半導體廠務項目工程管理項目三FMCS監(jiān)控系統(tǒng)任務3-1FMCS監(jiān)控系統(tǒng)網(wǎng)絡構架任務3-1FMCS監(jiān)控系統(tǒng)網(wǎng)絡構架FMCS系統(tǒng)網(wǎng)絡架構FMCS（FacilityManagementandControlSystem）即廠務監(jiān)控系統(tǒng)，是半導體廠內(nèi)制程中使用的監(jiān)控系統(tǒng)。它用于監(jiān)控并記錄廠區(qū)內(nèi)特定的、有危害的、影響制程狀態(tài)或系統(tǒng)資料的信息，以便及時處理問題及進行后續(xù)分析。FMCS是工業(yè)級的控制系統(tǒng)，監(jiān)視并控制著服務于FAB生產(chǎn)的各子系統(tǒng)。子系統(tǒng)包含但不局限以下系統(tǒng)：潔凈室、空調(diào)、中央動力、超純水、廢水處理、收集系統(tǒng)、化學品供應、氣體供應、真空系統(tǒng)、電力系統(tǒng)等。任務3-1FMCS監(jiān)控系統(tǒng)網(wǎng)絡構架FMCS系統(tǒng)網(wǎng)絡架構任務3-1FMCS監(jiān)控系統(tǒng)網(wǎng)絡構架FMCS系統(tǒng)網(wǎng)絡架構1.現(xiàn)場PLC控制設備層各子系統(tǒng)的現(xiàn)場控制系統(tǒng)采用獨立的PLC控制器、現(xiàn)場儀表傳感器、驅動器馬達電動閥等設備組成，形成一個獨立完整的控制系統(tǒng)，實現(xiàn)對現(xiàn)場數(shù)據(jù)的上傳和控制器命令的執(zhí)行。任務3-1FMCS監(jiān)控系統(tǒng)網(wǎng)絡構架FMCS系統(tǒng)網(wǎng)絡架構2.各子系統(tǒng)的SCADA監(jiān)控站各子系統(tǒng)的獨立SCADA監(jiān)控工作站對本系統(tǒng)的控制進行獨立的監(jiān)控、操作、記錄、修改，實現(xiàn)對現(xiàn)場數(shù)據(jù)的實時處理和顯示，以及操作人員的交互功能。任務3-1FMCS監(jiān)控系統(tǒng)網(wǎng)絡構架FMCS系統(tǒng)網(wǎng)絡架構3.網(wǎng)絡通信層網(wǎng)絡通信層為全廠建立一個大型的100/1000MEthernet骨干工業(yè)級冗余以太環(huán)網(wǎng)架構，聯(lián)接全廠各子系統(tǒng)的通信，形成整廠FMCS監(jiān)控系統(tǒng)中通信與控制的樞紐，確保了各子系統(tǒng)之間的數(shù)據(jù)交換和指令傳遞的實時性和可靠性。任務3-1FMCS監(jiān)控系統(tǒng)網(wǎng)絡構架FMCS系統(tǒng)網(wǎng)絡架構4.FMCS數(shù)據(jù)中心在中控室建立全廠控制系統(tǒng)的FMCS數(shù)據(jù)監(jiān)控中心，整合全廠各子系統(tǒng)的SCADA，提供集中數(shù)據(jù)通信服務、SQL數(shù)據(jù)庫服務器、SPC報表系統(tǒng)、電話短信報警系統(tǒng)、報警跑馬燈、工程師站、遠程WEB訪問