1、PECVD介紹vPECVD工作原理vPECVD結(jié)構(gòu)介紹vPECVD控制系統(tǒng)簡介vPECVD報(bào)警系統(tǒng)介紹vPECVD操作系統(tǒng)介紹vPECVD工藝氣體特點(diǎn)簡介vPECVD工作程序介紹vPECVD工藝分析與操作注意事項(xiàng)v工作原理：工作原理：Centrotherm PECVD 系統(tǒng)是系統(tǒng)是一組利用平行板鍍膜舟和高頻等離子激發(fā)一組利用平行板鍍膜舟和高頻等離子激發(fā)器的系列發(fā)生器。在低壓的情況下，等離器的系列發(fā)生器。在低壓的情況下，等離子發(fā)生器直接在，裝在鍍膜板中間的介質(zhì)子發(fā)生器直接在，裝在鍍膜板中間的介質(zhì)的中間發(fā)生反應(yīng)。所用的活性氣體為硅烷的中間發(fā)生反應(yīng)。所用的活性氣體為硅烷SiH4和氨和氨NH3。可以根

2、據(jù)改變硅烷對氨的比?？梢愿鶕?jù)改變硅烷對氨的比率，來得到不同的折射指數(shù)。在沉積工藝率，來得到不同的折射指數(shù)。在沉積工藝中，伴有大量的氫原子和氫離子的產(chǎn)生，中，伴有大量的氫原子和氫離子的產(chǎn)生，使得晶片的氫鈍化性十分良好。使得晶片的氫鈍化性十分良好。PECVD的原理及作用的原理及作用 PECVD設(shè)備結(jié)構(gòu)設(shè)備結(jié)構(gòu)v晶片裝載區(qū)晶片裝載區(qū)v爐體爐體v特氣柜特氣柜v真空系統(tǒng)真空系統(tǒng)v控制系統(tǒng)控制系統(tǒng)PECVD設(shè)備結(jié)構(gòu)示意圖設(shè)備結(jié)構(gòu)示意圖 上下載部分:有電腦系統(tǒng),凈化風(fēng)機(jī),機(jī)械手等部分; 主要作用:電腦是整個(gè)系統(tǒng)的控制中樞,凈化風(fēng)機(jī)起局部環(huán)境凈化作用同時(shí)也是上料和下料部分. 廢氣室:有爐門排風(fēng)系統(tǒng)組成; 主要

3、作用:為了保持?jǐn)U散爐管內(nèi)良好的密封性能,并將未能從尾氣管排出的殘留廢氣及時(shí)抽走,防止廢氣泄露. 爐體部分:由加熱電阻絲組成; 主要作用:通過大電流發(fā)熱滿足工藝要求的擴(kuò)散溫度. 氣柜部分:由所需的各種氣路,流量計(jì)及. 主要作用:為工藝提供所需的氣體流量.簡要部分介紹上下裝載區(qū)：槳、上下裝載區(qū)：槳、LIFT、抽風(fēng)系統(tǒng)、抽風(fēng)系統(tǒng)、SLS系統(tǒng)。系統(tǒng)。槳：槳： 由碳化硅材料制成，具有耐高溫、防變形等由碳化硅材料制成，具有耐高溫、防變形等 性能。作用是將石墨舟放入或取出石英管。性能。作用是將石墨舟放入或取出石英管。LIFT：機(jī)械臂系統(tǒng)，使舟在機(jī)械臂作用下在?。簷C(jī)械臂系統(tǒng)，使舟在機(jī)械臂作用下在小 車、槳、儲

4、存區(qū)之間互相移動。車、槳、儲存區(qū)之間互相移動。抽風(fēng)系統(tǒng)：位于晶片裝載區(qū)上方，初步的冷卻石抽風(fēng)系統(tǒng)：位于晶片裝載區(qū)上方，初步的冷卻石 墨舟和一定程度的過濾殘余氣體墨舟和一定程度的過濾殘余氣體 SLS系統(tǒng)：軟著陸系統(tǒng)，控制槳的上下，移動范圍在系統(tǒng)：軟著陸系統(tǒng)，控制槳的上下，移動范圍在 23厘米厘米PECVD設(shè)備結(jié)構(gòu)載片區(qū)部分介紹 機(jī)械手槳小推車操作平臺指示燈爐門石墨舟電極口爐體：石英管、加熱系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)爐體：石英管、加熱系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)v石英管：爐體內(nèi)有四根石英管，是鍍膜石英管：爐體內(nèi)有四根石英管，是鍍膜 的作業(yè)區(qū)域，耐高溫、防反應(yīng)。的作業(yè)區(qū)域，耐高溫、防反應(yīng)。v加熱系統(tǒng)：位于石英管外，又五個(gè)溫區(qū)

5、。加熱系統(tǒng)：位于石英管外，又五個(gè)溫區(qū)。PECVD設(shè)備結(jié)構(gòu)加熱反應(yīng)室熱電偶熱電偶1爐管內(nèi)部電極熱電偶窗口窗口電極熱電偶2排氣口爐管后段PECVD設(shè)備結(jié)構(gòu)冷卻系統(tǒng)：冷卻系統(tǒng)：v是一套封閉的循環(huán)水是一套封閉的循環(huán)水系統(tǒng)，位于加熱系統(tǒng)系統(tǒng)，位于加熱系統(tǒng)的金屬外殼，四進(jìn)四的金屬外殼，四進(jìn)四出并出并 有一個(gè)主管道，有一個(gè)主管道，可適量調(diào)節(jié)流量大小?？蛇m量調(diào)節(jié)流量大小。冷卻水系統(tǒng)進(jìn)水口 出水口特氣柜：特氣柜：MFC 氣動閥氣動閥 MFC：氣體流量計(jì)（：氣體流量計(jì)（NH3 SiH4 N2等等）氣動閥：之所以不用電磁閥是因?yàn)殡姶砰y在工作時(shí)容氣動閥：之所以不用電磁閥是因?yàn)殡姶砰y在工作時(shí)容 易產(chǎn)生火花，而氣動閥可以

