2025年新大型半導(dǎo)體設(shè)備安全員考試題庫(kù)及答案一、單選題（每題1分，共30分。每題只有一個(gè)正確答案，請(qǐng)將正確選項(xiàng)填入括號(hào)內(nèi)）1.在2025版《半導(dǎo)體設(shè)備安全通用規(guī)范》中，對(duì)“能量隔離”的定義新增的關(guān)鍵要素是（）。A.僅切斷電源B.切斷所有危險(xiǎn)能源并驗(yàn)證零能量狀態(tài)C.僅鎖定閥門D.僅張貼警示標(biāo)簽答案：B2.當(dāng)EUV光刻機(jī)發(fā)生氟化氫微量泄漏時(shí)，最先觸發(fā)的傳感器類型為（）。A.紅外點(diǎn)式B.光聲光譜C.電化學(xué)D.催化燃燒答案：C3.依據(jù)SEMIS20705（2025修訂），對(duì)高于40kHz的射頻等離子體源進(jìn)行維護(hù)前，必須執(zhí)行的步驟是（）。A.僅關(guān)閉匹配器B.放電10min后接地C.使用絕緣手套即可D.關(guān)閉射頻并等待5個(gè)時(shí)間常數(shù)且驗(yàn)證無殘余電壓答案：D4.在晶圓傳送機(jī)器人安全圍欄開口處，符合ISO138491PLe要求的最低安全部件組合是（）。A.單通道限位開關(guān)B.雙通道限位開關(guān)+自檢模塊C.普通光電D.拉繩開關(guān)答案：B5.2025年起，對(duì)大型CMP設(shè)備使用的新型過氧乙酸（PAA）廢液，現(xiàn)場(chǎng)最大允許存量為（）。A.50LB.100LC.200LD.禁止存放，必須即產(chǎn)即排答案：D6.當(dāng)半導(dǎo)體廠務(wù)系統(tǒng)出現(xiàn)“氮?dú)鈮毫Φ汀眻?bào)警時(shí)，最先啟動(dòng)的聯(lián)鎖動(dòng)作是（）。A.關(guān)閉有毒氣柜閥門B.停止所有熱源C.保持工藝?yán)^續(xù)運(yùn)行D.僅聲光報(bào)警答案：A7.對(duì)于使用氟化氬（ArF）激光的DUV設(shè)備，其激光器安全互鎖回路中，2025版新增的必要元件是（）。A.急停按鈕B.門禁磁性開關(guān)C.激光功率實(shí)時(shí)反饋模塊D.煙霧探測(cè)器答案：C8.在低溫泵再生過程中，若出現(xiàn)“再生超時(shí)”報(bào)警，安全員應(yīng)首先（）。A.立即重新啟動(dòng)再生B.關(guān)閉泵前閥門并強(qiáng)制升溫C.確認(rèn)再生加熱器溫度曲線并檢查真空度D.直接更換低溫泵答案：C9.依據(jù)NFPA3182025，對(duì)潔凈室內(nèi)易燃液體管道進(jìn)行焊接動(dòng)火，必須保持的最小潔凈室換氣次數(shù)為（）。A.10次/hB.15次/hC.20次/hD.30次/h答案：C10.當(dāng)離子注入機(jī)高壓電源（>200kV）跳閘后，重新上電前的強(qiáng)制等待時(shí)間為（）。A.1minB.3minC.5minD.10min答案：D11.2025年起，對(duì)EUV設(shè)備使用的錫（Sn）液滴發(fā)生器進(jìn)行維護(hù)時(shí)，必須佩戴的呼吸防護(hù)等級(jí)最低為（）。A.N95B.P95C.半面罩+P3D.正壓全面罩+HEPA答案：D12.在半導(dǎo)體廠務(wù)的酸性排風(fēng)系統(tǒng)中，若檢測(cè)到氟化氫濃度>5ppm，應(yīng)啟動(dòng)的緊急噴淋介質(zhì)為（）。A.水B.碳酸氫鈉溶液C.氫氧化鈣溶液D.酒精答案：C13.對(duì)于使用砷化氫（AsH?）的MOCVD設(shè)備，2025版要求的氣體監(jiān)測(cè)響應(yīng)時(shí)間T??不得超過（）。A.10sB.20sC.30sD.60s答案：B14.當(dāng)晶圓廠采用全自動(dòng)天車（OHT）搬運(yùn)FOUP時(shí)，為防止“空中墜落”風(fēng)險(xiǎn)，安全等級(jí)需滿足（）。A.SIL1B.SIL2C.SIL3D.