硅片加工工藝項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝項(xiàng)目目標(biāo)掌握單晶與多晶清洗操作工藝流程。掌握單晶與多晶清洗工藝控制要點(diǎn)。掌握清洗工藝的設(shè)備維護(hù)與保養(yǎng)。項(xiàng)目描述硅片清洗的主要目的是將硅塊切割后，通過脫膠、插片、清洗、甩干等工藝，將硅片表面的漿料、雜質(zhì)等清洗干凈。本項(xiàng)目的目的是學(xué)習(xí)硅片清洗的完整操作要點(diǎn)、控制因素，并能對清洗設(shè)備進(jìn)行維護(hù)與保養(yǎng)。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝任務(wù)一作業(yè)準(zhǔn)備任務(wù)目標(biāo)認(rèn)識清洗工藝過程中的所有設(shè)備及藥品。掌握常見的準(zhǔn)備工作。任務(wù)描述硅片清洗工藝中，涉及到預(yù)清洗、脫膠、插片、清洗、甩干五道工序，這些工藝操作過程中需要的設(shè)備、工具較多。本任務(wù)學(xué)習(xí)硅片清洗工藝的作業(yè)準(zhǔn)備。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝作業(yè)準(zhǔn)備（1）作業(yè)人員需穿上工作服、勞保鞋，帶上口罩、手套、系上圍裙。（2）清洗工藝過程中，需要用到的設(shè)備：預(yù)清洗機(jī)、脫膠機(jī)、清洗機(jī)、甩干機(jī)。（2）清洗工藝過程中，需要用到的工具：疏導(dǎo)針、金屬棒、扳手、掛籃、海綿、周轉(zhuǎn)箱、花籃盒、標(biāo)識卡、檸檬酸稱重天平、清洗劑量杯。（3）清洗工藝過程中，需要用到的試劑：清洗劑、檸檬酸。（4）檢查預(yù)沖洗槽、脫膠槽、周轉(zhuǎn)箱、插片池、清洗機(jī)、甩干機(jī)內(nèi)碎片是否清理干凈。（5）對預(yù)清洗機(jī)、脫膠機(jī)、清洗機(jī)和甩干機(jī)進(jìn)行開機(jī)點(diǎn)檢，檢查各項(xiàng)功能、參數(shù)是否正常，并做好記錄。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝2．清洗過程中的設(shè)施設(shè)備預(yù)清洗機(jī)、脫膠機(jī)、清洗機(jī)、甩干機(jī)設(shè)備及工具分別如下圖7-1、7-2、7-3、7-4、7-5、7-6、7-7、7-8。預(yù)清洗機(jī)脫膠機(jī)（正在脫膠）項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝槽清洗機(jī)（外形）甩干機(jī)（外形）項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝周轉(zhuǎn)箱及隔板達(dá)克羅清洗劑JH-15A、JH-15B項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝金屬棒及掛籃花籃盒項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝任務(wù)二預(yù)清洗任務(wù)目標(biāo)1．掌握預(yù)清洗的操作工藝流程。2．掌握預(yù)清洗操作工藝要點(diǎn)。任務(wù)描述剛在切割機(jī)上切割完畢的硅塊，上面有很多的切割液、泥漿，對硅片的預(yù)清洗是清洗工藝的準(zhǔn)備工作。本任務(wù)學(xué)習(xí)硅片預(yù)清洗的操作工藝。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝

預(yù)清洗根據(jù)采用的硅塊粘膠過程中所使用的膠不同有所差異，一種是將晶棒放置在預(yù)清洗工作臺上，另外一種是晶棒平穩(wěn)的放在預(yù)清洗機(jī)水槽中，本任務(wù)將對放置在預(yù)清洗工作臺上的進(jìn)行重點(diǎn)講授，日本膠水粘的硅塊常用第一種方法進(jìn)行預(yù)清洗。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝1．預(yù)清洗準(zhǔn)備打開水壓開關(guān)，檢查預(yù)清洗噴管噴嘴水流是否暢通，如有堵塞，用疏導(dǎo)針將其疏通，然后關(guān)閉水壓閥等待下棒。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝2.與線切交接（1）核對碎片數(shù)目及異常情況，確認(rèn)工藝單已填寫完整，完成與線切的交接，如圖7-9。注意：交接過程中，線切人員需要將切割機(jī)臺號、安裝位置、切割刀號、掉片、掉殘及操作人等信息填寫在切割技術(shù)要求欄中。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝（2）碎片處理線切下棒以后，將抽屜中的碎片分類，碎片放在工裝小車的側(cè)面，好片和大于1/2的碎片放在工件板上，清洗車間的員工核對之后，將好片和大于1/2的碎片放進(jìn)工裝內(nèi)進(jìn)行預(yù)清洗脫膠。如圖7-10。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝3．填寫硅棒隨工單與線切交接完畢后，填寫硅棒隨工單，寫明硅棒的晶體編號和長度，放在對應(yīng)的工件板上，如圖7-11。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝4．抬棒填寫完畢后，將切好的晶棒平穩(wěn)的放在預(yù)清洗機(jī)中，確保晶棒不晃動、不傾斜具體操作工藝如圖7-12、7-13、7-14。從PP片盒中取出切好的硅棒將硅棒移至預(yù)清洗裝置項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝將硅棒推入預(yù)清洗裝置項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝5．檢查工作檢查水壓是否在設(shè)定范圍內(nèi)，水壓要求一般不低于0.08MPa；檢查預(yù)清洗設(shè)備底下是否墊海棉，如圖7-15，以防預(yù)清洗過程中，掉下的硅片出現(xiàn)破碎。

預(yù)清洗設(shè)備底部墊的海綿項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝6.預(yù)清洗打開預(yù)清洗水閥，將噴水位置調(diào)至硅棒與工件板粘接處，開始預(yù)清洗，同時清洗硅棒的碎片，如圖7-16。

