江蘇省地方計(jì)量技術(shù)規(guī)范CalibrationSpecificationforQuickVideoMeasuringMachines2025-09-22發(fā)布江蘇省市場(chǎng)監(jiān)督管理局發(fā)布JJF（蘇）295－2025閃測(cè)影像測(cè)量儀校準(zhǔn)規(guī)范CalibrationSpecificationforQuickVideoMeasuringMachinesI本規(guī)范經(jīng)江蘇省市場(chǎng)監(jiān)督管理局于2025年09月22日批準(zhǔn)，并自2026年主要起草單位：南京市計(jì)量監(jiān)督檢測(cè)院參加起草單位：蘇州天準(zhǔn)科技股份有限公司JJF（蘇）295－2025本規(guī)范主要起草人：魯凱（南京市計(jì)量監(jiān)督檢測(cè)院）唐小聰（南京市計(jì)量監(jiān)督檢測(cè)院）秦潔（江蘇省計(jì)量科學(xué)研究院）王云祥（蘇州市計(jì)量測(cè)試院）參加起草人：錢崢（南京市計(jì)量監(jiān)督檢測(cè)院）王志偉（蘇州天準(zhǔn)科技股份有限公司）劉亞?。ㄒ伺d市計(jì)量檢定測(cè)試所）JJF（蘇）295－2025I JJF（蘇）295－2025JJF（蘇）295－2025閃測(cè)影像測(cè)量儀校準(zhǔn)規(guī)范GB/T24762-2009產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范(GPS)影像圖1閃測(cè)影像測(cè)量儀示意圖1-圖像傳感器；2-遠(yuǎn)心鏡頭；3-光源；4-工作臺(tái)4.1尺寸測(cè)量一致性JJF（蘇）295－202524.2尺寸測(cè)量誤差4.3景深內(nèi)各截面測(cè)量一致性4.4變倍探測(cè)誤差(a)校準(zhǔn)室環(huán)境溫度20±3）℃;(c)校準(zhǔn)室內(nèi)無影響測(cè)量的振動(dòng)、光噪5.2校準(zhǔn)用標(biāo)準(zhǔn)器表1校準(zhǔn)項(xiàng)目及校準(zhǔn)用標(biāo)準(zhǔn)器序號(hào)校準(zhǔn)項(xiàng)目校準(zhǔn)用標(biāo)準(zhǔn)器1尺寸測(cè)量一致性標(biāo)稱直徑(3~20)mm，圓度優(yōu)于3μm的圓形靶標(biāo)2尺寸測(cè)量誤差二維掩膜板或玻璃線紋尺，不確定度不大于3景深內(nèi)各截面測(cè)量一致性標(biāo)稱直徑(3~20)mm，圓度優(yōu)于3μm的圓形靶標(biāo)4變倍探測(cè)誤差標(biāo)稱直徑(3~20)mm，圓度優(yōu)于3μm的圓形靶標(biāo)注：允許使用滿足不確定度要求的其他標(biāo)準(zhǔn)器開展校準(zhǔn)工作。6校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法分別在廣角模式和高精度模式下進(jìn)行校準(zhǔn)。按照?qǐng)D2所示在視場(chǎng)內(nèi)同一高度選擇均勻分布的5個(gè)測(cè)量位置，選取尺寸合適的圓形靶標(biāo)，靶標(biāo)尺寸應(yīng)保證在最小放大倍率時(shí)JJF（蘇）295－2025測(cè)得各測(cè)量位置處的圓直徑為Di，以Dma圖2視場(chǎng)測(cè)量位置分布示意圖6.2尺寸測(cè)量誤差大致相等。3次測(cè)得值的平均值與標(biāo)準(zhǔn)器上實(shí)際值的差值為尺寸示值誤差，取尺寸示值紋間隔進(jìn)行測(cè)量。3次測(cè)得值的平均值與標(biāo)準(zhǔn)器實(shí)際值的差值為尺寸示值誤差，取尺寸注：1、可根據(jù)用戶需要選擇其他位置作為測(cè)量位置；2、3次測(cè)量結(jié)果的極差值應(yīng)不大于MPEV。6.3景深內(nèi)各截面測(cè)量一致性意位置，在閃測(cè)儀景深范圍內(nèi)選擇大致均勻分布的3~5個(gè)測(cè)量截面，選擇尺寸適當(dāng)?shù)膲|JJF（蘇）295－20254像。將圓形靶標(biāo)放置于工作臺(tái)面，切換不同放大倍率β(βmin~βmax分別測(cè)量圓形靶標(biāo)Δβ=dimax-dimin7校準(zhǔn)結(jié)果表達(dá)JJF（蘇）295－2025閃測(cè)影像測(cè)量儀尺寸測(cè)量誤差測(cè)量結(jié)果的不確定度評(píng)定示例A1.