匯報(bào)人：肖詩(shī)凱日期：2023.12.27中建四局深圳總承包公司中建四局深圳總承包公司保MLPMSTITYMFDLIRTNFMGNFFRIGDYSWCARPITD中建四局深圳總承包公司保MLPMSTITYMFDLIRTNFMGNFFRIGDYSWCARPITD高潔凈芯片廠(chǎng)房整體特點(diǎn)中建四局深圳總承包公司2021年中國(guó)芯片進(jìn)口金額為4397億美元，2022年為4156億美元，同比出現(xiàn)-5.48%的下滑，是至2017年以來(lái)增長(zhǎng)率下降最明顯的。中國(guó)芯片進(jìn)口額大幅度下滑，一方面是由于芯片受制于人的影響，另一方面說(shuō)明了芯片正逐步進(jìn)行國(guó)產(chǎn)替代。國(guó)家在2020年《國(guó)務(wù)院關(guān)于印發(fā)新時(shí)期促進(jìn)集成電路產(chǎn)業(yè)和軟件產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展若干政策的通知》中明確了要聚焦高端芯片、集成電路裝備的關(guān)鍵核心技術(shù)研發(fā)，到2025年實(shí)現(xiàn)70%國(guó)產(chǎn)芯片自給率。因此，越來(lái)越多的國(guó)產(chǎn)芯片巨頭站出來(lái)，生產(chǎn)芯片的電子潔凈廠(chǎng)房也將如雨后春筍般快速、大量拔地而起。2017年2018年2019年2020年2021年2022年41560中建四局深圳總承包公司中建四局深圳總承包公司由于芯片產(chǎn)品功能化、微型化、集成化和精密化的要求，制造生產(chǎn)的潔凈芯片廠(chǎng)房與一般廠(chǎng)房的設(shè)計(jì)需求存在明顯差別。潔凈要求：芯片生產(chǎn)環(huán)境對(duì)空氣顆粒物數(shù)量有較高的控制要求顯差別。氣密要求：減少構(gòu)造縫隙、加強(qiáng)縫隙構(gòu)造的氣密性，把空氣泄漏或污染的影響降至最低限度防微振要求：芯片加工精度要求高，需要減少振動(dòng)對(duì)設(shè)備的影響廠(chǎng)務(wù)系統(tǒng)要求：特殊動(dòng)力及機(jī)電系統(tǒng)滿(mǎn)足工藝機(jī)臺(tái)的需求，如特氣、化學(xué)品、純廢水等專(zhuān)業(yè)空間要求：廠(chǎng)房平面形狀簡(jiǎn)潔，功能分區(qū)明確，管線(xiàn)隱蔽、空間分布合理，具有生產(chǎn)工藝和設(shè)備更新時(shí)的靈活性中建四局深圳總承包公司工藝輸入及生產(chǎn)計(jì)劃芯片廠(chǎng)形式動(dòng)力及機(jī)電配套序號(hào)當(dāng)前12“芯片廠(chǎng)市場(chǎng)信息質(zhì)量):管道布局1品圓尺寸12”,18”23Logic:常見(jiàn)30~40K/FAB,例如：中芯國(guó)電DrantNam:50~70K/PAB一例如：三星、45結(jié)構(gòu)體系6潔凈新風(fēng)+風(fēng)機(jī)過(guò)濾+干冷盤(pán)管(MAU+FFU+DCC)7單向氣流(可選)僅光刻區(qū)域采用獨(dú)立隔間全區(qū)域采用高架地板(高度600mm~1200mm)需要?jiǎng)恿ο聤A層(潔凈與非潔凈)需考慮AMC控制關(guān)鍵分區(qū)為獨(dú)立隔間單向氣流(層流)全區(qū)域采用高架地板(高度600mm~1200mm)僅單層潔凈動(dòng)力下夾層(Hookup距離)需考慮AMC控制關(guān)鍵分區(qū)為獨(dú)立隔間關(guān)鍵區(qū)域需考慮AMC與EM控制倉(cāng)鍺。中間倉(cāng)庫(kù)：原料/成品庫(kù)(可選):化學(xué)品(可選廠(chǎng)原材料庫(kù)：成品庫(kù)：化學(xué)品及危廢庫(kù)電配要求------一機(jī)臺(tái)布置+TooHLayout&UilityMapping)定輸送管線(xiàn)布局一9片工廠(chǎng)建廠(chǎng)時(shí)的重要挑戰(zhàn)屬工藝影響冷熱水，CDA,工藝/清掃真空，工藝排風(fēng)(酸、堿有機(jī)排),柴油電力系統(tǒng)供配電、照明、防雷接地(特殊區(qū)域考慮防靜電接地),E-電和U-電，生命安全系統(tǒng)(門(mén)禁、廣播、火宅報(bào)警),IT,有毒有害氣(GMS