真空鍍膜操作實體規(guī)程一、總則本規(guī)程旨在規(guī)范真空鍍膜作業(yè)的全過程，確保操作安全、產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定及設備的正常運行。凡參與真空鍍膜設備操作及相關管理的人員，均須嚴格遵守本規(guī)程。本規(guī)程適用于本單位內(nèi)所有真空鍍膜設備的日常生產(chǎn)操作。特殊工藝或?qū)嶒炐圆僮鳎襞c本規(guī)程有出入，應制定專項方案并經(jīng)審批后執(zhí)行，但安全基本原則不得違背。操作人員必須經(jīng)過專業(yè)培訓，熟悉所操作設備的結(jié)構、性能、工作原理及相關工藝知識，考核合格后方可獨立上崗。嚴禁無證操作或非本崗人員擅自操作設備。操作過程中，應嚴格執(zhí)行工藝文件規(guī)定，認真做好各項記錄，確保數(shù)據(jù)真實、準確、完整。二、設備與環(huán)境準備2.1設備檢查每日開機前，應對設備進行全面檢查：*電源、水源、氣源連接是否正常，有無松動、破損或泄漏現(xiàn)象。*真空室門密封是否完好，密封圈有無老化、變形或異物附著。*靶材（若為濺射鍍膜）安裝是否牢固，消耗情況是否在允許范圍內(nèi)，靶面是否清潔。*基片架（工件架）是否穩(wěn)固，轉(zhuǎn)動是否順暢，有無異響。*各控制按鈕、儀表、指示燈是否正常。*真空泵油位是否在規(guī)定刻度，油質(zhì)是否清澈，無乳化、變質(zhì)現(xiàn)象。2.2環(huán)境要求鍍膜車間應保持清潔、干燥、無塵。*環(huán)境溫度宜控制在15-30℃，相對濕度不高于70%。*操作區(qū)域內(nèi)禁止存放易燃易爆、腐蝕性物品及與生產(chǎn)無關的雜物。*保持良好通風，必要時開啟局部排風裝置。*工作臺面應平整、潔凈，避免振動。2.3工藝材料準備根據(jù)生產(chǎn)任務單，準備合格的基片、靶材、蒸發(fā)料、氣體（如氬氣、氮氣、氧氣等）及清洗用溶劑。*基片表面應符合工藝要求，無油污、銹跡、劃痕及其他雜質(zhì)。*靶材、蒸發(fā)料的純度、尺寸應符合規(guī)定，并妥善保管，防止污染。*氣瓶應固定放置，標識清晰，壓力正常，連接管路無泄漏。三、操作流程3.1基片預處理基片在裝爐前必須經(jīng)過嚴格的清洗與干燥處理：*根據(jù)基片材質(zhì)及污染程度，選擇合適的清洗方法（如溶劑擦拭、超聲清洗、化學清洗等）。*清洗過程中，操作人員應佩戴相應的防護用品（如耐酸堿手套、護目鏡）。*清洗后的基片應經(jīng)過充分干燥，可采用熱風吹干、烘箱烘干或自然晾干（需在潔凈環(huán)境中），確保無殘留水分或溶劑。3.2裝片與工件架安裝將預處理合格的基片牢固安裝在工件架上，確?；阱兡み^程中不發(fā)生位移、碰撞或脫落。*裝片時應輕拿輕放，避免手指直接接觸基片鍍膜表面，必要時佩戴潔凈手套或指套。*根據(jù)工藝要求，調(diào)整工件架的轉(zhuǎn)速、角度等參數(shù)。*確認裝片無誤后，關閉真空室門，確保密封良好。3.3抽真空系統(tǒng)操作啟動真空系統(tǒng)，按規(guī)定程序進行抽氣：*首先開啟機械泵（前級泵），打開相應閥門對真空室進行預抽。注意觀察機械泵運行是否正常，有無異常噪音或過熱。*當真空度達到規(guī)定的前級真空度后，按設備操作規(guī)程切換或啟動擴散泵（或分子泵等主泵）。啟動擴散泵前需確認冷卻水已正常供應，加熱燈絲工作正常。*在抽真空過程中，密切關注真空計指示，記錄真空度變化情況。若發(fā)現(xiàn)真空度抽不上去或下降過快，應立即停止抽氣，檢查泄漏原因并排除。3.4烘烤與除氣（如工藝要求）對于有烘烤除氣要求的工藝：*在達到一定真空度后，方可啟動烘烤裝置。*嚴格按照工藝規(guī)定的升溫速率、烘烤溫度及保溫時間進行操作。*烘烤過程中，真空室內(nèi)壓力可能會因材料放氣而有所上升，屬正常現(xiàn)象，待烘烤結(jié)束溫度下降后，真空度會再次提升。*烘烤結(jié)束后，應待工件溫度降至工藝允許范圍，方可進行下一步操作。