1、2022年半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)專題研究1. 中國大陸晶圓廠擴(kuò)產(chǎn)拉動(dòng)各類半導(dǎo)體設(shè)備需求設(shè)備類型：薄膜沉積、刻蝕、過程控制等設(shè)備均為百億美金級別市場晶圓廠內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備按照類型可大致分為薄膜沉積、光刻、刻蝕、 過程控制、自動(dòng)化制造和控制、清洗、涂布顯影、去膠、化學(xué)機(jī) 械研磨（CMP）、快速熱處理/氧化擴(kuò)散、離子注入、其他晶圓級 設(shè)備等類別，其中薄膜沉積、光刻、刻蝕、過程控制占比最大。從晶圓廠內(nèi)各工藝環(huán)節(jié)來看，薄膜沉積、光刻、刻蝕設(shè)備是產(chǎn)線 中總價(jià)值量最高的三類半導(dǎo)體設(shè)備，2021年均占全球半導(dǎo)體設(shè)備 市場的20%以上。中國大陸產(chǎn)線進(jìn)展：行業(yè)增速44%，晶圓廠擴(kuò)產(chǎn)拉動(dòng)各類半導(dǎo)體設(shè)備需求在國內(nèi)晶圓廠擴(kuò)產(chǎn)驅(qū)動(dòng)下

2、，半導(dǎo)體設(shè)備需求持續(xù)拉 升。據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，2021年全球半導(dǎo)體設(shè)備市場同比 增加44%達(dá)到1026億美元的歷史新高，SEMI預(yù)計(jì)到 2022年將擴(kuò)大到1140億美元。 2021年中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備市場銷售額增長58%，達(dá) 到296億美元，占全球市場約28.9%，再次成為半導(dǎo) 體設(shè)備的最大市場，這也是中國市場連續(xù)第四年增 長。 由于晶圓廠擴(kuò)產(chǎn)加速，國內(nèi)市場增速顯著高于全球。 我們預(yù)計(jì)2023年中芯國際、長鑫存儲(chǔ)、華虹集團(tuán)、 長江存儲(chǔ)等國內(nèi)主流晶圓廠均為擴(kuò)產(chǎn)主力，多個(gè)新 廠區(qū)項(xiàng)目將繼續(xù)拉動(dòng)國內(nèi)設(shè)備市場需求。國內(nèi)主要下游晶圓廠擴(kuò)產(chǎn)進(jìn)展更新我們預(yù)計(jì)2023年中芯國際、合肥長鑫、 華虹集團(tuán)、長江存儲(chǔ)均

3、為擴(kuò)產(chǎn)主力。 長江存儲(chǔ)：3D NAND Flash存儲(chǔ)器國內(nèi) 龍頭IDM，三期總產(chǎn)能規(guī)劃30萬片/月。 中芯國際：中國大陸晶圓代工龍頭，深 圳、北京、上海臨港項(xiàng)目依次擴(kuò)產(chǎn)，已 披露產(chǎn)能規(guī)劃有望新增約40萬片/月。 華虹無錫：12英寸成熟制程頭部廠商， 2022年持續(xù)擴(kuò)產(chǎn)，新項(xiàng)目有望上馬，有 望擴(kuò)張10萬片以上月產(chǎn)能。 華力集成：12英寸先進(jìn)制程頭部廠商， 后續(xù)有望新建Fab 8，新增約4萬片/月 先進(jìn)制程產(chǎn)能。 長鑫存儲(chǔ)：DRAM存儲(chǔ)器國內(nèi)龍頭IDM， 三期總產(chǎn)能規(guī)劃37.5萬片/月。未來中國大陸晶圓廠產(chǎn)能擴(kuò)張統(tǒng)計(jì)中國大陸晶圓廠現(xiàn)有計(jì)劃未來新增產(chǎn)能235萬片/月（等效12英寸），總投資額超過1

4、500億美元，對應(yīng)平均每1萬片/月 產(chǎn)能投資額約6.5億美元。其中前道設(shè)備投資大致占50%60%。未來資本開支及對應(yīng)設(shè)備國內(nèi)市場空間測算國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商主要面向國內(nèi)客戶為主，考慮國內(nèi)市場： 8英寸2021年產(chǎn)能101.85萬片/月，已公開的擴(kuò)產(chǎn)計(jì)劃達(dá)成后達(dá)到114.3萬片/月，擴(kuò)產(chǎn)規(guī)模已相對有限。12英寸2021年產(chǎn)能114.7萬片/月，已公開的擴(kuò)產(chǎn)計(jì)劃達(dá)成后達(dá)到349萬片/月，增長204.3%，假設(shè)56年內(nèi)陸續(xù)實(shí)施， CAGR=20%25%。新增投資額對應(yīng)1524.5億美元，假設(shè)其中80%用于設(shè)備投資，對應(yīng)1220億美元，按照5年均攤到每 年244億美元設(shè)備采購額。2. 國產(chǎn)化趨勢：美日設(shè)