無需SIL答案：C15.在2025版《半導(dǎo)體設(shè)備電氣安全規(guī)范》中，對(duì)潮濕環(huán)境（RH>75%）下電氣柜的最低防護(hù)等級(jí)要求為（）。A.IP20B.IP32C.IP54D.IP65答案：C16.對(duì)大型刻蝕設(shè)備的CF?/O?混合氣管道進(jìn)行在線熱式流量計(jì)校準(zhǔn)時(shí)，必須使用的標(biāo)準(zhǔn)氣體是（）。A.純N?B.CF?+O?與實(shí)際濃度一致C.純ArD.純He答案：B17.當(dāng)半導(dǎo)體廠房發(fā)生“特氣間火災(zāi)”一級(jí)響應(yīng)時(shí)，義務(wù)消防隊(duì)到達(dá)現(xiàn)場(chǎng)的時(shí)間上限為（）。A.3minB.5minC.8minD.10min答案：A18.2025年起，對(duì)EUV光源的氫氣凈化管路進(jìn)行氦檢漏，可接受的最大泄漏率為（）。A.1×10??Pa·m3/sB.1×10??Pa·m3/sC.1×10??Pa·m3/sD.1×10??Pa·m3/s答案：A19.在半導(dǎo)體濕法清洗設(shè)備中，使用臭氧（O?）水時(shí)，其最高允許濃度（MAC）為（）。A.0.05ppmB.0.1ppmC.0.2ppmD.0.5ppm答案：B20.當(dāng)CMP設(shè)備出現(xiàn)“漿液pH異常升高”時(shí)，最可能引發(fā)的危險(xiǎn)是（）。A.爆炸B.人員堿灼傷C.硅片碎裂D.電機(jī)過載答案：B21.對(duì)大型半導(dǎo)體真空泵進(jìn)行“變頻節(jié)能”改造時(shí)，必須同步升級(jí)的安全部件是（）。A.溫度開關(guān)B.振動(dòng)傳感器C.過流繼電器D.急?；芈反鸢福築22.2025版《半導(dǎo)體激光安全標(biāo)準(zhǔn)》規(guī)定，Class4激光器工作區(qū)入口必須張貼的警示標(biāo)識(shí)顏色為（）。A.紅底白字B.黃底黑字C.白底黑字D.橙底黑圖形答案：A23.當(dāng)晶圓廠采用“低溫液氮冷阱”收集工藝尾氣時(shí)，冷阱出口需安裝的必備安全裝置是（）。A.爆破片B.阻火器C.單向閥D.壓力表答案：B24.在半導(dǎo)體設(shè)備CE認(rèn)證中，對(duì)“可合理預(yù)見的誤用”評(píng)估方法，2025版推薦采用（）。A.FMEAB.FTAC.ETAD.HAZOP答案：A25.當(dāng)離子注入機(jī)發(fā)生“高壓打火”報(bào)警時(shí)，維護(hù)人員必須使用的絕緣工具耐壓等級(jí)為（）。A.500VB.1kVC.5kVD.10kV答案：D26.對(duì)大型半導(dǎo)體真空腔體進(jìn)行“氦質(zhì)譜檢漏”時(shí)，若本底信號(hào)>1×10?1?Pa·m3/s，應(yīng)首先（）。A.更換氦氣瓶B.清洗腔體并烘烤C.更換檢漏儀燈絲D.降低環(huán)境氦本底答案：D27.2025年起，對(duì)半導(dǎo)體廠房“酸性排風(fēng)塔”進(jìn)行動(dòng)火作業(yè)，必須檢測(cè)的額外項(xiàng)目是（）。A.氧氣B.硫化氫C.氯氣D.氟化氫答案：D28.當(dāng)EUV設(shè)備錫液滴發(fā)生器出現(xiàn)“錫氧化”報(bào)警時(shí)，最先采取的安全措施是（）。A.關(guān)閉氫氣閥門B.關(guān)閉錫加熱器C.打開真空泵旁通D.充氮吹掃答案：D29.在半導(dǎo)體潔凈室中，使用異丙醇（IPA）進(jìn)行擦拭時(shí)，必須保持與火源的最小距離為（）。A.1mB.3mC.5mD.10m答案：C30.2025版《半導(dǎo)體設(shè)備應(yīng)急管理規(guī)定》要求，對(duì)“特氣泄漏”進(jìn)行桌面推演的頻次為（）。A.每季度B.每半年C.每年D.每月答案：A二、多選題（每題2分，共20分。每題有兩個(gè)或兩個(gè)以上正確答案，多選、少選、錯(cuò)選均不得分）31.