6、最大程度的避免火花。易產(chǎn)生火花，而氣動閥可以最大程度的避免火花。PECVD設(shè)備結(jié)構(gòu)真空系統(tǒng)真空系統(tǒng)v真空泵：每一根石英管配置一組泵，包括主泵和輔助泵。真空泵：每一根石英管配置一組泵，包括主泵和輔助泵。v蝶閥：可以根據(jù)要求控制閥門的開關(guān)的大小，來調(diào)節(jié)蝶閥：可以根據(jù)要求控制閥門的開關(guān)的大小，來調(diào)節(jié) 管管內(nèi)氣壓的內(nèi)氣壓的 PECVD設(shè)備結(jié)構(gòu)PECVD控制系統(tǒng)主要從事的是下面的四種控制系統(tǒng) 1 PECVD真空的控制 2 PECVD的機(jī)械手的控制 3 PECVD的特氣控制 4 PECVD的電器控制PECVD控制系統(tǒng)控制系統(tǒng)控制系統(tǒng) CMI：是：是 Centrotherm 研發(fā)的一個(gè)控制系統(tǒng)，其中界研發(fā)的

7、一個(gè)控制系統(tǒng)，其中界 面包括面包括 Jobs 、System、Datalog、Setup、 Alarms、Help. v Jobs: 機(jī)器的工作狀態(tài)。機(jī)器的工作狀態(tài)。v System: 四根管子的工作狀態(tài)，舟的狀態(tài)以及手四根管子的工作狀態(tài)，舟的狀態(tài)以及手 動操作機(jī)器臂的內(nèi)容。動操作機(jī)器臂的內(nèi)容。v Datalog: 機(jī)器運(yùn)行的每一步。機(jī)器運(yùn)行的每一步。 PECVD控制系統(tǒng)CMI-access gate to CESARSMenu for manual operations溫度控制系統(tǒng)PECVDPECVD日常報(bào)警說明日常報(bào)警說明管式管式PECVD日常報(bào)警說明日常報(bào)警說明vProcess reci

8、pe has terminated with error state-Alarm ACK-(1)to store(2)to store enable unload(3)Restart recipe . v說明：進(jìn)行中的工藝以錯(cuò)誤的狀態(tài)結(jié)束說明：進(jìn)行中的工藝以錯(cuò)誤的狀態(tài)結(jié)束-警報(bào)確認(rèn)警報(bào)確認(rèn)-（1）儲存（儲存（2）儲存并卸下（）儲存并卸下（3）重新開始工藝。）重新開始工藝。v(1)用錯(cuò)工藝號，手動結(jié)束工藝，重新開始新的其它工藝時(shí)用錯(cuò)工藝號，手動結(jié)束工藝，重新開始新的其它工藝時(shí)進(jìn)行選擇。進(jìn)行選擇。v(2)多數(shù)情況下選擇此項(xiàng)。；多數(shù)情況下選擇此項(xiàng)。； v(3)工藝中斷需要重新進(jìn)行時(shí)選擇，選擇前應(yīng)查看

9、鍍膜情況。工藝中斷需要重新進(jìn)行時(shí)選擇，選擇前應(yīng)查看鍍膜情況。1管式管式PECVD日常報(bào)警說明日常報(bào)警說明vBoat already in tube-select: process=0 unload=1.v說明：石墨舟已經(jīng)在管內(nèi)說明：石墨舟已經(jīng)在管內(nèi)-選擇選擇運(yùn)行工藝運(yùn)行工藝=0 取取出卸下出卸下=1。v當(dāng)管內(nèi)有石墨舟時(shí)，異常排除后手動運(yùn)行工藝時(shí)當(dāng)管內(nèi)有石墨舟時(shí)，異常排除后手動運(yùn)行工藝時(shí)會出現(xiàn)這樣的提示，查看鍍膜情況后在做選擇。會出現(xiàn)這樣的提示，查看鍍膜情況后在做選擇。2管式管式PECVD日常報(bào)警說明日常報(bào)警說明vLost homing, check position. v說明：失去引導(dǎo)，檢查位

10、置。說明：失去引導(dǎo)，檢查位置。v此報(bào)警會自動解除，只需要檢查一下槳是此報(bào)警會自動解除，只需要檢查一下槳是否在原點(diǎn)的位置即可。否在原點(diǎn)的位置即可。3管式管式PECVD日常報(bào)警說明日常報(bào)警說明vHFGen out of 1st(2nd) tolerance. v說明：高頻發(fā)生器超過第一（二）個(gè)位置，如果在鍍膜說明：高頻發(fā)生器超過第一（二）個(gè)位置，如果在鍍膜中退出，如已經(jīng)沉積到氮化硅，檢查鍍膜時(shí)間后，選擇中退出，如已經(jīng)沉積到氮化硅，檢查鍍膜時(shí)間后，選擇手動工藝輸入剩余時(shí)間。手動工藝輸入剩余時(shí)間。v通常出現(xiàn)這樣的報(bào)警有三種情況：通常出現(xiàn)這樣的報(bào)警有三種情況：v(1)石墨舟的電極孔放反。石墨舟的電極孔放

11、反。 v(2)石墨電極內(nèi)有硅片倒落或者小碎片卡在兩片電極的中石墨電極內(nèi)有硅片倒落或者小碎片卡在兩片電極的中間。間。v(3)爐內(nèi)的碎片太多，石墨電極底部接觸到碎片形成兩片爐內(nèi)的碎片太多，石墨電極底部接觸到碎片形成兩片電極之間的短路。電極之間的短路。4管式管式PECVD日常報(bào)警說明日常報(bào)警說明vRecipe abort2-process abort! TO continue: enter AB. v說明：工藝推出說明：工藝推出-運(yùn)行終止。繼續(xù)運(yùn)行終止。繼續(xù)輸入輸入AB。v 對工藝異常確認(rèn)輸入對工藝異常確認(rèn)輸入AB后，會出現(xiàn)后，會出現(xiàn)第（一）個(gè)報(bào)警第（一）個(gè)報(bào)警 5管式管式PECVD日常報(bào)警說明日常

