I摘要本論文設計的是為冶金工業(yè)中用來提高鎬基合金性能的設備提供必要條件的系統(tǒng)真空獲得系統(tǒng)，設計主要包括：溶煉室真空機組、熔滲室真空機組、快淬室真空機組的設計等等。真空獲得技術是一切真空應用的技術基礎,真空獲得設備關系到所有真空應用設備的運行和使用。為了滿足設備可以在高真空的條件下工作，所以選擇合適的機械泵，羅茨泵，分子泵組成合適的真空機組，使各真空室達到工作的真空條件。在設計中，為了使溶煉室、熔煉室達到高真空選擇機械泵與羅茨泵組成前級泵機組進行預抽達到粗真空，分子泵為高級泵即主抽泵?？齑闶以诘驼婵諚l件下工作選擇機械泵、羅茨泵進行抽真空。密封方面，采用了機械密封，密封性能可靠。關鍵詞：真空機組；機械泵；羅茨泵；分子泵；粗真空；高真空IIAbstractThisthesisisforthemetallurgicalindustrytoimprovetheHo-basedalloystoprovidethenecessaryconditionsforthesystemequipmentVacuumaccesssystem，Designincludes：Smeltingchambervacuumunit、Infiltrationchambervacuumunit、Quenchingchambervacuumunitdesignandothers。Vacuumaccesstotechnologyisthetechnicalfoundationforallvacuumapplications，Vacuumobtainequipmentrelatedtotheoperationofallvacuumequipmentandtheuseof。Tomeetthedevicecanworkunderhighvacuumconditions，Sochooseasuitablemechanicalpumps,Rootspumps,molecularcompositionofasuitablevacuumpumpunit，Sothattheworkofthevacuumchambertovacuumconditions。Inthedesign，Inordertosmeltingroom,selectthemeltingchambertohighvacuummechanicalpumpandRootspumpbeforethepumpunitcomposedofpre-pumpingtoroughvacuum，Highmolecularpumpthatisthemainpumpingpumps。Quenchedroomtoworkinlowvacuumconditionsselectmechanicalpump,Rootsvacuumpump。Seal,theuseofmechanicalseals,sealingperformanceandreliable。Keywords：Vacuumunit；mechanicalpump；Rootspump；molecularpump；roughvacuum；highvacuum1目錄1緒論.11.1非晶合金發(fā)展概述.11.2Zr基非晶合金的性能.21.2.1力學性能.21.2.2耐腐蝕性能.41.2.3加工性能.41.3真空獲得設備發(fā)展概述.41.3.1真空技術發(fā)展簡介.41.3.2綜合評價.52鋯基非晶合金真空熔煉壓力熔滲爐真空系統(tǒng)設計.62.1工作原理及主要技術性能指標.62.2真空獲得系統(tǒng).72.2.1真空機組選用原則.72.2.2真空泵工作壓力范圍.82.2.3旋片泵工作原理及其型號確定.102.2.4羅茨泵工作原理及其型號確定.錯誤!未定義書簽。2.2.5羅茨泵真空機組抽氣速率.222.2.6分子泵工作原理及其型號確定.233熔煉室殼體計算.284熔滲爐的殼體設計與壁厚計算.294.1殼體壁厚計算.294.2筒體上部大法蘭的設計計算.335真空室抽氣時間計算.335.1氣體沿管道流動狀態(tài)及流導計算.335.2抽氣時間計算.385.2.1粗真空、低真空下抽氣時間.385.2.2高真空下抽氣時間計算.406結論.427致謝.438參考文獻.4421緒論1.1非晶合金發(fā)展概述非晶態(tài)合金不具備長程原子有序，也叫玻璃態(tài)合金，是新型材料研究的熱點之一。非晶合金具有優(yōu)異的力學性能（高的強度、硬度等），耐腐蝕性能，軟、硬磁性能以及儲氫性能等，在機械、通訊、航空航天、汽車工業(yè)乃至國防軍事上都具有廣泛的應用潛力。因此，開發(fā)塊體非晶合金成為這類材料實用化的重點。1943年，德國物理學家Kramer用蒸發(fā)沉積的方法成功制備出了非晶態(tài)薄膜，自此，非晶的研究逐步開展。1951年，美國物理學家Turnbull通過水銀的過冷實驗，提出液態(tài)金屬可以過冷到遠離平衡熔點以下而不產(chǎn)生形核與長大，達到非晶態(tài)，Turnbull是非晶態(tài)合金的理論奠基人。1960年Duwe等采用熔體快速冷卻方法首先制備出Au-Si非晶態(tài)合金。1969年，Pond等用扎輥發(fā)制備出了長達幾十米的非晶薄帶。20世紀70年代后，人們制備出厚度小于50m、寬15cm的連續(xù)非晶薄帶。1974年Chen在約10K/s的冷卻速度條件下用Pd-Cu-Si熔體首次得到毫米級直徑的非晶。20世紀80年代前期，Turnbull等采用氧化物包覆技術以10K/s的冷卻速度制備出厘米級的Pd-Ni-P非晶。20世紀80年代，A.Inoue等在日本東北大學成功發(fā)現(xiàn)了La-Al-Ni和La-Al-Cu等三元合金。此后，又制備了厘米級的四元和五元塊體非晶合金。2000年Inoue課題組成功發(fā)展了高強度Cu-Zr-Hf-Ti和Co-Fe-Ta-B快體非晶合金。2003年，美國橡樹嶺國家實驗室Lu和Liu使Fe基非晶合金的尺寸從過去的毫米推進到厘米級，最大直徑可達12mm。此后哈工大沈軍等又將Fe基快體非晶合金尺寸提高到16mm。最近，中科院金屬所的Ma等發(fā)現(xiàn)了尺寸可達25mm的Mg-Cu-Ag-Pd非晶態(tài)合金。目前世界上最大的稀土基金屬玻璃材料直徑為35mm的鑭基金屬玻璃系，由浙江大學蔣建中等研制成功。由此，發(fā)現(xiàn)具有大的非晶形成能力的非晶合金系是目前比較重要的。鋯基非晶合金作為一種新型的非晶合金系列在近年來引起了人們的關注。多組元