),全廠(chǎng)控制系統(tǒng)FMCS一消防系統(tǒng)一一噴淋+消防栓+CO2吹火器，潔凈室vesda系統(tǒng)，消防排煙、林風(fēng)、正壓送風(fēng)一中建四局深圳總承包公司工期更緊根據(jù)摩爾定律，平均每18~24個(gè)月芯片集成密度會(huì)增加一倍，隨電子產(chǎn)品的更新迭代，對(duì)生產(chǎn)廠(chǎng)房的需求隨之更電子潔凈廠(chǎng)房一般建設(shè)體量大、工期緊、工序穿插緊密、資源周轉(zhuǎn)難度大、主材消耗更集中，如此緊密的資源組施工品質(zhì)要求高主要體現(xiàn)在平整度、氣密性和低塵施工三個(gè)方面。精密設(shè)備除防環(huán)境、外界振動(dòng)和環(huán)境共振外，設(shè)備自身的平穩(wěn)性同樣重要，因此地面的平整度要求達(dá)2mm/2m;氣密性的保證對(duì)不同潔凈區(qū)保持壓差繼而控制污染源的作用巨大；嚴(yán)格控制空氣過(guò)濾和調(diào)節(jié)設(shè)備安裝前對(duì)潔凈室的清潔以及安裝后對(duì)施工準(zhǔn)備和施工過(guò)程中易產(chǎn)生灰塵的環(huán)節(jié)進(jìn)行控制分包管理協(xié)調(diào)要求高電子潔凈廠(chǎng)房施工工序復(fù)雜、專(zhuān)業(yè)化程度高、涉及特殊分包商多，各專(zhuān)業(yè)交叉作業(yè)面廣，因此需要協(xié)調(diào)好各專(zhuān)業(yè)中建四局深圳總承包公司保MLPMSTITYMFDLIRTNFMGNFFRIGDYSWCARPITDSFA保工程規(guī)模工程規(guī)模用地面積建筑面積50.02萬(wàn)m2約81萬(wàn)用地面積建筑面積地下：約60萬(wàn)m2地上：約21萬(wàn)m2建筑概況建筑概況大宗氣站大宗氣站工期目標(biāo)測(cè)試樓2工期目標(biāo)792天792天測(cè)試樓3測(cè)試樓1中建四局深圳總承包公司地下：約33.2萬(wàn)m2地上：約87.5萬(wàn)m21棟動(dòng)力中心總工期總工期中建四局深圳總承包公司設(shè)計(jì)特點(diǎn)-結(jié)構(gòu)特點(diǎn)高潔凈廠(chǎng)房有部分地下室(1層或2層),且含有3m高低跨結(jié)構(gòu)?；仫L(fēng)夾道華夫板回風(fēng)夾道華夫板3m高低跨中建四局深圳總承包公司CHINACONSTRUTIONFOURTHENGINEERINGDNVISIONCORPLTDSHENZHENGENERALCONTRACTING中建四局深圳總承包公司CHINACONSTRUTIONFOURTHENGINEERINGDNVISIONCORPLTDSHENZHENGENERALCONTRACTING內(nèi)容FAB3(預(yù)留)產(chǎn)品方案晶圓直徑待定特種光纖工藝節(jié)點(diǎn)1待定產(chǎn)品類(lèi)型/3F:M量產(chǎn)業(yè)務(wù)及中試線(xiàn)業(yè)務(wù)1F:先進(jìn)封測(cè)和晶圓后加工3F:H/Y/G業(yè)務(wù)Si-on-GaN(射頻器件)1F:LAB和預(yù)留(按照12寸CMOS預(yù)留)特種光纖k片/月待定9萬(wàn)公里/年潔凈室面積中建四局深圳總承包公司潔凈區(qū)的潔凈度要求高，業(yè)主要求建設(shè)潔凈度為干級(jí)(局部要求為百級(jí))的潔凈工作車(chē)間。純/廢水系統(tǒng)對(duì)管道系統(tǒng)的密閉性有更高的要求，從而確?；贰⑻厥鈿怏w等專(zhuān)業(yè)包處理工藝多，且存在較多的中建四局深圳總承包公司保MLPMSTITYMFDLIRTNFMGNFFRIGDYSWCARPITD中建四局深圳總承包公司企業(yè)保障層總包管理部土建項(xiàng)目部實(shí)施層企業(yè)保障層總包管理部土建項(xiàng)目部實(shí)施層王小林生產(chǎn)總協(xié)調(diào)張衛(wèi)峰指濟(jì)部成員黃擁軍姜運(yùn)成技術(shù)總協(xié)調(diào)夏濤兩級(jí)分離管理項(xiàng)日經(jīng)理兩級(jí)分離管理項(xiàng)日經(jīng)理辦公室技術(shù)總協(xié)調(diào)：夏濤技術(shù)經(jīng)理：劉柏聰質(zhì)帶測(cè)量組深化組計(jì)劃組策劃組測(cè)量組深化組計(jì)劃組策劃組AA組團(tuán)：紀(jì)曉龍B組團(tuán):黃綠廳B組團(tuán):黃綠廳C組團(tuán)：陳燃D組團(tuán)：陳凱3.1項(xiàng)目組織架構(gòu)及管理思路中建四局深圳總承包公司3.1項(xiàng)目組織架構(gòu)及管理思路CHINACONSTRUTIONFOURTHENGINEERINGDNVISIONCORPLTDSHENZHENGENERALCONTRACTING組團(tuán)劃分思路：◆交通運(yùn)輸相對(duì)獨(dú)立◆施工作業(yè)互不交叉◆材料堆場(chǎng)均衡合理勞務(wù)劃分思路：◆施工面積相對(duì)合理、區(qū)域相對(duì)集中◆首開(kāi)重點(diǎn)區(qū)重點(diǎn)投入◆全周期資源投入均衡合理◆關(guān)聯(lián)區(qū)域統(tǒng)籌施工廠(chǎng)房分段思路：◆每小段按1000~1500m2劃分◆按塔樓、地下室等功能分段中建四局深圳總承包公司主體階段：資源、勞動(dòng)力按照項(xiàng)目部劃分單獨(dú)配置，做到“質(zhì)量與安全并進(jìn)，效率與速度同行”裝修階段：合理穿插施工，重點(diǎn)部位優(yōu)先移交項(xiàng)自部1勞務(wù)1勞務(wù)1耿戰(zhàn)楊項(xiàng)目部5彭小勇李棟李棟勞務(wù)10勞務(wù)11勞務(wù)10勞務(wù)11nnnn勞務(wù)12中建四局深圳總承包公司逆向思維，管網(wǎng)先行，構(gòu)筑物先行，提前穿插室外管線(xiàn)預(yù)埋，施工道路以永臨結(jié)合為主、臨時(shí)道路為輔的思路進(jìn)行修筑。開(kāi)工后快速形成整體大環(huán)路+小組團(tuán)小環(huán)路，保證各施工區(qū)域間交通順暢且相對(duì)獨(dú)立。同時(shí)設(shè)置交通管理小組，在交通易堵期及關(guān)鍵路口設(shè)置專(zhuān)員，疏導(dǎo)交通壓力；設(shè)置人車(chē)分流、減速帶、限速提示牌等措施，保障現(xiàn)場(chǎng)交通安全。廳鋼結(jié)構(gòu)拼裝場(chǎng)鋼結(jié)構(gòu)拼裝場(chǎng)鋼結(jié)構(gòu)吊裝區(qū)測(cè)試橙主體施工階段永臨路鋪排圖主體施工階段永臨路鋪排圖(5~6月)1大門(mén)中建四局深圳總承包公司“關(guān)鍵路徑的工作搶著干，非關(guān)鍵路徑的工作提前干”思路層級(jí)管理、節(jié)點(diǎn)分級(jí)、進(jìn)度細(xì)化航拍圖或效果圖+節(jié)點(diǎn)目標(biāo)、現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)展“關(guān)鍵路徑的工作搶著干，非關(guān)鍵路徑的工作提前干”思路層級(jí)管理、節(jié)點(diǎn)分級(jí)、進(jìn)度細(xì)化航拍圖或效果圖+節(jié)點(diǎn)目標(biāo)、現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)展日/周/月計(jì)劃管理日?qǐng)?bào)/周報(bào)/月報(bào)鏈接業(yè)主/分包計(jì)劃管理成果超大型潔凈廠(chǎng)房類(lèi)精細(xì)化計(jì)劃管理模型每周澆筑板塊(計(jì)劃/實(shí)際)偏差折線(xiàn)圖中建四局深圳總承包公司CHINACONSTRUTIONFOURTHENGINEERINGDINISIONCORPLTDSHENZHENGENERALCONTRACTING根據(jù)各個(gè)分部分項(xiàng)工程，形成作戰(zhàn)地圖，嚴(yán)格按照策劃的順序、時(shí)間移交工作面；同時(shí)應(yīng)弱化結(jié)構(gòu)正負(fù)零、封頂?shù)墓?jié)點(diǎn)，強(qiáng)化工作面高質(zhì)量移交節(jié)點(diǎn)，“關(guān)注面子更要里子強(qiáng)化工作面高質(zhì)量移交節(jié)點(diǎn)，“關(guān)注面子更要里子”,實(shí)現(xiàn)后續(xù)專(zhuān)業(yè)快速穿插，一個(gè)專(zhuān)業(yè)快不叫快，項(xiàng)目交付快才叫快。