1、高科技廠(chǎng)房消防安全設(shè)備,高科技廠(chǎng)房消防安全設(shè)備,主講人 邱 晨 瑋,高科技廠(chǎng)房消防安全設(shè)備,防火工程設(shè)計(jì)理念,無(wú)塵室製程設(shè)備之財(cái)產(chǎn)防護(hù)與無(wú)塵室人命安全防護(hù)並重之防火設(shè)計(jì)目標(biāo) 運(yùn)用空調(diào)系統(tǒng)及排煙設(shè)備之結(jié)合，控制煙流之設(shè)計(jì)系統(tǒng) 多重消防防護(hù)設(shè)計(jì) 火災(zāi)緊急應(yīng)變程序 避難逃生計(jì)畫(huà),高科技廠(chǎng)房消防安全設(shè)備,國(guó)內(nèi)高科技廠(chǎng)房三大災(zāi)例,場(chǎng)所別 項(xiàng)目,高科技廠(chǎng)房消防安全設(shè)備,無(wú)塵室消防安全設(shè)備分級(jí),有供應(yīng)製程危險(xiǎn)氣體（如晶圓廠(chǎng)及光電廠(chǎng)， 潔淨(jìng)等級(jí)較高） SEMI S2-2000 M7-7/17-12 NFPA318 無(wú)供應(yīng)製程危險(xiǎn)氣體（如生化科技廠(chǎng)及封裝測(cè)試廠(chǎng)，潔淨(jìng)等級(jí)較低） NFPA318 各類(lèi)場(chǎng)所消防安全設(shè)

2、備設(shè)置標(biāo)準(zhǔn),高科技廠(chǎng)房消防安全設(shè)備,晶圓廠(chǎng)消防工程設(shè)計(jì) -國(guó)內(nèi)外法規(guī)差異,1.製程設(shè)備及輔助設(shè)施之化學(xué)系統(tǒng)防護(hù)（CO2自 動(dòng)滅火系統(tǒng)及FM200） 2.製程設(shè)備之警報(bào)或撒水系統(tǒng)防護(hù) 3.設(shè)置極早型預(yù)警系統(tǒng)，於回風(fēng)處設(shè)偵 測(cè)點(diǎn)並配合定址式高感度偵煙探測(cè)器之警報(bào) 設(shè)計(jì) 4.排氣風(fēng)管使用耐腐蝕金屬材質(zhì)或撒水防護(hù) 5.製程氣體供應(yīng)/儲(chǔ)存系統(tǒng)之氣瓶櫃使用火焰 式探測(cè)器及撒水防護(hù)並設(shè)置於遠(yuǎn)離無(wú)塵室之 DLC防火結(jié)構(gòu)內(nèi) 6.考量整體氣流空間因子之煙控設(shè)計(jì),高科技廠(chǎng)房消防安全設(shè)備,高科技廠(chǎng)房消防安全設(shè)備,特殊環(huán)境特性,垂直的循環(huán)空氣 低溫環(huán)境與正壓系統(tǒng) 潔淨(jìng)室與潔淨(jìng)室下層間有高架地板相通 空間的密閉性 必須保

3、持class1至class1000等級(jí)的高潔淨(jìng)度,高科技廠(chǎng)房消防安全設(shè)備,機(jī)臺(tái)發(fā)生事件數(shù)統(tǒng)計(jì)（1977-1997）,高科技廠(chǎng)房消防安全設(shè)備,火災(zāi)情境 消防設(shè)備作動(dòng)流程一,Fab區(qū)的Wet Bench起火，應(yīng)變?nèi)藛T在警報(bào)系統(tǒng)，或從監(jiān)控螢?zāi)蝗〉矛F(xiàn)場(chǎng)實(shí)際狀況，確認(rèn)火災(zāi)是否發(fā)生 若為誤動(dòng)作-則現(xiàn)場(chǎng)將設(shè)備復(fù)歸，關(guān)閉火警警鈴，使火警自動(dòng)警報(bào)設(shè)備恢復(fù)正常使用狀態(tài) 若確認(rèn)為真實(shí)火災(zāi)-即立即以無(wú)線(xiàn)電回報(bào)應(yīng)變中心，應(yīng)變中心人員在指揮官指揮下，進(jìn)行緊急廣播，請(qǐng)整棟建築物內(nèi)人員緊急疏 散,高科技廠(chǎng)房消防安全設(shè)備,消防設(shè)備作動(dòng)流程 二,FAB區(qū)的Wet Bench發(fā)生火災(zāi)時(shí)，自動(dòng)啟動(dòng)該製程機(jī)臺(tái)之CO2自動(dòng)滅火系統(tǒng)； 如