12、報(bào)警說明vVacuum tube out of 1st(2nd) tolerance. v說明：石英管內(nèi)的真空度超過第一（二）個(gè)限說明：石英管內(nèi)的真空度超過第一（二）個(gè)限值。值。v系統(tǒng)會對石英管內(nèi)的真空度三秒鐘檢查一次，系統(tǒng)會對石英管內(nèi)的真空度三秒鐘檢查一次，由于某種原因?qū)е鲁檎婵毡谎訒r(shí)，在特定的時(shí)由于某種原因?qū)е鲁檎婵毡谎訒r(shí)，在特定的時(shí)間內(nèi)無法達(dá)到真空設(shè)定值的要求，系統(tǒng)會出現(xiàn)間內(nèi)無法達(dá)到真空設(shè)定值的要求，系統(tǒng)會出現(xiàn)這樣的報(bào)警，檢查一下狀態(tài)欄中的壓力值和真這樣的報(bào)警，檢查一下狀態(tài)欄中的壓力值和真空泵的工作是否正常，如正常過幾分鐘后報(bào)警空泵的工作是否正常，如正常過幾分鐘后報(bào)警會自動解除；如果此報(bào)

13、警連同第（八）個(gè)報(bào)警會自動解除；如果此報(bào)警連同第（八）個(gè)報(bào)警一起出現(xiàn)的話，聯(lián)系工序長和領(lǐng)班。一起出現(xiàn)的話，聯(lián)系工序長和領(lǐng)班。6管式管式PECVD日常報(bào)警說明日常報(bào)警說明vBoat sensor of grab has changed without permission. v說明：機(jī)械手上的傳感器被非允許移動。說明：機(jī)械手上的傳感器被非允許移動。 v機(jī)械手喜愛上下移動時(shí)不會前后移動，若機(jī)械手喜愛上下移動時(shí)不會前后移動，若這時(shí)前后的位置發(fā)生變化，機(jī)械臂將會被這時(shí)前后的位置發(fā)生變化，機(jī)械臂將會被鎖定，出現(xiàn)報(bào)警。此警報(bào)需要通知工序長鎖定，出現(xiàn)報(bào)警。此警報(bào)需要通知工序長或領(lǐng)班?；蝾I(lǐng)班。7管式管式PEC

14、VD日常報(bào)警說明日常報(bào)警說明vCollective alert pump st.1 v說明：真空泵報(bào)警。說明：真空泵報(bào)警。v一般情況下是由于真空泵的負(fù)壓太大，導(dǎo)一般情況下是由于真空泵的負(fù)壓太大，導(dǎo)致報(bào)警。如復(fù)位無效的話通知工序長或領(lǐng)致報(bào)警。如復(fù)位無效的話通知工序長或領(lǐng)班。班。 8管式管式PECVD日常報(bào)警說明日常報(bào)警說明vGas N2(SiH4、NH3)out of 1st(2nd) tolerance. v說明：特氣氮?dú)猓ü柰?、氨氣）超過第一（二）個(gè)說明：特氣氮?dú)猓ü柰?、氨氣）超過第一（二）個(gè)限值。限值。v出現(xiàn)這種報(bào)警的原因是多面的：高頻放電失敗、管出現(xiàn)這種報(bào)警的原因是多面的：高頻放電失敗、

15、管內(nèi)的壓力不正?；蛘哂捎谀撤N原因系統(tǒng)被鎖定（冷內(nèi)的壓力不正?；蛘哂捎谀撤N原因系統(tǒng)被鎖定（冷卻水報(bào)警），都會出現(xiàn)這樣的報(bào)警，出現(xiàn)超過第一卻水報(bào)警），都會出現(xiàn)這樣的報(bào)警，出現(xiàn)超過第一個(gè)限值報(bào)警，只是警告；超過第二個(gè)限值報(bào)警出現(xiàn)個(gè)限值報(bào)警，只是警告；超過第二個(gè)限值報(bào)警出現(xiàn)后工藝會自動停止，此時(shí)報(bào)警消失，出現(xiàn)第五個(gè)報(bào)后工藝會自動停止，此時(shí)報(bào)警消失，出現(xiàn)第五個(gè)報(bào)警信息警信息 9管式管式PECVD日常報(bào)警說明日常報(bào)警說明vWarming: check SiH4 distribution. v說明：警告說明：警告,檢查硅烷的流量。檢查硅烷的流量。v檢查硅烷的流量是否于設(shè)定值吻合，如果不檢查硅烷的流量是否于設(shè)

16、定值吻合，如果不是退出并重新運(yùn)行工藝是退出并重新運(yùn)行工藝 10管式管式PECVD日常報(bào)警說明日常報(bào)警說明vRecipe couldnt de started. please check protocol for reason.。 v說明：工藝不能被運(yùn)行，請檢查原因。說明：工藝不能被運(yùn)行，請檢查原因。 v原因：此管已有一個(gè)工藝在運(yùn)行；此管沒有你原因：此管已有一個(gè)工藝在運(yùn)行；此管沒有你要選的工藝文件；狀態(tài)不正確要選的工藝文件；狀態(tài)不正確 11管式管式PECVD日常報(bào)警說明日常報(bào)警說明vThere is already an active recipe form local listing. v說明

17、：已經(jīng)有工藝在此管的工藝列表中。說明：已經(jīng)有工藝在此管的工藝列表中。v十一、十二倆個(gè)報(bào)警有時(shí)會一起出現(xiàn)，終止任十一、十二倆個(gè)報(bào)警有時(shí)會一起出現(xiàn)，終止任何一個(gè)報(bào)警都會何一個(gè)報(bào)警都會解除。解除。 12管式管式PECVD日常報(bào)警說明日常報(bào)警說明vTube ready in undefined please ensure that the CESAR loading machine is at“0” position and softlander is “UP”. v說明：管子的狀態(tài)無法被確認(rèn)，請確保說明：管子的狀態(tài)無法被確認(rèn)，請確保CESAR接收到槳在接收到槳在“0”和和“UP”的位置。的位置。v檢

18、查槳是否在上位和原點(diǎn)的位置，如果是的，檢查槳是否在上位和原點(diǎn)的位置，如果是的，在空槳的情況下運(yùn)行在空槳的情況下運(yùn)行homing工藝；如果不工藝；如果不是，手動移動槳到上位和原點(diǎn)。是，手動移動槳到上位和原點(diǎn)。 13管式管式PECVD日常報(bào)警說明日常報(bào)警說明vBoat collision. v說明：舟被撞擊。說明：舟被撞擊。vHandling對話框中將舟移動到安全的對話框中將舟移動到安全的位置；若是在上下舟，檢查一下小車和位置；若是在上下舟，檢查一下小車和儲存架的位置是否于舟的位置匹配。儲存架的位置是否于舟的位置匹配。14管式管式PECVD日常報(bào)警說明日常報(bào)警說明vThe boat sensor

