(19)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局(12)發(fā)明專(zhuān)利(10)授權(quán)公告號(hào)CN120094927B(65)同一申請(qǐng)的已公布的文獻(xiàn)號(hào)(73)專(zhuān)利權(quán)人奧芯半導(dǎo)體科技(太倉(cāng))有限公司地址215000江蘇省蘇州市太倉(cāng)市璜涇鎮(zhèn)鹿河汪家涇路1號(hào)(72)發(fā)明人劉正愛(ài)陶子鵬洪志王華德政(74)專(zhuān)利代理機(jī)構(gòu)蘇州市科匯新創(chuàng)專(zhuān)利代理有限公司32777專(zhuān)利代理師湯勇B08B3/02(2006.01)審查員石夫雨玻璃基板清洗設(shè)備及清洗工藝本發(fā)明屬于清潔領(lǐng)域，具體涉及一種玻璃基板的清洗設(shè)備，尤其涉及一種玻璃基板清洗設(shè)備設(shè)置有多個(gè)清洗工位；清洗花籃，其設(shè)置在對(duì)應(yīng)的清洗工位中，且等間隔設(shè)置有多個(gè)待清洗的玻璃基板；清洗組件，其用于對(duì)清洗花籃中的玻璃進(jìn)液管；套設(shè)在進(jìn)液管外部的進(jìn)氣管。通過(guò)設(shè)置切換機(jī)構(gòu)，來(lái)切換清洗噴頭與進(jìn)液管和進(jìn)氣管的導(dǎo)通狀態(tài)，在需要將水漬吹干時(shí)，僅需將進(jìn)氣管與清洗噴頭連通，從而解決相關(guān)技術(shù)中，采用一根管道與清洗噴頭連通導(dǎo)致的進(jìn)氣時(shí)管道內(nèi)還2清洗臺(tái)(100),其設(shè)置有多個(gè)清洗工位(110);清洗花籃(200),其設(shè)置在對(duì)應(yīng)的清洗工位(110)中，且等間隔設(shè)置有多個(gè)待清洗的玻璃基板(210);清洗組件(300),其用于對(duì)所述清洗花籃(200)中的玻璃基板(210)進(jìn)行清洗；切換機(jī)構(gòu)(350);進(jìn)液管(310);套設(shè)在進(jìn)液管(310)外部的進(jìn)氣管(320);多個(gè)清洗噴頭(340),其在切換機(jī)構(gòu)(350)的控制下與進(jìn)液管(310)和/或進(jìn)氣管(320)控制模塊，其被配置為在清洗工況時(shí)，控制切換機(jī)構(gòu)(350)將每個(gè)清洗噴頭(340)與進(jìn)液管(310)連通，進(jìn)行清洗；在吹干工況時(shí)，控制每個(gè)清洗噴頭(340)與將水漬清除；所述進(jìn)液管(310)與所述進(jìn)氣管(320)之間形成用于通氣的氣腔(330);所述清洗噴頭在吹干工況時(shí)，與所述氣腔(330)連通；所述切換機(jī)構(gòu)(350)包括：推桿電機(jī)(351)以及切換板(352);所述切換板(352)與所述清洗噴頭(340)對(duì)應(yīng)處設(shè)置有第一通孔(3521);所述清洗噴頭(340)設(shè)置在所述進(jìn)氣管(320)上；所述清洗噴頭(340)的頂部設(shè)置有通過(guò)復(fù)位彈簧(342)與清洗噴頭(340)彈性連接的連接管(341);在推桿電機(jī)(351)將切換板(352)向第一方向推動(dòng)時(shí)，連接管(341)插入到所述第一通孔(3521)中，將清洗噴頭(340)與進(jìn)液管(310)連通；在推桿電機(jī)(351)將切換板(352)向第二方向拉動(dòng)時(shí)，連接管(341)被切換板(352)擠壓向下，將氣腔(330)與連接管(341)的氣孔2.如權(quán)利要求1所述的玻璃基板清洗設(shè)備，其特征在于，在每個(gè)所述第一通孔(3521)的第二方向側(cè)設(shè)置有輔助通孔(3522);推桿電機(jī)(351)推動(dòng)所述切換板(352)逐次將清洗噴頭(340)與對(duì)應(yīng)的輔助通孔(3522)連通，且每次僅有一個(gè)清洗噴頭(340)與對(duì)應(yīng)的輔助通孔(3522)連通，完成加壓清洗。