5、備占比最高，國產(chǎn)占比呈現(xiàn)顯著上升趨勢美日歐廠商在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域具備傳統(tǒng)優(yōu)勢從行業(yè)格局來看，美日歐廠商在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域具備傳統(tǒng)優(yōu)勢，占據(jù)半導(dǎo)體設(shè)備全球前15名席位。國際主流廠商中 ，應(yīng)用材料、泛林、東京電子在薄膜沉積、刻蝕領(lǐng)域具備領(lǐng)先地位，科天在過程控制（檢測、量測）設(shè)備處于領(lǐng)導(dǎo) 地位，均穩(wěn)居全球前五位置。據(jù)我們測算，2021年中國大陸廠商營收在全球市場占比約2.5%。長江存儲(chǔ)：美日占比最高，中國大陸占比持續(xù)提升從近五年長江存儲(chǔ)招投標(biāo)項(xiàng)目累計(jì)數(shù)量（按供應(yīng)商總部國家/地區(qū) 統(tǒng)計(jì)）來看，美國、日本廠商中標(biāo)項(xiàng)目數(shù)量占比分別達(dá)43%、 30%，反映出兩地區(qū)廠商仍占據(jù)主流地位。五年累計(jì)招標(biāo)中，中國 大陸廠

6、商中標(biāo)項(xiàng)目數(shù)量占比15%。分年度看，2021年長江存儲(chǔ)415項(xiàng)設(shè)備招標(biāo)中，中國大陸廠商中標(biāo)項(xiàng) 目數(shù)量占比22.2%，過去幾年呈現(xiàn)逐漸上升趨勢，相應(yīng)美國廠商中標(biāo) 項(xiàng)目數(shù)量占比呈現(xiàn)下降趨勢。華力集成：美日占比最高，中國大陸2021年占比達(dá)24%從近六年華力集成招投標(biāo)項(xiàng)目累計(jì)數(shù)量（按供應(yīng)商總部國家/地區(qū) 統(tǒng)計(jì)）來看，美國、日本廠商中標(biāo)項(xiàng)目數(shù)量占比分別達(dá)41%、 22%，反映出兩地區(qū)廠商仍占據(jù)主流地位。六年累計(jì)招標(biāo)中，中國 大陸廠商設(shè)備中標(biāo)項(xiàng)目數(shù)量占比19%。分年度看， 2020年華力集成164項(xiàng)設(shè)備招標(biāo)中，中國大陸廠商中標(biāo) 項(xiàng)目數(shù)量占比27.9%；2021年華力集成38項(xiàng)設(shè)備招標(biāo)中，中國大陸廠 商中

7、標(biāo)項(xiàng)目數(shù)量占比23.7%；2022年（截至7月4日）華力集成5項(xiàng)設(shè) 備招標(biāo)中，中國大陸廠商中標(biāo)項(xiàng)目數(shù)量占比20%，穩(wěn)定在兩成左右。華虹無錫：美日占比最高，中國大陸近兩年占比達(dá)23%分年度看，2020年華力集成166項(xiàng)設(shè)備招標(biāo)中，中國大陸廠商中標(biāo)項(xiàng) 目數(shù)量占比23.5%；2021年華力集成160項(xiàng)設(shè)備招標(biāo)中，中國大陸廠 商中標(biāo)項(xiàng)目數(shù)量占比21.3%；2022年（截至7月4日）華力集成128項(xiàng) 設(shè)備招標(biāo)中，中國大陸廠商中標(biāo)項(xiàng)目數(shù)量占比22.7%，近兩年國產(chǎn)廠 商占比呈現(xiàn)上升趨勢。從近四年華虹無錫招投標(biāo)項(xiàng)目累計(jì)數(shù)量（按供應(yīng)商總部國家/地區(qū) 統(tǒng)計(jì)）來看，美國、日本廠商中標(biāo)項(xiàng)目數(shù)量占比分別達(dá)35%、 2

