《真空技術真空計皮拉尼真空計的規(guī)范、校準和測量不確定度》

編制說明

（征求意見稿）

一、工作簡況

1任務來源制定

本項目是根據國標委國家標準制修訂計劃（國標委發(fā)[2023]58號文），計劃編號20231654-T-604，項目

名稱《真空技術真空計皮拉尼真空計的規(guī)范、校準和測量不確定度》進行制定。主要起草單位為蘭州空間

技術物理研究所，計劃應完成時間為2025年。

2主要工作過程

起草（草案、論證）階段：2023年12月5日，蘭州空間技術物理研究所收到計劃批復文件。作為標準

制定的組織單位及主要起草單位，為了高質量、按時完成本次國家標準的編制起草工作，組織成立《真空技

術真空計皮拉尼真空計的規(guī)范、校準和測量不確定度》起草工作組，確定草案的工作方案，負責草案的編

寫和進度控制。該項目等同轉化ISO19685《VacuumtechnologyVacuumgaugesSpecifications,calibration

andmeasurementuncertaintiesforPiranigauges》，工作組廣泛調研了皮拉尼真空計的相關標準及文獻，并對業(yè)

內的皮拉尼計產品做了調研、分析，確定了本標準的主框架、完成了標準草案初稿。隨后，工作組組織了標

準審查會對標準草案和編制說明進行了詳細的審查，對必須注意的事項作了深入討論與研究，提出了修改意

見，對草案初稿作了進一步的補充完善，形成標準征求意見稿，于2024年2月6日報至秘書處。

征求意見階段：經標委會秘書處審核，于2024年3月1日由工作組牽頭負責通過網站宣傳、雜志登載、

微信公眾號登載等方式公開征求意見。

3主要參加單位和工作組成員及其所做的工作等

二、標準編制原則和主要內容

1.標準編制原則

本標準的制定符合產業(yè)發(fā)展的原則，本著先進性、科學性、合理性和可操作性的原則，以及標準的目

標性、統(tǒng)一性、協調性、適用性、一致性和規(guī)范性原則來進行本標準的制定工作，且與技術創(chuàng)新、試驗驗證、

產業(yè)推進、應用推廣相結合，統(tǒng)籌推進。

本標準起草過程中，主要參照GB/T1.1-2020《標準化工作導則第1部分：標準化文件的結構和起草

規(guī)則》和GB/T1.2-2020《標準化工作導則第2部分：以ISO/IEC標準化文件為基礎的標準化文件起草規(guī)