3.如權(quán)利要求1所述的玻璃基板清洗設(shè)備，其特征在于，所述清洗組件(300)還包括：視覺(jué)檢測(cè)模塊，其用于對(duì)清洗花籃(200)中的清洗效果進(jìn)行檢測(cè)；所述控制模塊還被配置為在檢測(cè)工況時(shí)，依據(jù)檢測(cè)結(jié)果控制切換機(jī)構(gòu)(350)進(jìn)入加壓清洗模式。4.如權(quán)利要求3所述的玻璃基板清洗設(shè)備，其特征在于，所述控制模塊還被配置為依據(jù)檢測(cè)結(jié)果控制切換機(jī)構(gòu)(350)進(jìn)入加壓清洗模式，即：將接收到的檢測(cè)結(jié)果與預(yù)設(shè)值進(jìn)行比對(duì)，在檢測(cè)到清洗花籃(200)中的多個(gè)玻璃基板(210)存在污漬時(shí)，控制切換機(jī)構(gòu)(350)使清洗組件(300)進(jìn)入加壓清洗模式。3通過(guò)切換機(jī)構(gòu)(350),間隔預(yù)設(shè)時(shí)間逐次控制每個(gè)清洗噴頭(340)與進(jìn)液管(310)連通；在當(dāng)前清洗噴頭(340)加壓清洗預(yù)設(shè)時(shí)間后，控制視覺(jué)檢測(cè)模塊再次進(jìn)行檢測(cè)，直至所有清洗噴頭(340)清洗完畢；依據(jù)每個(gè)清洗噴頭(340)的加壓清洗后的檢測(cè)結(jié)果，獲取污漬所在的玻璃基板(210)的位置，并控制對(duì)應(yīng)的清洗噴頭(340)進(jìn)入到加壓清洗模式，直至清洗干凈。通過(guò)切換機(jī)構(gòu)(350),間隔預(yù)設(shè)時(shí)間逐次控制每個(gè)清洗噴頭(340)與進(jìn)液管(310)和進(jìn)氣管(320)同時(shí)連通；在當(dāng)前清洗噴頭(340)加壓清洗預(yù)設(shè)時(shí)間后，控制視覺(jué)檢測(cè)模塊再次進(jìn)行檢測(cè)，直至所有清洗噴頭(340)清洗完畢；依據(jù)每個(gè)清洗噴頭(340)的加壓清洗后的檢測(cè)結(jié)果，獲取污漬所在的玻璃基板(210)的位置，并控制對(duì)應(yīng)的清洗噴頭(340)進(jìn)入到加壓清洗模式，直至清洗干凈。7.一種應(yīng)用于如權(quán)利要求1所述的玻璃基板清洗設(shè)備的清洗工藝，其特征在于，所述清洗工藝包括：將待清洗的玻璃基板(210)放入到對(duì)應(yīng)的清洗花籃(200);將清洗花籃(200)放入清洗工位(110);通過(guò)切換機(jī)構(gòu)(350)將每個(gè)清洗噴頭(340)與進(jìn)液管(310)連通，進(jìn)入清洗工況，對(duì)玻璃基板(210)進(jìn)行清洗；在清洗完畢之后，通過(guò)切換機(jī)構(gòu)(350)將每個(gè)清洗噴頭(340)與進(jìn)氣管(320)連通，進(jìn)入吹干工況，將玻璃基板(210)殘留的水漬清除；在清洗工況完成之后，且進(jìn)入到吹干工況之前，所述清洗工藝還包括：對(duì)清洗花籃(200)中的清洗效果進(jìn)行檢測(cè)；依據(jù)檢測(cè)結(jié)果控制切換機(jī)構(gòu)(350)進(jìn)入加壓清洗模式；所述加壓清洗模式即：通過(guò)切換機(jī)構(gòu)(350),間隔預(yù)設(shè)時(shí)間逐次控制每個(gè)清洗噴頭(340)與進(jìn)液管(310)連通；在當(dāng)前清洗噴頭(340)加壓清洗預(yù)設(shè)時(shí)間后，控制視覺(jué)檢測(cè)模塊再次進(jìn)行檢測(cè)，直至所有清洗噴頭(340)清洗完畢；依據(jù)每個(gè)清洗噴頭(340)的加壓清洗后的檢測(cè)結(jié)果，獲取污漬所在的玻璃基板(210)的位置，并控制對(duì)應(yīng)的清洗噴頭(340)進(jìn)入到加壓清洗模式，直至清洗干凈。