4、無(wú)法控制後 則假設(shè)火災(zāi)於無(wú)法控制後手動(dòng)啟動(dòng)排煙設(shè)備 並將起火區(qū)FFU降載及相遴區(qū)劃FFU增載,高科技廠(chǎng)房消防安全設(shè)備,消防設(shè)備作動(dòng)流程 三,撒水設(shè)備作動(dòng)-則依其實(shí)際撒水頭之RTI值作動(dòng)，並依其實(shí)際K值放射水量；亦可大量降低熱釋放率。 初期運(yùn)用室內(nèi)消防栓及滅火器進(jìn)行搶救 如廠(chǎng)房火災(zāi)已無(wú)法控制，則由指揮官下令通知消防單位，全力入內(nèi)救災(zāi)。,高科技廠(chǎng)房消防安全設(shè)備,多重消防防護(hù)設(shè)計(jì),警報(bào)系統(tǒng) RAP回風(fēng)處佈設(shè)各類(lèi)經(jīng)自動(dòng)取樣之早期預(yù)警系統(tǒng)（VESDA系統(tǒng)） 定址式高感度偵煙型探測(cè)器 螢?zāi)槐O(jiān)控系統(tǒng) 防災(zāi)中心功能 製程設(shè)備之CO2自動(dòng)滅火系統(tǒng) 潔淨(jìng)室之密閉濕式自動(dòng)撒水設(shè)備 排氣風(fēng)管使用耐腐蝕金屬風(fēng)管之設(shè)計(jì),

5、高科技廠(chǎng)房消防安全設(shè)備,極早期空氣取樣系統(tǒng),NFPA72 一偵測(cè)器與連接器延伸至保護(hù)區(qū)域的管路所組成,偵測(cè)器內(nèi)之抽氣風(fēng)扇經(jīng)由空氣取樣孔,取樣管路抽取保護(hù)區(qū)域內(nèi)的空氣至偵測(cè)器,進(jìn)而分析是否有火災(zāi)生成物 NFPA318 無(wú)塵室應(yīng)使用空氣取樣式偵煙探測(cè)器,高科技廠(chǎng)房消防安全設(shè)備,系統(tǒng)動(dòng)作流程,不可見(jiàn)煙霧-incipient stage 可見(jiàn)煙霧-Visible Smoke 火焰-Flaming Fire 熱-Intense Heat Alert /action/Fire1/Fire2,高科技廠(chǎng)房消防安全設(shè)備,多段警報(bào),高科技廠(chǎng)房消防安全設(shè)備,回風(fēng)區(qū)dry coiler前 格子樑下空調(diào)主機(jī)迴風(fēng)處 We

6、t bench Implanter,無(wú)塵室VESDA系統(tǒng)設(shè)置位置,高科技廠(chǎng)房消防安全設(shè)備,提升防災(zāi)中心人員知識(shí)與技術(shù) 位置 構(gòu)造 功能,防災(zāi)中心,高科技廠(chǎng)房消防安全設(shè)備,滅火系統(tǒng)對(duì)火源大小之影響（設(shè)計(jì)火災(zāi)）,以FAB層的Wet Bench起火 是否為獨(dú)立火源 CO2自動(dòng)滅火系統(tǒng)及FM200對(duì)熱釋放率的影響 CO2自動(dòng)滅火系統(tǒng)依各類(lèi)場(chǎng)所消防安全設(shè)備設(shè)置標(biāo)準(zhǔn)第84條規(guī)定應(yīng)於60秒放完畢 FM200依NFPA2001規(guī)定放射時(shí)間最長(zhǎng)10 sec 自動(dòng)撒水設(shè)備對(duì)熱釋放率的影響 依RTI值及K值,高科技廠(chǎng)房消防安全設(shè)備,R wet Bench到其他可燃物之間的分隔距離 Q 來(lái)自火災(zāi)的熱釋放率（Btu/s