*e*e肥槽回填計(jì)劃l魯3#夾：11.15-11.30面女兒墻39mFAB3廣房1/3F區(qū)云云中建四局深圳總承包公司保MLPMSTITYMFDLIRTNFMGNFFRIGDYSWCARPITDSFA保高潔凈廠(chǎng)房關(guān)鍵施工技術(shù)要點(diǎn)4.1大型潔凈車(chē)間樓地面成型關(guān)鍵施工技術(shù)4.2墻板施工關(guān)鍵施工技術(shù)4.3大跨度鋼桁架屋蓋關(guān)鍵施工技術(shù)4.4潔凈車(chē)間施工及設(shè)備安裝技術(shù)4.5純/廢水系統(tǒng)施工和設(shè)備安裝技術(shù)4.6CDS化學(xué)品(中央供酸)系統(tǒng)關(guān)鍵施工技術(shù)4.7特殊氣體關(guān)鍵施工技術(shù)中建四局深圳總承包公司華夫板作為高潔凈度要求無(wú)塵車(chē)間的通風(fēng)通道和表面材料，預(yù)留大量孔洞形成回風(fēng)通道，利用氣壓排出懸浮顆粒，滿(mǎn)足潔DH項(xiàng)目的F3、F4兩棟封測(cè)廠(chǎng)房二層采用chess筒模板結(jié)構(gòu)，chess筒通風(fēng)孔直徑350mm,800mm高。封測(cè)廠(chǎng)核心生產(chǎn)區(qū)結(jié)構(gòu)對(duì)防微震要求高，通常采用剛度大的密肋交叉梁及鋼筋混凝土墻組成的樓層結(jié)構(gòu)防微震體系，以減中建四局深圳總承包公司中建四局深圳總承包公司華夫筒與chess筒的對(duì)比結(jié)構(gòu)形式：華夫筒與chess筒均采用玻璃鋼SMC材質(zhì)，性能穩(wěn)定、低煙阻燃、耐高溫、耐酸堿，造型上chess筒是四個(gè)一組空腔盲筒構(gòu)造，本身剛性強(qiáng)度更大，華夫孔板則是四桶合一的梯形構(gòu)造。施工方式：華夫筒和Chess桶在施工方式上基本一致，但華夫筒在梯形區(qū)域增設(shè)了內(nèi)支撐，以防止混凝土在施工過(guò)程中受到適用范圍：華夫筒和Chess桶適用于不同的樓板厚度。Chess桶主要用于核心生產(chǎn)區(qū)等關(guān)鍵區(qū)域，華夫筒主要用于潔凈車(chē)間等對(duì)空氣質(zhì)量要求較高的場(chǎng)所。華夫筒chess筒中建四局深圳總承包公司中建四局深圳總承包公司排版布置：先安裝最外側(cè)華夫桶作為基準(zhǔn)，再安裝中間區(qū)域華夫桶，避免誤差累積，并檢查筒口頂面水平，調(diào)整或更換。模板鋪設(shè)：在保證架體頂部平整度的條件下，模板采用密拼通鋪。板柱模板交接處，板模下部次楞伸至柱模邊，避免支撐剛度不足導(dǎo)致的華夫模板拼縫密封破裂漏漿。桶身固定：在華夫筒和Chess筒定位后，自攻螺絲連接相鄰模板，每相鄰邊中間最少固定3顆螺絲，底部自粘膜固定到木板上，華夫筒和chess筒間縫隙用密封膠來(lái)填充。埋件預(yù)埋：預(yù)埋的哈芬槽均按機(jī)電管線(xiàn)走向進(jìn)行單向布置，從而確保后續(xù)機(jī)電管道安裝的順利進(jìn)行。使用自攻螺絲穿過(guò)哈芬槽螺絲孔位，固定到木模板。華夫筒、chess筒成品保護(hù)：作為一次性永久模板，后期不拆除，SMC材質(zhì)具有一定的脆性，施工過(guò)程中需要采用夾板便道避免踩踏，墊設(shè)模板木方等措施進(jìn)行成品保護(hù)。中建四局深圳總承包公司中建四局深圳總承包公司中建四局深圳總承包公司中建四局深圳總承包公司結(jié)構(gòu)地坪關(guān)鍵施工技術(shù)結(jié)構(gòu)精平“六步法”:初高控制：每平米設(shè)置測(cè)量點(diǎn)，高鏟低填，澆筑后面標(biāo)高應(yīng)比設(shè)計(jì)初平控制：6m重型刮尺橫豎刮，注意柱腳和邊角。圓盤(pán)打磨：嚴(yán)格控制收面質(zhì)量，采用圓盤(pán)磨光機(jī)進(jìn)行壓實(shí)提漿，務(wù)必在初凝前完成全面磨光處理。二次標(biāo)高控制和找平：塔尺跟進(jìn)測(cè)量，細(xì)部人工修抹，再用刮尺橫打磨拋光：雙刀全自動(dòng)磨光機(jī)二次打磨，邊角人工收光。三次平整度檢查：收光過(guò)程中，水平尺及塞尺實(shí)時(shí)測(cè)量，不滿(mǎn)足則人工修補(bǔ)填平后二次收光。