錄 摘 要 . I 英文摘要 . 引 言 . 1 題研究的背景與意義 . 1 感式位移傳感器的國內(nèi)外研究應(yīng)用現(xiàn)狀 . 3 感式位移傳感器的發(fā)展前景 . 4 究的主要內(nèi)容 . 5 2 開關(guān)電感式位移傳感器的理論基礎(chǔ) . 7 移傳感器的分類 . 7 關(guān)電感式位移傳感器 . 10 感器位移測量系統(tǒng)的總體結(jié)構(gòu) . 13 關(guān)充放電法電感檢測分析 . 14 統(tǒng)電感檢測方法 . 14 關(guān)充放電法電感檢測原理 . 17 性材料對電感檢測的影響 . 20 章小結(jié) . 22 3 開關(guān)電感式位移傳感器測量電路設(shè)計(jì) . 23 流源模塊設(shè)計(jì) . 23 流源原理分析 . 23 流源電路設(shè)計(jì) . 24 極管放電模塊設(shè)計(jì) . 24 流源電路設(shè)計(jì) . 24 放電工作過程 . 25 號調(diào)理模塊設(shè)計(jì) . 26 壓信號的放大與比較 . 26 號的調(diào)理 . 27 號發(fā)生采集與顯示模塊設(shè)計(jì) . 28 小系統(tǒng) . 28 示模塊 . 量電路整體設(shè)計(jì) . 31 章小結(jié) . 32 4 測量數(shù)據(jù)分析 . 33 關(guān)充放電法電感檢測數(shù)據(jù)分析 . 33 感器的位移測量數(shù)據(jù)分析 . 39 章小結(jié) . 43 5 展望與總結(jié) .結(jié). . 44 望. . 45 致 謝 . 46 參 考 文 獻(xiàn) . 47 攻讀碩士學(xué)位期間發(fā)表的學(xué)術(shù)論文 . 50 . I .of .of .of .of .of .of .of .of by . of . of by . of on .of . of .of . . of .of . of . .of . of . .of . . .of .of . .of by .of .of . . 要 I 摘 要 在科學(xué)技術(shù)飛速發(fā)展的當(dāng)代社會(huì)中，人類已經(jīng)處在一個(gè)信息大爆炸的時(shí)代，信息化、自動(dòng)化已經(jīng)成為世界各國重要發(fā)展方向。傳感與檢測技術(shù)是信息科學(xué)技術(shù)的最前端技術(shù)，將成為 21 世紀(jì)人們在信息科學(xué)技術(shù)領(lǐng)域爭奪的一個(gè)制高點(diǎn)。 傳感器作為一種能夠把特定的被測量信息按一定規(guī)律轉(zhuǎn)換成某種可用信號輸出的器件或裝置，不僅是實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化的重要元器件，也是電子系統(tǒng)與多種非電領(lǐng)域之間相互聯(lián)系的橋梁，更是實(shí)現(xiàn)測試自動(dòng)控制的首要環(huán)節(jié)，如果沒有傳感器對原始信息進(jìn)行準(zhǔn)確的捕捉和轉(zhuǎn)換，一切準(zhǔn)確的測試和控制都將無法實(shí)現(xiàn)。沒有精確可靠的傳感器，就沒有精確可靠的自動(dòng)檢測和系統(tǒng)控制。因此在諸如信息獲取、信號計(jì)測、工業(yè)自動(dòng)控制等眾多領(lǐng)域中傳感技術(shù)都起著關(guān)鍵支柱的作用， 傳感技術(shù)作為現(xiàn)代信息產(chǎn)業(yè)的三大支柱之一已經(jīng)成為世界各國重點(diǎn)發(fā)展方向。 在我們的日常生活和工作中，我們需要經(jīng)常對微小位移進(jìn)行高精度的計(jì)量。使用游標(biāo)卡尺、螺旋測微儀等傳統(tǒng)的計(jì)量工具得出的數(shù)據(jù)已經(jīng)不能滿足對測量精度的需要?