調(diào)整噴水位置項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝

對于1刀切割的硅片與2刀切割的硅片工藝要求有所不同，一般而言，沖1刀棒，閥門開到45度，沖2刀以上，閥門開到底。預(yù)清洗的過程中，預(yù)清洗工作人員應(yīng)經(jīng)常檢查水管的噴水情況，如有堵塞需及時清理。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝7．整理工作將與線切交接的小車放回指定位置停放整齊，以備下次使用，如圖7-17。放回指定位置停放的小車項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝8．掉片處理沖洗過程中，如有掉片現(xiàn)象，員工要及時將掉片取出，并將碎片放進(jìn)碎片盒中，完整的硅片則放入檸檬酸槽中，如圖7-18、7-19。掉片處理項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝完整的硅片處理項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝9．沖洗完成沖洗完成（30分鐘）后，用手輕輕測試硅片是否搖晃。如硅片搖晃，直接在預(yù)清洗裝置中脫膠。具體操作過程中，雙手托住約10mm左右硅片前后輕輕搖晃直至膠水脫落，然后放入檸檬酸槽，如圖7-20。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝10．硅棒取出預(yù)清洗結(jié)束后，關(guān)閉水壓閥，將晶棒從預(yù)清洗工作臺中拉出，將金屬棒插入工件板兩端的小孔中，由兩名預(yù)清洗員雙手緊握金屬棒，將晶棒翻轉(zhuǎn)180°，然后將其平穩(wěn)地放入掛籃中，等待脫膠。翻轉(zhuǎn)時兩人要互相配合，動作協(xié)調(diào)一致，如圖7-21。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝11．送往脫膠臺硅棒取出后，則送往脫膠臺，在送往脫膠臺的途中，硅棒需水平放置，對沒有采用掛籃的輸送過程中，需兩手的大拇指輕靠硅片，防止硅片傾倒，如圖7-21。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝12．水槽預(yù)清洗水槽中預(yù)清洗與上述清洗工藝大同小異，美國膠水粘的硅塊常用這種方法清洗，具體的不同點(diǎn)如下：（1）打開預(yù)清洗機(jī)倉門，將切好的晶棒平穩(wěn)的放在預(yù)清洗機(jī)水槽中，確保晶棒不晃動、不傾斜，關(guān)閉預(yù)清洗機(jī)倉門。（2）打開預(yù)沖洗機(jī)電源，按照工藝參數(shù)設(shè)定清洗時間600s，水溫15～25℃,慢慢開啟水閥，啟動清洗程序按鈕。預(yù)清洗自動完成后，關(guān)閉水閥和預(yù)清洗機(jī)電源。（3）打開預(yù)清洗倉門，輕輕取出晶棒，慢慢將其放入手工復(fù)洗槽中進(jìn)行手工復(fù)洗。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝打開安裝有軟管的水龍頭調(diào)節(jié)水壓至0.25±0.05MPa，水溫15～25℃，用手扶住硅片上側(cè)，首先沖洗晶棒的側(cè)面，然后在硅片正上方移動進(jìn)行沖洗，水龍頭與硅片要保持3～5mm，且水龍頭一定要與晶棒垂直，最后沖洗晶棒的另一個側(cè)面，并用海綿不斷擦拭粘膠面倒角處流出的污水。如此循環(huán)往復(fù)沖洗，直至沒有污水流出。如圖7-22。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝（4）如在未預(yù)沖洗徹底的情況下硅片已自然倒伏，應(yīng)將硅片順著自然倒伏的方向?qū)⒐杵∠?，進(jìn)行脫膠前的手工復(fù)洗，手工復(fù)洗水溫為15～25℃。13.預(yù)清洗注意事項(xiàng)（1）將晶棒放到預(yù)沖洗工作臺時，避免碰撞固定噴管的掛鉤，將晶棒劃傷。（2）預(yù)沖洗過程中避免硅片掉落，如有掉片，及時清理，且不同編號的掉片不能混淆；若掉片超過20片，則停止預(yù)沖洗，直接脫膠。預(yù)沖洗過程要不斷旋轉(zhuǎn)噴管，使得硅片各個方向都能得到充分沖洗。（3）預(yù)沖洗要求直至無污水流出為止。（4）如果下棒太集中，可以采取臨時補(bǔ)救措施，暫放在切割液中。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝任務(wù)三硅片脫膠任務(wù)目標(biāo)掌握硅片脫膠工藝操作流程。掌握脫膠工藝操作要點(diǎn)。任務(wù)描述脫膠是清洗工藝的重中之重。若脫膠不當(dāng)，會造成大量的硅片破碎，如何將硅片在玻璃上面脫離顯得尤為重要。本任務(wù)學(xué)習(xí)硅片的脫膠操作工藝。任務(wù)實(shí)施脫膠的目的是分離硅片與玻璃板、玻璃板與托板，根據(jù)使用的膠水不同，脫膠工藝有所不同，有手工脫膠與自動脫膠，本任務(wù)以典型的美國與日本膠進(jìn)行講授。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝1．手工脫膠手工脫膠根據(jù)膠水不同，脫膠工藝有所差異，對美國膠粘膠的硅塊，典型的手工脫膠工藝如下。（1）將預(yù)清洗完畢的硅棒放入溫水脫膠槽中（58±3℃），兩端及拼接棒之間各放一個隔板，其次在硅片之間每隔30～50mm插一個隔板，如圖7-23。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝（2）打開安裝有軟管的水龍頭，調(diào)節(jié)水溫至35～40℃，水壓0.1～0.3MPa，將晶棒沖洗至沒有污水流出，然后逐漸升溫至50～55℃恒溫。（3）用百潔布擦拭硅片表面的樹脂條，擦拭樹脂條時，一手扶住硅片一端，另一手擦拭，如圖7-24。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝（4）用50～55℃熱水將硅片表面噴淋一遍，然后將安裝有軟管的水龍頭置于晶棒上方3～5mm，從左至右反復(fù)噴淋或不斷澆水，以保持硅片濕潤，直至硅片底部膠軟化，自然伏倒，如圖7-25。一定要等硅片自然倒下時方可脫膠，不能用手去推，以防硅片崩邊。