VisualThick–CSOTT3Maintenance???????????KoreaMaterials&ysish 硬件部分和術(shù) 1- Y 1-1- Y軸部件 1-1- Y軸部件說 1- X 1-2- X軸部件 1-2- X軸部件說 1- 聚焦模 1-3- 聚焦模塊部件 1-3- 聚焦模塊部件說 1- 檢測(cè) 1-4- 檢測(cè)器部件 1-4- 檢測(cè)器部件說 1- 工作平 1-5- 工作平臺(tái)部件 1-5- 工作平臺(tái)部件說 1- 主電源&馬達(dá)驅(qū)動(dòng) 1-6- 主電源&馬達(dá)驅(qū)動(dòng)器部件 1-6- 主電源&馬達(dá)驅(qū)動(dòng)器部件說 1- 氣動(dòng)部 1-7- 氣動(dòng)部件 1-7- 氣動(dòng)部件說 1- PLC模 1-8- PLC模塊部件 1-8- PLC模塊部件說 1- 電力部 1-9- 電力部件 1-9- 電力部件說 定期更換項(xiàng)目與列 2-1.聚焦用燈泡的更 2-1- 更換周 2-1- 更換方 2- 膜厚測(cè)量用燈泡的更 2-2- 更換周 2-2- 更換方 2-2- 參考片(BareSi)2-3- 更換周2-3- 更換方2-氣動(dòng)系統(tǒng)檢2-系統(tǒng)整體檢2-每周檢2-每月檢2-半年檢2-年度檢 部件更3- 傳感器的更換和設(shè)3-1- X,Y3-1- ZL3- 聯(lián)軸器的更3-2- Z軸聯(lián)軸器的更3- CCD頭的更3- 頂針的更3- 玻璃基板夾具部件的更錯(cuò)誤提示信4- 警報(bào)4- 警告程序的重新5- 硬盤驅(qū)動(dòng)器格式化后重新安裝程5- OCX重新備份與恢6- 安裝Ghost6- 創(chuàng)建Ghost6- 恢復(fù)Ghost部件連7- 馬7- 7- 玻璃基板夾具氣7- 頂針氣7- 顯微鏡的光7- 分光7- PLC7-7- Input7-7- Output 1-1.YAxis1-1- YLMLinearLinear1-1- Y軸Parts線性馬(Linear永久磁鐵按不同極性SNSN(Spring固定性馬達(dá)的兩邊，防止線性馬達(dá)因控制不穩(wěn)而爆沖或掉落滑軌線性馬達(dá)(LM(Motor 產(chǎn)生電磁場(chǎng)，與永久磁鐵產(chǎn)生吸力或斥力而發(fā)生動(dòng)力的銅制線圈部分光學(xué)尺(Linear 直線式編當(dāng)前位置的有納米級(jí)刻度的金屬條線性馬達(dá)滑軌導(dǎo)(LMGuide 伺服馬達(dá)固定在導(dǎo)架上，性滑軌做直線移動(dòng)1-2.XAxis1-2-1.X軸YAxisLinearSample X1Linear1-2-2.XParts和上述所說明的Y軸具有相同的運(yùn)動(dòng)原理，如果說Y?軸是短軸進(jìn)行往返運(yùn)動(dòng)的話，X軸就是長(zhǎng)軸在在Workplate上進(jìn)行往返運(yùn)動(dòng)1-3-1.FocusModuleParts部件OpticalFiber

ServoMotor

CCDLEDMainLampxisStepOptic XsAxisStepServoLinear&Linear BallStepLimit

Lens1-3-2.FocusModulePartsZ-AxisServoCCD 觀察玻璃基板表面，也是確認(rèn)透鏡聚焦?fàn)顩r的重要部MainLamp: 馬達(dá)與螺桿的部件。負(fù)荷過大時(shí)會(huì)先損壞，以保護(hù)馬達(dá)和螺桿 移動(dòng)范圍的限制。防止立軸模塊脫離軌道。初始化時(shí)尋找坐標(biāo)原點(diǎn)的位置L-AxisStep:(Lens)Lens保證Lens:測(cè)量上使用的物鏡。(5x,10x,作為光源透過的基準(zhǔn)點(diǎn)filter旋轉(zhuǎn)時(shí)獲取1-4.1-4-1.Detector部件LEDLamp FocusLamp Z-Axis1-4-2.DetectorParts?聚焦光源:ST6K模式時(shí)使用在確認(rèn)光學(xué)纖維的位置。?聚焦光源固定架:?