19、has detected no boat in the grab although a boat should be in the grab. please check boat in grab sensor and try again. v說明：雖然有一個(gè)舟在機(jī)械臂上，但傳感器測說明：雖然有一個(gè)舟在機(jī)械臂上，但傳感器測不到，請檢查一下舟是否接觸到傳感器后再試不到，請檢查一下舟是否接觸到傳感器后再試一次。一次。v機(jī)械臂上的傳感器沒有感應(yīng)到舟，將舟放到正機(jī)械臂上的傳感器沒有感應(yīng)到舟，將舟放到正確的位置即可。確的位置即可。15管式管式PECVD日常報(bào)警說明日常報(bào)警說明vGrab sensor un

20、defined. No movement possible! Check boat position. v說明：傳感器不明確，無法移動，檢查舟的位說明：傳感器不明確，無法移動，檢查舟的位置。置。v機(jī)械臂不在正確的位置，無法移動，若機(jī)械臂機(jī)械臂不在正確的位置，無法移動，若機(jī)械臂沒有被鎖定在沒有被鎖定在Handling的界面中將機(jī)械臂移至的界面中將機(jī)械臂移至正確的位置。正確的位置。16管式管式PECVD日常報(bào)警說明日常報(bào)警說明vBoat position (speed) out of 1st(2nd) tolerance. v說明：舟的位置（速度）超過第一（二）說明：舟的位置（速度）超過第一（二）

21、限值。通常會發(fā)生在退舟失敗后，手動使限值。通常會發(fā)生在退舟失敗后，手動使槳復(fù)位。槳復(fù)位。17管式管式PECVD日常報(bào)警說明日常報(bào)警說明vBoat failure . v說明：退舟失敗。說明：退舟失敗。v檢查舟在槳上的位置，如果正確手動將檢查舟在槳上的位置，如果正確手動將槳復(fù)位；如果不正確，戴上高溫手套把槳復(fù)位；如果不正確，戴上高溫手套把舟拉到正確的位置后手動復(fù)位。舟拉到正確的位置后手動復(fù)位。18管式管式PECVD日常報(bào)警說明日常報(bào)警說明vWater flow gas side st.1. v說明：說明：TGA（gas side ）冷卻水報(bào)警。）冷卻水報(bào)警。將石英管后的冷卻水流量調(diào)整一下即可將石

22、英管后的冷卻水流量調(diào)整一下即可19管式管式PECVD日常報(bào)警說明日常報(bào)警說明vVN: No process boat in source position. v說明：在設(shè)定的位置沒有舟的存在。說明：在設(shè)定的位置沒有舟的存在。v通常是因?yàn)闄C(jī)械臂將石墨舟放到儲存架上，通常是因?yàn)闄C(jī)械臂將石墨舟放到儲存架上，儲存架上的傳感器沒有感應(yīng)到。調(diào)節(jié)傳感儲存架上的傳感器沒有感應(yīng)到。調(diào)節(jié)傳感器或者調(diào)節(jié)舟的位置即可。器或者調(diào)節(jié)舟的位置即可。20PECVD操作與工藝過程1 開機(jī)過程簡介2關(guān)機(jī)過程簡介3操作過程簡介4工藝氣體介紹5工藝過程介紹PECVD開機(jī)開機(jī)v打開打開N2閥。確認(rèn)面板上綠色閥。確認(rèn)面板上綠色N2閥已打

23、開。壓力值為閥已打開。壓力值為1kg /cm2左右左右N2閥閥PECVD操作簡介PECVD操作簡介v按壓按壓START真空泵啟動按鈕，啟動真空泵。真空泵啟動按鈕，啟動真空泵。CBI按鈕按鈕START按鈕按鈕PECVD操作簡介PECVD開機(jī)開機(jī)v打開設(shè)備冷卻水。先打開出水閥，再開進(jìn)水閥。打開設(shè)備冷卻水。先打開出水閥，再開進(jìn)水閥。壓力在壓力在3kg /cm2-6kg /cm2 范圍內(nèi)范圍內(nèi)進(jìn)水閥進(jìn)水閥出水閥出水閥PECVD操作簡介PECVD開機(jī)開機(jī)v打開并檢查氣源。打開壓縮空氣閥，氮打開并檢查氣源。打開壓縮空氣閥，氮?dú)忾y，氣閥，NH3閥，閥，SiH4閥。閥。 v機(jī)器上壓縮空氣壓力應(yīng)在機(jī)器上壓縮空氣

24、壓力應(yīng)在6kg /cm27kg /cm2。其他氣體為。其他氣體為4kg /cm210kg /cm2范圍范圍PECVD操作簡介PECVD開機(jī)開機(jī)v開總電源。用手扳住電柜外部的紅色按鈕，順時(shí)針方向旋開總電源。用手扳住電柜外部的紅色按鈕，順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)90度。機(jī)器上指示燈度。機(jī)器上指示燈 VAT控制器燈亮，可確定總電源控制器燈亮，可確定總電源已開啟。已開啟。該狀態(tài)為已該狀態(tài)為已經(jīng)扳過經(jīng)扳過90度度PECVD操作簡介PECVD開機(jī)開機(jī)PECVD的操作流程的操作流程戴好無紡戴好無紡布口罩布口罩戴好潔戴好潔凈手套凈手套取來待取來待鍍鍍膜的硅膜的硅片片在刻蝕處檢在刻蝕處檢查硅片數(shù)量查硅片數(shù)量把石墨舟推到潔

25、把石墨舟推到潔凈工作臺下凈工作臺下取出承片盒放取出承片盒放入潔凈工作臺入潔凈工作臺取出石英吸筆，取出石英吸筆，并擦拭干凈并擦拭干凈把硅片一片片插入石墨舟內(nèi)把硅片一片片插入石墨舟內(nèi)注意硅片的擴(kuò)散方向注意硅片的擴(kuò)散方向一舟插完后，用小車推一舟插完后，用小車推到設(shè)備的上料口到設(shè)備的上料口對計(jì)算機(jī)進(jìn)行相應(yīng)的操對計(jì)算機(jī)進(jìn)行相應(yīng)的操作后，讓其自動運(yùn)行作后，讓其自動運(yùn)行工藝結(jié)束（鍍工藝結(jié)束（鍍膜結(jié)束）膜結(jié)束）開門退舟（設(shè)開門退舟（設(shè)備自動運(yùn)行）備自動運(yùn)行）待報(bào)警后，按待報(bào)警后，按退車按鈕退車退車按鈕退車把裝有石墨舟的小車推把裝有石墨舟的小車推到冷卻房內(nèi)進(jìn)行冷卻到冷卻房內(nèi)進(jìn)行冷卻冷卻結(jié)束后，把小冷卻結(jié)束后，把