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝（5）調(diào)節(jié)水溫至35～40℃，繼續(xù)在硅片上方進(jìn)行噴淋，使硅片緩慢降溫。（6）雙手握住硅片兩側(cè)，順著硅片自然伏倒的方向?qū)⒐杵∠?，使之與玻璃板脫離，每次取不得超過50mm左右的硅片放在毛巾上，翻轉(zhuǎn)至膠水面，用百潔布擦掉硅片表面的膠水，如圖7-26。遇到比較難擦的膠水時需及時澆水，防止硅片表面干掉。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝（7）雙手托住取下的硅片，并將硅片上部打開類似扇形，用35～40℃的溫水沖洗，旋轉(zhuǎn)硅片使四個面特別是粘膠面都要得到充分沖洗，如圖7-27。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝（8）將再次沖洗好的硅片置于盛有50～55℃溫水的插片周轉(zhuǎn)箱中，水位高于硅片10mm，硅片和周轉(zhuǎn)箱側(cè)面之間要墊上海綿，且硅片要以15°（硅片與周轉(zhuǎn)箱側(cè)面夾角）夾角傾斜靠在海綿上，浸泡10min后，將硅片粘膠面殘留的膠帶取下放入指定垃圾盒內(nèi)，并用海綿將硅片擦洗干凈，完整的硅片放在檸檬酸槽中，放置硅片時應(yīng)沿著檸檬酸槽內(nèi)的斜面小心輕放；碎片放在碎片盒中，并做好標(biāo)識，等待插片。如圖7-28。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝（9）將硅棒隨工單對應(yīng)硅片，放在檸檬酸槽上。將碎片盒放在小車上碎片盒與晶棒一一對應(yīng)，如圖7-29。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝（10）將脫膠槽中的不銹鋼條和工件板取出，放回指定位置，毛巾和百潔布也放置整齊，如圖7-30。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝對于日本膠水粘膠的硅塊，手動脫膠工藝如下：（1）預(yù)清洗完畢的晶棒，兩端及拼接棒之間各放一個隔板，其次在硅片之間每隔30～50mm插一個隔板。（2）用海綿輕輕將晶棒表面的PVC樹脂條擦掉，放入指定垃圾盒內(nèi)。（3）打開安裝有軟管的水龍頭，調(diào)節(jié)水溫至35～40℃在硅片上方3～5mm處從左至右反復(fù)噴淋，直至無污水流出。（4）逐漸升溫至50～55℃（6寸、6.5寸單晶、8寸單晶），60-65℃（8寸多晶）恒溫。（5）放50～55℃（6寸、6.5寸單晶、8寸單晶），60～65℃（8寸多晶）熱水于脫膠槽中至晶棒粘膠面上方10mm處，浸泡硅片，并噴淋硅片表面保持表面濕潤，直至底部的膠完全軟化，硅片自然伏倒。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝（6）雙手握住硅片兩側(cè)，順著硅片自然伏倒的方向?qū)⒐杵∠?，使之與玻璃板脫離，每次取片的厚度不超過5mm。。（7）將取下的硅片粘膠面向上豎直放到鋪平的毛巾上，將表面膠條輕輕撕掉，放入指定垃圾盒內(nèi)，殘留膠印用海綿處理干凈，如圖7-31所示。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝（8）將硅片盛放在水質(zhì)清澈的周轉(zhuǎn)箱中，水位高于硅片10mm，硅片和周轉(zhuǎn)箱之間要墊上海綿，且硅片要以15°（硅片與周轉(zhuǎn)箱側(cè)面夾角）傾斜靠在海綿上，做好標(biāo)識，等待插片。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝2．自動脫膠自動脫膠根據(jù)脫膠機(jī)不同，工藝有所區(qū)別，以典型的T1、T2脫膠機(jī)進(jìn)行講解。兩種脫膠機(jī)的操作工藝大同小異，具體脫膠工藝如下：（1）開機(jī)①檢查電源連接是否完好，各閥門是否處于正常狀態(tài)，管道連接是否緊密，各潤滑部件潤滑程度。檢查氣源是否到位、充足。氣源保證在0.5MPa以上，水壓是否足夠，保證在0.2MPa及以上。②確定無誤后，打開總電源開關(guān)，接通控制電源，按下操作面板下的“電源啟動”按鍵，等到啟動界面后，按下觸摸屏上的“歡迎使用”按鍵，進(jìn)入待機(jī)界面。將操作面板切換到手動模式。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝（2）脫膠前的準(zhǔn)備工作①首先打開電源開關(guān)，按照工藝將各個槽所須的溫度在操作面板上面各個對應(yīng)的溫度調(diào)節(jié)表上將溫度設(shè)定好；按下觸摸屏上“設(shè)置”鍵，設(shè)定好各個槽所須清洗時間、回水和進(jìn)水延遲時間；然后給第3槽和第4槽加水，按觸摸屏，紅圈位置，按下去顯示為紅色，表示正在進(jìn)水，并且打開3號和4號槽的加熱按鈕。時間及溫度設(shè)定都由工藝員設(shè)定，嚴(yán)禁隨意修改，如圖7-32。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝②將按鈕調(diào)在手動選項(xiàng)，往槽內(nèi)注入所選用的清洗液，且達(dá)到能浸沒振板的最頂部及被清洗的工件的液位。等液位達(dá)到后，須手動將進(jìn)水閥關(guān)閉。并在第四槽加50%濃度的乳酸，添加乳酸時，必須佩戴好防護(hù)面具，防護(hù)手套，小心添加，足量添加。每次添加乳酸時，先將槽內(nèi)水排干凈后，關(guān)閉排水閥，倒入乳酸，添加完乳酸后再注入清水，防止不必要的浪費(fèi)。具體的脫膠工藝參數(shù)如表7-1。