；诖吮尘氨疚难芯苛艘环N開關(guān)電感式位移傳感器，傳感器應(yīng)用開關(guān)充放電法對電感信號進(jìn)行檢測，以東北農(nóng)業(yè)大學(xué)工學(xué)碩士學(xué)位論文 現(xiàn)對位移信號的測量。該傳感器具有測量精度高、分辨率較高，同時(shí)又具有結(jié)構(gòu)簡單、抗干擾能力強(qiáng)和工作可靠等一系列優(yōu)點(diǎn)，因而適合在一般實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn)條件下對位移測量精度的需要。 首先本文介紹了該課題研究的目的背景與意義，闡述了電感式位移傳感器的發(fā)展現(xiàn)狀及應(yīng)用前景，對位移式傳感器的種類、原理及特點(diǎn)做了簡要的說明。 其次介紹了開關(guān)電感式位移傳感器的工作原理，并對傳感器位移測量系統(tǒng)的總體系統(tǒng)結(jié)構(gòu)做了說明，該系統(tǒng)分為兩大塊分別是傳感器位移測量部分和數(shù)據(jù)信號采集處理部分。 接著對傳統(tǒng)的電感檢測電路做了說明，在此基礎(chǔ)上提出開關(guān)充放電法電感檢測的原理，分析了采用不同的磁芯材料可能對開關(guān)充放電法電感檢測產(chǎn)生的影響。 同時(shí)對開關(guān)電感式位移傳感器的測量電路做了模塊化的設(shè)計(jì)，主要包括的模塊有：恒流源充電模塊，為充電過程提供穩(wěn)定的恒流電流；二極管放電模塊，完成電感信號到電壓信號的轉(zhuǎn)化；信號調(diào)理模塊，實(shí)現(xiàn)對電壓信號的放大比較以及向電信號的轉(zhuǎn)換； 號發(fā)生模塊以及電信號采集模塊，單片機(jī)發(fā)出 號對開關(guān)實(shí)時(shí)控制，以完成向電感充放電的過程，經(jīng)過使能信號的選擇后電信號進(jìn)入單片機(jī)，轉(zhuǎn)換成定時(shí)計(jì)數(shù)值。 摘 要 后應(yīng)用開關(guān)充放電法對不同的磁芯材料進(jìn)行電感檢測實(shí)驗(yàn)，通過對實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的分析證明了開關(guān)充放電法的可行性，最終對開關(guān)電感式位移傳感器的性能進(jìn)行測試，通過對位移測量數(shù)據(jù)的分析，驗(yàn)證了開關(guān)電感式位移傳感器滿足對位移測量的基本要求。 關(guān)鍵詞 農(nóng)田環(huán)境；機(jī)器人視覺；數(shù)字信號處理器；圖像處理；路徑識別 東北農(nóng)業(yè)大學(xué)工學(xué)碩士學(xué)位論文 n of in of an of in is a of it of in of of 1st As a a a is a to a of a of it is of of be if is no to is So in of to a of as of of it In we is by as of on a it to in to of a a at it a of as of of of 北農(nóng)業(yè)大學(xué)工學(xué)碩士學(xué)位論文 VI of in a of of is a of of is is in on of of is by of At of of as of to of II WM a to to of of of is is to do on of of of of of 言 1 1 引 言 題研究的背景與意義 在 科 學(xué) 技 術(shù) 高 度 發(fā) 達(dá) 的 現(xiàn) 代 社 會(huì) 中 ， 人 類 已 經(jīng) 進(jìn) 入 瞬 息 萬 變 的 信 息 時(shí) 代 ， 信 息 化 的 社 會(huì) 離 不 開 科 技 的 發(fā) 展 。 高 科 技 的 發(fā) 展 伴 隨 著 電 腦 、 各 類 智 能 儀 器 、 機(jī) 器 人 的 越 來 越 廣 泛 的 應(yīng) 用 。 