中建四局深圳總承包公司中建四局深圳總承包公司鋼結(jié)構(gòu)施工施工工藝和機(jī)械選型廠(chǎng)房跨度PY項(xiàng)目2#廠(chǎng)房2300噸(8榀)DH項(xiàng)目4#廠(chǎng)房2000噸(6榀)整體提升等安裝方法不可行，廠(chǎng)房鋼結(jié)構(gòu)屋蓋均采用室外地以PY科技園項(xiàng)目2#廠(chǎng)房為例：桁架單片重量達(dá)235-350t,根據(jù)大型機(jī)械選型，每個(gè)山墻端2臺(tái)300噸履帶吊，分5段吊73.2t73.2t中建四局深圳總承包公司由于結(jié)構(gòu)部分有局部地下室和高低跨結(jié)構(gòu)，因進(jìn)度存在時(shí)間差，分為左右兩塊不等面積的滑移區(qū)塊，由兩端向中間滑移的施工方式施工。廠(chǎng)房分為32榀主桁架，采用四條滑移軌道，在控制合理滑移重量和后補(bǔ)桿件數(shù)量的前提下，整個(gè)鋼屋蓋分五個(gè)滑移分區(qū)。分區(qū)滑移到位后可穿插樓板施工，將分塊間的裝次梁帶著滑移，減少補(bǔ)桿。此區(qū)域桿件帶此區(qū)域材件帶在滑在滑移分區(qū)⑧⑧猾移猾移滑移原位拼裝區(qū)原位拼裝區(qū)原位拼裝區(qū)健中建四局深圳總承包公司免卸載節(jié)點(diǎn)的優(yōu)化為實(shí)現(xiàn)滑移到位后鋼桁架免卸載，在柱子底部和預(yù)埋鋼板間留設(shè)15mm間距，在滑移溝槽位置左右各開(kāi)孔130×100mm,在柱側(cè)面留設(shè)400×400mm的焊接操作孔，鋼柱滑移到位后直接進(jìn)行焊接和補(bǔ)板。中建四局深圳總承包公司鋼結(jié)構(gòu)埋件的優(yōu)化原柱腳節(jié)點(diǎn)為4根M36錨栓，與柱底板高強(qiáng)螺栓工過(guò)程中與柱脫離，底板和抗剪鍵以及錨桿作為預(yù)埋件形式同土建一同施工，錨栓不冒頭，使得板面平整鋼桁架拼裝方法優(yōu)化采用臥拼法進(jìn)行拼裝，在拼裝前根據(jù)分段大小制作高位置在滑移梁的延長(zhǎng)線(xiàn)上，鋼桁架在地面進(jìn)行預(yù)拼裝，保證中建四局深圳總承包公司滑移到位后，與滑靴連接的頂推器可直接拆除。屋蓋按設(shè)計(jì)標(biāo)高進(jìn)行滑移，到位后與預(yù)埋板全熔透焊接成型，無(wú)卸載過(guò)程。免卸載滑移安裝順序如下：鋼桁架滑移就位→拆除頂推裝置→切除鋼柱內(nèi)軌道→焊接十字加勁板→切除滑靴(即卸載)→焊接外圍矩形鋼柱板→切除鋼柱外軌道→開(kāi)孔位置補(bǔ)板。中建四局深圳總承包公司田播時(shí)地2023.09.2416.28氣多云31℃東風(fēng)2級(jí)中建四局深圳總承包部陽(yáng)項(xiàng)目拍攝時(shí)間：202309.2116:39天鋼桁架補(bǔ)桿三拾攝時(shí)間：202309.230841中建四局深圳總承包公司CHINACONSTRUTIONFOURTHENGINEERINGDNVISIONCORPLTDSHENZHENGENERALCONTRACTING主要系統(tǒng)為MAU+FFU+DCC系統(tǒng)，適用于潔凈度要求較高(干級(jí)及以上)的潔凈室廠(chǎng)房。上技術(shù)夾層回風(fēng)夾道回風(fēng)夾道潔凈車(chē)間環(huán)境實(shí)現(xiàn)原理潔凈工程的核心是創(chuàng)造一個(gè)滿(mǎn)足芯片生成需求的室內(nèi)環(huán)境，需對(duì)室內(nèi)的溫度、濕度、壓力、潔凈度等指標(biāo)進(jìn)行控制，并且會(huì)根據(jù)不同的指標(biāo)選擇不同的凈化方案使得潔凈環(huán)境順利達(dá)標(biāo)?！駶崈糗?chē)間環(huán)境實(shí)現(xiàn)原理：m回風(fēng)夾m潔凈室氣流形式-層流循環(huán)潔凈生產(chǎn)區(qū)：潔凈氣流由靜壓箱中FFU(風(fēng)機(jī)過(guò)濾器機(jī)組)送入潔凈室潔凈技術(shù)下夾層：氣流經(jīng)潔凈室華夫板流入潔凈下夾層暖通電照溫度濕度送風(fēng)量壓力潔凈度給水空間管理消防中建四局深圳總承包公司CHINACONSTRUTIONFOURTHENGINEERINGDNVISIONCORPLTDSHENZHENGENERALCONTRACTINGC潔凈室等級(jí)劃分空氣潔凈度等級(jí)(N)122438456789各種要求粒徑各種要求粒徑D的最大濃度限值Cn應(yīng)按下式計(jì)算：擴(kuò)展：在《潔凈廠(chǎng)房設(shè)計(jì)規(guī)范》GBJ73—84,潔凈等級(jí)采用百、千、萬(wàn)、十萬(wàn)級(jí)表示，最新規(guī)范中對(duì)空氣潔凈度等級(jí)的相關(guān)內(nèi)容作了修改和補(bǔ)充。