以下哪些屬于2025版SEMIS6中定義的“危險(xiǎn)能源”（）。A.電能B.氣壓能C.化學(xué)能D.重力勢(shì)能E.熱能答案：ABCDE32.對(duì)EUV設(shè)備錫液滴發(fā)生器進(jìn)行維護(hù)時(shí)，必須佩戴的PPE包括（）。A.耐高溫手套B.正壓全面罩C.防靜電鞋D.錫防毒濾盒E.激光護(hù)目鏡答案：ABCD33.以下哪些氣體屬于2025版《半導(dǎo)體特氣管理規(guī)范》中的“急性毒性一類”（）。A.AsH?B.PH?C.B?H?D.SiH?E.H?S答案：ABCE34.當(dāng)半導(dǎo)體濕法設(shè)備使用HF酸時(shí)，現(xiàn)場(chǎng)必須配備的應(yīng)急物品有（）。A.六氟靈（Hexafluorine）洗眼液B.葡萄糖酸鈣凝膠C.負(fù)壓吸引器D.碳酸氫鈉粉末E.防酸圍堰答案：ABE35.以下哪些措施可以有效降低“靜電放電（ESD）”對(duì)晶圓廠的火災(zāi)風(fēng)險(xiǎn)（）。A.地面鋪設(shè)防靜電地板B.工藝設(shè)備接地<1ΩC.濕度控制40–60%RHD.使用金屬桶盛裝IPAE.離子風(fēng)機(jī)答案：ABCE36.2025版《半導(dǎo)體設(shè)備電氣安全規(guī)范》要求，以下哪些場(chǎng)合必須采用RCD（剩余電流裝置）保護(hù)（）。A.手持電動(dòng)工具回路B.潮濕區(qū)域插座回路C.真空泵主回路D.潔凈室照明回路E.高壓注入機(jī)主回路答案：ABD37.對(duì)大型半導(dǎo)體真空腔體進(jìn)行“高溫烘烤”時(shí)，必須拆除或保護(hù)的部件包括（）。A.OringB.真空計(jì)C.觀察窗玻璃D.加熱帶E.離子泵答案：ABCE38.以下哪些屬于2025版《半導(dǎo)體設(shè)備火災(zāi)爆炸指數(shù)（F&EI）》計(jì)算時(shí)必須輸入的參數(shù)（）。A.物質(zhì)因子B.工藝溫度C.操作壓力D.潔凈室換氣次數(shù)E.設(shè)備體積答案：ABC39.當(dāng)半導(dǎo)體廠房發(fā)生“氯氣泄漏”時(shí)，以下哪些應(yīng)急處置做法正確（）。A.立即開啟排風(fēng)B.向低洼區(qū)疏散C.穿A級(jí)防化服D.使用氫氧化鈉水幕E.用壓縮空氣吹掃答案：ACD40.2025版《半導(dǎo)體設(shè)備機(jī)械安全規(guī)范》中，對(duì)“緊急停止”按鈕的顏色和安裝要求包括（）。A.紅底黃頭B.紅色蘑菇頭C.黃色背景D.易于接近E.必須帶指示燈答案：BDE三、判斷題（每題1分，共10分。正確打“√”，錯(cuò)誤打“×”）41.2025版規(guī)定，只要設(shè)備斷電后即可立即進(jìn)入維護(hù)，無需能量隔離掛牌。答案：×42.EUV設(shè)備錫液滴發(fā)生器停機(jī)超過24h，必須執(zhí)行“錫氧化”檢查程序。答案：√43.半導(dǎo)體潔凈室內(nèi)可以使用鐵質(zhì)工具進(jìn)行任何維修作業(yè)。答案：×44.2025版《半導(dǎo)體特氣管理規(guī)范》要求，AsH?氣瓶必須存放在負(fù)壓氣柜中。答案：√45.對(duì)大型半導(dǎo)體真空泵進(jìn)行變頻改造后，無需重新進(jìn)行HAZOP分析。答案：×46.2025版規(guī)定，潔凈室內(nèi)可以使用閃點(diǎn)<38℃的清洗劑。答案：×47.當(dāng)離子注入機(jī)高壓電源跳閘后，維護(hù)人員可直接打開高壓罩板檢查。答案：×48.2025版《半導(dǎo)體激光安全標(biāo)準(zhǔn)》將“擴(kuò)展源”概念引入Class1評(píng)估。答案：√49.半導(dǎo)體廠房酸性排風(fēng)塔動(dòng)火前，必須檢測(cè)氟化氫濃度<1ppm。答案：√50.2025版要求，所有半導(dǎo)體設(shè)備必須提供USB接口用于數(shù)據(jù)導(dǎo)出，不得加密。