一槽二槽三槽四槽單晶時間320s320s320s320s溫度--50℃±5℃(輔液槽)68℃±5℃多晶時間320s320s320s350s溫度--50℃±5℃(輔液槽)75℃±5℃項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝③按下操作屏上“復(fù)位”鍵，將機(jī)械臂調(diào)整到原位狀態(tài)。機(jī)械臂、各槽門等都自動回到原位狀態(tài)，如行走原位、升降原位、行走脫鉤位。④液劑等都添加好后，按下觸摸屏的“超聲加熱”按鍵，將各個槽的加熱按扭按下，等待加熱。打開兩酸槽的超聲功能，使酸槽與水充分融合。每次添加乳酸，要在使用前半小時之前完成。注意：配置的過程中，防止自動運(yùn)行時，水溫不夠，先手動將各槽位水溫升高。⑤在檢查完設(shè)備和狀態(tài)一切正常后，可轉(zhuǎn)入自動狀態(tài)，將操作開關(guān)打到自動狀態(tài)，按下工裝強(qiáng)制鍵，確認(rèn)工裝后，按下屏幕上確認(rèn)工裝鍵，再按下操作開關(guān)的自動啟動鍵，自動啟動鍵亮綠燈，顯示設(shè)備轉(zhuǎn)入全自動狀態(tài)。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝⑥每班在上班前，將所有水槽內(nèi)水更換，在盡量不影響生產(chǎn)的情況下，逐次排放各槽清洗液、清洗劑等。⑦記錄好每次硅片清洗脫膠數(shù)量，達(dá)到要求刀數(shù)后，須徹底更換所有槽液。（3）進(jìn)料①將預(yù)清洗完畢的硅片用小車送來后，2個人將棒抬到工裝架上，收取隨工單，查驗(yàn)碎片數(shù)量，做好硅棒的隨工記錄，如圖7-33。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝②用“隔板”從硅片架的橫梁底部將卡片插入硅片縫隙（硅片間大致間隔4～8cm）。將卡片凹型端插在橫梁上固定好后，另一段卡槽架在橫梁上。首先拿取一片隔板，在硅片兩端面處插入隔條，以一邊為基準(zhǔn)，大概5～8cm處找出一處分隔處，插入隔條。不得少于5cm，如圖7-34。操作過程中注意卡片不要傾斜，要豎直插進(jìn)硅片的縫隙中，嚴(yán)禁用手撥動硅片。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝③如果送來棒為拼接棒，首先在拼接棒的兩棒粘膠處擱置一個顏色不同或易于分別的“隔板”，做好硅棒的分辨。④隔完以后，將工裝架放置在脫膠機(jī)專用車上，然后推進(jìn)自動脫膠機(jī)里面，將插好隔條的硅棒小車檢查無誤后推入脫膠機(jī)的入料口卡槽處，鎖上門栓，如圖7-35。工裝到位燈閃爍，機(jī)械臂自動過來抓取工裝，小車推入后夾緊汽缸將小車自動夾緊，當(dāng)單臂小車將工裝吊走后加緊汽缸松開，操作者才可將小車拖出。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝⑤當(dāng)有工件在脫膠機(jī)內(nèi)脫膠時，下料口處必須放置下料車。⑥脫膠時要做好記錄，隨時注意脫膠情況，發(fā)生意外時，按下急停鍵，報告班長，嚴(yán)禁自行解決，盲目操作。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝（4）下料①等待設(shè)備自動運(yùn)行，一共加工五個槽。硅棒下料時，操作人員需站在設(shè)備旁，檢查膠水是否脫干凈，如果脫干凈了，選擇觸摸屏“直接出料”選項(xiàng)，將硅棒送出；如果沒有脫干凈，則按“重新脫膠”，繼續(xù)返回脫膠，如圖7-36。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝②機(jī)械臂將脫膠完的工件抓取到下料處后，取出工件板，如圖7-37，輕輕擦拭硅片粘膠面膠水，如圖7-38所示，然后取出隔在其中的鐵片，并及時將小車推走，推走一小車后，應(yīng)馬上推入新的下料車。取出工件板及鐵片擦拭硅片粘膠面膠水項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝③下料車推出后，兩人緩慢將工件垂直提起，注意還有無硅片粘連在工件上，若無硅片粘連，要快速移開工件，放置于集中放置處。若有硅片粘連，須小心將片子揪下，豎直方向用力，拿取硅片兩邊，小心硅片的損壞。取下后，做好相關(guān)記錄，如碎片數(shù)量，脫膠情況等。工件全部拿開后，從隔板的分層處小心將硅片取出，放入硅片放置槽內(nèi)，硅片粘膠面朝上。④拿取硅片時，將手伸到硅片底部，摸到底部后，慢慢托起，另一只手扶著硅片頂部，緩慢拿取，拿取時雙手呈對角式拿取，拿出適量后，放置在擦膠臺橡膠墊上進(jìn)一步進(jìn)行脫膠作業(yè)，使用“百潔布”蘸少量酒精，小心的將粘膠面剩余的膠拭去。擦拭時，一手抓緊硅片，另一手按同一方向擦拭，擦膠臺上有碎片時，必須及時處理，拿取與放置硅片時要注意小心拿放，如圖7-39。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝拿取及擦拭硅片項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝⑤全部取出之后，關(guān)閉開門按鈕，將水槽送回原處，等待下一根棒繼續(xù)脫膠。⑥將殘留在硅片上的膠體擦拭干凈后，將硅片送去插片處，按要求填寫好工藝單，填寫沖洗時間、完成時間、損失片數(shù)、掉片缺角、掉片裂紋、操作人等詳細(xì)信息并放在小車上，然后將小車送至插片臺。（5）關(guān)機(jī)①檢查純水、壓縮空氣、市水壓力、排風(fēng)壓力是否正常。②檢查空氣開關(guān)、電路接觸、保險絲、換能器工作是否正常。③傳動系統(tǒng)有無查住現(xiàn)象。④管路有無滲漏、滴液現(xiàn)象。⑤依次關(guān)閉各槽的加熱系統(tǒng)、機(jī)械臂運(yùn)行系統(tǒng)、氣源、電源按鈕和總開關(guān)。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝（6）注意事項(xiàng)①嚴(yán)禁無液強(qiáng)制開啟超聲波及加熱管，清洗槽內(nèi)必須放入清洗液。②更換清洗液時，應(yīng)注意與新添的清洗液的溫差不超過40℃。③開啟電源時，應(yīng)注意檢查電控柜內(nèi)軸流風(fēng)機(jī)是否運(yùn)轉(zhuǎn)，如不運(yùn)轉(zhuǎn)應(yīng)立即停機(jī)，一面超聲波發(fā)生器線路板因升溫過高而造成損傷。④生產(chǎn)過程中，操作者應(yīng)隨時注意各槽的液位是否正常，上下料是否及時，機(jī)械臂是否運(yùn)行正常，嚴(yán)禁隨意按下“急?！扁o。⑤在運(yùn)行過程中，自動轉(zhuǎn)手動控制，可在任何位置進(jìn)行，手動轉(zhuǎn)自動，必須在原位進(jìn)行。否則無效。⑥手動操作，關(guān)閉各槽門時，要注意槽邊是否有人。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝3.分離托板與玻璃板脫膠以后，需要將玻璃與托板分離，脫膠后要把托板放進(jìn)烤箱中至少加熱到280℃，等膠熔化變軟后關(guān)掉電源，去除托板，具體的脫膠操作流程如下：（1）接通電源，關(guān)閉新風(fēng)補(bǔ)償口（位于烘箱一側(cè)底部位置，配有不銹鋼風(fēng)頂，可調(diào)節(jié)風(fēng)口進(jìn)風(fēng)量大?。