高精度模式尺寸測(cè)量誤差測(cè)量結(jié)果的不確閃測(cè)影像測(cè)量儀的高精度模式尺寸測(cè)量誤差是通過直接測(cè)量玻璃線紋尺的尺寸間隔，并與標(biāo)準(zhǔn)值比較而獲得。下面以使用玻璃線紋尺校準(zhǔn)100mm測(cè)量點(diǎn)的示值誤差為e=L-lL——儀器示值；l——對(duì)應(yīng)玻璃線紋尺的刻線標(biāo)準(zhǔn)值。u(e)=u2(L)+u2(l)表A.1標(biāo)準(zhǔn)不確定度一覽表序號(hào)不確定度來源說明1玻璃線紋尺U=0.20μm+1.5×10-6L(k=3)2分辨力儀器顯示分辨力0.1μm取兩者中較大者測(cè)量重復(fù)性重復(fù)性條件下10次測(cè)量，由于瞄準(zhǔn)刻線等因素引起的測(cè)量結(jié)果分散性3線膨脹系數(shù)玻璃線紋尺和閃測(cè)儀光柵尺的線膨脹系數(shù)差及線膨脹系數(shù)的不確定度對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響4溫度玻璃線紋尺和閃測(cè)儀光柵尺的溫度差、環(huán)境溫度與標(biāo)準(zhǔn)溫度20℃的溫差對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響JJF（蘇）295－20256A1.5.1.玻璃線紋尺引入的不確定度分量u1A1.5.2.分辨力引入的不確定度分量u21A1.5.3.測(cè)量重復(fù)性引入的不確定度分量u22對(duì)玻璃線紋尺的100mm尺寸間隔進(jìn)行10次測(cè)量，測(cè)得值依次為99.9995mm、因此，取u2=u22=0.22μmA1.5.4.閃測(cè)儀光柵尺與玻璃線紋尺線膨脹系數(shù)差引入的不確定度分量u3玻璃線紋尺與光柵尺的線膨脹系數(shù)差的界限按±1×10-6℃-1)/當(dāng)L=100mm時(shí)，u3=0.1JJF（蘇）295－2025A1.5.5.溫度誤差引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量u4經(jīng)過充分等溫后，玻璃線紋尺和閃測(cè)儀的光柵尺的溫度差估計(jì)落在(-0.5~+0.5)℃范-6℃-1)/包含因子k=2，則擴(kuò)展不確定度為：A2.廣角模式尺寸測(cè)量誤差測(cè)量結(jié)果的不確并與標(biāo)準(zhǔn)值比較而獲得。下面以使用二維掩膜板校準(zhǔn)200mm測(cè)量點(diǎn)的示值誤差為例，e=L-lL——儀器示值；l——對(duì)應(yīng)二維掩膜板的標(biāo)準(zhǔn)值。u(e)=u2(L)+u2(l)JJF（蘇）295－20258表A.2標(biāo)準(zhǔn)不確定度一覽表序號(hào)不確定度來源說明1二維掩膜板U=0.5μm(k=2)2分辨力儀器顯示分辨力0.1μm取兩者中較大者測(cè)量重復(fù)性重復(fù)性條件下10次測(cè)量，由于瞄準(zhǔn)刻線等因素引起的測(cè)量結(jié)果分散性3線膨脹系數(shù)二維掩膜板和閃測(cè)儀光柵尺的線膨脹系數(shù)差及線膨脹系數(shù)的不確定度對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響4溫度二維掩膜板和閃測(cè)儀光柵尺的溫度差、環(huán)境溫度與標(biāo)準(zhǔn)溫度20℃的溫差對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響A2.5.1.二維掩膜板引入的不確定度分量u1A2.5.2.分辨力引入的不確定度分量u21A2.5.3.測(cè)量重復(fù)性引入的不確定度分量u22對(duì)二維掩膜板的200mm尺寸間隔進(jìn)行10次測(cè)量，測(cè)得值依次為200.0012mm、200.0008mm、199.9989mm、200.0007mm，采用貝塞爾公式計(jì)算實(shí)驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)偏差得到u22=s/=0.45μm因此，取u2=u22=0.45μmA2.5.4.閃測(cè)儀光柵尺與二維掩膜板線膨脹系數(shù)差引入的不確定度分量u3二維掩膜板與光柵尺的線膨脹系數(shù)差的界限按±1×10JJF（蘇）295－2025-