3.5鍍膜過程控制當真空度達到鍍膜工藝要求后，開始進行鍍膜操作：*濺射鍍膜：*打開工作氣體（如氬氣）閥門，調(diào)節(jié)流量至工藝設定值，使真空室內(nèi)維持一定的工作氣壓。*按照設備操作規(guī)程，依次施加靶材偏壓、開啟濺射電源，緩慢調(diào)節(jié)功率至工藝規(guī)定值。*注意觀察靶材起輝是否正常，有無異常電弧或濺射現(xiàn)象。*根據(jù)膜層厚度要求及沉積速率，控制鍍膜時間?？赏ㄟ^膜厚監(jiān)控儀進行實時監(jiān)測與控制。*蒸發(fā)鍍膜：*根據(jù)蒸發(fā)源類型（電阻加熱、電子束等），按照設備操作規(guī)程啟動蒸發(fā)源。*緩慢提升蒸發(fā)功率，對蒸發(fā)材料進行預熱除氣（若需），待蒸發(fā)材料穩(wěn)定后，升至正常蒸發(fā)功率。*注意觀察蒸發(fā)過程是否平穩(wěn)，有無飛濺。*同樣根據(jù)膜厚要求控制蒸發(fā)時間，或通過膜厚監(jiān)控儀控制。*鍍膜過程中，應密切監(jiān)控設備各部分運行狀態(tài)，如真空度、溫度、氣體流量、電源參數(shù)等，如有異常應及時處理，必要時中止鍍膜。3.6鍍膜結(jié)束與降溫鍍膜達到規(guī)定時間后：*逐步降低并關閉濺射功率或蒸發(fā)功率，關閉相應電源。*若有需要，可先關閉工作氣體閥門，繼續(xù)抽真空一段時間，以改善膜層性能。*對于需要冷卻的蒸發(fā)源或靶材，應待其充分冷卻后再進行后續(xù)操作。3.7充氣與取片確認鍍膜過程完全結(jié)束，且相關部件已冷卻：*關閉主真空泵（如擴散泵需先關閉加熱，待充分冷卻后再停泵）。*按照設備操作規(guī)程，緩慢向真空室內(nèi)充入干燥的惰性氣體（如氮氣）或潔凈空氣，直至真空室內(nèi)外壓力平衡。*打開真空室門，小心取出鍍好膜的工件。*檢查膜層外觀質(zhì)量，如有異常及時記錄并反饋。四、質(zhì)量控制與檢驗膜層質(zhì)量檢驗應包括但不限于以下項目：外觀（色澤、均勻性、有無針孔、鼓泡、劃痕等）、厚度、附著力、光學性能（如透光率、反射率）、電學性能（如電阻率、方塊電阻）等，具體按相關產(chǎn)品標準或工藝文件執(zhí)行。操作人員應對每批次產(chǎn)品的首件進行自檢，并配合質(zhì)檢人員進行抽檢或全檢。檢驗結(jié)果應詳細記錄。對于不合格品，應按規(guī)定程序進行標識、隔離、分析原因，并采取糾正措施。五、安全注意事項5.1通用安全操作人員必須穿戴好相應的勞動防護用品，如工作服、防護眼鏡、耐高溫手套等。嚴禁在設備運行期間打開真空室門或觸及運動部件及高溫部件。設備運行中如發(fā)生異常聲響、異味、煙霧等緊急情況，應立即停機，并切斷總電源，報告相關負責人，待故障排除后方可重新啟動。保持操作現(xiàn)場通道暢通，消防器材完好有效，并熟知其位置和使用方法。5.2電氣安全設備接地必須良好可靠，定期檢查接地電阻。操作高壓設備時，應嚴格遵守高壓安全操作規(guī)程，防止觸電。禁止?jié)袷植僮麟姎忾_關。5.3真空安全真空室在未完全卸壓前，嚴禁強行開啟。真空泵油具有一定的毒性和易燃性，應避免皮膚直接接觸，若不慎接觸應立即用肥皂水清洗。廢棄泵油按危險品處理。擴散泵工作時，其泵體溫度很高，嚴禁觸摸，以防燙傷。5.4化學品安全使用各類氣瓶時，應遵守氣瓶安全管理規(guī)定，直立固定放置，遠離火源，避免陽光直射。接觸化學清洗劑、靶材、蒸發(fā)料等材料時，應了解其安全特性，采取相應的防護措施，避免中毒或化學灼傷。5.5輻射安全（如涉及）對于使用電子束蒸發(fā)或離子源等可能產(chǎn)生X射線或其他輻射的設備，操作人員必須經(jīng)過專項輻射安全培訓，設備應具備有效的屏蔽措施，并按規(guī)定進行輻射劑量監(jiān)測。六、設備維護與保養(yǎng)操作人員應負責設備的日常維護保養(yǎng)工作：*保持設備內(nèi)外清潔，無油污、粉塵。*定期檢查各連接管路、閥門有無泄漏，緊固件有無松動。*根據(jù)設備說明書要求，定期更換真空泵油、過濾器濾芯等耗材。更換泵油時，應將舊油徹底放凈，并清洗泵腔。*定期檢查密封圈的完好性，發(fā)現(xiàn)老化、破損應及時更