分光儀（Spectrometer）:線，從而在可視光的波長(zhǎng)范圍內(nèi)得到反射光?光纖連接器(OpticalFiberConnector):1-5-1.SampleBarModuleFixtureLiftLiftpin1-5-2.SampleBarModuleParts玻璃基板夾(Fixture 玻璃基板放到工作平臺(tái)，先用夾具對(duì)玻璃基板定位后再進(jìn)量(Lift 為讓機(jī)械往設(shè)備放玻璃基板或取玻璃基板，頂針由氣缸做動(dòng)，將玻璃基板頂起(LiftPin:工作平臺(tái)(Sample:把玻璃基板放在工作平臺(tái)上進(jìn)量。工作平臺(tái)的大小根據(jù)玻璃基板的大小進(jìn)行定做。在角落也有參考片氣缸夾具 對(duì)工作平臺(tái)上的玻璃基板進(jìn)行機(jī)械定位時(shí)與固定平衡氣缸:1-6.MainPower&Motion1-6-1.MainPower&MotionControlParts部件 Main StepMotor 1-6-2.MainPower&MotionControlParts伺服馬達(dá)驅(qū)動(dòng)器(Motor:伺服馬達(dá)的控制器。以數(shù)字脈沖形式接受電機(jī)的工作值，再把相似的工作值傳送給馬達(dá)，從而控制馬L軸驅(qū)動(dòng):L軸控制透鏡。斷路:續(xù)電器 電磁開關(guān)。由PLC控制電源開關(guān)的部件。當(dāng)電壓達(dá)到規(guī)定值時(shí)，被控制的輸出電路會(huì)導(dǎo)通或斷開1-7.氣動(dòng)部1-7-1.氣動(dòng)部``AirBlowingMainAir &Sol&Sol1-7-2.氣動(dòng)部件說 用戶可通過轉(zhuǎn)動(dòng)閥門調(diào)整提供給設(shè)備的高壓氣體壓力&（Airsupply&Exhaust:如果閥門指針向‘exhaust’位置,溶膠閥（Sol-:按照PLC令打開關(guān)閉溶膠閥，可以手動(dòng)控制閥門的開和關(guān)氣缸:Fixture用來調(diào)整玻璃基板的對(duì)齊，liftpin用來頂起玻璃基板。1-8-1.PLCModule(G6B-(G6B-1-8-2.PLCModuleParts續(xù)電器 電磁開關(guān)。由PLC控制電源開關(guān)的部件。當(dāng)電壓達(dá)到規(guī)定值時(shí)，被控制的輸出電路會(huì)導(dǎo)通或斷開I/O鏈路(I/O 將數(shù)據(jù)從外部設(shè)備傳輸至PLC，或從PLC傳輸至外部設(shè)備1-9.1-9-1.ElectricParts PLCPower1-9-2.ElectricParts電源(Power 提供使用于傳感器，氣動(dòng)裝置和光源等小電壓電器部件的直流電變壓器:PLCCA的變壓器定期更換項(xiàng)目與列2-1更換Focus2-1-1.輔助光源更換Lamp:到了需要更換Lamp的周期(使用時(shí)間超過1年Lamp的光強(qiáng)周期性的減(光的亮度隨著時(shí)間的變化不一致時(shí)進(jìn)行更換2-1-2.輔助更換光源的打開 Box的外部Case的話可以看到與下圖相同的部件用1.5mm的六角螺絲刀打開固定FocusBulb的螺絲，取出Focus將Focusbulb的底部和OpticalFiberConnector面一致放入然后重新用六角螺絲刀固定Focus2-2.量測(cè)用光源的更2-2-1.量測(cè)用光源的更Lamp:到了更換Lamp的周期(60天Lamp的光強(qiáng)周期性減少(隨著時(shí)間變化光強(qiáng)不一致2-2-2.[圖1]使用3mm的六角螺絲刀打開光源外殼[圖2]如果光源發(fā)燙的話，用尖嘴鉗將Lamp拔出[圖3]拔出光源后確認(rèn)Clamp的復(fù)原狀態(tài)更換光源時(shí)，在按下Clamp的狀態(tài)下更換[圖4]確認(rèn)光源的Clamp是否正常安裝[圖 [圖[圖 [圖注意 取下燈泡時(shí)因表面溫度很高，容易燒傷，一定要冷卻后取出或用夾具安裝燈泡時(shí)不要直接用手抓燈泡表面，以免污染，抓住塑料外皮，按上后將塑料2-3更換Reference(Bare2-3-1.更換周更換周期：大概6在50倍鏡頭范圍內(nèi)在CCD屏幕上檢查表面潔凈狀況2-3-2.更換方準(zhǔn)備新的參考片打開參考片的蓋子注意 蓋上蓋子時(shí)不要接觸參考片。如果沒有平行放置，會(huì)導(dǎo)致測(cè)量有誤2- 氣動(dòng)系統(tǒng)檢Filter (主高壓氣體和過濾器(電壓控制閥(小型控制閥

