2025年高職表面工程技術(shù)（真空鍍膜技術(shù)）試題及答案

（考試時間：90分鐘滿分100分）班級______姓名______第I卷（選擇題，共30分）答題要求：本卷共10小題，每小題3分。在每小題給出的四個選項中，只有一項是符合題目要求的。1.真空鍍膜技術(shù)中，真空度的單位通常是A.帕斯卡B.毫米汞柱C.托D.以上都是2.以下哪種氣體不屬于真空鍍膜中常用的工作氣體A.氬氣B.氮氣C.氧氣D.氫氣3.電子束蒸發(fā)鍍膜時，電子束的產(chǎn)生是通過A.熱發(fā)射B.場發(fā)射C.二次電子發(fā)射D.光發(fā)射4.濺射鍍膜中，濺射粒子的能量主要取決于A.濺射氣體的壓力B.靶材的材質(zhì)C.濺射電壓D.濺射時間5.真空鍍膜設(shè)備中，用于測量真空度的儀器是A.熱偶規(guī)B.電離規(guī)C.電阻規(guī)D.以上都是6.蒸發(fā)源材料的選擇不需要考慮的因素是A.熔點B.蒸氣壓C.化學(xué)穩(wěn)定性D.顏色7.離子鍍膜過程中，離子轟擊基片的作用不包括A.清潔基片表面B.提高膜層附著力C.改變膜層結(jié)構(gòu)D.降低鍍膜速率8.多層膜的設(shè)計主要是為了A.增加膜層厚度B.提高膜層硬度C.實現(xiàn)不同功能的組合D.降低鍍膜成本9.真空鍍膜技術(shù)在以下哪個領(lǐng)域應(yīng)用較少A.光學(xué)B.電子C.食品包裝D.機械制造10.以下關(guān)于真空鍍膜技術(shù)的發(fā)展趨勢，說法錯誤的是A.向更高真空度發(fā)展B.向低溫鍍膜方向發(fā)展C.向單一功能膜發(fā)展D.向大規(guī)模工業(yè)化生產(chǎn)發(fā)展第II卷（非選擇題，共70分）二、填空題（共15分）答題要求：本大題共5小題，每空1分。請將答案填寫在題中的橫線上。1.真空鍍膜技術(shù)主要包括物理氣相沉積和________________。2.蒸發(fā)鍍膜的基本原理是將鍍膜材料加熱至________________，使其蒸發(fā)成氣態(tài)，然后沉積在基片表面形成薄膜。3.濺射鍍膜中，濺射原子的平均自由程與________________和氣體壓力有關(guān)。4.離子鍍膜過程中，離子源產(chǎn)生的離子主要是通過________________加速后轟擊基片和鍍膜材料。5.真空鍍膜設(shè)備的真空系統(tǒng)主要由真空泵、________________和真空管道組成。三、簡答題（共20分）答題要求：簡要回答問題，條理清晰，語言簡潔。1.簡述真空鍍膜技術(shù)的優(yōu)點。（8分）2.電子束蒸發(fā)鍍膜有哪些特點？（6分）3.濺射鍍膜的工藝過程包括哪些步驟？（6分）四、材料分析題（共15分）答題要求：閱讀材料，回答問題。材料：在某真空鍍膜工藝中，采用磁控濺射法在玻璃基片上鍍制一層透明導(dǎo)電薄膜。鍍膜過程中，發(fā)現(xiàn)膜層的方塊電阻較大，影響了薄膜的導(dǎo)電性能。經(jīng)過分析，發(fā)現(xiàn)濺射功率不足是導(dǎo)致問題的主要原因。1.請分析濺射功率不足對膜層導(dǎo)電性能產(chǎn)生影響的原理。（7分）2.為了提高膜層的導(dǎo)電性能，可采取哪些措施？（8分）五、綜合應(yīng)用題（共20分）答題要求：結(jié)合所學(xué)知識，解決實際問題。某企業(yè)計劃采用真空鍍膜技術(shù)在塑料外殼上鍍一層金屬膜，以提高外殼的美觀度和耐腐蝕性。請你設(shè)計一個簡單的真空鍍膜工藝流程，并說明各步驟的作用和注意事項。（20分）答案：一、選擇題1.D2.D3.A4.C5.D6.D7.D8.C9.C10.C二、填空題1.化學(xué)氣相沉積2.蒸發(fā)溫度3.氣體種類4.電場5.真空閥門三、簡答題1.優(yōu)點：可在各種形狀的基片上鍍膜；可精確控制膜層厚度和成分；膜層質(zhì)量高，附著力強；可實現(xiàn)多種功能膜的制備；鍍膜過程清潔，無污染。2.特點：蒸發(fā)速率高，可鍍制高熔點材料；膜層純度高；可實現(xiàn)多層膜的精確控制；設(shè)備復(fù)雜，成本較高。3.工藝過程：抽真空；預(yù)濺射清潔基片表面；引入濺射氣體；產(chǎn)生等離子體；濺射原子沉積在基片表面形成薄膜。四、材料分析題1.濺射功率不足會導(dǎo)致濺射原子的能量較低，沉積速率變慢，膜層結(jié)構(gòu)疏松，原子間結(jié)合力弱，從而使膜層的電導(dǎo)率降低，方塊電阻增大。2.措施：提高濺射功率；優(yōu)化濺射氣體的流量和壓力；適當(dāng)提高基片溫度；延長濺射時間；檢查濺射靶材是否損耗嚴(yán)重，如有需要及時更換。五、綜合應(yīng)用題工藝流程：塑料外殼預(yù)處理（清潔、脫脂、粗化）→裝入真空鍍膜設(shè)備→抽真空至高真空度→加熱基片→引入氬氣等工作氣體并產(chǎn)生等離子體→開啟金屬蒸發(fā)源，蒸發(fā)金屬材料沉積在塑料外殼表面→鍍膜結(jié)束后，