但 是 ， 智 能 儀 器 、 電 腦 、 機(jī) 器 人 并 不 能 直 接 感 受 及 識 別 外 界 的 信 息 ， 它 們 需 要 必 不 可 少 的 器 官 ， 而 充 當(dāng) 它 們 的 感 覺 器 官 的 就 是 傳 感 器 。 人類在進(jìn)行科研生產(chǎn)的過程中主要是通過對可用資源的開發(fā)、獲取、傳輸以及處理。而處在研究對象和測控系統(tǒng)接口位置的傳感器，是發(fā)現(xiàn)、讀取與監(jiān)測信息的窗口，自動(dòng)檢測和自動(dòng)控制系統(tǒng)要獲取的信息，都要通過傳感器轉(zhuǎn)換為相對容易傳輸與處理的電信號1。在信息技術(shù)領(lǐng)域，傳感器就是源頭。沒有傳感器，就不能實(shí)現(xiàn)對信息的獲取；技術(shù)基于科學(xué)，而科學(xué)卻來自于不斷的測試測量。因此，傳感器技術(shù)在工控、檢測等領(lǐng)域有著非常重要的地位，其功能是不可代替的，世界上各個(gè)發(fā)達(dá)的國家都在大力的發(fā)展傳感器技術(shù)2 目前比較流行傳感器的種類繁多，隨著技術(shù)的發(fā)展功能更加的齊全。根據(jù)不同的轉(zhuǎn)換原理可以實(shí)現(xiàn)同一種待測量的檢測，各類應(yīng)用同一種化學(xué)反應(yīng)、物理法則或生物效應(yīng)設(shè)計(jì)制作東北農(nóng)業(yè)大學(xué)工學(xué)碩士學(xué)位論文 2 出的傳感器可以對不同的被測量實(shí)施檢測，因而性能類似的同一類傳感器廣泛應(yīng)用在各種需要的場合，因此傳感器有不同的類別5。表 1介紹了傳感器的分類、轉(zhuǎn)換原理、和他們各類傳感器的典型應(yīng)用，以方便選用傳感器6。 目前無論是人類的日常生活、生產(chǎn)活動(dòng)還是科學(xué)實(shí)驗(yàn)，許多場合都已經(jīng)離不開對位移的測量。傳感器的測量精度、測量范圍、工作環(huán)境、結(jié)構(gòu)、穩(wěn)定性、分辨力、使用壽命等各方面的特點(diǎn)，是人們選擇應(yīng)用傳感器的基礎(chǔ)。然而電感式位移傳感器因其具有結(jié)構(gòu)簡單、工作可靠、抗干擾能力強(qiáng)、安裝簡單、測量精度高、零點(diǎn)穩(wěn)定、對工作環(huán)境要求不高、壽命長、分辨率高、輸出功率大等優(yōu)點(diǎn)，廣泛的應(yīng)用在位移測量方面，如今自動(dòng)控制系統(tǒng)和檢測技術(shù)的日漸成熟，更加為我們廣泛使用電感式位移傳感器帶來了很大便利。 長期以來，我國的精密測量檢測技術(shù)經(jīng)歷了很多變革，從最早就廣泛應(yīng)用的機(jī)械測量法、氣動(dòng)測量法到后來發(fā)展的光學(xué)測量法以及電磁測量法；從靜態(tài)特性測試到動(dòng)態(tài)特性測試以及由計(jì)算機(jī)數(shù)字控制的多參數(shù)自動(dòng)化測試。由此可見，新的測試技術(shù)總是隨著電子技術(shù)的飛速發(fā)展以及計(jì)算機(jī)科學(xué)技術(shù)的應(yīng)用不斷地更新?lián)Q代7。電感式位移傳感器在我們的日常生活中已經(jīng)不可或缺。 引 言 3 伴隨著人們對傳感器的深入研究， 通過進(jìn)一步研究電感式位移傳感器的特性和工作性能，從而提高傳感器在日常生活和工業(yè)生產(chǎn)中的使用價(jià)值。因此電感式位移傳感器的深入研究成為了國內(nèi)外有關(guān)專家學(xué)者不斷追求的目標(biāo)。 本論文即是在這樣的大背景下，為了方便對微小位移進(jìn)行測量，設(shè)計(jì)和開發(fā)了一種開關(guān)電感式位移傳感器。