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LOGO基于氣浮支承引線鍵合定位平臺(tái)設(shè)計(jì)指導(dǎo)教師:盧志偉班級(jí):08機(jī)械2班學(xué)生:趙魁學(xué)號(hào):08102080222選題系統(tǒng)的背景及意義隨著技術(shù)的進(jìn)步和相關(guān)行業(yè)的發(fā)展,高加速度高精度定位平臺(tái)是引線鍵合機(jī)的核心部件,決定鍵合的速度和質(zhì)量,進(jìn)而影響芯片的成本與可靠性。隨著芯片集成度的不斷增大,管腳數(shù)量迅速增多,引線間距日益減小,定位平臺(tái)的性能已經(jīng)成為引線鍵合工藝進(jìn)一步發(fā)展的瓶頸。由于空氣的粘性低,不易發(fā)生爬行,振動(dòng)也小,熱穩(wěn)定性好;使用壽命是半永久性的,與液體靜壓導(dǎo)軌相比,它不污染環(huán)境。論文的結(jié)構(gòu)和主要內(nèi)容本論文的主要內(nèi)容是設(shè)計(jì)定位平臺(tái)的設(shè)計(jì)。定位平臺(tái)計(jì)過(guò)程可分為總體方案設(shè)計(jì),完成原理方案設(shè)計(jì)和結(jié)構(gòu)方案設(shè)計(jì);對(duì)引線鍵合定位平臺(tái)X、Y兩運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的相互運(yùn)動(dòng)方式進(jìn)行設(shè)計(jì);對(duì)引線鍵合定位平臺(tái)的氣浮導(dǎo)軌進(jìn)行設(shè)計(jì);對(duì)引線鍵合定位平臺(tái)驅(qū)動(dòng)裝置、傳動(dòng)裝置、供氣裝置、測(cè)量等裝置進(jìn)行設(shè)計(jì)。設(shè)計(jì)分析定位平臺(tái)機(jī)械部分方案確定傳動(dòng):滾珠絲杠螺母副支撐:雙推-簡(jiǎn)支式滑動(dòng)導(dǎo)軌伺服電機(jī):步進(jìn)電動(dòng)機(jī)采用滾珠絲杠螺母副,可實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)與直線運(yùn)動(dòng)相互轉(zhuǎn)換,在具有螺旋槽的絲杠螺母中裝有滾珠作為中間傳動(dòng)元件,以減少摩擦。優(yōu)點(diǎn)是摩擦系數(shù)小,傳動(dòng)效率高,靈敏度高,傳動(dòng)平穩(wěn),不易產(chǎn)生滑行,傳動(dòng)精度和定位精度高;磨損小,使用壽命

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