淮蜷_設(shè)備排風(fēng)。（2）預(yù)加熱并升溫至所需溫度。（3）放入工件板繼續(xù)加熱至280℃。（4）當(dāng)烘箱溫度到達(dá)所需脫膠溫度后，在AI智能溫控儀表的控制下將溫度范圍維持在280℃左右，并繼續(xù)加熱20～30min左右即可。（5）烘烤結(jié)束，關(guān)閉加熱開關(guān)。（6）打開箱門，戴上高溫手套和防護(hù)用品，用配套專用夾具將工件板取出，用鏟刀把玻璃鏟下來。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝（7）將鏟下的玻璃裝到廢箱內(nèi)。（8）記錄相關(guān)數(shù)據(jù)。（9）注意事項(xiàng)①必須佩帶勞保用品（防毒面罩，耐高溫手套）進(jìn)行操作。②開烘箱門和拿取工件板時，身體不要接觸設(shè)備內(nèi)壁，防止?fàn)C傷。③脫玻璃板時面部盡量遠(yuǎn)離操作區(qū)域，注意玻璃渣飛濺傷眼。④現(xiàn)場嚴(yán)禁放置易燃易爆物品。⑤打開窗戶保持室內(nèi)通風(fēng)流暢，設(shè)備排風(fēng)在整個操作過程中不能關(guān)閉。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝⑥托板取出時，地板下面須墊木板，以免托板與地面直接撞擊，造成托板變形。⑦脫膠時，要用橡膠錘或木錘等質(zhì)地較軟的錘子敲打玻璃或托板，不能用鐵錘敲，以免托板被敲變形。⑧用熱水浸泡（噴淋）脫膠時，若硅片在25min內(nèi)不能自然伏倒，延長時間5min后將硅片取下。⑨硅片在插片池及周轉(zhuǎn)箱中水位要浸沒硅片，浸泡時間最多不超過1h。⑩交接班禁止留棒給下一個班。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝任務(wù)四插片工藝任務(wù)目標(biāo)1．掌握插片的操作工藝流程。2．掌握插片操作工藝要點(diǎn)。任務(wù)描述硅片插片是將脫膠完畢的插入到花籃中，便于下一步的清洗作業(yè)。本任務(wù)是學(xué)習(xí)各類插片的操作工藝。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝

插片有手動插片和自動插片，具體的操作工藝分別如下。手動插片（1）準(zhǔn)備工作：里面戴PVC手套，外面戴汗布手套；將空的硅片盒整齊堆放在插片臺，擺放高度不得超過3個片盒，如圖7-40、7-41。戴PVC手套整齊擺放的花籃盒項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝（2）花籃盒放入插片槽內(nèi)擺放整齊，如圖7-42，檢查設(shè)備進(jìn)水閥門是否打開，然后向槽內(nèi)注入清水至淹沒花籃盒（花籃盒底部墊上海綿，如圖7-43）頂部為止。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝將水位保持在硅片盒高度，如圖7-44。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝（3）核對硅棒隨工單與工藝單的晶體編號，確認(rèn)無誤后將工藝單放在插片臺的板夾上，如圖7-45。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝（4）雙手握住硅片兩側(cè)，取出硅片厚度5～10mm，約25～30片硅片，如圖7-46。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝插片時用左手掌心及三指托住硅片，使硅片保持水平，大拇指和小指輕靠硅片另一側(cè)，用大拇指將硅片一張張分開，右手沿水平方向輕輕抽出一張硅片，拇指和中指拿住粘膠楞的兩側(cè)面，食指靠住帶膠楞的正中位置作為輔助，將硅片垂直插入片盒內(nèi)，待硅片剛好與片盒底部接觸時松手，不允許硅片自然下落與片盒發(fā)生撞擊。插片力度不能過大，防止造成硅片崩邊、缺角或破碎，如圖7-47。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝（5）將碎片盒中大于1/2的碎片取出，并將相對完整的一面插入片盒中，如圖7-48。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝（6）插完后清點(diǎn)數(shù)量，填寫工藝單上面的實(shí)收片數(shù)、實(shí)收殘次片數(shù)及插片損失，并交由清洗人員核實(shí)，最后將小車推至脫膠臺。（7）注意事項(xiàng)①插片過程中，片盒需擺放整齊。②每盒插25片，不能多插、少插或斜插。③不同編號的晶棒要嚴(yán)格區(qū)分并做好標(biāo)識，同一編號的晶棒剩余不足25片的單獨(dú)插一盒，不可與其它編號的硅片混插，做到一個晶棒只有一個良品尾數(shù)，如圖7-49。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝④將同一編號晶棒的崩邊、缺角、穿孔片等不良品單獨(dú)插在一起，做到一個晶棒只有一個不良品尾數(shù)。⑤每插5000片更換一次插片槽內(nèi)的水，并及時清理插片槽內(nèi)的碎硅片。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝2．自動插片（1）檢查電源連接是否完好，各閥門是否處于正常狀態(tài)，管道連接是否緊密，各潤滑部件潤滑程度是否良好，氣源是否到位、充足。（2）待確定無誤后，接通總電源開關(guān)，接通控制電源，按下操作面板下的電源啟動按鍵，等到啟動界面后，在觸摸屏上點(diǎn)擊“進(jìn)入系統(tǒng)”，鍵盤輸入相應(yīng)密碼，再點(diǎn)擊相應(yīng)用戶,進(jìn)入系統(tǒng)畫面,按“加熱開”、“水泵開”，如圖7-50。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝（3）待水位正常后，點(diǎn)擊屏幕上“水泵關(guān)”打開水泵，使用各閥門調(diào)節(jié)水流大小，調(diào)節(jié)正常后，待水流穩(wěn)定。（4）先從檸檬酸小車中取出適量脫膠完的硅片，硅片取出時以硅片的對角位置拿取，拿取時注意垂直上下拿取。拿起后小心放入自動插片機(jī)水槽中，放置時注意粘膠面朝上，如圖7-51。