4玻璃基板清洗設(shè)備及清洗工藝技術(shù)領(lǐng)域[0001]本發(fā)明屬于清潔技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及清洗玻璃基板的清潔機(jī)器，尤其涉及一種玻璃基板清洗設(shè)備及清洗工藝。背景技術(shù)[0002]在玻璃基板在加工成成品時(shí)，需要將玻璃基板進(jìn)行減薄拋光。在拋光時(shí)，會(huì)導(dǎo)致碎屑附著在玻璃基板的表面，因此，需要對(duì)剛拋光完的玻璃基板進(jìn)行清洗。[0003]相關(guān)技術(shù)中，供氣和供液采用同一個(gè)管道進(jìn)行，以減少清洗噴頭的用量，在玻璃基板清洗完成之后，需要通氣將水漬清除干凈。然而，在實(shí)際使用時(shí)發(fā)現(xiàn)，按照清洗設(shè)備規(guī)定的通氣時(shí)間并不能將液體完全清除，需要延長(zhǎng)通氣時(shí)間，才能將玻璃基板表面的水漬完全清除。[0004]因此，如何提高玻璃基板表面的水漬的清除效率是目前亟待解決的技術(shù)問(wèn)題。[0005]需要說(shuō)明的是，本背景技術(shù)部分中公開(kāi)的以上信息僅用于理解本申請(qǐng)構(gòu)思的背景技術(shù)，因此，并不認(rèn)為上述描述構(gòu)成現(xiàn)有技術(shù)的信息。發(fā)明內(nèi)容[0006]本公開(kāi)實(shí)施例至少提供一種玻璃基板清洗設(shè)備及清洗工藝。[0007]第一方面，本公開(kāi)實(shí)施例提供了一種玻璃基板清洗設(shè)備，包括：[0008]清洗臺(tái)，其設(shè)置有多個(gè)清洗工位；[0009]清洗花籃，其設(shè)置在對(duì)應(yīng)的清洗工位中，且等間隔設(shè)置有多個(gè)待清洗的玻璃基板；[0010]清洗組件，其用于對(duì)所述清洗花籃中的玻璃基板進(jìn)行清洗；[0011]其中，清洗組件包括：[0012]切換機(jī)構(gòu)；[0013]進(jìn)液管；[0014]套設(shè)在進(jìn)液管外部的進(jìn)氣管；[0015]多個(gè)清洗噴頭，其在切換機(jī)構(gòu)的控制下與進(jìn)液管和/或進(jìn)氣管導(dǎo)通；[0016]控制模塊，其被配置為在清洗工況時(shí)，控制切換機(jī)構(gòu)將每個(gè)清洗噴頭與進(jìn)液管連通，進(jìn)行清洗；在吹干工況時(shí)，控制每個(gè)清洗噴頭與進(jìn)氣管連通，以將玻璃基板殘留的水漬清除。[0017]在一種可選的實(shí)施方式中，所述進(jìn)氣管套設(shè)在所述進(jìn)液管的外部；[0018]且，所述進(jìn)液管與所述進(jìn)氣管之間形成用于通氣的氣腔；[0019]所述清洗噴頭在吹干工況時(shí)，與所述氣腔連通。[0020]在一種可選的實(shí)施方式中，所述切換機(jī)構(gòu)包括：[0021]推桿電機(jī)以及切換板；[0022]所述切換板與所述清洗噴頭對(duì)應(yīng)處設(shè)置有第一通孔；[0023]所述清洗噴頭設(shè)置在所述進(jìn)氣管上；5[0024]所述清洗噴頭的頂部設(shè)置有通過(guò)復(fù)位彈簧與清洗噴頭彈性連接的連接管；[0025]所述切換板嵌設(shè)在所述進(jìn)液管的內(nèi)壁中，在推桿電機(jī)將切換板向第一方向推動(dòng)時(shí)，此時(shí)連接管的頂部插入到所述第一通孔中，每個(gè)清洗噴頭與進(jìn)液管連通；在推桿電機(jī)將切換板向第二方向拉動(dòng)時(shí)，此時(shí)連接管的頂部被切換板擠壓并向下運(yùn)動(dòng)，以使氣腔與連接管側(cè)壁的氣孔連通，即使每個(gè)清洗噴頭與進(jìn)氣管連通。