ICS13.030.50

CCSZ05

3402

蕪湖市地方標(biāo)準(zhǔn)

DB3402/T90—2024

含氟中水回用處理技術(shù)規(guī)程

Technicalcodeofpracticeforthereuseandtreatmentoffluorine-containing

wastewater

2024-12-16發(fā)布2025-01-01實(shí)施

蕪湖市市場(chǎng)監(jiān)督管理局發(fā)布

DB3402/T90—2024

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第1部分：標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)定

起草。

請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專(zhuān)利。本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別專(zhuān)利的責(zé)任。

本文件由蕪湖長(zhǎng)信科技股份有限公司提出。

本文件由蕪湖市工業(yè)和信息化局歸口。

本文件起草單位：蕪湖長(zhǎng)信科技股份有限公司、蕪湖市標(biāo)準(zhǔn)化研究院、蕪湖長(zhǎng)信新型顯示器件有限

公司、重慶永信科技有限公司。

本文件主要起草人：鄭建軍、王偉、邵家滿、徐嬌、殷旬旬、王燦、王雨晨、李偉、高坤旭。

I

DB3402/T90—2024

含氟中水回用處理技術(shù)規(guī)程

1范圍

本文件規(guī)定了含氟中水回用處理一般要求、回用處理、再生水水質(zhì)、水質(zhì)監(jiān)測(cè)。

本文件適用于半導(dǎo)體玻璃面板行業(yè)通過(guò)氫氟酸蝕刻減薄工藝產(chǎn)生的含氟中水的回收利用。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過(guò)文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，

僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本

文件。

GB18599一般工業(yè)固體廢物貯存和填埋污染控制標(biāo)準(zhǔn)

GB/T19923城市污水再生利用工業(yè)用水水質(zhì)

GB39731電子工業(yè)水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)

DB34/4294半導(dǎo)體行業(yè)水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)

3術(shù)語(yǔ)和定義

下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件。

3.1

含氟中水fluorine-containingwastewater

半導(dǎo)體玻璃面板行業(yè)通過(guò)氫氟酸蝕刻減薄工藝產(chǎn)生的經(jīng)除氟處理后達(dá)到接管排放要求的污水。

3.2

再生水recycledwater

城市污水經(jīng)適當(dāng)再生工藝處理后，達(dá)到一定水質(zhì)要求，滿足某種使用功能要求，可以進(jìn)行有益使用

的水。

[來(lái)源：GB/T19923—2024，3.2]

4基本要求

4.1含氟中水水質(zhì)

含氟中水水質(zhì)應(yīng)滿足表1要求。

表1含氟中水水質(zhì)

項(xiàng)目要求

化學(xué)需氧量/（mg/L）≤80

氨氮/（mg/L）≤5

懸浮物/（mg/L）≤250

氟化物/（mg/L）≤20

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4.2表1含氟中水水質(zhì)（續(xù)）

項(xiàng)目要求

pH值6.0～9.0

注：未約定項(xiàng)排放應(yīng)符合GB39731的要求。

4.3回用率

回用率應(yīng)不低于70%。

4.4未被回用水水質(zhì)

未被回用的含氟中水水質(zhì)應(yīng)不低于DB34/4294的要求。

5回用處理

5.1處理流程

含氟中水回用處理流程見(jiàn)圖1。

圖1含氟中水回用處理流程圖

5.2除氟

宜采用吸附法除氟，向含氟中水中添加鋁鐵硅復(fù)合鹽除氟劑，采用機(jī)械攪拌使除氟反應(yīng)充分完成，

pH控制在6.5～7.5，時(shí)間不少于20min。

5.3除硬度

5.3.1宜采用化學(xué)沉淀法除硬度，軟化劑選擇液堿、純堿。

5.3.2向除氟后的水中先添加液堿，采用機(jī)械攪拌使反應(yīng)充分完成，攪拌時(shí)間（10～20）min，去除水

中的硅離子、鎂離子，pH宜控制在10～11。

5.3.3再添加純堿去除水中的鈣離子，攪拌時(shí)間（10～20）min，pH宜控制在11～11.8。

5.4混凝沉淀

5.4.1混凝劑宜選擇聚合氯化鋁，絮凝劑宜選擇聚丙烯酰胺。

5.4.2經(jīng)軟化后的含氟中水先添加聚合氯化鋁充分混凝，再加入聚丙烯酰胺充分絮凝后，完成混凝沉

2

DB3402/T90—2024

淀。

5.4.3混凝沉淀后的含氟中水進(jìn)入除鹽階段，混凝沉淀物進(jìn)入壓濾階段。

5.5除鹽

5.5.1宜使用超濾法和反滲透法進(jìn)行除鹽。

5.5.2向混凝沉淀后的含氟中水添加硫酸，將含氟中水的pH值回調(diào)至7～8。

5.5.3將回調(diào)后的含氟中水送至超濾系統(tǒng)，過(guò)濾精度不大于0.05μm。

5.5.4除去懸浮固體及膠體后的含氟中水進(jìn)入反滲透系統(tǒng)，過(guò)濾脫鹽產(chǎn)生再生水。

5.6壓濾

5.6.1對(duì)混凝沉淀物進(jìn)行壓濾，污泥應(yīng)按GB18599的規(guī)定進(jìn)行處置。

5.6.2壓濾產(chǎn)生的濾液應(yīng)重新回流進(jìn)行除氟處理。

6再生水水質(zhì)

再生水水質(zhì)指標(biāo)應(yīng)符合GB/T19923的間冷開(kāi)式循環(huán)冷卻水補(bǔ)水