全羅茨真空泵無油抽氣系統(tǒng)的應(yīng)用研究摘要：羅茨真空泵是一種應(yīng)用極為廣泛的無油真空抽氣設(shè)備。全羅茨真空泵可以組成大型無油真空抽氣系統(tǒng)，滿足近年來各行業(yè)對無油真空抽氣系統(tǒng)越來越大的需要，但在應(yīng)用過程中存在噪聲高、配套功率大，尤其是被抽介質(zhì)產(chǎn)生氮氧化物、結(jié)焦物等場合時容易發(fā)生卡死等缺陷。根據(jù)羅茨真空泵的特性，對全部由羅茨真空泵組成的抽氣系統(tǒng)的組成及性能作一介紹，運用現(xiàn)代設(shè)計技術(shù)和控制技術(shù)，分析了產(chǎn)生這些缺陷的原因，采取了相應(yīng)的改進措施。對抽氣系統(tǒng)如何實行智能化控制做了敘述。關(guān)鍵詞：羅茨泵；羅茨泵組合系統(tǒng)；噪聲；PLC；變頻一、背景和應(yīng)用環(huán)境提出型或型或81型氣冷羅茨泵90。miniipad移動硬盤拍立得百度書包1.3.4.5.6.轉(zhuǎn)子1；7.2；9.2.3全羅茨泵抽氣系統(tǒng)2.4）I。1.2.3.4.5.6.7.8.9.10.12.13.14.15.16.17.18.19.20.21.22.2.4—級數(shù)極限壓力≤Pa最低工作壓力≥Pa一級1500025000二級30003500三級50100四級25五級0.10.5六級0.050.13.1噪聲問題圖三所示全部采用羅茨泵組成的真空抽氣系統(tǒng)，具有工作腔內(nèi)完全干式運行的重要特，泵V、最高的氣冷羅茨泵的氣動噪聲，其次在泵的排氣口設(shè)置集阻性和抗性于一體的排出口消聲器。3.2作為前級的羅茨泵V、VI有時甚至、必須采用型氣冷式直排大氣羅茨泵，與普通羅）（）（前前SSSPPSSPS211112PPPSA其中AkＷ。10Pa，P2P1Sm3，S前m3/sA以為例，當(dāng)壓差Ｐ104Pa時,其發(fā)熱功率為10410，如此大的發(fā)熱功率在實際運行時是依靠配帶一只外置的熱交換器把熱量帶走，算。3.3配套功率如S前3.4熱交換器泄漏問題40。3.5雜質(zhì)倒入泵腔卡死氣冷羅茨泵的問題abba在返氣管路上設(shè)置了返流過濾器，而在排氣管路上設(shè)置一只單向閥，既使雜質(zhì)不會倒入泵腔，又可以進一步降低噪聲[6]。（a）（b）1.溢流閥2.羅茨泵溫度傳感器4.5.消聲器圖五、最前級氣冷羅茨泵的組合方式采用PLC將結(jié)果反饋出來進行相應(yīng)的處理。根據(jù)實時的負(fù)載情況控制變頻器的頻率輸出，在電機負(fù)荷允許的情況下最大限度提升泵的轉(zhuǎn)速提高抽氣速率。變頻器是泵軸轉(zhuǎn)速控制的直接執(zhí)行者，執(zhí)行CPU傳送過來的指令及將電機反饋回來的負(fù)載信息準(zhǔn)確地傳回CPU系統(tǒng)。抽氣系統(tǒng)為機電一體