[0026]在一種可選的實(shí)施方式中，在每個(gè)所述第一通孔的第二方向側(cè)設(shè)置有輔助通孔；[0027]推桿電機(jī)推動(dòng)所述切換板逐次將清洗噴頭與對(duì)應(yīng)的輔助通孔連通，且每次僅有一個(gè)清洗噴頭與對(duì)應(yīng)的輔助通孔連通，將清洗噴頭與進(jìn)液管連通，完成加壓清洗。[0028]在一種可選的實(shí)施方式中，所述清洗組件還包括：[0029]視覺(jué)檢測(cè)模塊，其用于對(duì)清洗花籃中的清洗效果進(jìn)行檢測(cè)；[0030]所述控制模塊還被配置為在檢測(cè)工況時(shí)，依據(jù)檢測(cè)結(jié)果控制切換機(jī)構(gòu)進(jìn)入加壓清洗模式。[0031]在一種可選的實(shí)施方式中，所述控制模塊還被配置為依據(jù)檢測(cè)結(jié)果控制切換機(jī)構(gòu)[0032]將接收到的檢測(cè)結(jié)果與預(yù)設(shè)值進(jìn)行比對(duì)，在檢測(cè)到清洗花籃中的多個(gè)玻璃基板存在污漬時(shí)，控制切換機(jī)構(gòu)使清洗組件進(jìn)入加壓清洗模式。[0034]通過(guò)切換機(jī)構(gòu)，間隔預(yù)設(shè)時(shí)間逐次控制每個(gè)清洗噴頭與進(jìn)液管連通；[0035]在當(dāng)前清洗噴頭加壓清洗預(yù)設(shè)時(shí)間后，控制視覺(jué)檢測(cè)模塊再次進(jìn)行檢測(cè)，直至所有清洗噴頭清洗完畢；[0036]依據(jù)每個(gè)清洗噴頭的加壓清洗后的檢測(cè)結(jié)果，獲取污漬所在的玻璃基板的位置，并控制對(duì)應(yīng)的清洗噴頭進(jìn)入到加壓清洗模式，直至清洗干凈。[0038]通過(guò)切換機(jī)構(gòu)，間隔預(yù)設(shè)時(shí)間逐次控制每個(gè)清洗噴頭與進(jìn)液管和進(jìn)氣管同時(shí)連[0039]在當(dāng)前清洗噴頭加壓清洗預(yù)設(shè)時(shí)間后，控制視覺(jué)檢測(cè)模塊再次進(jìn)行檢測(cè)，直至所有清洗噴頭清洗完畢；[0040]依據(jù)每個(gè)清洗噴頭的加壓清洗后的檢測(cè)結(jié)果，獲取污漬所在的玻璃基板的位置，并控制對(duì)應(yīng)的清洗噴頭進(jìn)入到加壓清洗模式，直至清洗干凈。[0041]第二方面，本公開(kāi)實(shí)施例還提供了一種應(yīng)用于如上述的玻璃基板清洗設(shè)備的清洗[0042]將待清洗的玻璃基板放入到對(duì)應(yīng)的清洗花籃；[0043]將清洗花籃放入清洗工位；[0044]通過(guò)切換機(jī)構(gòu)將每個(gè)清洗噴頭與進(jìn)液管連通，進(jìn)入清洗工況，對(duì)玻璃基板進(jìn)行清[0045]在清洗完畢之后，通過(guò)切換機(jī)構(gòu)將每個(gè)清洗噴頭與進(jìn)氣管連通，進(jìn)入吹干工況，將玻璃基板殘留的水漬清除。[0046]在一種可選的實(shí)施方式中，在清洗工況完成之后，且進(jìn)入到吹干工況之前，所述清洗工藝還包括：6[0047]進(jìn)入檢測(cè)工況，即：[0048]對(duì)清洗花籃中的清洗效果進(jìn)行檢測(cè)；[0049]依據(jù)檢測(cè)結(jié)果控制切換機(jī)構(gòu)進(jìn)入加壓清洗模式。[0050]在一種可選的實(shí)施方式中，所述加壓清洗模式即：[0051]通過(guò)切換機(jī)構(gòu)，間隔預(yù)設(shè)時(shí)間逐次控制每個(gè)清洗噴頭與進(jìn)液管連通；[0052]在當(dāng)前清洗噴頭加壓清洗預(yù)設(shè)時(shí)間后，控制視覺(jué)檢測(cè)模塊再次進(jìn)行檢測(cè)，直至所有清洗噴頭清洗完畢；[0053]依據(jù)每個(gè)清洗噴頭的加壓清洗后的檢測(cè)結(jié)果，獲取污漬所在的玻璃基板的位置，并控制對(duì)應(yīng)的清洗噴頭進(jìn)入到加壓清洗模式，直至清洗干凈。