1、a，1，集成電路技術(shù)中的化學(xué)物質(zhì)a，2，從硅晶片或化合物半導(dǎo)體晶片轉(zhuǎn)化成各種復(fù)雜的集成電路，在轉(zhuǎn)化過(guò)程中利用了數(shù)百種不同復(fù)雜程度的化學(xué)反應(yīng)。毫無(wú)疑問(wèn)，在半導(dǎo)體集成電路制造業(yè)中，微電子器件的生產(chǎn)需要大量的特殊材料和化學(xué)物質(zhì)。目前，半導(dǎo)體晶片加工工藝中使用的化學(xué)物質(zhì)有200多種，被稱(chēng)為“電子化學(xué)品”。a，3，現(xiàn)有形式的物質(zhì)，a，4，薄膜制備技術(shù)及其化學(xué)光刻技術(shù)，化學(xué)晶片清洗技術(shù)，化學(xué)光刻技術(shù)及其化學(xué)蝕刻技術(shù)，化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)，化學(xué)載氣及其他化學(xué)品，a，5，薄膜制備技術(shù)及其化學(xué)品，a，6，薄膜制備技術(shù)及其化學(xué)品，熱氧化生長(zhǎng)：干氧氧化：二氧化硅二氧化硅；水蒸氣氧化：二氧化硅二氧化硅；濕式氧氣氧化：氧氣

2、通過(guò)高純度的水。熱擴(kuò)散摻雜固體源擴(kuò)散：引入保護(hù)氣體，防止反向擴(kuò)散和污染；液體源擴(kuò)散：簡(jiǎn)單、易操作、成本低、效率高、重復(fù)性和均勻性好；氣源擴(kuò)散：2b2o3 si 4b3sio2p2o55si 4p5sio2離子注入摻雜物理氣相沉積化學(xué)氣相沉積，高純度、高密度、膜厚均勻、膜結(jié)構(gòu)高度完整、成分可控、成分比例可控；外延，a，7，化學(xué)氣相沉積， 熱解反應(yīng)：si H4(G)si(s)2 H2(G)CH3 sic 3(G)sic(s)3 HCl(G)wf6(G)w(s)3 F2(G)氫還原反應(yīng)：sicl 4(G)2 H2(G)si(s)G)TiB 2(s)10 HCl(G)金屬還原反應(yīng)tii 4(G)2zn

3、(s)ti(s)2 zni 2(G)TiC 4(G)2mg(s)ti(s)氯化鎂生成氮化物和碳化物四氯化鈦(g) CH4 (g) 四氯化鈦(s)HCl(g)3si H4(g)4nh3(g)Si3N 4(s)12 H2(g)，a，8，8氫氟酸/硝酸在硝酸清洗過(guò)程中的自分解：hn2 HNO 3N2O 4 H2O 42no 2 NO2 2e2no 2-2h2hno 2水分解：H2Ooh-硅氧化：硅 Si2 2e Si2 4OH- 二氧化硅2H2O二氧化硅溶解于si02 6HFh2sif 6 2H2O，a，9，平版印刷技術(shù)和化學(xué)制品，聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)，俗稱(chēng)有機(jī)玻璃，可以通過(guò)旋涂形成良好的膜

4、，并具有良好的介電性能。盡管它的靈敏度和耐干腐蝕性相對(duì)較差，但它具有良好的附著力和良好的產(chǎn)品再現(xiàn)性。在深紫外光下，聚合物結(jié)合鏈斷裂，變得容易溶解；它對(duì)波長(zhǎng)為220納米的光最敏感，如果波長(zhǎng)高于240納米，則完全不敏感。氫倍半硅氧烷(HSQ) HSQ單體的分子式為H8Si8O12，作為光致抗蝕劑可以獲得高的特征尺寸分辨率。A，10，A，11，蝕刻技術(shù)和化學(xué)制品，濕法蝕刻：特定的溶液與待蝕刻的膜反應(yīng)，以除去未被光致抗蝕劑覆蓋的區(qū)域中的膜。SiH NO3 6HFh2sif 6 NO2 h23si 4 no 3 18HF3h2sif 64 no 8 H2O干法刻蝕：通過(guò)等離子體激活的化學(xué)反應(yīng)或高能離子束

5、轟擊來(lái)完成物質(zhì)的去除。cf4ecf3 fesi o 2 4fSIF 4(g)o2si 4 fSIF 4(g)，a，12，化學(xué)機(jī)械拋光化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)及化學(xué)品，二氧化硅的化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)si-o-si H2O2si-oh(SIo 2)x2h2o (SIo 2)x-1si(oh)4si(oh)4鎢易溶于堿性溶液的化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)k3fe(cn)63k Fe(cn)63-w6fe(cn)63-3h2o64-6H金屬銅的化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)載氣和其他化學(xué)品、純氣體：載氣、保護(hù)氣體和稀釋氣體氮(N2)空氣的成分之一，主要作為簡(jiǎn)單物質(zhì)存在于大氣中氦(He)，一種無(wú)色無(wú)味的稀有氣體，是唯一不能在大氣壓下固化且不溶于水的物質(zhì)。一、一、十四、甲烷(CH4)爆炸極限5.5-14%，自燃溫度537是最簡(jiǎn)單的脂肪族烷烴，最簡(jiǎn)單的有機(jī)化合物，微溶于水，溶于乙醇、乙醚等有機(jī)溶