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝（5）裝片盒時，將片盒雙手裝入工位內(nèi)，如圖7-52；項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝如果出現(xiàn)硅片沒有完全插入或碎片時,可按“UP”健(上行）將碎片處理后。再按→“DOWN”（下行）健。然后繼續(xù)插片，如圖7-53。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝）用手分開硅片,取出大約1cm左右厚度硅片,雙手抵在硅片兩側(cè)，拇指輕輕將適量硅片撥開慢慢取出，左手拿取，打開插片機(jī)上的水閥，調(diào)節(jié)水量大小，調(diào)整噴嘴位置，將小水管對著硅片，便于插片員工分開硅片。左手拇指輕輕推出硅片，右手拿取一角，輕輕拉出，放在滑臺上，硅片順?biāo)骰牖ɑ@。操作過程中，硅片與滑板之間應(yīng)保持一定角度，與導(dǎo)軌成15～30°較合適，便于硅片順利滑入片盒，如圖7-54。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝（7）滑至24片時，報警燈響起，將第25片滑入后，待第二盒花籃上行到位后，方可繼續(xù)插片。（8）正常插片至任意片數(shù)出現(xiàn)碎片（第25，50，75片除外），按“上行”鍵，在升降架升至最上位之前前，按下“急停”鍵停止上升；然后取出碎片，再按“下行”鍵，升降架回至上次碎片位置處后繼續(xù)正常插片。（9）每次在水槽內(nèi)拿取硅片時要注意區(qū)分硅棒P1、P2、P3、P4并為清洗時做明顯分隔。（10）三盒花籃插滿后，將花籃取出放入水槽內(nèi)待清洗并做好碎片記錄。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝（11）放入新的花籃，按下“下行”鍵升降架行至最底時，即可繼續(xù)插片。（12）關(guān)機(jī)

①將插片機(jī)后蓋打開，打開三個排水閥，排出插片機(jī)各槽內(nèi)廢水。②待排水干凈后，取出儲水槽內(nèi)的過濾袋經(jīng)行清理。

③將設(shè)備內(nèi)所有碎片撿出，清洗放置硅片的水槽以及水槽中間和底部的過濾網(wǎng)。④關(guān)閉電源。⑤將工器具擺放整齊，設(shè)備及周圍打掃干凈。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝（14）注意事項(xiàng)①每次在脫膠處收取硅片后，要注意隨工單是否一致，做好碎片記錄；②拿取硅片時注意不要碰觸到硅片隔條；③仔細(xì)分辨P1、P2、P3、P4，放入水槽后應(yīng)做明顯標(biāo)記便于分辨；④每班必須清理插片機(jī)，包括水槽、儲液槽的儲液槽內(nèi)過濾袋；⑤操作時必須帶上手套；⑥硅片應(yīng)與導(dǎo)軌成15～30o放入；⑦檢查氣壓表(5Kg/cm2)及過濾器的壓力是否小于0.2Kg/cm2；⑧檢查儲液槽液位處在高位。；⑨檢查儲液槽進(jìn)、排水閥狀態(tài)項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝任務(wù)五清洗工藝任務(wù)目標(biāo)掌握清洗工藝操作流程。掌握清洗工藝操作要點(diǎn)。任務(wù)描述硅片切割過程中會引入很多雜質(zhì)，需將硅片表面殘留砂漿、金屬離子以及其它高分子化合物除去，以便后續(xù)加工。本任務(wù)主要學(xué)習(xí)硅片清洗工藝、設(shè)備維護(hù)與管理。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝1.手動清洗工藝（1）檢查超聲波清洗機(jī)的電源及擺動是否打開，如圖7-55；再檢查排水閥門及溢流閥門的開啟情況，如圖7-56。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝（2）向各清洗槽注入120L純水，對各槽超聲強(qiáng)度進(jìn)行點(diǎn)檢，能擊穿鋁箔紙即為合格，并做好記錄。打開加熱開關(guān)，按照工藝要求設(shè)定溫度，開啟超聲及加熱開關(guān)，如圖7-57。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝（3）當(dāng)各槽實(shí)際溫度與設(shè)定溫度差值為-10℃時，向清洗劑槽加入清洗劑；并用PP棒攪拌溶液，使溶液混合均勻。以7槽超聲波清洗機(jī)為主要清洗設(shè)備，設(shè)備如圖7-3，常見工藝參數(shù)如表7-2。槽溫度時間超聲溢流水1常溫5min超聲+鼓泡是自來水2常溫5min超聲+鼓泡是自來水355±5℃5min是純水455±5℃5min是純水555±5℃5min是是純水640±5℃5min是是純水7常溫5min是是純水項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝（4）檢查工藝參數(shù)是否在設(shè)定范圍。確保超聲波清洗機(jī)的第3、4（藥液槽）及第5、6槽的溫度符合工藝要求，第3槽和第4、5槽的溫度為55±5℃，第6槽的溫度為40±5℃。檢查每槽清洗時間是否為5min。（5）待溫度達(dá)到設(shè)定值，關(guān)閉進(jìn)水和排水閥門，以免造成不必要的浪費(fèi)。隨后向3-4槽中加入清洗劑，典型的清洗劑類型如圖7-58，常見的工藝參數(shù)如表7-3。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝表7-3藥品配置工藝參數(shù)槽溫度時間超聲溢流水JH-15AJH-15B355±5℃5min是否純水110L2kg1kg455±5℃5min是否純水110L1kg0.5kg項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝（6）待實(shí)際溫度達(dá)到設(shè)定溫度后，將裝有硅片的花籃盒放入托盤中，每個托盤放六盒（有些企業(yè)是八盒），如圖7-59，當(dāng)最后幾盒不滿6盒（或8盒）時，必須分成偶數(shù)的盒數(shù)來清洗，方便后面甩干。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝（7）打開超聲開關(guān)、擺動開關(guān)，將放滿花籃盒的托盤垂直放入第一槽中，待清洗時間達(dá)到設(shè)定的工藝值時，將托盤從第一槽移入第二槽，要保證垂直提取垂直放下，放的時候一定要小心輕放，如圖7-60。