26、小車推到插片房內(nèi)車推到插片房內(nèi)卸片結(jié)束后，放入卸片結(jié)束后，放入指定的承載盒內(nèi)指定的承載盒內(nèi)把放滿的承載盒拿到絲把放滿的承載盒拿到絲網(wǎng)上料，準(zhǔn)備進(jìn)行印刷網(wǎng)上料，準(zhǔn)備進(jìn)行印刷開始卸片。注開始卸片。注意工藝點(diǎn)的一意工藝點(diǎn)的一致性致性n啟動啟動CMI程序。開總電源后計(jì)算機(jī)自動啟動。輸入密碼程序。開總電源后計(jì)算機(jī)自動啟動。輸入密碼后自動進(jìn)入后自動進(jìn)入Windows桌面。桌面。用鼠標(biāo)左鍵雙擊用鼠標(biāo)左鍵雙擊“CMI”圖標(biāo)，圖標(biāo)，啟動啟動 CMI。n進(jìn)入進(jìn)入CMI 畫面，檢查設(shè)備狀態(tài)畫面，檢查設(shè)備狀態(tài)：SLS=UP ，DOOR=CLOSED ，PLC=OK ，LIFT=READY ，TUBE=READY ，T

27、GA FREE=YES SET/ACT POSITION=0 ，PROCFLAG=OKn選擇工藝程序，生產(chǎn)選擇工藝程序，生產(chǎn)。2 PECVD操作簡介用手推車槳舟移動到固定位置查看爐管的工作，并等待爐管的工作編寫LOT NUMBER 號，并用機(jī)械手放到要去的 槳上，并將機(jī)械手回位將舟進(jìn)入到爐管內(nèi) 撤舟，撤舟的后關(guān)門運(yùn)行已經(jīng)調(diào)處的程序siNx鍍膜程序運(yùn)行完進(jìn)行吹掃沖氮?dú)獬分鄣却隣t管溫度均勻，此時(shí)沖氮?dú)獬檎婵?，分預(yù)抽與主抽氨氣進(jìn)入，先輝光放電 通氨氣與硅烷停止通氨氣與硅烷，通入氮?dú)?抽真空 通氮?dú)獾酱髿鈮篜ECVD關(guān)機(jī)關(guān)機(jī)v檢查確認(rèn)生產(chǎn)已完畢。機(jī)器中舟已卸出。檢查確認(rèn)生產(chǎn)已完畢。機(jī)器中舟已卸出。vP

28、ECVD每個(gè)真空管壓力設(shè)定為每個(gè)真空管壓力設(shè)定為10000mToor,等每管實(shí)際等每管實(shí)際壓力達(dá)到壓力達(dá)到10000mToor。v關(guān)閉關(guān)閉CMI程序。再關(guān)計(jì)算機(jī)。程序。再關(guān)計(jì)算機(jī)。v關(guān)主電源。用手扳住電柜外部的紅色按鈕，逆時(shí)針方向關(guān)主電源。用手扳住電柜外部的紅色按鈕，逆時(shí)針方向轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)90度。度。v關(guān)閉氣源。注意：除關(guān)閉氣源。注意：除N2外關(guān)閉所有氣體。外關(guān)閉所有氣體。v關(guān)閉冷卻水。等待二十分鐘后關(guān)閉冷卻水。先關(guān)進(jìn)水，關(guān)閉冷卻水。等待二十分鐘后關(guān)閉冷卻水。先關(guān)進(jìn)水，再關(guān)出水。再關(guān)出水。v關(guān)閉真空泵。按壓真空泵面板關(guān)閉真空泵。按壓真空泵面板“OFF”按鈕停泵。等待按鈕停泵。等待20分鐘后關(guān)閉冷卻水和

29、分鐘后關(guān)閉冷卻水和N2閥閥 工藝氣體特點(diǎn)介紹從上面的工藝氣體的反應(yīng)來看,對于硅烷和氨氣的鍵能來看,氨氣的鍵能大于硅烷的 鍵能,所以在輝光放電時(shí),要先通氨氣,在通硅烷,這樣才能使之共同進(jìn)行輝光放電.硅烷硅烷SiH4v危險(xiǎn)性概述危險(xiǎn)性概述v爆炸危險(xiǎn)：易燃，爆炸危險(xiǎn)：易燃， 暴露在空氣中能自燃。暴露在空氣中能自燃。v健康危害：吸入硅烷蒸氣后，引起頭痛、頭暈、發(fā)熱、健康危害：吸入硅烷蒸氣后，引起頭痛、頭暈、發(fā)熱、惡心、多汗，嚴(yán)重者面色蒼白，脈搏微弱，惡心、多汗，嚴(yán)重者面色蒼白，脈搏微弱， 陷入半昏陷入半昏迷狀態(tài)。脫離現(xiàn)場至空氣新鮮處，保持呼吸道通暢，迷狀態(tài)。脫離現(xiàn)場至空氣新鮮處，保持呼吸道通暢，必要時(shí)

30、進(jìn)行人工呼吸，就醫(yī)。必要時(shí)進(jìn)行人工呼吸，就醫(yī)。消防措施消防措施v危險(xiǎn)特性：易燃，遇明火、高熱極易燃燒，暴露在空危險(xiǎn)特性：易燃，遇明火、高熱極易燃燒，暴露在空氣中能自燃，與氟、氯等發(fā)生劇烈的化學(xué)反應(yīng)。氣中能自燃，與氟、氯等發(fā)生劇烈的化學(xué)反應(yīng)。v滅火方法：切斷氣源，若不能立即切斷氣源，則不允滅火方法：切斷氣源，若不能立即切斷氣源，則不允許熄滅正在燃燒的氣體，噴水冷卻容器，可能的話將許熄滅正在燃燒的氣體，噴水冷卻容器，可能的話將容器從火場移至空曠處。容器從火場移至空曠處。v滅火劑：二氧化碳。滅火劑：二氧化碳。硅烷硅烷SiH4泄漏應(yīng)急處理泄漏應(yīng)急處理v迅速撤離泄漏污染區(qū)，人員至上風(fēng)處，并隔離至氣體迅速

