半導(dǎo)體廠務(wù)項(xiàng)目工程管理項(xiàng)目六凈化室系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與維護(hù)任務(wù)6-1凈化室系統(tǒng)介紹任務(wù)6-1凈化室系統(tǒng)介紹【任務(wù)背景】為什么需要凈化室由于集成電路元件尺寸越來(lái)越小，在一塊小小的芯片上，整合了許許多多的元器件，在制造的過(guò)程中必須防止外界雜質(zhì)污染源，這些污染源可能會(huì)造成元器件性能的劣化及產(chǎn)品成品率和可靠性的降低。所以制造集成電路必須在潔凈的環(huán)境中進(jìn)行，以盡量將污染源和硅片隔離。任務(wù)6-1凈化室系統(tǒng)介紹【任務(wù)背景】潔凈室定義與構(gòu)成潔凈室，作為一種特殊設(shè)計(jì)的空間，其核心目標(biāo)在于通過(guò)精密設(shè)計(jì)與嚴(yán)格的環(huán)境參數(shù)控制，最大限度地減少室內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留的粒子，并同時(shí)對(duì)溫度、濕度、壓力等關(guān)鍵參數(shù)進(jìn)行精準(zhǔn)調(diào)控，以滿(mǎn)足高品質(zhì)工作環(huán)境的需求。任務(wù)6-1凈化室系統(tǒng)介紹【任務(wù)背景】?jī)艋蚁到y(tǒng)的組成任務(wù)6-1凈化室系統(tǒng)介紹【任務(wù)背景】?jī)艋蚁到y(tǒng)的組成天花板系統(tǒng)任務(wù)6-1凈化室系統(tǒng)介紹【任務(wù)背景】?jī)艋蚁到y(tǒng)的組成空調(diào)系統(tǒng)任務(wù)6-1凈化室系統(tǒng)介紹【任務(wù)背景】?jī)艋蚁到y(tǒng)的組成隔墻板系統(tǒng)任務(wù)6-1凈化室系統(tǒng)介紹【任務(wù)背景】?jī)艋蚁到y(tǒng)的組成地板系統(tǒng)任務(wù)6-1凈化室系統(tǒng)介紹【任務(wù)背景】?jī)艋蚁到y(tǒng)的組成照明系統(tǒng)任務(wù)6-1凈化室系統(tǒng)介紹【任務(wù)背景】?jī)艋蚁到y(tǒng)的組成潔凈室標(biāo)準(zhǔn)任務(wù)6-1凈化室系統(tǒng)介紹【潔凈室標(biāo)準(zhǔn)】任務(wù)6-1凈化室系統(tǒng)介紹【潔凈室標(biāo)準(zhǔn)】任務(wù)6-1凈化室系統(tǒng)介紹【潔凈室標(biāo)準(zhǔn)】十級(jí)百級(jí)千級(jí)萬(wàn)級(jí)十萬(wàn)級(jí)百萬(wàn)級(jí)任務(wù)6-1凈化室系統(tǒng)介紹任務(wù)6-1凈化室系統(tǒng)介紹【潔凈室標(biāo)準(zhǔn)】潔凈室分類(lèi)任務(wù)6-1凈化室系統(tǒng)介紹【潔凈室分類(lèi)】根據(jù)潔凈的程度一般凈化，粗效過(guò)濾器中等凈化，粗、中效過(guò)濾器超凈凈化，粗、中、高三級(jí)過(guò)濾器半導(dǎo)體生產(chǎn)任務(wù)6-1凈化室系統(tǒng)介紹【潔凈室分類(lèi)】根據(jù)潔凈室用途工業(yè)潔凈室，控制非生物微粒的污染生物潔凈室，控制生物微粒的污染任務(wù)6-1凈化室系統(tǒng)介紹【潔凈室分類(lèi)】根據(jù)氣流流型單向流（層流式）非單向流（亂流式））混合流任務(wù)6-1凈化室系統(tǒng)介紹【潔凈室分類(lèi)】根據(jù)氣流流型層流式任務(wù)6-1凈化室系統(tǒng)介紹【潔凈室分類(lèi)】根據(jù)氣流流型亂流式任務(wù)6-1凈化室系統(tǒng)介紹【潔凈室分類(lèi)】根據(jù)氣流流型混合流任務(wù)6-1凈化室系統(tǒng)介紹潔凈室污染及其控制任務(wù)6-1凈化室系統(tǒng)介紹【潔凈室污染】污染來(lái)源人員活動(dòng)污染擴(kuò)散轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)備未清潔物料80%~90%任務(wù)6-1凈化室系統(tǒng)介紹任務(wù)