等級(jí)100級(jí)1000級(jí)10000級(jí)100000級(jí)中建四局深圳總承包公司管理要點(diǎn)1:平行包管理施工期間要涉及平行分包商十?dāng)?shù)家(根據(jù)業(yè)主拆包模式),接口工程量大，協(xié)調(diào)管理難度高。如何加強(qiáng)總承包管理，確保工程目標(biāo)實(shí)現(xiàn)，對(duì)各分包商行有效地協(xié)調(diào)，為各分包商提供全面有效的服務(wù)是管理重點(diǎn)。中建四局深圳總承包公司管理要點(diǎn)2:潔凈管制●進(jìn)入管制區(qū)域的人員須提前經(jīng)過(guò)潔凈培訓(xùn)，并將培訓(xùn)合格標(biāo)●在管制區(qū)域的工作需要工作許可證●清潔的安全鞋(小白鞋)●清潔的工作服●管制口設(shè)專(zhuān)人執(zhí)行管制基本要求●做好全面的清潔工作●準(zhǔn)備6%異丙醇混合液用于材料擦洗●地面環(huán)氧做好防護(hù)包裹并在完善的保護(hù)措施下才能在室內(nèi)進(jìn)行?！窀乱螅好嬲?頭套+潔凈服和潔凈鞋+安全眼鏡(如需要)+PVC手套中建四局深圳總承包公司管理要點(diǎn)3:空間管理●公共管架區(qū)域管路數(shù)量多，管路進(jìn)出走道的銜接，需后續(xù)深化時(shí)預(yù)留出穿越空間與管路檢修空間。●Truss層有DCC平臺(tái)可穿越空間、檢修馬道凈高、鋼構(gòu)自身斜撐的避讓、DCC管道共架等問(wèn)題，同時(shí)作為排氣管線(xiàn)和新●下夾層主管共架為雙層，主管與Submain管路(次干管)的銜接，為空管重點(diǎn)。橋架橋架共同共同共同管架中央走道共同管架預(yù)留設(shè)備間描防機(jī)房預(yù)留設(shè)備間描防機(jī)房中建四局深圳總承包公司潔凈區(qū)的微振控制是重點(diǎn)，根據(jù)前期項(xiàng)目微振分析報(bào)告，在深化設(shè)計(jì)階段需對(duì)設(shè)備、管道等振動(dòng)源潔凈區(qū)的微振控制是重點(diǎn)，根據(jù)前期項(xiàng)目微振分析報(bào)告，在深化設(shè)計(jì)階段需對(duì)設(shè)備、管道等振動(dòng)源頭設(shè)置隔離措施，對(duì)工藝關(guān)鍵設(shè)備，如光刻、測(cè)試設(shè)備配置采取主動(dòng)/被動(dòng)減振臺(tái)座等措施。(防微振等級(jí)),對(duì)應(yīng)該區(qū)域的管道支架型式和減振設(shè)計(jì)。深化設(shè)計(jì)時(shí)核對(duì)有防微震等級(jí)區(qū)域管道路和管徑，確保管道支架型式滿(mǎn)足15240抗振要求，對(duì)于大口徑管路盡量避開(kāi)VC-E要求區(qū)域。在選購(gòu)設(shè)備時(shí)，選擇具有防振功能的設(shè)備，如具有防震墊、減震器等裝置的設(shè)備?？梢杂行У販p少振動(dòng)對(duì)設(shè)備的影響。在安裝設(shè)備時(shí)采用防振裝置，如減震器、防震墊等，以減少振動(dòng)對(duì)設(shè)備的影響。防振裝置應(yīng)根據(jù)設(shè)備的重量和振動(dòng)特性進(jìn)行選擇和安裝中建四局深圳總承包公司中建四局深圳總承包公司CHINACONSTRUTIONFOURTHENGINEERINGDINISIONCORPLTDSHENZHENGEN高純水的應(yīng)用是集成電路生產(chǎn)的必要條件之一，電子潔凈廠(chǎng)房所需的高純水一般為超純水，超純水系統(tǒng)一般分為超純水制造區(qū)、超純水拋光循環(huán)區(qū)、超純水輸送管網(wǎng)以及超純水回收系統(tǒng)四部分，其中超純水制造區(qū)是最重要也是最為復(fù)雜的部分。PY科技園項(xiàng)目純水系統(tǒng)主要包含CUB前處理系統(tǒng)、FAB1、FAB2、FAB3拋光區(qū)及LOOP管路系統(tǒng)及其相關(guān)配套系統(tǒng)。其中FAB1一期供水200m3/h,FAB2一期供水120m3/h。