[0054]本發(fā)明的有益效果是，本玻璃基板清洗設(shè)備及清洗工藝通過(guò)設(shè)置切換機(jī)構(gòu)，來(lái)切換清洗噴頭與進(jìn)液管和進(jìn)氣管的導(dǎo)通狀態(tài)，在需要將水漬吹干時(shí)，僅需將進(jìn)氣管與清洗噴頭連通，從而解決相關(guān)技術(shù)中，采用一根管道與清洗噴頭連通導(dǎo)致的進(jìn)氣時(shí)管道內(nèi)還殘留有大量液體，從而導(dǎo)致通氣時(shí)間過(guò)長(zhǎng)的問(wèn)題，進(jìn)而提高了清洗效率。[0055]本發(fā)明的其他特征和優(yōu)點(diǎn)將在隨后的說(shuō)明書(shū)中闡述，并且，部分地從說(shuō)明書(shū)中變得顯而易見(jiàn)，或者通過(guò)實(shí)施本發(fā)明而了解。本發(fā)明的目的和其他優(yōu)點(diǎn)在說(shuō)明書(shū)以及附圖中所特別指出的結(jié)構(gòu)來(lái)實(shí)現(xiàn)和獲得。[0056]為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，本文特舉較佳實(shí)施例，并配合所附附圖，作詳細(xì)說(shuō)明如下。附圖說(shuō)明[0057]為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明具體實(shí)施方式或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)具體實(shí)施方式或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖是本發(fā)明的一些實(shí)施方式，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。[0058]圖1為本公開(kāi)實(shí)施例提供的玻璃基板清洗設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；[0059]圖2為本公開(kāi)實(shí)施例提供的清洗組件的剖視圖；[0060]圖3為本公開(kāi)實(shí)施例提供的清洗組件的電控原理圖；[0061]圖4為本公開(kāi)實(shí)施例提供的清洗組件與清洗花籃配合時(shí)的狀態(tài)示意圖；[0062]圖5為圖4中A處的放大圖；[0063]圖6為本公開(kāi)實(shí)施例提供的清洗噴頭同時(shí)與進(jìn)氣管和進(jìn)液管連通時(shí)的結(jié)構(gòu)示意[0064]圖7為本公開(kāi)實(shí)施例提供的玻璃基板清洗設(shè)備的清洗工藝的流程圖。輔助通孔。具體實(shí)施方式[0066]為使本發(fā)明實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明7的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。[0067]在本文中，當(dāng)提到第一部件位于第二部件上時(shí)，這可以表示第一部件可以直接形成在第二部件上，或者第三部件可以插置在第一部件和第二部件之間。此外，在附圖中，為了有效描述技術(shù)內(nèi)容，部件的厚度可以被夸大或縮小。[0068]經(jīng)研究發(fā)現(xiàn)，相關(guān)技術(shù)中為了減少清洗噴頭的數(shù)量，將清洗噴頭設(shè)置在一根管道通氣，氣體進(jìn)入管道后從清洗噴頭噴出，對(duì)玻璃基板進(jìn)行吹干。