本文通過對開關(guān)電感式位移傳感器的工作原理進(jìn)行深入的研究，設(shè)計(jì)了其測量電路，對應(yīng)用開關(guān)電感式位移傳感器測量的位移數(shù)據(jù)進(jìn)行分析，通過測量實(shí)驗(yàn)從而證明了開關(guān)電感式位移傳感器的可靠性。該傳感器與傳統(tǒng)的傳感器相比具有結(jié)構(gòu)簡單、測量精度高、性價(jià)比高等特點(diǎn)，而且具有一定的實(shí)用性。 表 1感器類別 he of 傳感器分類 轉(zhuǎn)換形式 中間參量 轉(zhuǎn)換原理 傳感器名稱 典型應(yīng)用 移動(dòng)電位器觸電改變電阻 電位移傳感器 位移 改變電阻絲或片的尺寸 電阻應(yīng)變式傳感器 微應(yīng)變、力、負(fù)荷熱絲傳感器 氣流速度、液體流量 電阻溫度傳感器 溫度、輻射熱 電阻 利用電阻的溫度效應(yīng) 熱敏電阻傳感器 溫度 改變電容幾何尺寸 力、負(fù)荷、位移 電容 改變電容介電常數(shù) 電容傳感器 液位、含水量 電參數(shù) 電感 改變磁路尺寸、導(dǎo)磁體位置 電感傳感器 位移 東北農(nóng)業(yè)大學(xué)工學(xué)碩士學(xué)位論文 4 渦流去磁效應(yīng) 渦流傳感器 位移、厚度、硬度利用壓磁效應(yīng) 壓磁傳感器 力、壓力 差動(dòng)變壓器 位移 自整角機(jī) 位移 改變電互感 旋轉(zhuǎn)變壓器 位移 振弦式傳感器 壓力、力 頻率 改變諧振回路中的固有參數(shù)石英諧振傳感器 力、溫度等 利用莫爾條紋 光柵 改變互感 感應(yīng)同步器 計(jì)數(shù) 利用拾磁信號 磁柵 大角位移、大直線位移 數(shù)字 利用數(shù)字編碼 角度編碼器 大角位移 霍爾效應(yīng) 霍爾傳感器 磁通、電流 電磁感應(yīng) 磁電傳感器 速度、加速度 光電效應(yīng) 光電池 光強(qiáng) 電荷 壓電效應(yīng) 壓電式傳感器 動(dòng)態(tài)力、加速度 感式位移傳感器的國內(nèi)外研究應(yīng)用現(xiàn)狀 電感傳感器因其具有精度高、性能穩(wěn)定、分辨率大等特點(diǎn)，廣泛的應(yīng)用在生產(chǎn)加工和檢測領(lǐng)域。因此國內(nèi)外許多學(xué)者、專家和公司都做出了大量的研究，以提高電感式傳感器的測量精度和通用性，擴(kuò)大電感式傳感器的應(yīng)用領(lǐng)域。 在國外有大量學(xué)者對電感式傳感器做了理論方面的研究，比如 K 等人通過建立有限元模型進(jìn)行仿真分析，并對模型進(jìn)行優(yōu)化從而優(yōu)化了傳感器的結(jié)構(gòu)，這種改進(jìn)后的傳感器的功能得到了大大的提高。 C 與 設(shè)計(jì)了一種帶短路環(huán)的比率差動(dòng)電感引 言 5 傳感器結(jié)構(gòu)，這種結(jié)構(gòu)很好的消除了磁滯對測量的影響，并且消除了許多誤差信號，使線性范圍更加清晰8。 提出了一種應(yīng)用于用正弦波激勵(lì)傳感器的信號處理系統(tǒng)，該系統(tǒng)以快速傅里葉變換( 差動(dòng)變壓器為基礎(chǔ)，對主、次級線圈的信號做數(shù)字化處理，對兩個(gè)信號進(jìn)行處理判斷大小，省去了復(fù)雜的濾波過程，線性度更加精準(zhǔn)，保證了傳感器無論是工作在靜態(tài)還是動(dòng)態(tài)時(shí)，都能體現(xiàn)出其優(yōu)越的性能9。 因?yàn)殡姼惺絺鞲衅鞯募夹g(shù)發(fā)展比較純熟， 在國外許多公司都有比較好的電感傳感器產(chǎn)品。諸如瑞士的 司、美國的 司、德國的 司、意大利的 國的 司、日本東京精密為代表的電感測微儀廠商等國際上比較著名的傳感器生產(chǎn)廠家生產(chǎn)的的電感式傳感器的分辨率可達(dá) 性測量高達(dá) 1在世界傳感器領(lǐng)先的水平上10 在我國傳感技術(shù)的發(fā)展起始于 20 世紀(jì) 50 年代初， 60 年代先后研制出應(yīng)變元件、霍爾元件、離子電極； 70 年代初研制生產(chǎn)出一批如擴(kuò)散硅力敏傳感器、砷化鎵霍爾元件、碳化硅熱敏電阻等新型敏感元件及傳感器。