答案：×四、填空題（每空1分，共20分）51.2025版《半導(dǎo)體設(shè)備能量隔離規(guī)范》中，對(duì)“零能量驗(yàn)證”要求使用________儀表進(jìn)行測(cè)量。答案：經(jīng)校準(zhǔn)的52.EUV設(shè)備錫液滴發(fā)生器正常運(yùn)行時(shí)，氫氣流量一般控制在________sccm范圍內(nèi)。答案：50–20053.當(dāng)半導(dǎo)體廠房使用氟化氫（HF）時(shí)，其MAC值為________ppm。答案：354.2025版《半導(dǎo)體設(shè)備電氣安全規(guī)范》要求，潔凈室插座回路RCD動(dòng)作電流≤________mA。答案：3055.對(duì)大型半導(dǎo)體真空腔體進(jìn)行氦質(zhì)譜檢漏時(shí)，若泄漏率>1×10??Pa·m3/s，判定為________。答案：不合格56.2025版《半導(dǎo)體特氣管理規(guī)范》要求，AsH?氣瓶柜排風(fēng)最低風(fēng)速為________m/s。答案：0.557.當(dāng)離子注入機(jī)高壓電源跳閘后，重新上電前必須等待________min。答案：1058.2025版《半導(dǎo)體設(shè)備機(jī)械安全規(guī)范》中，對(duì)“緊急停止”按鈕的響應(yīng)時(shí)間要求≤________ms。答案：50059.在半導(dǎo)體潔凈室內(nèi)，使用IPA擦拭時(shí)，與火源最小距離為________m。答案：560.2025版《半導(dǎo)體設(shè)備火災(zāi)爆炸指數(shù)（F&EI）》中，物質(zhì)因子最高為________。答案：4061.對(duì)大型半導(dǎo)體真空泵進(jìn)行變頻改造時(shí)，必須同步升級(jí)________傳感器。答案：振動(dòng)62.2025版《半導(dǎo)體激光安全標(biāo)準(zhǔn)》規(guī)定，Class4激光器工作區(qū)入口必須張貼________底白字警示標(biāo)識(shí)。答案：紅63.當(dāng)EUV設(shè)備錫液滴發(fā)生器出現(xiàn)“錫氧化”報(bào)警時(shí)，最先采取的措施是________吹掃。答案：氮?dú)?4.2025版《半導(dǎo)體設(shè)備應(yīng)急管理規(guī)定》要求，對(duì)“特氣泄漏”桌面推演每________個(gè)月一次。答案：365.半導(dǎo)體廠房酸性排風(fēng)塔動(dòng)火前，必須檢測(cè)氟化氫濃度<________ppm。答案：166.2025版《半導(dǎo)體設(shè)備電氣安全規(guī)范》要求，潮濕環(huán)境下電氣柜最低防護(hù)等級(jí)為________。答案：IP5467.對(duì)大型半導(dǎo)體真空腔體進(jìn)行高溫烘烤時(shí)，溫度一般控制在________℃。答案：150–20068.2025版《半導(dǎo)體設(shè)備安全通用規(guī)范》中，對(duì)“能量隔離”新增的關(guān)鍵要素是驗(yàn)證________狀態(tài)。答案：零能量69.當(dāng)半導(dǎo)體廠房發(fā)生“氯氣泄漏”時(shí)，應(yīng)穿________級(jí)防化服。答案：A70.2025版《半導(dǎo)體設(shè)備機(jī)械安全規(guī)范》中，對(duì)“緊急停止”按鈕必須帶________燈。答案：指示五、簡(jiǎn)答題（每題5分，共20分）71.簡(jiǎn)述2025版《半導(dǎo)體設(shè)備能量隔離規(guī)范》中“六步法”操作流程。答案：1.識(shí)別能源；2.通知相關(guān)人員；3.關(guān)閉設(shè)備；4.隔離能源；5.上鎖掛牌；6.驗(yàn)證零能量。72.簡(jiǎn)述EUV設(shè)備錫液滴發(fā)生器維護(hù)前必須完成的“三測(cè)一驗(yàn)”內(nèi)容。答案：測(cè)氫氣濃