檢查是否保持適當(dāng)?shù)目諝鈮毫Β趩?dòng)使用在底部的杠桿④確認(rèn)以上的常規(guī)行為檢查。2-5.System的整體Leveling確確認(rèn)Sensor的初點(diǎn)是On狀態(tài)確認(rèn)Controller的供壓量檢查汽缸懸浮高度檢查設(shè)備的位置有無移位檢查設(shè)備有無其他異常情2-6.每周檢XY檢查真空標(biāo)準(zhǔn)設(shè)定值和檢查是否氣管連接部有噪音2-7.每月檢確保平臺(tái)上真空管的吸氣孔里沒有顆粒。 檢查馬達(dá)移動(dòng)時(shí)有無異常噪音，滑軌上有無異物。 將手放在花崗石和鋁架外框上，檢查有無異常。 ①①③將手放在花崗石上，檢查有無② 2-8.半年檢檢查X，Y軸線性馬達(dá)滑軌上有無異物檢查Z軸和L軸的連接器螺絲有無松動(dòng)檢查整體排線有無因摩擦導(dǎo)致出現(xiàn)粉2-9.年度確認(rèn)檢測(cè)器的校正閥PC確認(rèn)真空閥的操作[電磁閥]確認(rèn)玻璃夾具的操作和耗損部件3-1.Sensor的更換和設(shè)定方3-1-1.更換X,Y,ZLimit將不透明薄膜放置到U形傳感器時(shí)檢查紅色發(fā)光二極管開/關(guān)是否正與傳感器連接的部件?？砂尾暹M(jìn)行更※Limit ①②③①②③④3-1-2.更換LLimitSensor將不透明薄膜放置到U形傳感器時(shí)檢查紅色發(fā)光二極管開/關(guān)是否正常。無反應(yīng)或不亮則為損壞。這個(gè)傳感器沒有連接插口，有※

BrownBlue

3-2.更換②④3-2- 更換Z/L軸②④更換Z軸①將光學(xué)模組和立軸分 ②從Z軸取下滾珠螺桿蓋板③聯(lián)軸器由兩個(gè)無頭螺釘固定，將無頭螺釘擰開④拆開馬達(dá)，更換聯(lián)軸器②③更換L軸②③①拆開L②擰開夾緊螺栓①和螺栓 然后從馬達(dá)支架分離步進(jìn)馬③3-3更換CCD①②①② 拔掉CCDCable.(關(guān)閉電源Cable->拔掉Link 擰開接口的無頭螺絲，取下頭 更換CCD注:請(qǐng)確保更換后頭置于正確的方向。如果頭有旋轉(zhuǎn)，會(huì)使CCD監(jiān)視器里看到的圖像旋轉(zhuǎn)，導(dǎo)頂針在工作平臺(tái)處，固定在頂針支架上。其數(shù)量為12LiftLift①M(fèi)iddle②Work更換方3-5.更換Clamp工作平臺(tái)的每邊都各自有兩組夾具部件，總共有8組Clamp Bearing①Limit②Air

Air更換方安裝Cylinder的①(Bearingjig)移 ②(Cylinder)去掉固定螺絲后進(jìn)行更換Error4-1.AlarmCode:[問題原因伺服馬達(dá)驅(qū)動(dòng)器故障，未能執(zhí)行運(yùn)行相關(guān)指令有人按壓了緊急開關(guān)(EMO)[解決辦法關(guān)閉程序，手動(dòng)移動(dòng)伺服馬達(dá)確認(rèn)有無電線被拉扯如被按EMO，則旋轉(zhuǎn)EMO解開后按Reset按鈕，確認(rèn)供電正常則打開主程序重新初始化。AlarmCode:[問題原因StageHardwareLimit[解決辦法確認(rèn)s/wlimit關(guān)閉MainprogramAlarmCode:[問題原因Air供壓的濾清器LimitSensorON[解決方法確認(rèn)供壓狀態(tài)(確認(rèn)供壓閥門上的標(biāo)示確認(rèn)是否供壓外AlarmCode:[問題原因Air供壓的濾清器LimitSensorON[解決辦法確認(rèn)供壓狀態(tài)(確認(rèn)供壓閥門上的標(biāo)確認(rèn)供壓是否外泄以及VacuumTubeAlarmCode:[問題原因有人按壓了應(yīng)急開關(guān)(EMO)[解決辦法旋轉(zhuǎn)EMO解開后按下電源Reset按鈕，確認(rèn)供電正常則打開主程序重新初始化AlarmCode:[問題原因初始化主程序時(shí)PLC部分初始化失敗[解決方法檢查電腦與PLC的網(wǎng)線是否有異常PLCResetAlarmCode:[問題原因initial時(shí)各軸無法移動(dòng)至Homing[解決方法motionfail確認(rèn)是否可以正常移動(dòng)至unloadAlarmCode:[問題原因GlassLoadingloading[解決方法確認(rèn)Fixturein/outsensor確認(rèn)Head是否移動(dòng)至Unloading[問題原因在玻璃基板載入時(shí)，之前的玻璃基板沒有載出，還在工作平臺(tái)上[解決辦法orCseAlarmCode:[問題原因???Lamptime(1500hr)?over?????關(guān)閉Mainprogram后更換AlarmCode:[問題原因1CCDCameraimagegrab無法實(shí)現(xiàn)所造成檢查CCDCameravisioncable&[問題原因檢查Spectrometer?MainPC間USB連接AlarmCode:[問題原因LoaderInterlock[解決方法LoaderInterlockalarmclearAlarmCode:[問題原因和Loader所連接signalfault[解決方法確認(rèn)和Loader所連接的HOTLinecable[問題原因移動(dòng)Headprogram16.AlarmCode:[問題原因在program找不到相關(guān)的file確認(rèn)C:\VThickCM2文件夾中是否有相關(guān)的17.AlarmCode:[問題原因關(guān)閉Programfilebackup[問題原因fitting[解決方法在Computeview上將各Layer的InitialTMaxMin19.AlarmCode:[問題原因20.AlarmCode:[問題原因recipepatternfile沒有的情況確認(rèn)C:\VThickCM2\Pattern文件夾中的文件重新登錄image后recipe[問題原因硬盤無剩余空間，無法自動(dòng)測(cè)量數(shù)[解決辦法確認(rèn)C盤剩余空間，刪除過期數(shù)22.AlarmCode:[問題原因桿(Joystick)沒有連接到電腦，或是Windows無法識(shí)別桿[解決辦法檢查桿的USB連接23.AlarmCode:[問題原因Liftpinupmotion[解決辦法Liftpindown4-2.WarningCode:[問題原因Manualmode中未輸入LotID& 時(shí)發(fā)輸入LotID&Gla后進(jìn)WarningCode: ~[解決辦法]:Close機(jī)臺(tái)運(yùn)轉(zhuǎn)中如果打開門的話會(huì)造成，所以如下圖所示在門上裝置了DoorSensor，當(dāng)DoorOpen時(shí)會(huì)有 WarningCode:[問題原因自動(dòng)聚焦失敗 Fail)。立軸(Z軸)坐標(biāo)不正確，導(dǎo)致無法找到焦點(diǎn)旋轉(zhuǎn)桿Jostck)調(diào)整立軸高度。CD畫面上能夠看到影像后再按‘er’。如果發(fā)生的位置一直發(fā)生，則有可能是Recipe里面立軸高度坐標(biāo)設(shè)定有誤。在Measureiew修改在 View的Setup窗口邊確認(rèn)CCD亮度邊調(diào)整Shutter時(shí)間[問題原因無法找到Measurespot時(shí)[解決辦法在Detectview中重新設(shè)定spotWarningCode:[問題原因]:ErrorinlearningforPatternSearchfailed.[解決辦法]:Measure,Align,SpotPatternCheck.