然而，由于管道內(nèi)殘留的大量液體，會(huì)導(dǎo)致氣體在吹干時(shí)，會(huì)附帶大量的液體吹向玻璃基板，從而在吹干的前半段時(shí)間[0069]基于上述研究，本公開(kāi)實(shí)施例提供了一種玻璃基板清洗設(shè)備及清洗工藝，通過(guò)將進(jìn)氣管和進(jìn)液管套設(shè)，共用同一組清洗噴頭，并設(shè)置對(duì)應(yīng)的切換機(jī)構(gòu)，對(duì)清洗噴頭的導(dǎo)通狀態(tài)進(jìn)行切換，從而在不增加清洗噴頭數(shù)量的情況下，減少通氣時(shí)清洗噴頭帶出的清洗液的數(shù)量，以解決相關(guān)技術(shù)中吹干時(shí)間過(guò)長(zhǎng)，清洗工藝整體時(shí)間耗費(fèi)較長(zhǎng)的問(wèn)題。[0070]針對(duì)以上方案所存在的缺陷，均是發(fā)明人在經(jīng)過(guò)實(shí)踐并仔細(xì)研究后得出的結(jié)果，因此，上述問(wèn)題的發(fā)現(xiàn)過(guò)程以及本文中本公開(kāi)針對(duì)上述問(wèn)題所提出的解決方案，都應(yīng)該是發(fā)明人在本公開(kāi)過(guò)程中對(duì)本公開(kāi)做出的貢獻(xiàn)。個(gè)附圖中被定義，則在隨后的附圖中不需要對(duì)其進(jìn)行進(jìn)一步定義和解釋。[0072]下面結(jié)合附圖，對(duì)本發(fā)明的一些實(shí)施施例及實(shí)施例中的特征可以相互組合。[0073]請(qǐng)參閱圖1及圖2,至少一個(gè)實(shí)施例公開(kāi)了一種玻璃基板清洗設(shè)備，包括以下結(jié)構(gòu)：[0074]清洗臺(tái)100,其設(shè)置有多個(gè)清洗工位110。每個(gè)清洗工位110上郡設(shè)置有蓋板111,以避免清洗液發(fā)生飛濺。[0075]清洗花籃200,其設(shè)置在對(duì)應(yīng)的清洗工位110中，且等間隔設(shè)置有多個(gè)待清洗的玻璃基板210.需要說(shuō)明的是，清洗花籃200采用透明材質(zhì)，以便于后續(xù)進(jìn)行視覺(jué)檢測(cè)。[0076]清洗組件300,其用于對(duì)所述清洗花籃200中的玻璃基板210進(jìn)行清洗。[0078]切換機(jī)構(gòu)350,其用于將切換清洗噴頭340與進(jìn)液管310和進(jìn)氣管320的連通狀態(tài)。[0079]進(jìn)液管310,其一端與外部水泵連通，另一端為封堵?tīng)顟B(tài)。[0080]套設(shè)在進(jìn)液管310外部的進(jìn)氣管320。具體來(lái)說(shuō)，所述進(jìn)液管310與所述進(jìn)氣管320之間形成用于通氣的氣腔330。[0081]多個(gè)清洗噴頭340,其在切換機(jī)構(gòu)350的控制下與進(jìn)液管310和/或進(jìn)氣管320導(dǎo)通。[0082]控制模塊，其被配置為在清洗工況時(shí)，控制切換機(jī)構(gòu)350將每個(gè)清洗噴頭340與進(jìn)液管310連通，進(jìn)行清洗；在吹干工況時(shí)，控制每個(gè)清洗噴頭340與進(jìn)基板210殘留的水漬清除。[0083]需要說(shuō)明的是，所述清洗噴頭340在清洗工況時(shí)，與所述進(jìn)液管310連通，在吹干工8況時(shí)，與所述進(jìn)氣管320的氣腔330連通。[0084]通過(guò)設(shè)置切換機(jī)構(gòu)350,來(lái)切換清洗噴頭340與進(jìn)液管310和進(jìn)氣管320的導(dǎo)通狀態(tài)，在需要將水漬吹干時(shí)，僅需將進(jìn)氣管320與清洗噴頭340連通，從而解決相關(guān)技術(shù)中，采用一根管道與清洗噴頭340連通導(dǎo)致的進(jìn)氣時(shí)管道內(nèi)還殘留有大量液體，從而導(dǎo)致通氣時(shí)間過(guò)長(zhǎng)的問(wèn)題，進(jìn)而提高了清洗效率。[0085]請(qǐng)繼續(xù)參閱圖2及圖4,所述切換機(jī)構(gòu)350包括：推桿電機(jī)351以及切換板352。通過(guò)控制模塊控制推桿電機(jī)351工作，從而推動(dòng)切換板352進(jìn)行移動(dòng)。