31、撤離泄漏污染區(qū)，人員至上風(fēng)處，并隔離至氣體散去，切斷火源。建議應(yīng)急處理人員戴自給正壓式呼散去，切斷火源。建議應(yīng)急處理人員戴自給正壓式呼吸器，穿一般消防護(hù)服，切斷氣源，噴灑霧狀水稀釋、吸器，穿一般消防護(hù)服，切斷氣源，噴灑霧狀水稀釋、抽排抽排(室內(nèi)室內(nèi))或強(qiáng)力通風(fēng)或強(qiáng)力通風(fēng)(室外室外)。如有可能，將殘余氣或。如有可能，將殘余氣或漏出氣用排風(fēng)機(jī)送至水洗塔或與塔相連的通風(fēng)櫥內(nèi)，漏出氣用排風(fēng)機(jī)送至水洗塔或與塔相連的通風(fēng)櫥內(nèi)，漏氣容器不能再用，且要經(jīng)過技術(shù)處理，以除去可能漏氣容器不能再用，且要經(jīng)過技術(shù)處理，以除去可能剩下的氣體。剩下的氣體。硅烷硅烷SiH4v爆炸危險(xiǎn)：易燃，能與空氣混合形成爆炸性氣體，遇明

32、火爆炸危險(xiǎn)：易燃，能與空氣混合形成爆炸性氣體，遇明火及高熱會燃燒、爆炸。及高熱會燃燒、爆炸。v健康危害：低濃度氨對粘膜有刺激作用，高濃度可造成組健康危害：低濃度氨對粘膜有刺激作用，高濃度可造成組織溶解壞死?？椚芙鈮乃?。v急性中毒：輕度者出現(xiàn)眼淚、咽痛、聲音嘶啞、咳嗽、咯急性中毒：輕度者出現(xiàn)眼淚、咽痛、聲音嘶啞、咳嗽、咯痰等，眼結(jié)膜、鼻粘膜、咽部充血、水腫、胸部痰等，眼結(jié)膜、鼻粘膜、咽部充血、水腫、胸部X線癥象線癥象符合支氣管炎或支氣管周圍炎。中度中毒：上述癥狀加重，符合支氣管炎或支氣管周圍炎。中度中毒：上述癥狀加重，出現(xiàn)呼吸困難、紫紺、胸部出現(xiàn)呼吸困難、紫紺、胸部X線癥象符合肺炎或間質(zhì)性肺線癥

33、象符合肺炎或間質(zhì)性肺炎，嚴(yán)重者可發(fā)生中毒性肺水腫，或有呼吸道窘迫綜合癥，炎，嚴(yán)重者可發(fā)生中毒性肺水腫，或有呼吸道窘迫綜合癥，患者劇烈咳嗽，咯大量粉紅色泡沫痰，呼吸窘迫，譫意、患者劇烈咳嗽，咯大量粉紅色泡沫痰，呼吸窘迫，譫意、昏迷、休克，可發(fā)生喉頭水腫或支氣管粘膜壞死脫落窒息，昏迷、休克，可發(fā)生喉頭水腫或支氣管粘膜壞死脫落窒息，高濃度高濃度NH3可引起反射性呼吸停止。濃氨或高濃度氨可致可引起反射性呼吸停止。濃氨或高濃度氨可致眼灼傷，濃氨可致皮膚灼傷眼灼傷，濃氨可致皮膚灼傷。氨氣氨氣NH3v環(huán)境危害：對環(huán)境有嚴(yán)重危害，應(yīng)特別注意對地表水、環(huán)境危害：對環(huán)境有嚴(yán)重危害，應(yīng)特別注意對地表水、土壤、大氣和

34、飲用水的污染。土壤、大氣和飲用水的污染。v皮膚接觸：立即脫去被污染的衣著，應(yīng)用皮膚接觸：立即脫去被污染的衣著，應(yīng)用2%硼酸液或硼酸液或大量清水沖洗，就醫(yī)。大量清水沖洗，就醫(yī)。v眼睛接觸：眼睛接觸： 立即提起眼瞼，用大量流動清水或生理鹽立即提起眼瞼，用大量流動清水或生理鹽水徹底清洗，至少水徹底清洗，至少15分鐘，就醫(yī)。分鐘，就醫(yī)。v吸入：吸入： 迅速脫離現(xiàn)場至空氣新鮮處，保持呼吸道通迅速脫離現(xiàn)場至空氣新鮮處，保持呼吸道通暢，如呼吸困難，給輸氧；如呼吸停止，立即進(jìn)行人暢，如呼吸困難，給輸氧；如呼吸停止，立即進(jìn)行人工呼吸，就醫(yī)。工呼吸，就醫(yī)。v危險(xiǎn)特性：易燃，與空氣混合能形成爆炸性混合物，危險(xiǎn)特性：

35、易燃，與空氣混合能形成爆炸性混合物，遇明火、高熱能引起燃燒、爆炸，與氟、氯等接觸會遇明火、高熱能引起燃燒、爆炸，與氟、氯等接觸會發(fā)生劇烈的化學(xué)反應(yīng)，若遇高熱，容器內(nèi)壓增大，有發(fā)生劇烈的化學(xué)反應(yīng)，若遇高熱，容器內(nèi)壓增大，有開裂和爆炸的危險(xiǎn)。開裂和爆炸的危險(xiǎn)。氨氣氨氣NH3v滅火方法滅火方法: 消防人員必須穿戴全身防火防消防人員必須穿戴全身防火防毒服，切斷氣源，若不能立即切斷氣源，毒服，切斷氣源，若不能立即切斷氣源，則不允許熄滅正在燃燒的氣體，噴水冷卻則不允許熄滅正在燃燒的氣體，噴水冷卻容器，可能的話將容器從火場移至空曠處。容器，可能的話將容器從火場移至空曠處。v滅火劑：滅火劑： 霧狀水、抗溶性泡

