1、1,動(dòng)力系統(tǒng)架構(gòu)介紹,動(dòng)力部-袁學(xué)申 2011.8.25,時(shí)間：14:00-15:30,2,前言,動(dòng)力部-歐美、臺(tái)資企業(yè)習(xí)慣稱為Facility Department，隨著半導(dǎo)體行業(yè)的在大陸的發(fā)展，受歐美、臺(tái)資企業(yè)的影響，人們習(xí)慣將為FAB提供水、電、氣、及其他動(dòng)力供應(yīng)的部門為廠務(wù)部，簡(jiǎn)稱FAC 國(guó)內(nèi)企業(yè)習(xí)慣將同種職能部門稱呼為動(dòng)力部門或設(shè)施部門，為尊重公司的企業(yè)文化和大家習(xí)慣，在此稱之為動(dòng)力部，廠務(wù)和動(dòng)力即為同一個(gè)部門。,3,課程目的： 了解動(dòng)力部門的基本職能和作用 熟悉動(dòng)力設(shè)備分布及主要系統(tǒng)構(gòu)成 了解動(dòng)力設(shè)備與生產(chǎn)的相關(guān)及重要性,4,動(dòng)力部門的職能： 為生產(chǎn)制造部門提供安全的、連續(xù)穩(wěn)定、高

2、品質(zhì)的動(dòng)力、水、電、氣供應(yīng)；同時(shí)提供清潔、安全的生產(chǎn)環(huán)境。 保證動(dòng)力設(shè)施安全穩(wěn)定運(yùn)行同時(shí)，持續(xù)開展節(jié)能工作、降低能源消耗是廠務(wù)部門的一個(gè)重要工作目標(biāo)。,5,動(dòng)力系統(tǒng)架構(gòu)圖,6,動(dòng)力系統(tǒng)組成 電力供應(yīng)系統(tǒng) 暖通、動(dòng)力及排氣系統(tǒng) 氣化系統(tǒng) 給排水系統(tǒng),7,NF3,DEZ房,特氣房,柴油發(fā)電機(jī)房,LN2.LO2.LAr,氫氣站,危險(xiǎn)化學(xué)品倉(cāng)庫,硅烷站,配電室,鍋爐房,102 廠 房,空壓機(jī)房,冷凍水站,純水站,PCW系統(tǒng),冷卻水塔,2F空調(diào)箱,2F空調(diào)箱,廠務(wù)系統(tǒng)分布圖,廢水處理系統(tǒng),消防 溶解氣體：CO2,O2,N2等; 可溶解固體(TDS)：如Ca. Mg. Na. K. Fe. HCO3. N

3、O3. SO4. SiO2等; 有機(jī)物(TOC)：油脂、污水、溶劑、等; 微生物：各種細(xì)菌,藻類,病素等;,一、純水系統(tǒng),24,3.工藝設(shè)備, 盤式過濾器: 去除水中較大的顆粒雜質(zhì)、懸浮物、膠體絮凝、有機(jī)顆粒團(tuán)，降低濁度（需要逆洗）； 超濾:去除水中較小的顆粒雜質(zhì)、懸浮物、膠體絮凝、有機(jī)顆粒團(tuán)，降低濁度（需要逆洗）； EDI:通過離子交換和電滲析結(jié)合的技術(shù)去除水中的陰陽離子，整個(gè)工藝無酸堿廢水產(chǎn)生（需要消耗電能）； Filter: 去除水中的Particle等； RO (Reverse Osmosis) 逆滲透技術(shù): 利用壓力差為動(dòng)力的膜分離過濾技術(shù)，將源水中的水分子與無機(jī)鹽、重金屬離子、有機(jī)

4、物、膠體、細(xì)菌、病毒等雜質(zhì)分離出來 UV :在波長(zhǎng)254nm的紫外燈輻射下，對(duì)細(xì)菌DNA分子結(jié)構(gòu)可造成不可逆的破壞，從而達(dá)到殺滅和抑制細(xì)菌的繁殖的目的。,25,純水系統(tǒng)工藝流程圖,26,二、工藝?yán)鋮s水系統(tǒng)（PCW）,27,三、工業(yè)廢水處理系統(tǒng),說明：工業(yè)廢水由車間HF廢水收集管道收集后進(jìn)入HF總管，經(jīng)過廢水站處理，滿足國(guó)家三級(jí)廢水排放標(biāo)準(zhǔn)后達(dá)標(biāo)排放。 三級(jí)排放標(biāo)準(zhǔn)：COD 400ppm PH:69 F：20ppm Zn：5ppm SS:400ppm,28,四、廠區(qū)排水系統(tǒng),廠區(qū)排水系統(tǒng)： 采用清污分流，污廢分流原則，雨水直接由廠區(qū)雨水管網(wǎng)收集，然后通過市政雨水管網(wǎng)進(jìn)入湘江，工業(yè)廢水經(jīng)過廠區(qū)廢水站處理達(dá)到國(guó)家三級(jí)排放標(biāo)準(zhǔn)后，與污水匯合排入市政污水管網(wǎng)，經(jīng)過園區(qū)污水處理廠處理達(dá)標(biāo)后排入湘江。,29,結(jié)語,作為整個(gè)制造設(shè)備的動(dòng)力、部分原料的供應(yīng)來源，動(dòng)力系統(tǒng)設(shè)備穩(wěn)定性、安全性直接影響到整個(gè)工廠的生產(chǎn)運(yùn)營(yíng)，與制造設(shè)備故障特性不同在于：動(dòng)力設(shè)備故障后影響范圍廣,產(chǎn)能損失巨大，嚴(yán)重時(shí)將導(dǎo)致整個(gè)生產(chǎn)線的停產(chǎn)。 高品質(zhì)，高穩(wěn)定性且連續(xù)的動(dòng)力供應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)，對(duì)負(fù)責(zé)動(dòng)力系統(tǒng)的運(yùn)行、維護(hù)、管理的人員提出了非常嚴(yán)格的要求，除正常的24小時(shí)設(shè)備巡檢外，