中建四局深圳總承包公司水池?cái)?shù)量多，空間狹小，施工難度大，地下室因交叉施工，施工環(huán)境惡劣；混凝土與FRP防腐材料基層要求高，未妥善處理易導(dǎo)致材料粘接后的脫落；應(yīng)對(duì)措施●施工人員必須佩戴好防護(hù)用具，并利用送風(fēng)機(jī)保證水池?zé)o間斷通風(fēng)，保持水池底部的氧氣含量，有限空間作業(yè)須有專(zhuān)人監(jiān)護(hù)；●地下室水池區(qū)域粉塵作業(yè)應(yīng)與防腐作業(yè)錯(cuò)開(kāi)，防止地下室的粉塵通過(guò)送風(fēng)進(jìn)入到水池，污染FRP防腐涂料，導(dǎo)致其潔凈度、●土建移交前進(jìn)行基層檢查，F(xiàn)RP防腐涂料固化前檢查纖維布有無(wú)浮起、鼓脹或剝落，施工完成后再次進(jìn)行空鼓檢查中建四局深圳總承包公司重難點(diǎn)2:管道安裝應(yīng)對(duì)措施中建四局深圳總承包公司可再次利用，提高資源利用率。PY科技園項(xiàng)目廢水系統(tǒng)主要包含：FAB1廠(chǎng)房的PDS管路PDS管路及FAB1外載系統(tǒng)，CUB動(dòng)力廠(chǎng)房地下室、1F、2F廢水處理系統(tǒng)。F中建四局深圳總承包公司FCHINACONSTRUTIONFOURTHENGINEERINGDNVISIONCORPLTDSHENZHENGENERALCONTRACTING序號(hào)系統(tǒng)名稱(chēng)系統(tǒng)內(nèi)容簡(jiǎn)介1FBA1廢水收集系統(tǒng)和FAB2廢水收集系統(tǒng)(主要有廢水收集管路及廢水提升系統(tǒng)、廢酸、有機(jī)廢液外載系統(tǒng))2DWWA酸堿系統(tǒng)酸堿處理系統(tǒng)1400m3/h(酸堿廢水采用三段式pH反應(yīng)調(diào)整，最后通過(guò)放流池放流。)3格產(chǎn)水進(jìn)入到放流池放流)4CMP處理系統(tǒng)140m3/h(CMP處理系統(tǒng)以1段化混進(jìn)行處理，透過(guò)ph調(diào)節(jié)，PAC、PAM等藥劑，達(dá)到SS去除，合格產(chǎn)水進(jìn)入到放流池放流，具備能力短時(shí)間備用含氟系統(tǒng)。)5氨氮廢水系統(tǒng)氨氮處理系統(tǒng)60m3/h(系統(tǒng)以調(diào)整pH達(dá)到吹脫罪加pH,透過(guò)錳砂塔去除雙氧水，并經(jīng)過(guò)二段式加熱后進(jìn)行氨氮吹脫工藝)6含氟含氨廢水系統(tǒng)8含銅廢水系統(tǒng)含Cu處理系統(tǒng)20m3/h(采用化混沉淀工藝+MMF+ACF+重金屬離子交換樹(shù)脂進(jìn)行處理)9有機(jī)廢水系統(tǒng)有機(jī)處理系統(tǒng)90m3/h(有機(jī)廢水采用AO工藝，經(jīng)MBR過(guò)濾后，內(nèi)部?jī)x表檢測(cè)達(dá)標(biāo)后排放至中和系統(tǒng))含Ni廢水系統(tǒng)含Ni處理系統(tǒng)20m3/h(采用化混沉淀工藝+MMF+ACF+重金屬離子交換樹(shù)脂進(jìn)行處理)含Ag/Sn廢水系統(tǒng)含Ag/Sn處理系統(tǒng)20m3/h(采用化混沉淀工藝+MMF+ACF+重金屬離子交換樹(shù)脂進(jìn)行處理)含TMAH前處理系統(tǒng)10m3/h(TMAH廢水經(jīng)過(guò)原水泵打入到調(diào)整pH調(diào)整槽，調(diào)整至酸性，使廢液由液態(tài)變成懸浮態(tài)，以氣浮池進(jìn)行固液分離，上清液溢流到產(chǎn)水池經(jīng)轉(zhuǎn)運(yùn)水泵打到有機(jī)系統(tǒng)，繼續(xù)進(jìn)行生化處理)中建四局深圳總承包公司廢水系統(tǒng)-重難點(diǎn)重難點(diǎn)1:FRP防腐施工FRP防腐施工量大，施工難度高，安全風(fēng)險(xiǎn)高應(yīng)對(duì)措施重難點(diǎn)2:金屬桶槽焊接，大型儲(chǔ)罐、設(shè)備安裝金屬桶槽數(shù)量多，焊接工作量大大型儲(chǔ)罐，大型設(shè)備多，吊裝搬運(yùn)難度大應(yīng)對(duì)措施中建四局深圳總承包公司中建四局深圳總承包公司化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)是指以中央供應(yīng)方式提供工藝生產(chǎn)過(guò)程中所需化學(xué)品的生產(chǎn)輔化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)是指以中央供應(yīng)方式提供工藝生產(chǎn)過(guò)程中所需化學(xué)品的生產(chǎn)輔助工藝系統(tǒng)，其提供種類(lèi)繁多的化學(xué)試劑是芯片生產(chǎn)中必要的用品。