工藝廢氣處理系統(tǒng)簡介1目錄2一、工藝廢氣處理的概念二、工藝廢氣處理系統(tǒng)的分類三、工藝廢氣處理系統(tǒng)的處理原理四、工藝廢氣處理系統(tǒng)的主要設備介紹五、關于黃煙和白霧一、工藝廢氣處理的概念首先，在半導體或光電產業(yè)制造生產過程中，使用了大量的易燃溶劑、氣體及化學品，這些化學物質大多對人體是有害的，甚至多種化學物質發(fā)生化學反應之后，會產生令人不可預期的化學物質，而存在這些化學物質的空氣，便為有害的工藝廢氣。3其次，同樣于生產制程中，機臺本身并無上述化學品的使用，但仍可能產生高溫、水氣、粉塵等會影響制程潔凈環(huán)境的物質，這類則可稱為無害性工藝廢氣。將上述的制程廢氣收集、處理、排放的過程，稱為工藝廢氣處理。二、工藝廢氣處理系統(tǒng)的分類41.一般排氣系統(tǒng)（PGEX）利用排氣風機將制程中所產生的一般排氣、高溫排氣、濕排，經由一般排氣風管系統(tǒng)收集，直接排放至大氣中。2.酸排氣（SEX）/堿排氣（AEX）利用防腐蝕排氣風機將制程中所產生的酸、堿性及有毒氣體，經由耐腐蝕排氣風管系統(tǒng)收集，輸送至空氣洗滌塔處理到符合環(huán)保排放標準后排放至大氣中。二、工藝廢氣處理系統(tǒng)的分類53.有機排氣（VEX）利用防腐防爆風機將制程中所產生的有機廢氣，經由防爆風管系統(tǒng)收集，輸送至活性炭吸附塔或RTO燃燒爐處理至符合環(huán)保排放標準后排放至大氣中。4.粉塵排氣（CVD）化學氣相沉積工藝(CVD)中過程中所產生SiO2粉塵和Nox廢氣，經由防爆風管系統(tǒng)收集，輸送至集塵器和廢氣洗滌塔處理至符合環(huán)保排放標準后排放至大氣中。三、工藝廢氣處理系統(tǒng)的處理原理61.酸排氣（SEX）/堿排氣（AEX）酸堿排氣的處理原理主要為酸堿中和反應：NaOH+HCl=NaCl+H?O2NaOH+H?SO?=Na?SO?+2H?ONaOH+HNO?=NaNO?+H?O若酸性廢氣中含有Nox，則其處理原理為氧化還原反應,詳細處理過程詳見下頁三、工藝廢氣處理系統(tǒng)的處理原理7第一級：添加藥劑為H2SO4+NaClO2（CELL/CF棟酸排氣中不含NO，此級省去）

主要處理NO

2NO+NaClO2

→2

NO2+NaCl

第二級：添加藥劑為NaOH+NaHS

主要處理NO2

8

NO2

+

2

NaHS

+

8

NaOH

→

8

NaNO2

+

Na2S2O3

+

5

H2O

第三級：添加藥劑為NaOH+NaClO

主要去除H2S（第二級可能的副產物）等酸性氣體。

H2S

+

4NaCIO→H2SO4+4NaCI

H2SO4

+

2NaOH→Na2SO4

+

H2O備注：光伏行業(yè)常見的只加Na2S和NaOH三、工藝廢氣處理系統(tǒng)的處理原理82.有機排氣（VEX）有機排氣主要利用活性炭的物理吸附功能實現(xiàn)有機廢氣的達標排放。椰殼活性炭填料活性炭濾芯活性炭板式過濾器3.粉塵排氣（CVD）粉塵排氣的處理原理主要為慣性、布朗擴散以及篩濾等彈夾式濾芯四、工藝廢氣處理系統(tǒng)的主要設備介紹91.離心風機離心風機是依靠輸入的機械能，提高氣體壓力并排送氣體的機械。它是一種從動的流體機械。主要是根據動能轉換為勢能的原理，利用高速旋轉的葉輪將氣體加速，然后減速、改變流向，使動能轉換成勢能（壓力）。主要關注設備參數(shù)：材質、風量、風壓、設備運行重量、設備尺寸、防腐防爆性能等四、工藝廢氣處理系統(tǒng)的主要設備介紹102.洗滌塔廢氣由進風口流入后錘直向上流過填料床，洗滌液垂直向下流過填料床。這種氣液逆流方式使廢氣與洗滌液充分接觸并發(fā)生化學反應作用，有效清除廢氣中的雜質。主要關注設備參數(shù)：材質、處理風量、壓損、填料形式、塔內氣流速度、停留時間、設備運行重量、設備尺寸等。四、工藝廢氣處理系統(tǒng)的主要設備介紹113.活性炭吸附塔主要關注設備參數(shù)：材質、處理風量、壓損、填料更換周期、停留時間、設備運行重量、設備尺寸等。四、工藝廢氣處理系統(tǒng)的主要設備介紹124.彈夾式集塵器含塵氣體在離心風機的離心力作用下進入除塵器勻流室，進入勻流室后由于氣流斷面突然擴大及氣流分布朗作用，氣流中一部分粗大顆粒在慣性力作用下直接沉降到灰斗；粒度細、密度小的塵粒進入各濾塵室后，通過布朗擴散和篩濾等組合效應，使粉塵沉降在濾芯表面上，凈化后的氣體進入凈氣室由排風管經風機排出設備的阻力隨著濾袋表面粉塵層厚度的增加而增大。阻力達到某一設定值時進行清灰。此時集塵器PLC程序控制電磁脈沖閥逐個開啟，壓縮空氣以極短的時間通過誘導噴嘴涌入濾筒，使濾筒膨脹變形產生振動，并在逆向氣流沖刷的作用下，附著在濾筒外表面上的粉塵被剝離落入灰斗四、工藝廢氣處理系統(tǒng)的主要設備介紹13四、工藝廢氣處理系統(tǒng)的主要設備介紹14五、關于黃煙和白霧151.黃煙1.1產生原因：常見酸性廢氣煙囪冒出的黃色刺鼻煙霧，主要是因為廢氣中的NO2沒有徹底處理。當廢氣中NO2含量超過20-30mg/m3（40-50PPM）就會有黃色煙霧出現(xiàn)。同時和天氣也有關系，同樣的濃度晴天看不到，陰雨天氣卻比較明顯（空氣濕度大）。1.2主要應對措施：設計階段充分考慮Nox的濃度，并根據設計情況設計處理工藝運行階段嚴格按照設計的加藥種類和加藥量進行管控五、關于黃煙和白霧162.白霧2.1產生原因：蒸汽冷凝：一般洗滌塔出口溫度約為20至30℃，相對濕度約為85%至90%。氣體中含有的水蒸氣冷凝為小液滴。酸堿中和：酸堿氣體混合排放至洗滌塔也會產生白霧。

五、關于黃煙和白霧172.2主要應對措施：合理設計噴嘴噴水強度，避免因噴水成霧狀，而被處理廢氣帶出，形成過飽和水汽。合理設計煙囪口徑（不宜過小），降低風速，減少帶走的水份。洗滌塔末端增加除霧層(