動力學研究、磁性材料性質(zhì)測試，自旋電子

芯片測試等；可用于產(chǎn)業(yè)界的磁性材料研發(fā)和自旋電子芯片研發(fā)制造等。

磁光克爾顯微鏡是磁性芯片等領域的重要研發(fā)工具，當前商用的磁光克爾顯

微鏡市場幾乎被德國的Evico公司和英國的DurhamMagnetoOpticsLtd公司占

領。國內(nèi)磁光克爾顯微鏡設備打破了這種壟斷局面，但是目前尚未有高性能磁光

克爾顯微鏡實現(xiàn)商業(yè)化量產(chǎn)。當前我國針對磁光克爾顯微鏡的相關標準處于空白

狀態(tài)，這使得磁光克爾顯微鏡設備的研發(fā)應用受到限制。該標準的制定有利于規(guī)

范磁光克爾顯微鏡的設計、制造流程以及產(chǎn)品質(zhì)量，為磁光克爾顯微鏡的產(chǎn)品驗

收提供技術依據(jù)，有效促進磁光克爾顯微鏡的推廣應用，有利于推動國內(nèi)基于磁

性薄膜的相關芯片和傳感器的研發(fā)，助力國家科學和信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

2、任務來源

本文件的編制任務來源于中國電子工業(yè)標準化技術協(xié)會（以下簡稱“中電標

協(xié)”）2023年11月27日發(fā)布的《關于公布2023年第十批團體標準制修訂項目的通

知》（中電標通[2023]030號），項目號為CESA-2023-096，項目標準名稱為：磁

光克爾顯微鏡。本文件為新制定標準，項目周期為12個月。技術歸口單位是中國

電子工業(yè)標準化技術協(xié)會，項目牽頭單位為致真精密儀器有限公司。

3、標準起草單位

中國電子工業(yè)標準化技術協(xié)會

本標準起草單位：致真精密儀器有限公司、北京航空航天大學、中國電子技

術標準化研究院、中國電子科技集團公司第九研究所、中國計量大學、中國科學

院物理研究所、致真存儲（北京）科技有限公司、中國計量科學研究院……

4、主要工作過程

1）標準預研

2023年3月-2023年7月，針對磁光克爾顯微鏡設備，致真精密儀器有限公司

進行了廣泛的前期研究，并查閱了大量的相關標準、規(guī)范，并與標準起草單位進

行討論，初步確認了該標準草案的框架和主要內(nèi)容，開始撰寫標準草案。

2023年9月，致真精密儀器有限公司完