在FAB廠(chǎng)房一層、二層一側(cè)布有甲類(lèi)溶劑間、酸氟供應(yīng)間、堿供應(yīng)間等化學(xué)品及設(shè)備間，化學(xué)品倉(cāng)庫(kù)布置綜合考慮生產(chǎn)工藝流程、運(yùn)輸條件、材料設(shè)備選用及安全、衛(wèi)生、環(huán)保、施工、管理等因素。6中建四局深圳總承包公司中建四局深圳總承包公司化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)是指以中央供應(yīng)方式提供工藝生產(chǎn)過(guò)程中所需化學(xué)品的生產(chǎn)輔助工藝系統(tǒng)，其提供種類(lèi)繁多的化學(xué)試劑是芯片生產(chǎn)中必要的用品。在FAB廠(chǎng)房一層、二層一側(cè)布有甲類(lèi)溶劑間、酸氟供應(yīng)間、堿供應(yīng)間等化學(xué)品及設(shè)備間，化學(xué)品倉(cāng)庫(kù)布置綜合考慮生產(chǎn)工藝流程、運(yùn)輸條件、材料設(shè)備選用及安全、衛(wèi)生、環(huán)保、施工、管理等因素。6中建四局深圳總承包公司中建四局深圳總承包公司目前我們正在施工的目前我們正在施工的FAB1芯片廠(chǎng)房CDS系統(tǒng)高精度的化學(xué)試劑要達(dá)到的目標(biāo)：1.清洗芯片上的雜質(zhì)、微粒子2.蝕刻芯片圖案3.顯影芯片圖案4.為化學(xué)氣相沉積前置反應(yīng)物5.研磨芯片6.清洗制程設(shè)備零配件成分比例3氯氧化胺NH4OHNH4OH+H2O2+H20→4HCI+H2O2+H20→5H3PO4+SiN4→6硫酸H2S?47氯氟酸1HF-18清洗石英管制品9酸去除POLY0清洗石英管制品ButterOxideEtchant學(xué)蝕刻用ButterOxideEtchant1化學(xué)蝕刻用-------…-…槽車(chē)以N2加壓直TTPump加壓輸送機(jī)臺(tái)內(nèi)將化學(xué)品經(jīng)管路分配至不同生產(chǎn)機(jī)臺(tái)可依實(shí)際用量需求選擇使用可依實(shí)際用量需求選擇使用適臺(tái)使用量較HFH3PO4等SCDU:循環(huán)過(guò)濾裝置中建四局深圳總承包公司中建四局深圳總承包公司化學(xué)品儲(chǔ)存間含有IPA(二甲基甲甲醇)、NMP(N-甲基吡咯烷酮)、PGMEA(丙二醇單甲基醚酯)等易爆物品，對(duì)于儲(chǔ)存間的泄爆需按照相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行設(shè)計(jì)于施工，并且應(yīng)安裝泄露報(bào)警閥組，及時(shí)關(guān)注化學(xué)品儲(chǔ)存間的問(wèn)題?！裼袡C(jī)化學(xué)品收集間位于化學(xué)品供應(yīng)站中間，其三面為鋼筋混凝土防爆墻(厚度300mm),靠近外側(cè)外墻為深灰色巖棉夾心金屬外墻板，頂部為單層壓型鋼板泄爆屋面。●報(bào)警閥組安裝的位置應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求，當(dāng)設(shè)計(jì)無(wú)要求時(shí)，報(bào)警閥組應(yīng)安裝在便于操作的明顯位置，距室內(nèi)地面高度宜為1.2m;兩側(cè)與墻的距離不應(yīng)小于0.5m;正面與墻的距離不應(yīng)小于1.2m;報(bào)警閥組凸出部位之間的距離不應(yīng)小于0.5m?！駡?bào)警閥組安裝應(yīng)在供水管網(wǎng)試壓、沖洗合格后進(jìn)行?！癜惭b時(shí)應(yīng)先安裝水源控制閥、報(bào)警閥，然后進(jìn)行報(bào)警閥輔助管道的連接。●水源控制閥、報(bào)警閥與配水干管的連接，應(yīng)使水流方向一致。中建四局