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1、精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上全自動激光調(diào)阻作業(yè)指導書一啟動/關閉系統(tǒng)步驟(圖1-1、1-2、1-3所示)圖1-1圖1-2電流范圍8.5-9.5,一般8.9-9.1圖1-3啟動總共分十一個步驟依次執(zhí)行:先關閉室外氣缸氣閥、水閥,打開氣缸電源,綠鈕是ON,紅鈕OFF室內(nèi)步驟步驟1:總電源開關步驟2:PTS顯示器開關步驟3:水冷機電源開關步驟4:水冷機啟動開關(等10秒聽到水冷機出聲再執(zhí)行下一步)步驟5:激光信號源調(diào)制電源開關步驟6:PC驅動電源開關步驟7:探針掃描驅電源動開關步驟8:PC啟動開關步驟9:PC顯示器開關步驟10:平臺蓋開關 開激光電源開關 激光開關 調(diào)激光電流到9.1關閉步驟順序:激光
2、電流調(diào)零、關激光開關、關激光電源開關、10、關閉計算機9、7、6、5、4、3、2、1,關氣缸放氣放水。二調(diào)阻具體過程2-11.運行調(diào)阻程序雙擊桌面圖標(圖2-1),出現(xiàn)操作程序界面如圖2-21.2-2常用的是操作命令集與電阻屬性編輯兩個命令選項卡:操作命令集常用的前移、后移、左移、右移按鈕和氣缸關閉/打開按鈕如圖2-3圖2-3前后左右移 用來控制平臺的移動的位子120前移后后移的距離.02 左移右移的距離單位:mm氣缸關閉/打開:是否能夠進行平臺的移動按鈕顯示氣缸關閉則可進行平臺的前后左右移,反之則不行2.擺放基片(所有步驟中最重要的一步,會影響接下來的具體調(diào)刻)圖2-4用食指斜著推基板力度遞減,推2到3次確保左上角不留縫隙,這樣基片的位置就絕對正確。(再次提醒這一步很重要,將會影響效率)3移動平臺 查看位置鼠標左擊 前移按鈕(文本框數(shù)值 120),然后看平臺顯示器pts如圖2-5圖2-5觀察紅點是否在所需要調(diào)試的電阻下邊(黑色的小方塊)。圖2-64調(diào)阻根據(jù)所需要調(diào)阻的基片,選擇具體的調(diào)阻參數(shù),如圖2-7,圖2-7選擇調(diào)入?yún)?shù),找到相應文件,選擇好正確的文件,然后點擊“修刻參數(shù)”中的“連續(xù)修刻”即可。5取出基片取出基片,擺放整齊放下一個基片時在
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