8、7%，反映出兩地區(qū)廠商仍占據(jù)主流地位，中國大陸廠商設(shè)備中標(biāo) 項(xiàng)目數(shù)量占比21%。3. 設(shè)備廠商現(xiàn)狀：優(yōu)秀國產(chǎn)廠商涌現(xiàn)，有望加快國內(nèi)在半導(dǎo)體設(shè)備各細(xì)分領(lǐng)域涌現(xiàn)出一批代表性公司由于半導(dǎo)體設(shè)備種類繁多，制造原理各異，在各細(xì)分 領(lǐng)域中已形成具備一定規(guī)模和國內(nèi)替代技術(shù)實(shí)力的國 產(chǎn)細(xì)分龍頭廠商，但與海外廠商相比技術(shù)實(shí)力與收入 體量相差仍大。國內(nèi)廠商中，北方華創(chuàng)、中微公司、 盛美上海等廠商已橫向?qū)崿F(xiàn)平臺(tái)化布局，值得重點(diǎn)關(guān) 注。北方華創(chuàng)為國內(nèi)規(guī)模最大、產(chǎn)品覆蓋最廣的半導(dǎo)體設(shè) 備公司，在氧化擴(kuò)散/熱處理、PVD設(shè)備具備較強(qiáng)的產(chǎn) 品競爭力，硅刻蝕和金屬刻蝕、清洗機(jī)亦導(dǎo)入長江存 儲(chǔ)。中微公司為國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)領(lǐng)先

9、龍頭，在集成電 路制造使用的刻蝕設(shè)備以及LED外延片生長使用的 MOCVD設(shè)備領(lǐng)域技術(shù)領(lǐng)先，在長江存儲(chǔ)介質(zhì)刻蝕份 額已達(dá)到30%左右水平，已橫向拓展化學(xué)氣相沉積和 量測設(shè)備等市場。盛美上海在清洗設(shè)備方面通過自研技術(shù)解決了兆聲波 清洗的缺點(diǎn)，與國際龍頭差異化競爭，爭奪高端市場 ，同時(shí)橫向拓展電鍍、立式爐，以及先進(jìn)封裝所用的 刻蝕、涂膠顯影、拋光、去膠等設(shè)備。拓荊科技、華海清科、芯源微、屹唐股份、至純科技 、精測電子、中科飛測、爍科中科信、華峰測控、長 川科技等公司在國內(nèi)細(xì)分領(lǐng)域領(lǐng)先。長江存儲(chǔ)中標(biāo)供應(yīng)商中: 北方華創(chuàng)、屹唐股份、中微公司、盛美上海位列國產(chǎn)供應(yīng)商前列長江存儲(chǔ)：中標(biāo)供應(yīng)商中，美國廠商（

10、泛林、應(yīng)用材 料、科天、Onto、泰瑞達(dá)等）、日本廠商（東京電子、 國際電氣、迪恩士、愛德萬等）仍是采購主流。 國內(nèi)廠商方面 ， 中 國 國 際 招 標(biāo) 網(wǎng) 數(shù) 據(jù) 顯 示 ， 20172021年間 北方華創(chuàng)在長江存儲(chǔ)共中標(biāo)56次、143臺(tái)設(shè)備; 屹唐股份同期在長江存儲(chǔ)共中標(biāo)48次、102臺(tái)設(shè) 備; 中微公司同期在長江存儲(chǔ)共中標(biāo)37、59臺(tái)設(shè)備; 盛美上海同期在長江存儲(chǔ)共中標(biāo)29次、35臺(tái)設(shè) 備。華力集成/華虹無錫： 中標(biāo)供應(yīng)商中，盛美上海、北方華創(chuàng)等位列國產(chǎn)供應(yīng)商前列華力集成：20162022年間盛美上海在華力集成共中標(biāo)17次、21 臺(tái)設(shè)備，北方華創(chuàng)同期在華力集成共中標(biāo)11次、22臺(tái)設(shè)備，屹