則》的要求進行編寫。在標準轉化過程中，綜合考慮生產企業(yè)的能力和用戶的利益，尋求最大的經濟、社會

效益，充分體現了標準在技術上的先進性和技術上的合理性。

2.標準主要內容

1

本標準是等同采用ISO19685《VacuumtechnologyVacuumgaugesSpecifications,calibrationand

measurementuncertaintiesforPiranigauges》

本文件給出了皮拉尼真空計的參數，描述了其校準步驟，規(guī)定了使用這些真空計時要考慮的測量不確定

度。本文件適用于工作壓力范圍為0.01Pa~150kPa的皮拉尼真空計。另外，本文件描述了皮拉尼真空計響

應時間和遲滯的表征方法。

當對皮拉尼真空計進行校準并將其用作參考標準時，本文件是對GB/T34873《真空計與標準真空計直

接比較校準》和GBT34876-2017/ISO27893：2011《真空技術真空計與標準真空計直接比較校準結果的不

確定度評定》的補充。

3、解決的主要問題

本標準的制定，填補了國內皮拉尼真空計標準的空白。規(guī)范了皮拉尼真空計的性能參數，描述了皮拉尼

真空計原理，規(guī)定了校準程序和要求，描述了遲滯、響應時間、不確定度等參數的測量方法，有效避免測量

范圍、不確定度限值、分辨率、傳感器材料、烘烤溫度等參數對皮拉尼真空計精確測量和校準產生較大影響，

可確保產品的安全性、可靠性和穩(wěn)定應用性。本標準的發(fā)布實施，有利于生產廠家按照標準化程序，生產、

使用、檢測、校準皮拉尼真空計；用戶能夠比較不同制造商的設備并正確使用皮拉尼真空計；同時也為計量

機構的校準及使用單位的實際使用提供技術支撐，對規(guī)范市場、指導生產、提高產品的技術性能，提高皮拉

尼真空計的全生命周期內的可靠性，實現皮拉尼真空計量值的準確傳遞與統(tǒng)一，更好地滿足市場和使用需要，

對提升我國皮拉尼真空計的技術水平具有十分重要的作用。

三、主要試驗（或驗證）情況

本標準是基礎標準，采用真空規(guī)比對裝置對皮拉尼真空計進行全量程范圍內的校準試驗，完成對標準的

驗證。

四、標準中涉及專利的情況

本標準不涉及專利問題。

五、預期達到的社會效益、對產業(yè)發(fā)展的作用等情況

皮拉尼真空計主要用于真空系統(tǒng)中中、低真空度的測量，不僅用作真空中的泄漏檢測和殘余氣體分析，

還可用作在工藝和控制過程中提供定量分析的儀器。如，在光伏、鍍膜、等離子行業(yè)用于測量各種高真空泵

的前級壓力；在照明、冶金行業(yè)測量低真空泵度；用于高真空計的點火開關控制，實現真空連鎖控制；在真

空爐、單晶爐、多晶爐和藍寶石爐上用作真空測量裝置等。因此皮拉尼真空計的參數規(guī)范、精確測量、可溯

源性以及校準要求都對應用領域的研發(fā)、設計、生產制造等環(huán)節(jié)，起到至關重要的作用，可直接影響應用領

域的技術發(fā)展和產品質量。本標準的發(fā)布實施不僅能規(guī)范皮拉尼真空計的性能要求，為設計、制造、校準和

應用提供指導和技術依據，規(guī)范熱陰極電離真空計產業(yè)的有序發(fā)展，實現皮拉尼真空計產業(yè)結構調整與優(yōu)化

升級，從而提高整個行業(yè)質量，有效確保皮拉尼電離計在應用產業(yè)開展高可靠性、高穩(wěn)定性的真空測量。亦

2

能通過規(guī)范我國皮拉尼真空計的性能參數和測量規(guī)則，實現國內外皮拉尼真空計以及應用領域的技術比對，

為使用者在綜合考慮國內外產品性能時，提供指導依據。

六、與國際、國外對比情況

本標準等同采用ISO19685：2017。

本標準的技術內容與國際標準一致。

本標準制定過程中未測試國外的樣品、樣機。

本標準水平為國際先進水平。

七、在標準體系中的位置，與現行相關法律、法規(guī)、規(guī)章及相關標準，特別是強制性標準的協調性

本專業(yè)領域的標準體系框架見附件《真空技術領域標準體系框圖》。

本標準屬于真空技術標準體系“真空計及規(guī)管”小類。

本標準與現行相關法律、法規(guī)、規(guī)章及相關標準協調一致。在描述或校準皮拉尼真空計時，或將其用作

參考真空計時，本標準是對GB/T34873《真空計與標準真空計直接比較校準》和GBT34876-2017/ISO27893：

2011《真空技術真空計與標準真空計直接比較校準結果的不確定度評定》的補充。。

八、重大分歧意見的處理經過和依據

無。

九、標準性質的建議說明

建議本標準的性質為推薦性國家標準。

十、貫徹標準的要求和措施建議

建議本標準批準發(fā)布時即實施。

以標委會為主體，利用會議進行宣貫講解；邀請標準起草人講解標準內容；撰寫標準解讀文章，在專業(yè)