[0086]其中切換板352一端嵌設(shè)在所述進(jìn)液管310的側(cè)壁中，另一端與外部的推桿電機(jī)351的推桿連接。[0087]所述切換板352與所述清洗噴頭340對(duì)應(yīng)處設(shè)置有第一通孔3521;所述清洗噴頭340設(shè)置在所述進(jìn)氣管320上；所述清洗噴頭340的頂部設(shè)置有通過(guò)復(fù)位彈簧342與清洗噴頭340彈性連接的連接管341。[0088]其中，連接管341的頂部設(shè)置有外倒角，從而減少切換板352在移動(dòng)時(shí)與連接管341頂部之間的沖撞。[0089]在推桿電機(jī)351將切換板352向第一方向推動(dòng)時(shí)，此時(shí)連接管341的頂部插入到所述第一通孔3521中，每個(gè)清洗噴頭340與進(jìn)液管310連通；在推桿電機(jī)351將切換板352向第二方向拉動(dòng)時(shí)，此時(shí)連接管341的頂部被切換板352擠壓并向下運(yùn)動(dòng)，以使氣腔330與連接管[0090]其中，氣孔343的數(shù)量為一個(gè)，且由連接管341的側(cè)壁傾斜朝向清洗噴頭340的出口開(kāi)設(shè)，從而對(duì)進(jìn)入到清洗噴頭340的氣體進(jìn)行導(dǎo)向，進(jìn)而增加清洗噴頭340內(nèi)的壓力。[0091]需要說(shuō)明的是，所述清洗噴頭340與所述氣孔343適配處也開(kāi)設(shè)有進(jìn)氣口344,在連接管341的頂部被切換板352擠壓并向下運(yùn)動(dòng)，使氣腔330與連接管341側(cè)壁的氣孔343連通，此時(shí)，清洗噴頭340的進(jìn)氣口344與連接管341的氣孔343連通，從而使，氣腔330與清洗頭340[0092]設(shè)置簡(jiǎn)單的機(jī)械結(jié)構(gòu)，完成對(duì)氣源和水源的切換，減少了氣源和水源共用的管路的長(zhǎng)度，從而最大程度上，減少了烘干時(shí)氣體帶出的液體含量。[0093]需要說(shuō)明的是，即使，清洗噴頭340與氣腔330之間的密封性較差，也不會(huì)影響到清洗噴頭340的清洗效果，伸著從清洗噴頭340泄露出來(lái)的氣體還可以增加液體的壓力，起到提高清洗效果的目的。[0094]請(qǐng)參閱圖2、圖4及圖5,為了能使每個(gè)清洗噴頭340,能單獨(dú)對(duì)清洗花籃200中的玻璃基板進(jìn)行清洗，在每個(gè)所述第一通孔3521的第二方向側(cè)設(shè)置有輔助通孔3522;推桿電機(jī)351推動(dòng)所述切換板352逐次將清洗噴頭340與對(duì)應(yīng)的輔助通孔3522連通，且每次僅有一個(gè)清洗噴頭340與對(duì)應(yīng)的輔助通孔3522連通，將清洗噴頭340與進(jìn)液管310連通，完成加壓清洗。[0095]通過(guò)切換板352的推動(dòng)，將多個(gè)清洗噴頭340中的其中一個(gè)打開(kāi)，其余的關(guān)閉，從而提高清洗時(shí)的水壓，進(jìn)而提高清洗效果。[0096]請(qǐng)繼續(xù)參閱圖3,所述清洗組件300還包括：視覺(jué)檢測(cè)模塊，其用于對(duì)清洗花籃200中的清洗效果進(jìn)行檢測(cè)；所述控制模塊還被配置為在檢測(cè)工況時(shí)，依據(jù)檢測(cè)結(jié)果控制切換9機(jī)構(gòu)350進(jìn)入加壓清洗模式。[0097]具體來(lái)說(shuō)，所述控制模塊還被配置為依據(jù)檢測(cè)結(jié)果控制切換機(jī)構(gòu)350進(jìn)入加壓清洗模式，即：將接收到的檢測(cè)結(jié)果與預(yù)設(shè)值進(jìn)行比對(duì)，在檢測(cè)到清洗花籃200中的多個(gè)玻璃基板210存在污漬時(shí)，控制切換機(jī)構(gòu)350使清洗組件300進(jìn)入加壓清洗模式。