隨著傳感器的廣泛使用，現(xiàn)如今國內(nèi)對電感傳感器的研究也越來越多，越來越精細(xì)，不管是在傳感器原理、材料、結(jié)構(gòu)方面還是測量電路、硬件系統(tǒng)東北農(nóng)業(yè)大學(xué)工學(xué)碩士學(xué)位論文 6 結(jié)構(gòu)優(yōu)化方面，國內(nèi)的學(xué)者們都取得了長足的進(jìn)步。比如對于傳感器的結(jié)構(gòu)，為了減少零點(diǎn)殘存電壓對測量結(jié)果的影響，將傳感器的磁芯一份為二，一份固定在傳感器上，一份可以滑動(dòng)，因此就可以通過調(diào)節(jié)兩者之間的間隙來調(diào)節(jié)磁阻；對傳感器的結(jié)構(gòu)還采用了三次設(shè)計(jì)法進(jìn)行優(yōu)化，設(shè)計(jì)出性價(jià)比高的傳感器13。另一方面對傳感器的測量電路系統(tǒng)也不斷的優(yōu)化改進(jìn)，采用具有高精度和高穩(wěn)定性的元器件使測量電路的性能更加優(yōu)化，從而使傳感器的性能得到改善提高；傳感器與計(jì)算機(jī)之間的數(shù)據(jù)接口采用全數(shù)字化接口技術(shù)，傳感器輸出的模擬信號經(jīng)過模數(shù)轉(zhuǎn)換器從而轉(zhuǎn)換成計(jì)算機(jī)可以識別的數(shù)字信號，然后傳輸給計(jì)算機(jī)，確保了信號的準(zhǔn)確性14。 為了應(yīng)對國外電感式傳感器價(jià)格昂貴，機(jī)械加工要求比較苛刻的特別，國內(nèi)很多高等院校研究機(jī)構(gòu)以及科研單位在從事電感測微系統(tǒng)的研制和開發(fā)。其中比較有代表性的是中原量儀生產(chǎn)的 數(shù)顯電感傳感器，把它們與該廠生產(chǎn)的 型或 電感測量頭組合，可以應(yīng)用到機(jī)械加工中的精密測量15。除此之外還有北京時(shí)代儀器集團(tuán)生產(chǎn)的 粗糙度儀，上海量具刃具廠生產(chǎn)的 00 型輪廓測量儀、 圓度儀。盡管從性能來看，國內(nèi)生產(chǎn)的電感測微系統(tǒng)與國外相比還有比較大的引 言 7 差距，但是在機(jī)械加工技術(shù)迅猛發(fā)展的今天，隨著國內(nèi)傳感技術(shù)理論與加工技術(shù)的飛速發(fā)展，與國外的差距將會(huì)越來越小。 感式位移傳感器的發(fā)展前景 傳感器是指敏感元件將周圍的信號變化轉(zhuǎn)換成模擬電信號，換句話說就是把被測量到轉(zhuǎn)變成為可用電信號的一套完整的測量裝置。早期的結(jié)構(gòu)型敏感元件利用物質(zhì)的機(jī)械尺寸或形狀受外界環(huán)境引起的變化來探測外界物質(zhì)世界的參量。 1860 年，自從人類發(fā)明了利用銅線圈電阻變化檢測溫度開始，揭開了人類對傳感器研究的序幕。隨著電子技術(shù)的進(jìn)步，出了熱敏電阻、熱電偶、雅典敏感元件等。 20 世紀(jì) 70 年代，微電子技術(shù)促進(jìn)了各種半導(dǎo)體傳感器的發(fā)展2 80 年代初期，集成傳感器和智能傳感器成為了電感器的主流，它們主要是充分采用了微電子技術(shù)和集成電路技術(shù)的發(fā)展。 90 年代開始，微電子技術(shù)的進(jìn)步促進(jìn)了微機(jī)械技術(shù)(興起和發(fā)展16使傳感器微小型化、生產(chǎn)批量成為主流，傳感技術(shù)得以迅猛發(fā)展。 