36、沫、二氧化霧狀水、抗溶性泡沫、二氧化碳、砂土碳、砂土.氨氣氨氣NH3泄漏應(yīng)急處理泄漏應(yīng)急處理v迅速撤離泄漏污染區(qū)，人員至上風(fēng)向，并立即隔離迅速撤離泄漏污染區(qū)，人員至上風(fēng)向，并立即隔離150米，嚴(yán)格限制出入，切斷火源，建議應(yīng)急處理米，嚴(yán)格限制出入，切斷火源，建議應(yīng)急處理人員戴自給正壓式呼吸器，穿防毒服，盡可能切斷人員戴自給正壓式呼吸器，穿防毒服，盡可能切斷泄漏源，合理通風(fēng)，加速擴(kuò)散，高濃度泄漏區(qū)，噴泄漏源，合理通風(fēng)，加速擴(kuò)散，高濃度泄漏區(qū)，噴含含HCl的噴霧水中和、稀釋、溶解，構(gòu)筑圍堤或挖的噴霧水中和、稀釋、溶解，構(gòu)筑圍堤或挖坑收容產(chǎn)生的大量廢水。如可能將殘余氣或漏出氣坑收容產(chǎn)生的大量廢水。如可

37、能將殘余氣或漏出氣體用排風(fēng)機(jī)送至水洗塔或與塔相連的通風(fēng)櫥內(nèi)。儲體用排風(fēng)機(jī)送至水洗塔或與塔相連的通風(fēng)櫥內(nèi)。儲罐區(qū)最好設(shè)稀酸噴灑設(shè)施。漏氣容器要妥善處理，罐區(qū)最好設(shè)稀酸噴灑設(shè)施。漏氣容器要妥善處理，修復(fù)，檢驗(yàn)后再用。修復(fù)，檢驗(yàn)后再用。氨氣氨氣NH3vSi3N4的認(rèn)識的認(rèn)識:Si3N4膜的顏色隨著它的厚度的變化而變膜的顏色隨著它的厚度的變化而變化，其理想的厚度是化，其理想的厚度是7377nm之間，表面呈現(xiàn)的顏之間，表面呈現(xiàn)的顏色是深藍(lán)色，色是深藍(lán)色，Si3N4膜的折射率在膜的折射率在1.92.1之間為最佳，之間為最佳，與酒精的折射率相乎，通常用酒精來測其折射率與酒精的折射率相乎，通常用酒精來測其折射

38、率。 Si/N比對比對SiNx薄膜性質(zhì)的影響薄膜性質(zhì)的影響: 電阻率隨電阻率隨x增加而降低增加而降低 折射率折射率n隨隨x增加而增加增加而增加 腐蝕速率隨密度增加而降低腐蝕速率隨密度增加而降低鍍膜的作用與膜的要求SiNx的優(yōu)點(diǎn)：的優(yōu)點(diǎn)： 優(yōu)良的表面鈍化效果優(yōu)良的表面鈍化效果; 高效的光學(xué)減反射性能（厚度折射率匹配）高效的光學(xué)減反射性能（厚度折射率匹配） 低溫工藝（有效降低成本）低溫工藝（有效降低成本）; 反應(yīng)生成的反應(yīng)生成的H離子對硅片表面進(jìn)行鈍化離子對硅片表面進(jìn)行鈍化.Si3N4膜的作用膜的作用: 減少光的反射減少光的反射:良好的折射率和厚度可以促進(jìn)太陽光的良好的折射率和厚度可以促進(jìn)太陽光的

39、吸收。吸收。 防氧化防氧化:結(jié)構(gòu)致密保證硅片不被氧化。結(jié)構(gòu)致密保證硅片不被氧化。PECVD機(jī)械手操作界面PECVD整個(gè)程序的運(yùn)行過程中的控制影響影響PECVD膜的因素膜的因素沉積溫度沉積壓強(qiáng)氣體流量、比例微波功率：最大功率，ton，toff傳輸速度微波功率：較高的P-mean稍微提高沉積速率。 P-peak調(diào)整等離子體分布長度 。 壓強(qiáng)：較高壓強(qiáng)較低的沉積速率。 溫度：較高溫度稍微降低沉積速率。 氣流量：較高氣流量較高的沉積速率。氣體比例：更多SiH4提高折射率。各個(gè)條件影響分析各個(gè)條件影響分析1 1 影響影響PECVDPECVD膜厚的有膜厚的有 程序運(yùn)行時(shí)間太長程序運(yùn)行時(shí)間太長 爐內(nèi)的壓力太

40、大爐內(nèi)的壓力太大 輝光放電時(shí)的電壓太大輝光放電時(shí)的電壓太大 真空度有泄露真空度有泄露 去去PSGPSG清洗不干凈清洗不干凈 2 2 影響鍍膜的薄的原因有影響鍍膜的薄的原因有 程序運(yùn)行時(shí)間短程序運(yùn)行時(shí)間短 爐內(nèi)的壓力小爐內(nèi)的壓力小 輝光放電時(shí)的電壓小輝光放電時(shí)的電壓小 氣體流量少氣體流量少 3 3 影響膜的折射率低的原因有影響膜的折射率低的原因有 氣體流量不穩(wěn)定氣體流量不穩(wěn)定影響膜不均勻的主要因素影響膜不均勻的主要因素4影響電池片在片內(nèi)不均勻的有影響電池片在片內(nèi)不均勻的有輝光放電時(shí)電壓控制不準(zhǔn)確、氣體流量不準(zhǔn)確爐內(nèi)氣體壓強(qiáng)不準(zhǔn)確真空有泄露舟已經(jīng)超過最大位置槳上的舟已經(jīng)丟失5電池片上沒有膜的出現(xiàn)電

41、池片上沒有膜的出現(xiàn)輝光放電的電極關(guān)閉沒有氣體流過更改資料更改資料 v打開打開SETUP菜單，點(diǎn)擊菜單，點(diǎn)擊BOAT更改或刪除舟的資料。更改或刪除舟的資料。v選擇你要更改或刪除的舟的資料。選擇你要更改或刪除的舟的資料。 v輸入密碼后顯示設(shè)定輸入密碼后顯示設(shè)定Set boat act active for handling. 刪除刪除Delete load information of this boat v選擇選擇Delete load information of this boat.刪除石墨舟的刪除石墨舟的信息信息更改資料更改資料v選擇選擇Set boat act active for ha

