Phaseshiftflat 本標準適用于檢驗直徑≤150mm的光學平面的面形偏差和平面平晶平面度的平面相移干涉儀（以GB/T191GB/T2828.1計數(shù)抽樣檢驗程序第1部分：按接收質(zhì)量限(AQL)檢索的逐批檢驗抽樣計劃（GB/TGB4208外殼防護等級（IP代碼）（GB4208-2008，IEC60529；2001，IDT）GB/T6388運輸包裝收發(fā)標志GB7247.1-20011GB/T9969工業(yè)產(chǎn)品使用說明書總則GB/T14436工業(yè)產(chǎn)品保證文件總則GB/T15464儀器儀表包裝通用技術(shù)條件GB/T25480-2010平面相移干涉儀phaseshift標準平面鏡standardtrasmission面形偏差surfaceformPVPVpeaktovalleyRMSRMSerrorofphase掩模12345PV≤1.0D電源工作電壓試驗所施加電壓（交流電源工作電壓試驗所施加電壓（直流0.1Ω。0.2Ω。儀器所用的激光器，應(yīng)符合GB7427.1-2001的2類激光產(chǎn)品的規(guī)定，且實際輸出功率不得大于商家95%4次，跌落高度按包裝件質(zhì)量選定。項24h1h被檢儀器和測量器具在室內(nèi)的平衡溫度時U（k=3）應(yīng)不超過λ/100。21級平面平晶代替。Ik(x,y)Ia(x,y)Ib(x,y)cos[(x,y)k I(x,y)I(x,y)

(x,y)

(x,y)-)]I2(x,y)Ia(x,y)Ib(x,y)cos[(x,

I3(x,y)

(x,y)

I4(x,y)Ia(x,y)Ib(x,y)cos[(x,y)(x,y)tan1I4(x,y)I2(x,y) I(x,y)I(x,y)

d(x,y)

))zR(x,y)已知，在消除標準平面鏡相對于基準平面鏡的傾斜后，z0(x,y)可按（5）C為常數(shù)，可按（6）式求取。z0(x,y)C[d(x,y)zR(x,

C1[d(x,y)

(x, n——測量點數(shù)。 PV——PV值；[z(x,y)z

RMS——標準平面鏡面形偏差的RMS值； ——所有z0(x,y)；B在上方，AB+AC在上方，AC+AC在上方，BC+BB+A組 C+A組 C+B組M1(x,y)zB(x,y)zA(x, （10) PVmax[zA(x,y)]min[zA(x, PV——PV值；[nnz(x,y)z

——所有zA(x,y)(x,y)zA(x,y)zB(x,y)d1(x, (x,(x,Δ(x,y)——B和A互檢時，在（x,y）點的殘差；d1(x,y)——BA(x,y)點的面形偏差之和；zA(x,y)——A被測面上，(x,y)點的面形偏差；n——u2

U3 Φ100mm或Φ150mm1αIj(x,y)ABcos[j(x,y)j(x,y) j(x,

N[(x,y)

檢驗應(yīng)在掩模x，y兩個方向上分別進行。L和中NPE4所示。然后接通5s35s（也可用定時開關(guān)12mA1.5KΩ500VA。123)將測試電流調(diào)至25A，按下測試儀“啟動”按鈕，兩秒鐘后，讀取接地電阻數(shù)值。123GB/T2828.1中的一般檢查水平Ⅰ、正常檢驗一次抽樣方案，或