7、ec） q“ 非引導(dǎo)性點(diǎn)火所需投射的輻射通量,對(duì)於其他可燃物距離Wet Bench的大小均大於分隔距離，故為單一可燃物之獨(dú)立火源,獨(dú) 立 火 源,高科技廠(chǎng)房消防安全設(shè)備,PP熱釋放率曲線(xiàn)圖,高科技廠(chǎng)房消防安全設(shè)備,Early Suppression Fast Response Sprinkler (ESFR),Listed for its capability to provide fire suppression of specific high challenge fire hazards. For storage protection up to 40 ft building high

8、without in-rack sprinklers. Low RTI 50 (ft-sec.) 1/2 Hydraulic Design 12 sprinklers 70 psi min. K=14.0, Ordinary Temperature Rating To be used in wet-pipe systems only. Limited roof construction and slope.(2 in. per ft max.),Upright ESFR,高科技廠(chǎng)房消防安全設(shè)備,感度係數(shù)與熱釋放率之關(guān)係圖,高科技廠(chǎng)房消防安全設(shè)備,Time,RDD(Required Delive

9、red Density),ADD (Actual Delivered Density),Density Gal/min/sq ft (mm/min),Generalized RDD-ADD relationship,高科技廠(chǎng)房消防安全設(shè)備,撒水系統(tǒng)的火災(zāi)控制與火災(zāi)制壓概念 Presentation of fire control and fire suppression by sprinklers,火災(zāi)制壓 (Fire Suppression),(heat release rate),Q 熱釋放率,時(shí)間 (Time),火災(zāi)控制 (Fire Control),(heat release rate

10、),Q 熱釋放率,時(shí)間 (Time),。,。,By Spray Sprinklers,By ESFR Sprinklers,高科技廠(chǎng)房消防安全設(shè)備,製程廢氣排風(fēng)管防護(hù),是否需要設(shè)置撒水裝置，可由下列條件決定： 風(fēng)管及其所排放物質(zhì)之可燃性 風(fēng)管系統(tǒng)之尺寸及其重要性 火災(zāi)可能造成之損失 火災(zāi)可能對(duì)於生產(chǎn)造成之影響,高科技廠(chǎng)房消防安全設(shè)備,製程廢氣排風(fēng)管防護(hù),使用可承受腐蝕性之金屬風(fēng)管 風(fēng)管之內(nèi)含物與風(fēng)管之材質(zhì)、其物理及化學(xué)特性、和其易燃性等級(jí) 或使用耐腐蝕型速動(dòng)型撒水頭 被覆蠟、鉛、或者先鉛後蠟之撒水頭 輕度腐蝕性的環(huán)境，且其溫度不得高於華氏150度（攝氏66度） 直徑六英吋以上（ FM7-7/1

11、7-12） 直徑十英吋以上（ NFPA318 ）,高科技廠(chǎng)房消防安全設(shè)備,製程廢氣排風(fēng)管防護(hù),如風(fēng)管之寬度或直徑超過(guò)12呎（3.7米），應(yīng)另設(shè)一配管裝置撒水頭 撒水裝置的管線(xiàn)應(yīng)設(shè)於風(fēng)管外 設(shè)有分支風(fēng)管之系統(tǒng)，每一分支風(fēng)管，在其匯入主風(fēng)管系統(tǒng)距離3呎（0.9米）以?xún)?nèi)處，應(yīng)設(shè)撒水頭 垂直風(fēng)管 撒水密度至少應(yīng)有0.20 gpm/ft2 x 風(fēng)管直徑 x 風(fēng)管長(zhǎng)度 = 應(yīng)防護(hù)內(nèi)部表面積 水平風(fēng)管 撒水密度至少應(yīng)有0.20 gpm/ft2 風(fēng)管直徑 x 風(fēng)管長(zhǎng)度 = 應(yīng)投射面積,高科技廠(chǎng)房消防安全設(shè)備,煙控設(shè)計(jì)理念,國(guó)內(nèi)排煙規(guī)範(fàn) 依樓地板面積作為火載量與發(fā)煙量之估算原則 適用一般3-4公尺樓高之建築物

