半導(dǎo)體廠務(wù)項(xiàng)目工程管理項(xiàng)目七氣體的分類任務(wù)7-4GMS系統(tǒng)介紹任務(wù)7-4GMS系統(tǒng)介紹【相關(guān)知識(shí)】特氣監(jiān)控及偵測系統(tǒng)（GMS、GDS）氣體監(jiān)控系統(tǒng)（GMS）主要包含特制品氣體設(shè)備監(jiān)控和氣體偵測系統(tǒng)（GDS，GasDetectorSytem）。GMS主要是對(duì)氣體設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)的實(shí)時(shí)監(jiān)控和記錄，例如輸送壓力如何，設(shè)備有無異常、警報(bào)等。同時(shí)GMS具有多種歷史查詢功能，可反饋記錄時(shí)間內(nèi)任一時(shí)段的壓力曲線、報(bào)警記錄等。GDS主要由氣體探測器、報(bào)警控制器和裝有專門軟件的計(jì)算機(jī)組成。報(bào)警控制器通過PLC聯(lián)動(dòng)控制特氣設(shè)備氣動(dòng)閥的電磁閥，并發(fā)出聲光報(bào)警。某些GDS的報(bào)警控制器還聯(lián)動(dòng)相應(yīng)的風(fēng)機(jī)，一旦特氣泄漏除了自動(dòng)關(guān)閉特氣設(shè)備供氣閥門外，還能啟動(dòng)該房間的強(qiáng)制排風(fēng)。任務(wù)7-4GMS系統(tǒng)介紹【相關(guān)知識(shí)】特氣監(jiān)控及偵測系統(tǒng)（GMS、GDS）GMS及GDS系統(tǒng)一般設(shè)置一級(jí)報(bào)警和二級(jí)報(bào)警兩個(gè)級(jí)別，對(duì)應(yīng)黃色和紅色聲光警報(bào)。GMS系統(tǒng)中警報(bào)的設(shè)定值一般是根據(jù)工藝要求的特氣輸送壓力來設(shè)定的。GDS的警報(bào)值是根據(jù)該特氣的TLV值來設(shè)定的。一般GDS系統(tǒng)一級(jí)警報(bào)的設(shè)定值為該特氣的TLV值的一半，二級(jí)警報(bào)的設(shè)定值為該特氣的TLV值。GMS系統(tǒng)的搭建任務(wù)7-4GMS系統(tǒng)介紹【任務(wù)實(shí)施】GMS系統(tǒng)的搭建半導(dǎo)體廠GMS系統(tǒng)的組成部分包括硬件部分（如PLC、現(xiàn)場偵測器儀表、聲光報(bào)警器、緊急切斷按鈕等）、軟件部分（如監(jiān)控軟件、數(shù)據(jù)分析與記錄功能、遠(yuǎn)程監(jiān)控與管理功能等）以及系統(tǒng)集成部分。任務(wù)7-4GMS系統(tǒng)介紹【任務(wù)實(shí)施】GMS系統(tǒng)的搭建1.GMS網(wǎng)絡(luò)架構(gòu)和布局點(diǎn)位一個(gè)代表性的半導(dǎo)體廠GMS網(wǎng)絡(luò)架構(gòu)如圖所示。該架構(gòu)為兩層交換機(jī)架構(gòu)，上層為冗余環(huán)網(wǎng)，下層為非網(wǎng)管型交換機(jī)，負(fù)責(zé)下游設(shè)備；一旦網(wǎng)絡(luò)中任意一鏈路斷線，冗余環(huán)網(wǎng)便可在20ms內(nèi)迅速恢復(fù)通訊，保證自動(dòng)化系統(tǒng)的無間斷運(yùn)行。任務(wù)7-4GMS系統(tǒng)介紹【任務(wù)實(shí)施】GMS系統(tǒng)的搭建1.GMS網(wǎng)絡(luò)架構(gòu)和布局點(diǎn)位搭建好網(wǎng)絡(luò)架構(gòu)后，各個(gè)傳感器分部在氣體輸送系統(tǒng)的氣柜GC和閥箱VMB處，以監(jiān)測氣體濃度或進(jìn)行報(bào)警提示任務(wù)7-4GMS系統(tǒng)介紹【任務(wù)實(shí)施】GMS系統(tǒng)的搭建2.點(diǎn)位氣體偵測器氣體偵測器在GMS系統(tǒng)主要用于針對(duì)供氣設(shè)備進(jìn)行連續(xù)不間斷的采樣分析。氣體偵測器一般選用電化學(xué)泵吸式偵測器，偵測器輸入電壓為DC24V。當(dāng)偵測器正常工作時(shí)，偵測器采樣流量達(dá)到500ml/min。任務(wù)7-4GMS系統(tǒng)介紹【任務(wù)實(shí)施】GMS系統(tǒng)的搭建2.點(diǎn)位氣體偵測器氣體偵測器一般安裝在供氣設(shè)備上或其附件，以盡量縮短偵測器的采樣管路。對(duì)于防爆區(qū)域的偵測器需配置防爆箱體，達(dá)到防爆的要求或偵測器安裝就近非防爆區(qū)域采樣在防爆房間。對(duì)于環(huán)境點(diǎn)的偵測器安裝，主要考量廠房的排風(fēng)路徑和廠房面積。任務(wù)7-4GMS系統(tǒng)介紹【任務(wù)實(shí)施】GMS系統(tǒng)的搭建2.點(diǎn)位氣體偵測器特氣GMS系統(tǒng)的偵測器通過4-20mA信號(hào)來顯示被偵測氣體濃度，當(dāng)偵測器電流<3mA或>22mA時(shí)則定義偵測器故障。偵測器預(yù)報(bào)警：只在SCADA監(jiān)控電腦中發(fā)出提示警報(bào)；偵測器一級(jí)報(bào)警：SCADA監(jiān)控電腦中發(fā)出警報(bào)，現(xiàn)場LAU黃燈亮；偵測器二級(jí)報(bào)警：SCADA監(jiān)控電腦中發(fā)出警報(bào)，現(xiàn)場LAU紅燈黃燈亮，蜂鳴響，根據(jù)聯(lián)動(dòng)控制邏輯切斷相關(guān)供氣設(shè)備，發(fā)出相應(yīng)的消防廣播、緊急排風(fēng)等動(dòng)作，聯(lián)動(dòng)控制邏輯。任務(wù)7-4GMS系統(tǒng)介紹【任務(wù)實(shí)施】GMS系統(tǒng)的搭建2.點(diǎn)位氣體偵測器任務(wù)7-4GMS系統(tǒng)介紹【任務(wù)實(shí)施】GMS系統(tǒng)的搭建3.緊急停止按鈕緊急按鈕在GMS系統(tǒng)主要用于遠(yuǎn)程關(guān)閉現(xiàn)