11、唐 股份同期在華力集成共中標(biāo)10次、12臺(tái)設(shè)備，上海天雋機(jī)電設(shè)備 有限公司同期在華力集成共中標(biāo)9次、42臺(tái)設(shè)備（均為研磨液供 應(yīng)設(shè)備），廣立微同期在華力集成共中標(biāo)8次、14臺(tái)設(shè)備（均為 EDA軟件或晶圓電性測試儀），中微公司同期在華力集成共中標(biāo) 7次、15臺(tái)設(shè)備。華虹無錫：20182022年間盛美上海在華虹無錫共中標(biāo)22次、23 臺(tái)設(shè)備，北方華創(chuàng)同期在華虹無錫共中標(biāo)18次、25臺(tái)設(shè)備，中微 公司同期在華虹無錫共中標(biāo)11次、14臺(tái)設(shè)備，華海清科同期在華 虹無錫共中標(biāo)11次、13臺(tái)設(shè)備，屹唐股份同期在華虹無錫共中標(biāo) 11次、25臺(tái)設(shè)備，拓荊科技同期在華虹無錫共中標(biāo)7次、7臺(tái)設(shè)備。氧化擴(kuò)散/熱處理設(shè)

12、備：國產(chǎn)化率28%，北方華創(chuàng)優(yōu)勢較為明顯華力集成：東京電子、應(yīng)用材料等企業(yè)領(lǐng)先，北方華創(chuàng)、 屹唐股份、盛美上海亦獲得采購。 其中北方華創(chuàng)共計(jì)中標(biāo)4臺(tái)，中標(biāo)產(chǎn)品涵蓋退火、合金、 氧化爐設(shè)備；屹唐股份（Mattson）中標(biāo)2臺(tái)，為快速熱退 火/快速熱氧化設(shè)備；盛美上海中標(biāo)1臺(tái)，為低壓高溫氧化 爐設(shè)備。華虹無錫：東京電子獲采購最多，國產(chǎn)廠商包括北方華 創(chuàng)、屹唐股份、上海微電子等。 其中，北方華創(chuàng)中標(biāo)11臺(tái)設(shè)備，包括合金退火爐、真空 烘烤爐等；屹唐股份中標(biāo)4臺(tái)，為快速熱退火設(shè)備；上 海微電子中標(biāo)4臺(tái)，為背面激光退火設(shè)備。清洗設(shè)備： 國產(chǎn)化率38%，盛美上海中標(biāo)設(shè)備數(shù)量國產(chǎn)最多，僅次于日本迪恩士長江存儲(chǔ)

13、：盛美上海中標(biāo)設(shè)備數(shù)僅次于日本廠商迪恩士， 國產(chǎn)中標(biāo)廠商還包括芯矽科技、北方華創(chuàng)、屹唐股份。其中盛美上海共中標(biāo)35臺(tái)，中標(biāo)產(chǎn)品主要包括各類型單 片式清洗機(jī)；芯矽科技共計(jì)中標(biāo)5臺(tái)，中標(biāo)產(chǎn)品為零部件 清洗機(jī)；北方華創(chuàng)共中標(biāo)2臺(tái)制程擋控片蝕刻回收清洗機(jī)； 屹唐股份亦于2021年中標(biāo)2臺(tái)清洗設(shè)備。華力集成：盛美上海中標(biāo)僅次于日本迪恩士，北方華創(chuàng)、 芯源微亦獲得采購。 其中盛美上海共計(jì)中標(biāo)19臺(tái)，中標(biāo)產(chǎn)品涵蓋前段、后段 工藝的清洗設(shè)備。北方華創(chuàng)中標(biāo)13臺(tái)，均為部件清洗設(shè) 備；芯源微中標(biāo)3臺(tái)，為刷片清洗設(shè)備。4. 總結(jié)：堅(jiān)定看好設(shè)備趨勢國產(chǎn)化率計(jì)算：長江存儲(chǔ)、華力集成、華虹無錫設(shè)備國產(chǎn)化率國產(chǎn)化率計(jì)算：長江存儲(chǔ)、華力集成、華虹無錫設(shè)備國產(chǎn)化率（按照設(shè)備臺(tái)數(shù)占比，下同）分別為17.9%、12.9%、18%。從各類型設(shè)備來看，去膠、清洗、氧化擴(kuò)散/熱處理、刻蝕、化學(xué)機(jī)械拋光領(lǐng)域國產(chǎn)化率均可達(dá)到20%以上，而薄膜沉積、 過程控制、離子注入、光刻、涂膠顯影設(shè)備國產(chǎn)化率尚低。長江存儲(chǔ)在設(shè)備國產(chǎn)化方面較為積極，總體國產(chǎn)化率高于另兩家晶圓廠三座晶圓廠橫向?qū)Ρ葋砜?，長江存儲(chǔ)在設(shè)備國產(chǎn)化方面較為積極，總體國產(chǎn)化率高于另兩家晶圓廠。這可能是由于長江存