12、各類(lèi)場(chǎng)所消防安全設(shè)備設(shè)置標(biāo)準(zhǔn)第188至第190條及建築技術(shù)規(guī)則第101條,高科技廠(chǎng)房消防安全設(shè)備,煙控設(shè)計(jì),對(duì)於必須達(dá)無(wú)塵狀態(tài)使用之場(chǎng)所，依各類(lèi)場(chǎng)所消防安全設(shè)備設(shè)置標(biāo)準(zhǔn)第二十八條規(guī)定，應(yīng)設(shè)排煙設(shè)備時(shí)，有塵埃侵入無(wú)法使該居室保持無(wú)塵狀態(tài)，將影響製造過(guò)程及破壞儀器設(shè)備之顧慮，擬申請(qǐng)免設(shè)排煙設(shè)備者，得擬具適當(dāng)替代方案，依前揭設(shè)置標(biāo)準(zhǔn)第二條規(guī)定檢具具體證明經(jīng)中央消防主管機(jī)關(guān)認(rèn)可,高科技廠(chǎng)房消防安全設(shè)備,訂定計(jì)畫(huà)範(fàn)圍,確立目標(biāo),定義目標(biāo),發(fā)展性能要求,發(fā)展火災(zāi)情境 與設(shè)計(jì)火災(zāi),發(fā)展試驗(yàn)設(shè)計(jì),評(píng)估試驗(yàn)設(shè)計(jì),選擇最終設(shè)計(jì),準(zhǔn)備文件,選擇符合性能要求的設(shè)計(jì),修改設(shè)計(jì)目標(biāo),性能式 設(shè)計(jì)報(bào)告,採(cǎi)行方案,規(guī)格, 運(yùn)

13、轉(zhuǎn)及維修手冊(cè),設(shè)計(jì)大綱,美國(guó)性能設(shè)計(jì)法之流程,高科技廠(chǎng)房消防安全設(shè)備,煙控防護(hù)目標(biāo)-NFPA92-B2-1,1.將煙層交界面維持在預(yù)定的高度 2.維持可維生的狀態(tài)充分的時(shí)間 3.火及煙侷限於起火/防煙區(qū)劃內(nèi) 4.可見(jiàn)度 5.排煙量 6.抑制煙層的溫度,高科技廠(chǎng)房消防安全設(shè)備,定義目標(biāo)-財(cái)產(chǎn)防護(hù),在火災(zāi)發(fā)生時(shí)，我們希望能早期發(fā)現(xiàn)並將煙流侷限在單一區(qū)域域避免擴(kuò)散，進(jìn)而將煙流排出室外 控制無(wú)塵室內(nèi)起火區(qū)劃產(chǎn)生之煙流，使其侷限於起火區(qū)內(nèi)，並經(jīng)由空調(diào)系統(tǒng)及排煙設(shè)備之煙控設(shè)計(jì)，使其煙流經(jīng)由排煙風(fēng)管及回風(fēng)管道，排至室外大氣中,高科技廠(chǎng)房消防安全設(shè)備,The cleanroom structure,return,高科技廠(chǎng)房消防安全設(shè)備,定義目標(biāo)-人命避難安全,將煙侷限於起火區(qū)域之時(shí)間，如可大於避難所需時(shí)間，則可滿(mǎn)足人命安全之避難安全,高科技廠(chǎng)房消防安全設(shè)備,發(fā)展及評(píng)估試驗(yàn)設(shè)計(jì),高科技廠(chǎng)房消防安全設(shè)備,Downward exhaust system,Upward exhaust system,The return air shaft exhaust system,return,高科技廠(chǎng)房消防安全設(shè)備,建議一,Wet Bench建議可使用金屬材質(zhì)，以降低熱釋放率值及煙產(chǎn)生率,更易煙控。 考量增設(shè)防煙垂壁之可能