確認(rèn) folder中是否有相關(guān)的Pattern存WarningCode:[問題原因無法找到指定的Pattern[解決辦法如果CCD畫面上有影像，但看不到指定的Pattern，則使用桿手動(dòng)搜索圖像，在CCD上呈如果在特定位置或所有位置一直發(fā)生，則需要修改Recipe里面的測(cè)量坐標(biāo)[問題原因測(cè)量Reference時(shí)AutoFocus[解決辦法移動(dòng)至ReferenceJoystick調(diào)節(jié)Z軸后重新進(jìn)行通過調(diào)整Referenceshutter值重新設(shè)定reference的亮度重新設(shè)置5-1HardDriveformat后重新放入 CD，將硬盤格式化后（使用NTFS格式），重新安裝操作操作系當(dāng)系統(tǒng)安裝完成后，用驅(qū)動(dòng)光盤安裝主板驅(qū)動(dòng)程序來優(yōu)化系(如果有一個(gè)系統(tǒng)的安全程序或PC-cillin,跳過此安裝放入VGACDVGAcard為了可以識(shí)別MotioncardMEI公司的XMPXMPPCI公司的NIPCI在”我的電腦里”，選擇”登陸信息”后選擇”硬件管理者”后確認(rèn)各 card是否正別如果有不能識(shí)別的card的話，選擇PCIcard的登陸信息后在“驅(qū)動(dòng)”欄中選擇驅(qū)動(dòng)更新，找到*.INF后進(jìn)行識(shí)別即可“DisplayProperties”設(shè)定雙顯示器安裝KMAC公司所提供的VTmapCIM程式粘貼備份文件 Hard在進(jìn)行format之前務(wù)必將必要的資料進(jìn)行備份???5-2OCX需X。打開軟 Files\K-MAC\VTMapCIM，確認(rèn)*.ocx文檔是否存在OCXOCXBatch執(zhí)行RegisterOCX.bat文檔，則顯示如下 RegisterCIM→xCIMCtrl.ocxRegisterGrabber→RegisterMotion→xMotionCtrl.ocxRegisterPLC→xPLCCtrl.ocxBackup&GhostGhost程序可以將整個(gè)C盤備份成一個(gè)文件。系統(tǒng)發(fā)生異?；虮粫r(shí)可復(fù)歸C盤所有內(nèi)容，達(dá)到※※使用Ghost進(jìn)行復(fù)歸之前，需對(duì)出場(chǎng)后新生成的文檔或升級(jí)的軟件，如Recipe，測(cè)量數(shù)據(jù)和最6- 關(guān)閉其他程序，將安裝盤放入光驅(qū)安裝NortonGhost√√按照InstallShieldWizard6- OpentheGhostProgramandSelect‘BackupSelectatargetdriveto指定路徑，生成的Ghost映像因?yàn)槭莻浞軨盤，所以生成的Ghost映像檔不能在C盤。位置不能與備份硬盤相同。這里選擇盤驅(qū)動(dòng)器。 鍵選擇目標(biāo)驅(qū)動(dòng)器或者目標(biāo)文在選擇設(shè)置中，指定壓縮模式為下一個(gè)窗口顯示的是備份信息和應(yīng)用選項(xiàng)創(chuàng)建 image”結(jié)束后，點(diǎn)擊Close結(jié)6- 一顆硬盤進(jìn)行復(fù)歸。可在‘DiskManagement’確認(rèn)硬盤數(shù)量和第二個(gè)硬盤可否用于啟動(dòng)。如下，‘電腦重啟。在鍵盤按‘Del’鍵進(jìn)入CMOS設(shè)置在Boot菜單更改硬盤啟動(dòng)順序如圖按‘F10’并推出CMOS設(shè)置窗口，重啟電腦如果D和F盤符顛倒，可以選擇ChangeDriveLetterandPaths打開Ghost軟件，選擇RestoreaDriver選擇Ghost映像檔選擇Edrive,點(diǎn)擊‘Next’Setdriveactive(forbootingOS)項(xiàng)目打鉤。(如果不選擇此項(xiàng)，即使復(fù)歸windows系統(tǒng)也將無法點(diǎn)擊‘next’進(jìn)行復(fù)歸先，按F10并重啟。使用第一個(gè)硬盤啟動(dòng)后可以發(fā)現(xiàn)當(dāng)前系統(tǒng)已經(jīng)恢復(fù)出廠設(shè)置狀態(tài)部件StepMotorStepMotorWStepMotorStepMotorWLZYXZZYYXXPNI12V 1/3