雜志或網站或微信公眾號上進行宣貫。

十一、廢止現行相關標準的建議

無。

十二、其他應予說明的事項

無。

3

《真空技術真空計皮拉尼真空計的規(guī)范、校準和測量不確定度》

編制說明

（征求意見稿）

一、工作簡況

1任務來源制定

本項目是根據國標委國家標準制修訂計劃（國標委發(fā)[2023]58號文），計劃編號20231654-T-604，項目

名稱《真空技術真空計皮拉尼真空計的規(guī)范、校準和測量不確定度》進行制定。主要起草單位為蘭州空間

技術物理研究所，計劃應完成時間為2025年。

2主要工作過程

起草（草案、論證）階段：2023年12月5日，蘭州空間技術物理研究所收到計劃批復文件。作為標準

制定的組織單位及主要起草單位，為了高質量、按時完成本次國家標準的編制起草工作，組織成立《真空技

術真空計皮拉尼真空計的規(guī)范、校準和測量不確定度》起草工作組，確定草案的工作方案，負責草案的編

寫和進度控制。該項目等同轉化ISO19685《VacuumtechnologyVacuumgaugesSpecifications,calibration

andmeasurementuncertaintiesforPiranigauges》，工作組廣泛調研了皮拉尼真空計的相關標準及文獻，并對業(yè)

內的皮拉尼計產品做了調研、分析，確定了本標準的主框架、完成了標準草案初稿。隨后，工作組組織了標

準審查會對標準草案和編制說明進行了詳細的審查，對必須注意的事項作了深入討論與研究，提出了修改意

見，對草案初稿作了進一步的補充完善，形成標準征求意見稿，于2024年2月6日報至秘書處。

征求意見階段：經標委會秘書處審核，于2024年3月1日由工作組牽頭負責通過網站宣傳、雜志登載、

微信公眾號登載等方式公開征求意見。

3主要參加單位和工作組成員及其所做的工作等

二、標準編制原則和主要內容

1.標準編制原則

本標準的制定符合產業(yè)發(fā)展的原則，本著先進性、科學性、合理性和可操作性的原則，以及標準的目

標性、統(tǒng)一性、協調性、適用性、一致性和規(guī)范性原則來進行本標準的制定工作，且與技術創(chuàng)新、試驗驗證、

產業(yè)推進、應用推廣相結合，統(tǒng)籌推進。

本標準起草過程中，主要參照GB/T1.1-2020《標準化工作導則第1部分：標準化文件的結構和起草

規(guī)則》和GB/T1.2-2020《標準化工作導則第2部分：以ISO/IEC標準化文件為基礎的標準化文件起草規(guī)

則》的要求進行編寫。在標準轉化過程中，綜合考慮生產企業(yè)的能力和用戶的利益，尋求最大的經濟、社會

效益，充分體現了標準在技術上的先進性和技術上的合理性。

2.標準主要內容

1

本標準是等同采用ISO19685《VacuumtechnologyVacuumgaugesSpecifications,calibrationand

measurementuncertaintiesforPiranigauges》

本文件給出了皮拉尼真空計的參數，描述了其校準步驟，規(guī)定了使用這些真空計時要考慮的測量不確定

度。本文件適用于工作壓力范圍為0.01Pa~150kPa的皮拉尼真空計。另外，本文件描述了皮拉尼真空計響

應時間和遲滯的表征方法。

當對皮拉尼真空計進行校準并將其用作參考標準時，本文件是對GB/T34873《真空計與標準真空計直

接比較校準》和GBT34876-2017/ISO27893：2011《真空技術真空計與標準真空計直接比較校準結果的不

確定度評定》的補充。

3、解決的主要問題

本標準的制定，填補了國內皮拉尼真空計標準的空白。規(guī)范了皮拉尼真空計的性能參數，描述了皮拉尼

真空計原理，規(guī)定了校準程序和要求，描述了遲滯、響應時間、不確定度等參數的測量方法，有效避免測量

范圍、不確定度限值、分辨率、傳感器材料、烘烤溫度等參數對皮拉尼真空計精確測量和校準產生較大影響，

可確保產品的安全性、可靠性和穩(wěn)定應用性。本標準的發(fā)布實施，有利于生產廠家按照標準化程序，生產、

使用、檢測、校準皮拉尼真空計；用戶能夠比較不同制造商的設備并正確使用皮拉尼真空計；同時也為計量

機構的校準及使用單位的實際使用提供技術支撐，對規(guī)范市場、指導生產、提