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文檔簡介

1、無塵室簡介,F5總務(wù)課 張月雷 2015年2月25日,目錄,一、無塵室概念 二、無塵室控制項目 三、百級區(qū)域氣流分析 四、particulate控制要點 五、particulate控制重要區(qū)域 六、總結(jié),無塵室(Clean Room)的起源。 無塵室的重要性。 無塵室的分類。,前言,無塵室立面圖,技術(shù)夾層,無塵室,高架地板,干盤管 功能：溫度調(diào)節(jié),MAU 功能：濕度調(diào)節(jié),F5廠無塵室采用：MAU+FFU+DC 系統(tǒng)即是組合式新風(fēng)機組 （Make-up Air Unit）+ 風(fēng)機過濾器單元（Fan Filter Unit）+ 干盤管（Dry coil）系統(tǒng)。布局如下圖所示。,一、無塵室概念,新風(fēng)

2、管道,一、無塵室概念,T-GRID (T型網(wǎng)格),高架地板,FFU,干盤管,一、無塵室概念,FFU和HEPA（High efficiency particulate air Filter）,溫濕度感應(yīng)模塊,MAU,亞克力隔間（百級區(qū)）,組合式新風(fēng)空調(diào)箱構(gòu)造,一、無塵室概念,測量結(jié)果換算：將2.83L氣體體積粒子數(shù)換算成1立方英尺（28.3L）粒子數(shù)，并比較相應(yīng)的潔凈度等級要求，確定是否合格。,二、無塵室控制項目,USA Federal Standard 209E 1992-2001,三、百級區(qū)域氣流分析之無塵室模型圖,三、百級區(qū)域氣流分析示意圖,四、particulate控制要點,四、潔凈室的發(fā)塵源,五、particulate控制重要區(qū)域,產(chǎn)生垃圾、灰塵的站別,風(fēng)淋室,物料區(qū),更衣室,六、總結(jié),人是潔凈室最大的污染源。 潔凈室是一個環(huán)境，潔凈室的效用能

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