ICS31.030

CCSL90

中華人民共和國國家標準

GB/T46697—2025

電子級八甲基環(huán)四硅氧烷

Electronicgradeoctamethylcyclotetrasiloxane

2025?10?31發(fā)布2026?05?01實施

國家市場監(jiān)督管理總局

國家標準化管理委員會發(fā)布

GB/T46697—2025

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《標準化工作導則第1部分：標準化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的規(guī)

定起草。

請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利。本文件的發(fā)布機構(gòu)不承擔識別專利的責任。

本文件由全國半導體設(shè)備和材料標準化技術(shù)委員會（SAC/TC203）提出并歸口。

本文件起草單位：南大光電半導體材料有限公司、蘇州實驗室、中國電子技術(shù)標準化研究院、江蘇

南大光電材料股份有限公司、廣州賽西標準檢測研究院有限公司、長江存儲科技有限責任公司、浙江佳

匯新材料有限公司、中芯國際集成電路制造（北京）有限公司、上海市計量測試技術(shù)研究院、云南能投硅

材科技發(fā)展有限公司、洛陽中硅高科技有限公司、全椒南大光電材料有限公司、浙江新安化工集團股份

有限公司、寧波南大光電材料有限公司、湖北興瑞硅材料有限公司、南大光電（烏蘭察布）有限公司、

金宏氣體股份有限公司、南大光電（淄博）有限公司。

本文件主要起草人：陳德義、沈伊凡、曹可慰、茅炳榮、史澤遠、曹益寧、孫建、趙俊莎、劉立偉、馬瑞、

孫鵬、張婷、徐文濤、李春華、張健、何靖、魯錚、吳怡然、白偉、宋芳源、萬燁、高周、王榮、李加旺、江曉婷、

毛國玉、張寶帥、李俊杰、汪晨、孫麗麗、劉陽贊、王勇、陳功鋒、陸平、張鵬、李書兵、彭元兵、劉能巧、

王敏華、李雙、魏有文、劉治、陳琪、錢瑤。

Ⅰ

GB/T46697—2025

電子級八甲基環(huán)四硅氧烷

1范圍

本文件規(guī)定了半導體行業(yè)用電子級八甲基環(huán)四硅氧烷的技術(shù)要求、檢驗規(guī)則、包裝、標志、隨貨資

料、運輸、貯存及安全警告的要求，描述了對應(yīng)的檢測方法。

本文件適用于沉積氧化硅、碳氧摻雜硅、碳化硅等硅基膜的電子級八甲基環(huán)四硅氧烷，以其優(yōu)異的

絕緣性和耐高溫性在半導體領(lǐng)域用作封裝隔離層、集成電路絕緣層和介電層等。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文

件，僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于

本文件。

GB190危險貨物包裝標志

GB/T3723工業(yè)用化學產(chǎn)品采樣安全通則

GB/T6324.8有機化工產(chǎn)品試驗方法第8部分：液體產(chǎn)品水分測定卡爾?費休庫倫電量法

GB/T6680液體化工產(chǎn)品采樣通則

GB/T11446.1電子級水

GB12463危險貨物運輸包裝通用技術(shù)條件

GB15258化學品安全標簽編寫規(guī)定

GB15603危險化學品倉庫儲存通則

GB/T16483—2008化學品安全技術(shù)說明書內(nèi)容和項目順序

GB/T17519—2013化學品安全技術(shù)說明書編寫指南

GB/T25915.1潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第1部分：按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級

GB/T26793庫倫法微量水分測定儀

GB/T32566不銹鋼焊接氣瓶

GB/T37837四極桿電感耦合等離子體質(zhì)譜方法通則

SJ/T11637電子化學品電感耦合等離子體質(zhì)譜法通則

SJ/T11638電子化學品中顆粒的測試方法

3術(shù)語和定義

本文件沒有需要界定的術(shù)語和定義。

4技術(shù)要求

電子級八甲基環(huán)四硅氧