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝（8）5min后，關(guān)掉超聲開關(guān)，將清洗花籃放入第三槽，依次往下，直至第七槽清洗完畢，如圖7-61。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝（9）依次類推，使托盤內(nèi)的硅片完成整個清洗過程。硅片從一個槽被提到下一個槽時，托盤要在上一槽上方停留3～5s，以免不同槽中的藥品相互影響。托盤取出的過程中禁止抖動。（10）如果從清洗機(jī)最后一槽中取出時發(fā)現(xiàn)有碎片，一定要將碎片取出，以免在甩干的過程中，碎片飛濺出去打碎原來的好片。（11）清洗過程中要進(jìn)行藥劑的補(bǔ)加和更換，具體補(bǔ)加及更換方法視各公司工藝不同有所不同。（12）針對車間花片、污片等異常，車間主任、技師、班長可將清洗劑和氫氧化鈉初始添加濃度及補(bǔ)加濃度在0～50%范圍內(nèi)進(jìn)行調(diào)整。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝2．全自動清洗及烘干工藝（1）作業(yè)準(zhǔn)備及參數(shù)設(shè)置①檢查電源連接是否完好、各閥門是否處于正常狀態(tài)、管道連接是否緊密、各潤滑部件潤滑程度是否良好、氣源是否到位、充足（氣源保證在0.5MPa以上）、水壓是否足夠（保證在0.2MPa以上）。②待確定無誤后，打開總電源開關(guān)；接通控制電源，依次合上各分電源開關(guān)，按下操作面板下的“電源啟動”按鍵，三色燈的黃色亮；等到啟動界面后，按下觸摸屏上的“歡迎使用”按鍵，待觸摸屏顯示正常后切換到各“設(shè)定畫面”，然后將操作面板切換到手動模式。③切換至參數(shù)畫面，按照工藝文件要求，在操作面板上設(shè)定各槽和烘干通道對應(yīng)的溫度；按下觸摸屏上“設(shè)置”鍵，設(shè)定好各個槽所需清洗時間、回收和進(jìn)水延遲時間（時間及溫度設(shè)定都由工藝員設(shè)定，嚴(yán)禁隨意修改）。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝④檢查溫度、時間參數(shù)是否符合設(shè)定的工藝要求，各清洗槽參數(shù)設(shè)置參照手動清洗參數(shù)。檢查過程中如發(fā)現(xiàn)設(shè)置異常應(yīng)立即通知班長，禁止在未經(jīng)過班長/主管的允許下私自刪除/更改機(jī)器內(nèi)部的設(shè)置程序、參數(shù)。⑤往槽內(nèi)加入規(guī)定量的清洗液至能浸沒振板的最頂部及被清洗的工件的液位。進(jìn)水閥自動關(guān)閉。將機(jī)械臂調(diào)整到原位狀態(tài)（行走原位、升降原位、行走脫鉤位）。⑥按下觸摸屏的“超聲加熱”按鍵，按下各個槽的加熱按扭，等待加熱（為防止自動運(yùn)行時水溫不夠，先手動將各槽位水溫升高），在檢查完設(shè)備和狀態(tài)一切正常后，可轉(zhuǎn)入自動狀態(tài)。⑦打開清洗機(jī)的前側(cè)窗口，向相應(yīng)槽內(nèi)加入相應(yīng)量的藥劑，具體劑量可參照手動清洗參數(shù)設(shè)置。佩戴好耐酸堿手套，保證手套無滲漏現(xiàn)象，將清洗劑按要求的計量緩慢倒入量杯內(nèi)，多出的部分倒回桶內(nèi)。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝⑧確認(rèn)各機(jī)械手在退鉤位，把觸摸屏“自動-手動”狀態(tài)選擇開關(guān)打到“自動”位置，三色燈和自動啟動按鈕指示閃亮。⑨按原點(diǎn)按鈕，使機(jī)械臂自動回到原點(diǎn)位置（在回到原點(diǎn)位時原點(diǎn)按鈕指示燈閃亮），原點(diǎn)回歸完畢，按“自動啟動”按鈕，三色燈的綠色亮，進(jìn)行自動操作程序。（2）進(jìn)料、出料①當(dāng)各槽的實(shí)際溫度達(dá)到設(shè)定溫度時，在上料臺上放清洗籃，將插滿硅片的片盒擺好放入清洗框內(nèi)，將清洗框放在入料口處。按上料/入料確認(rèn)按鈕，履帶自動將硅片送入噴淋槽內(nèi)，清洗籃向前運(yùn)行到上料位停止。機(jī)械臂會自動移至上料位，把清洗槽提到1號槽，每當(dāng)清洗時間到達(dá)設(shè)定時間時，機(jī)械臂會自動將清洗籃提至下一槽清洗。②硅片全自動經(jīng)過各槽清洗后經(jīng)由烘干通道履帶送出，等待清洗完畢時，并及時取走烘干的硅片，機(jī)械臂會將清洗籃提至下料位進(jìn)行烘干處理。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝③烘干處理結(jié)束后，清洗籃移動至下料臺，設(shè)備聲光報警。操作工戴上高溫手套將清洗籃提離下料臺，將烘干后硅片整齊地排放到硅片傳遞桌上。3.數(shù)據(jù)記錄：記錄相關(guān)數(shù)據(jù)。4.關(guān)機(jī)（1）檢查純水、壓縮空氣、市水壓力、排風(fēng)壓力是否正常。（2）檢查空氣開關(guān)、電路接觸、保險絲、換能器工作是否正常。（3）傳動系統(tǒng)有無卡住現(xiàn)象。（4）管路有無滲漏、滴液現(xiàn)象。（5）依次關(guān)閉各槽的加熱系統(tǒng)、機(jī)械臂運(yùn)行系統(tǒng)、氣源、電源按鈕，最后關(guān)閉總開關(guān)。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝5.注意事項(xiàng)（1）清洗純水的電阻率＞15MΩ·cm。（2）嚴(yán)禁無液強(qiáng)制開啟超聲波及加熱管，清洗槽內(nèi)必須放入清洗液。（3）更換清洗液時，應(yīng)注意與新添的清洗液的溫差不超過40℃。（4）開啟電源時，應(yīng)注意檢查電控柜內(nèi)軸流風(fēng)機(jī)是否運(yùn)轉(zhuǎn)，如不運(yùn)轉(zhuǎn)應(yīng)立即停機(jī)，以免超聲波發(fā)生器線路板因升溫過高而造成損傷。（5）生產(chǎn)過程中，應(yīng)隨時注意各槽的液位是否正常，上下料是否及時，機(jī)械臂是否運(yùn)行正常，嚴(yán)禁隨意按下“急?！扁o。（6）在運(yùn)行過程中，自動轉(zhuǎn)手動控制可在任何位置進(jìn)行，手動轉(zhuǎn)自動必須在原位進(jìn)行。否則無效。（7）生產(chǎn)過程中，嚴(yán)禁赤手觸摸硅片。停機(jī)待料或產(chǎn)量不夠時，超過48h須更換清洗液。