42、ndling點(diǎn)擊點(diǎn)擊NEXT在在BOAT ID 中更改舟號，在中更改舟號，在PROCESS TUBE中選擇運(yùn)行工藝的中選擇運(yùn)行工藝的管號。管號。 v點(diǎn)擊點(diǎn)擊NEXT在在Actual boat location中選擇舟的實(shí)際的中選擇舟的實(shí)際的位置，在位置，在BOAT STATENOT ACTIVE中選擇舟的狀中選擇舟的狀況。況。v點(diǎn)擊點(diǎn)擊NEXT在在Recipe中選擇工藝文件，在中選擇工藝文件，在Lots in boat中輸入操作者。中輸入操作者。v點(diǎn)點(diǎn)Finish 完成設(shè)定。完成設(shè)定。厚度的均勻性厚度的均勻性(nominal 約約75 nm)同一硅片 +/- 5%同一片盒內(nèi)的硅片 +/- 5%

43、不同片盒內(nèi)的硅片 +/- 5%折射率折射率 (nominal 約約2.05)同一硅片 +/- 0.5%同一片盒內(nèi)的硅片 +/- 0.5%不同片盒內(nèi)的硅片 +/- 0.5%PECVD對膜的要求PECVD安全注意事項(xiàng)安全注意事項(xiàng)人身安全人身安全v舟和槳從爐管中出來后帶有高溫，移動小車時(shí)要注意不舟和槳從爐管中出來后帶有高溫，移動小車時(shí)要注意不要被燙傷。要被燙傷。v機(jī)器在自動運(yùn)行狀態(tài)下嚴(yán)禁進(jìn)入機(jī)器內(nèi)部。機(jī)器在自動運(yùn)行狀態(tài)下嚴(yán)禁進(jìn)入機(jī)器內(nèi)部。v進(jìn)入機(jī)器前，需把選擇開關(guān)打到手動進(jìn)入機(jī)器前，需把選擇開關(guān)打到手動“HAND”，待機(jī)，待機(jī)械手執(zhí)行完命令停下后，方可進(jìn)入機(jī)器。械手執(zhí)行完命令停下后，方可進(jìn)入機(jī)器。v

44、清理管內(nèi)碎片時(shí)需戴上高溫手套和防護(hù)眼鏡。清理管內(nèi)碎片時(shí)需戴上高溫手套和防護(hù)眼鏡。v接觸到碎片時(shí)，務(wù)必戴好乳膠手套，以防刺到手。接觸到碎片時(shí)，務(wù)必戴好乳膠手套，以防刺到手。v做吸筆時(shí)，要防止吸筆切斷的部分對自己或他人造成傷做吸筆時(shí)，要防止吸筆切斷的部分對自己或他人造成傷害。害。v上班要精神飽滿，動作嚴(yán)禁上班要精神飽滿，動作嚴(yán)禁“自主創(chuàng)新自主創(chuàng)新”，必須按章操，必須按章操作作 設(shè)備設(shè)備 設(shè)施設(shè)施 工夾具的安全工夾具的安全v機(jī)器在生產(chǎn)的過程中需有人看護(hù)。機(jī)器在生產(chǎn)的過程中需有人看護(hù)。v未經(jīng)培訓(xùn)合格不得操作設(shè)備，未經(jīng)授權(quán)嚴(yán)禁使用工序未經(jīng)培訓(xùn)合格不得操作設(shè)備，未經(jīng)授權(quán)嚴(yán)禁使用工序長得權(quán)限操作機(jī)器。長得權(quán)

45、限操作機(jī)器。 v推小車進(jìn)機(jī)器時(shí)，要首先確定電極孔的位置對內(nèi)向爐推小車進(jìn)機(jī)器時(shí)，要首先確定電極孔的位置對內(nèi)向爐體，否則有可能撞壞高頻的兩根電極。體，否則有可能撞壞高頻的兩根電極。v在在SLS處于處于UP位置時(shí)，管內(nèi)有舟不可手動進(jìn)槳。位置時(shí)，管內(nèi)有舟不可手動進(jìn)槳。v在在SLS處于處于DOWN位置時(shí)，槳上有舟不得手動進(jìn)舟。位置時(shí)，槳上有舟不得手動進(jìn)舟。v槳上有舟時(shí)，舟不在正確位置，不準(zhǔn)切換到自動運(yùn)行槳上有舟時(shí)，舟不在正確位置，不準(zhǔn)切換到自動運(yùn)行狀態(tài)。狀態(tài)。 PECVD安全注意事項(xiàng)安全注意事項(xiàng)v舟位于儲存架時(shí)，一定要確認(rèn)儲存架上的感應(yīng)器有沒舟位于儲存架時(shí)，一定要確認(rèn)儲存架上的感應(yīng)器有沒有感應(yīng)到。有感應(yīng)

46、到。 v遇到兩舟向撞時(shí)，立即按壓遇到兩舟向撞時(shí)，立即按壓“HANDLING STOP”。v機(jī)械臂把舟抓到槳上后，工藝無法正常運(yùn)行，先確定機(jī)械臂把舟抓到槳上后，工藝無法正常運(yùn)行，先確定舟在槳上的位置，以及舟在槳上的位置，以及Tube=ready、SLS=up 、 TGA=yes，然后進(jìn)行其它操作。，然后進(jìn)行其它操作。v退舟時(shí)，發(fā)生退舟時(shí)，發(fā)生“Boat failure”的警報(bào)，觀察舟的位置的警報(bào)，觀察舟的位置是否正確后才可以對警報(bào)進(jìn)行復(fù)位。是否正確后才可以對警報(bào)進(jìn)行復(fù)位。v當(dāng)發(fā)生舟槳分離時(shí)，立即按壓當(dāng)發(fā)生舟槳分離時(shí)，立即按壓“HANDLING STOP”。v清理管內(nèi)碎片要注意熱電偶，清理結(jié)束后一定要將熱清理管內(nèi)碎片要注意熱電偶，清理結(jié)束后一定要將熱電偶放于管子的中間位置，否則進(jìn)退舟時(shí)有可能被撞電偶放于管子的中間位置，否則進(jìn)退舟時(shí)有可能被撞掉。掉。PECV