高純氣體管路檢漏技師（中級）考試試卷及答案一、填空題（每題1分，共10分）1.高純氣體管路檢漏靈敏度最高的方法是______檢漏法。2.氦質(zhì)譜檢漏儀的核心部件是______。3.檢漏前需用______吹掃管路，去除雜質(zhì)水分。4.泄漏率常用單位有Pa·m3/s和______（體積流量單位）。5.皂泡檢漏的壓力一般不超過______MPa（表壓）。6.真空檢漏背景真空應(yīng)達(dá)______Pa以下。7.高純管路常用密封墊材質(zhì)是______（金屬類）。8.鹵素檢漏法檢測含______元素的氣體。9.壓力衰減法需記錄初始壓力、______和時(shí)間。10.氦質(zhì)譜檢漏常用模式：真空吸嘴法和______法。二、單項(xiàng)選擇題（每題2分，共20分）1.適用于微小泄漏（1e-8Pa·m3/s以下）的是（）A.皂泡法B.氦質(zhì)譜法C.鹵素法D.壓力衰減法2.檢漏前吹掃氣體選（）A.壓縮空氣B.高純氮?dú)釩.氧氣D.氫氣3.氦質(zhì)譜檢漏儀檢測限可達(dá)（）A.1e-6B.1e-8C.1e-10D.1e-124.皂泡法優(yōu)點(diǎn)不包括（）A.操作簡單B.成本低C.定位泄漏點(diǎn)D.靈敏度高5.壓力衰減法泄漏判定：壓力下降速率>______（）A.0.1%/hB.0.5%/hC.1%/hD.2%/h6.真空檢漏時(shí)檢漏儀與管路（）A.串聯(lián)B.并聯(lián)C.接大氣D.接真空泵出口7.鹵素檢漏儀不能檢測（）A.氟利昂B.四氯化碳C.氨氣D.氯甲烷8.高純管路不選用的材質(zhì)是（）A.316L不銹鋼B.銅C.碳鋼D.鎳9.氦質(zhì)譜噴吹法原理是（）A.氦氣從泄漏點(diǎn)進(jìn)入檢漏儀B.檢漏儀噴氦氣C.氦氣反應(yīng)D.氦氣吸附10.檢漏后管路需（）A.再次吹掃B.直接使用C.充高純氣體D.壓力測試三、多項(xiàng)選擇題（每題2分，共20分）1.檢漏前檢查項(xiàng)目（）A.管路連接B.閥門關(guān)閉C.檢漏儀校準(zhǔn)D.吹掃完成2.常用檢漏方法（）A.皂泡法B.氦質(zhì)譜法C.鹵素法D.壓力衰減法3.氦質(zhì)譜儀校準(zhǔn)參數(shù)（）A.背景氦濃度B.泄漏率標(biāo)準(zhǔn)C.真空度D.溫度4.皂泡法注意事項(xiàng)（）A.避免低溫B.皂液濃度適中C.壓力穩(wěn)定D.可測真空5.壓力衰減法適用條件（）A.容積已知B.壓力穩(wěn)定C.溫度恒定D.泄漏點(diǎn)可見6.高純管路密封方式（）A.卡套連接B.焊接C.法蘭密封D.螺紋密封7.鹵素法缺點(diǎn)（）A.靈敏度低B.污染環(huán)境C.檢測范圍窄D.操作復(fù)雜8.真空檢漏系統(tǒng)組成（）A.真空泵B.檢漏儀C.真空規(guī)D.接頭9.泄漏率影響因素（）A.泄漏點(diǎn)大小B.管路壓力C.氣體種類D.溫度10.檢漏安全要求（）A.禁明火B(yǎng).戴防護(hù)用品C.可燃?xì)怏w管控D.設(shè)備檢查四、判斷題（每題2分，共20分）1.皂泡法適用于所有壓力管路（）2.氦質(zhì)譜檢漏無需抽真空（）3.壓力衰減法可測微小泄漏（1e-8Pa·m3/s）（）4.鹵素檢漏儀對氨氣敏感（）5.檢漏前必須吹掃管路（）6.scc/s表示標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下每秒泄漏體積（）7.真空背景越高，檢漏靈敏度越高（）8.皂泡法低溫下失效（）9.氦質(zhì)譜檢測限達(dá)1e-12Pa·m3/s（）10.高純管路密封墊需用金屬墊（）五、簡答題（每題5分，共20分）1.簡述高純氣體管路檢漏前的準(zhǔn)備工作。2.氦質(zhì)譜檢漏儀的基本工作原理是什么？3.壓力衰減法檢漏的操作步驟有哪些？4.皂泡檢漏法的適用范圍及注意事項(xiàng)？六、討論題（每題5分，共10分）1.比較氦質(zhì)譜檢漏法與皂泡檢漏法的優(yōu)缺點(diǎn)。2.高純氣體管路檢漏中，如何判斷泄漏點(diǎn)的位置及大??？---答案部分一、填空題答案1.氦質(zhì)譜2.質(zhì)譜分析室3.高純氮?dú)?.scc/s5.0.16.1e-27.316L不銹鋼墊（或銅墊）8.鹵素（氟/氯）9.終止壓力10.噴吹二、單項(xiàng)選擇題答案1.B2.B3.D4.D5.C6.B7.C8.C9.A10.A三、多項(xiàng)選擇題答案1.ABCD2.ABCD3.ABC4.ABC5.ABC6.ABC7.ABC8.ABCD9.ABCD10.ABCD四、判斷題答案1.×2.×3.×4.×5.√6.√7.√8.√9.√10.√五、簡答題答案1.①檢查管路連接：確認(rèn)法蘭、卡套無松動(dòng)；②吹掃：用高純氮?dú)獯祾?0min以上，去除雜質(zhì)；③校準(zhǔn)檢漏儀：氦質(zhì)譜儀校準(zhǔn)背景氦及泄漏率；④安全檢查：禁明火、戴防護(hù)用品；⑤隔離非檢測管路。2.檢漏儀電離氦氣，通過質(zhì)譜分析室分離（m/e=4），檢測離子流強(qiáng)度，強(qiáng)度與泄漏率成正比，因氦氣背景濃度低，靈敏度極高。3.①封閉管路；②充高純氮?dú)猓?.1-0.2MPa）；③穩(wěn)定壓力15min后記錄P1、t1；④每15min記錄P2、t2，共3次；⑤若衰減速率>1%/h，判定泄漏。4.適用：中低壓（≤0.1MPa）、泄漏點(diǎn)可見；注意：皂液濃度適中、避低溫、壓力穩(wěn)定、清理殘留皂液、不可測真空。六、討論題答案1.氦質(zhì)譜法：優(yōu)點(diǎn)→靈敏度高（1e-12）、定位準(zhǔn)；缺點(diǎn)→設(shè)備貴、需抽真空。皂泡法：優(yōu)點(diǎn)→操作簡單、成本低；缺點(diǎn)→靈敏度低（1e-4）