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝（8）加入清洗劑時要先將清洗劑搖勻，加入后再用PP棒攪拌均勻，達(dá)克羅清洗劑在配制時，先將A劑倒入清洗槽中，攪拌均勻后將B劑倒入清洗槽中，再次攪拌均勻。氫氧化鈉加入方法：首先將氫氧化鈉在量杯中溶解然后再倒入清洗槽并攪拌均勻。（9）托盤從上一槽拿到下一個槽時要在上一個槽上空停留3～5s。（10）有硅片清洗時超聲開關(guān)、純水槽進(jìn)水開關(guān)開啟，無硅片清洗時超聲開關(guān)、純水槽進(jìn)水開關(guān)關(guān)閉，避免造成水電的浪費(fèi)。。（11）務(wù)必保證純水槽的清澈、不能渾濁，漂洗后兩槽不能有泡沫。（12）清洗完畢后若發(fā)現(xiàn)硅片仍有臟污，應(yīng)放入清洗槽進(jìn)行復(fù)洗。（13）硅片檢驗(yàn)退回的復(fù)洗硅片需在水中進(jìn)行濕插片。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝任務(wù)七清洗機(jī)的維護(hù)與保養(yǎng)任務(wù)目標(biāo)掌握超聲波清洗機(jī)的常見故障處理。掌握超聲波清洗機(jī)的日常維護(hù)與保養(yǎng)。掌握清洗機(jī)操作過程中的注意事項(xiàng)。任務(wù)描述超聲波清洗機(jī)在清洗過程中，難免出現(xiàn)一系列的問題，需要對清洗機(jī)進(jìn)行正確的維護(hù)與保養(yǎng)，并能夠解決常見的問題，本任務(wù)主要從維護(hù)與保養(yǎng)的角度進(jìn)行講解。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝1.常見故障分析設(shè)備在運(yùn)行過程中難免會出現(xiàn)一些故障，其常見故障及故障原因、排除方法如下：（1）無超聲波原因分析：超聲波發(fā)生器線路板上的保險座內(nèi)保險是否燒毀，超聲波發(fā)生器元件是否損壞，換能器有否短路，該路空氣開關(guān)是否跳閘；排除方法：更換保險，專業(yè)元件、換能器損壞，發(fā)送回廠家維修。（2）超聲波減弱原因分析：超聲發(fā)輻射表面是否堆積有臟物，換能器如受潮濕、導(dǎo)電粉塵沾染及強(qiáng)擊，產(chǎn)生漏電、短路、擊穿、裂紋甚至脫落，引起超聲波強(qiáng)度減弱；排除方法：清除粉塵、水氣、水珠，保持所有的電氣元件干燥、整潔。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝（3）加熱失效原因分析：檢查該槽發(fā)熱板是否燒毀（或已斷路），總保險座內(nèi)保險是否燒毀，相應(yīng)繼電器是否損壞，檢查該路的空氣開關(guān)否跳閘；排除方法：更換發(fā)熱板，更換相應(yīng)繼電器。（4）進(jìn)水失效原因分析：檢查水源是否接通進(jìn)水電磁閥，進(jìn)水電磁閥是否燒毀（或已斷路），水位是否超過最高水位（150MM），排水電磁閥是否尚末關(guān)閉，槽內(nèi)進(jìn)水口是否有異物堵塞。排除方法：接通水源，更換進(jìn)水電磁閥（或使連接線路恢復(fù)正常），排除異物。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝（5）排水失效原因分析：檢查排水電磁閥是否已損壞（或已斷路），排水開關(guān)是否已損壞（或已斷路）。排除方法：更換排水電磁閥（或使連接線路恢復(fù)正常），更換排水開關(guān)（或使連接線路恢復(fù)正常）。（6）超聲定時失效原因分析：檢查定時器是否已損壞（或已斷路）；排除方法：更換定時器（或使連接線路恢復(fù)正常）。（7）設(shè)備得電失效原因分析：總保險座內(nèi)保險是否燒毀、電源開關(guān)是否已損壞（或已斷路），交流接觸器是否已損壞（或已斷路），變壓器是否已損壞（或已斷路），該路空氣開關(guān)是否跳閘。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝排除方法：更換保險，更換電源開關(guān)或使連接線路恢復(fù)正常），更換交流接觸器（或使連接線路恢復(fù)正常），更換變壓器（或使連接線路恢復(fù)正常）。（8）高低水位控制失效原因分析：檢查高低水位裝置在槽內(nèi)的采水口是否被異物堵塞，高低水位裝置內(nèi)是否存有異物（污垢），高低水位開關(guān)是否已損毀，高低水位開關(guān)是否被卡死；排除方法：排除異物，更換高低水位開關(guān)。（9）溫度控制失效原因分析：檢查溫控器、溫敏開關(guān)是否已損壞（或已斷路）。排除方法：更換溫控器、熱敏開關(guān)（或使連接線路恢復(fù)正常）。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝（10）循環(huán)水泵出水失效原因分析：檢查是否出水球閥是否打開，水泵是否燒毀，水位是否末超過最低水位（80mm），水泵采水口是否被異物堵塞。排除方法：打開球閥，更換水泵，注入清洗液，水位直至超過低水位，排除異物。2.日常維護(hù)保養(yǎng)（1）如果清洗設(shè)備長時間不使用，請將清洗液從清洗槽中排出。（2）如果清洗設(shè)備長時間不使用，請每周按清洗機(jī)使用規(guī)范開機(jī)一次并工作1h。（3）環(huán)境濕度過大時應(yīng)經(jīng)常將超所波換能器、超聲波發(fā)生器上附著的或附近的潮氣、水珠吹干。項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝（4）設(shè)備機(jī)體應(yīng)該定期擦拭，保持整潔外觀。（5）機(jī)器在使用過程中，由于環(huán)境或其它因素的影響，可能引起故障；壓電陶瓷換能器如受潮濕，導(dǎo)電粉塵的污染以及外來劇烈撞擊，將會產(chǎn)生漏電、短路、陶瓷晶片破裂，換能器脫落等故障，超聲波發(fā)生器在電源電壓大幅度波動等影響下，也會出現(xiàn)元器件損壞、變壓器燒毀等故障。因此，使用過程中應(yīng)注意：①清洗槽內(nèi)無清洗液時，絕對不能強(qiáng)行按下超聲開關(guān)，否則會導(dǎo)致?lián)p壞換能器的嚴(yán)重后果；②在使用過程中防止清洗液溢出缸面，特別是漂浮于液面的泡沫應(yīng)及時清除，以免引起換能器和線路故障；③不得將物體直接放入清洗槽，如有異物落入槽底應(yīng)及時取出，否則會損壞超聲波換能器；項(xiàng)目七單晶與多晶清洗工藝④切不可使用可