傳感器技術(shù)涉及的知識面廣泛，與工程物理學(xué)、半導(dǎo)體物理學(xué)、材料科學(xué)、工程力學(xué)和相關(guān)的化學(xué)、生物學(xué)等許多學(xué)科的理論知識和積累的成果有關(guān)聯(lián)，又與電子學(xué)、集成電路技東北農(nóng)業(yè)大學(xué)工學(xué)碩士學(xué)位論文 8 術(shù)、電子信息處理技術(shù)、物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)等密切相關(guān)20傳感器檢測技術(shù)是主要是效仿人類的感覺器官的感應(yīng)能力，是人類觀察自然和測量自然界各種現(xiàn)象的電路手段。人類通過視覺、聽覺、嗅覺、觸覺和味覺來獲得外部信息，而檢測技術(shù)則通過不同的傳感器獲得外部信息，其范圍和能力遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過了人類。為了滿足科技的發(fā)展急需研制出一批新穎、先進(jìn)的傳感器。傳感器領(lǐng)域的主要技術(shù)將伴隨著電子工藝以及集成技術(shù)的發(fā)展而進(jìn)一步得到延伸和提高，電感技術(shù)的發(fā)展將會(huì)推進(jìn)新一代傳感器的開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化。 隨著自動(dòng)化程度的不斷提高，人們的生活水平的不斷改善，電感式位移傳感器的需求量也在不斷擴(kuò)大。技術(shù)的革新和產(chǎn)品的需求決定了未來電感式傳感器技術(shù)的發(fā)展主要體現(xiàn)在以下三個(gè)方向： 第一：在新材料、新工藝、新原理等方面研制新型的電感式位移傳感器。 人們在研究各種物理(化學(xué)或生物)法則和效應(yīng)的基礎(chǔ)上，發(fā)展具有性價(jià)比高、功能齊全、微型化電感傳感器的主要途徑是， 進(jìn)一步探討開發(fā)各種新型具有不用效用功能的敏感型材料，從而研究設(shè)計(jì)出具備新原理的電感式傳感器。 制作材料之間的差異影響了傳感器本身的性能， 這就決定了制作傳感器的材料需要具有比較好的機(jī)械特性，不能有材料缺陷，比如半導(dǎo)體硅引 言 9 材料、石英晶體材料、功能陶瓷材料和形狀記憶合金材料等。傳感器加工技術(shù)日益精微細(xì)化，如使用微機(jī)械加工( 藝和納米技術(shù)，可使被加工的面干架構(gòu)的尺寸達(dá)到微米、亞微米級，從而制造出性價(jià)比高的傳感器22針對傳感器技術(shù)的發(fā)展特點(diǎn)，傳感器技術(shù)充分體現(xiàn)了其綜合性，應(yīng)用傳感器時(shí)需要針對傳感器的工作機(jī)理有針對性地建立仿真模型并進(jìn)行細(xì)致的模擬計(jì)算。由于仿真分析在傳感器的設(shè)計(jì)中是至關(guān)重要的環(huán)節(jié)因此傳感器仿真技術(shù)在傳感器技術(shù)領(lǐng)域中的地位日益突出。 第二：實(shí)現(xiàn)電感式位移傳感器的微型化、集成化、多功能化、高精度和智能化。 利用各向異性腐蝕，犧牲層技術(shù)和 藝制造出三維微結(jié)構(gòu)并與特殊用途的薄膜個(gè)高性能的集成電路相結(jié)合，用于制造各種微型傳感器。采用單芯片集成技術(shù)將傳感器的敏感結(jié)構(gòu)以及檢測電路進(jìn)行集成設(shè)計(jì)，有效的解決了多個(gè)芯片組合時(shí)管腳引線帶入的寄生效應(yīng)，改善器件性能，以成為現(xiàn)在傳感器技術(shù)研究的主流方向之一24一般的傳感器通常只能實(shí)現(xiàn)對一個(gè)變量進(jìn)行測量。近年來，隨著人類生產(chǎn)實(shí)踐的需要，現(xiàn)在的傳感器需要具備能對多個(gè)參數(shù)進(jìn)行檢測的功能。智能化傳感器使信息的采集與信息的記憶、存儲(chǔ)、綜合與處理實(shí)現(xiàn)一體化。簡單來說，就是傳感器與外圍電路、微機(jī)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)一體化，使傳感器具有了雙向通東北農(nóng)業(yè)大學(xué)工學(xué)碩士學(xué)位論文