[0099]使用高分辨率相機(jī)獲取多個(gè)清洗干凈的玻璃基板在清洗時(shí)的圖像信息；[0100]將獲取的圖形信息轉(zhuǎn)換為灰度圖像，并進(jìn)行去噪處理，完成圖像的預(yù)處理；[0101]選取每張圖像的灰度圖像中最高的灰度值作為該圖像的清洗效果的表征值；[0102]計(jì)算所有圖像的清洗效果的表征值的平均值，將該平均值作為預(yù)設(shè)值，一共后續(xù)檢測(cè)進(jìn)行比對(duì)。[0103]通過(guò)對(duì)玻璃基板的清洗效果進(jìn)行檢測(cè)，來(lái)提高清洗效果，在檢測(cè)結(jié)果為玻璃基板存在污漬時(shí)，依次控制每個(gè)清洗噴頭340進(jìn)行加壓清洗，來(lái)確定污漬所在的位置，便于后續(xù)進(jìn)行針對(duì)性的清洗。[0105]通過(guò)切換機(jī)構(gòu)350,間隔預(yù)設(shè)時(shí)間逐次控制每個(gè)清洗噴頭340與進(jìn)液管310連通；在當(dāng)前清洗噴頭340加壓清洗預(yù)設(shè)時(shí)間后，控制視覺(jué)檢測(cè)模塊再次進(jìn)行檢測(cè)，直至所有清洗噴頭340清洗完畢；依據(jù)每個(gè)清洗噴頭340的加壓清洗后的檢測(cè)結(jié)果，獲取污漬所在的玻璃基板210的位置，并控制對(duì)應(yīng)的清洗噴頭340進(jìn)入到加壓清洗模式，直至清洗干凈。[0106]具體來(lái)說(shuō)，通過(guò)推動(dòng)切換板352,將對(duì)應(yīng)的清洗噴頭340與進(jìn)液管310或進(jìn)氣管320連通，從而實(shí)現(xiàn)加壓清洗模式。由于氣孔343和進(jìn)氣口344均為傾斜設(shè)置的，從而對(duì)進(jìn)入到清洗噴頭340的氣體進(jìn)行導(dǎo)向，使大部分氣體沿清洗噴頭340的出口流動(dòng)，進(jìn)而對(duì)液體進(jìn)行增時(shí)間逐次控制每個(gè)清洗噴頭340與進(jìn)液管310和進(jìn)氣管320同時(shí)連通；在當(dāng)前清洗噴頭340加壓清洗預(yù)設(shè)時(shí)間后，控制視覺(jué)檢測(cè)模塊再次進(jìn)行檢測(cè)，直至所有清洗噴頭340清洗完畢；依據(jù)每個(gè)清洗噴頭340的加壓清洗后的檢測(cè)結(jié)果，獲取污漬所在的玻璃基板210的位置，并控制對(duì)應(yīng)的清洗噴頭340進(jìn)入到加壓清洗模式，直至清洗干凈。[0108]將氣體和液體同時(shí)通入到清洗噴頭340中，從而對(duì)液體進(jìn)行加壓，提高沖洗能力，針對(duì)性的對(duì)頑固污漬進(jìn)行清潔。在具體實(shí)現(xiàn)時(shí)，可以將清洗噴頭340頂部的連通管部分與輔助通孔3522連通，此時(shí)氣腔330與連接管341的氣孔343也處于連通狀態(tài)。[0109]請(qǐng)參閱圖7,至少一個(gè)實(shí)施例還提供了一種應(yīng)用于如上述的玻璃基板清洗設(shè)備的[0110]S110:將待清洗的玻璃基板210放入到對(duì)應(yīng)的清洗花籃200;[0111]S120:將清洗花籃200放入清洗工位110;[0112]S130:通過(guò)切換機(jī)構(gòu)350將每個(gè)清洗噴頭340與進(jìn)液管310連通，進(jìn)入清洗工況，對(duì)玻璃基板210進(jìn)行清洗；[0113]S140:在清洗完畢之后，通過(guò)切換機(jī)構(gòu)350將每個(gè)清洗噴頭340與進(jìn)氣管320連通，進(jìn)入吹干工況，將玻璃基板210殘留的水漬清除。[0114]在清洗工況完成之后，且進(jìn)入到吹干工況之前，所述清洗工藝還包括：[0115]進(jìn)入檢測(cè)工況，即：對(duì)清洗花籃200中的清洗效果進(jìn)行檢測(cè)；依據(jù)檢測(cè)結(jié)果控制切換機(jī)